JP6761078B1 - Sealants, packaging materials, silicone material transport packaging and silicone material packaging used for silicone material transportation packaging - Google Patents
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Abstract
【課題】シリコン材料の輸送用包装体に用いられる、揮発成分を低減させ、シール強度を向上させたシーラント、包装材料、シリコン材料の輸送用包装体及びシリコン材料の梱包体を提供する。【解決手段】シリコン材料の輸送用包装体に用いられるシーラントは、第1面及び第1面に対向する第2面を有するシーラント基材を備え、シーラント基材は、第1面を含む第1部分と、第1部分よりも第2面側に位置する第2部分とを含み、第1部分は、低密度ポリエチレン(LDPE)を含み、第2部分は、リニア低密度ポリエチレン(LLDPE)を含む。【選択図】図1PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a sealant, a packaging material, a packaging material for transporting a silicon material and a packaging body for a silicon material, which are used for a packaging material for transporting a silicon material and have reduced volatile components and improved sealing strength. SOLUTION: A sealant used for a packaging for transporting a silicon material includes a sealant base material having a first surface and a second surface facing the first surface, and the sealant base material is a first surface including the first surface. Includes a portion and a second portion located on the second surface side of the first portion, the first portion contains low density polyethylene (LDPE) and the second portion contains linear low density polyethylene (LLDPE). .. [Selection diagram] Fig. 1
Description
本開示は、シリコン材料の輸送用包装体に用いられるシーラント、包装材料、シリコン材料の輸送用包装体及びシリコン材料の梱包体に関する。 The present disclosure relates to a sealant, a packaging material, a silicone material transport package, and a silicone material package used for a silicone material transport package.
半導体製品等の製造に用いられるシリコンウェハや、シリコンウェハの原材料であるポリシリコン等のシリコン材料等に対しては、極めた高いクリーン度(清浄度)が要求されるため、輸送等に際してはクリーンに洗浄された樹脂ケース等に複数のシリコンウェハを格納した上で、当該樹脂ケースごと包装体に包装され、密封される。このような包装体を構成する包装材料として、リニア低密度ポリエチレン(LLDPE)を用いたものが知られている。 Since silicon wafers used in the manufacture of semiconductor products and silicon materials such as polysilicon, which are the raw materials for silicon wafers, are required to have extremely high cleanliness (cleanliness), they are clean during transportation. After storing a plurality of silicon wafers in a resin case or the like that has been washed, the resin case is packaged in a package and sealed. As a packaging material constituting such a packaging body, one using linear low density polyethylene (LLDPE) is known.
シリコン材料を包装するための包装体の最内層にはシーラントが位置するが、シーラントに由来する揮発成分(シーラント由来のアウトガス成分)がポリシリコンやシリコンウェハに付着してしまうと、当該シリコンウェハを用いて製造される半導体装置において欠陥を生じさせるという問題がある。したがって、シーラントからの揮発成分が少ないことが望まれている。シーラントからの揮発成分を減らす方法の一つとして、シーラントを薄くすることが挙げられる。シーラントを薄くした際に、折り曲げ等による耐性を考えると、シーラントの構成材料としてLLDPEを用いることが好ましい。しかしながら、LLDPEは、重合時の圧力が低いことで、低分子成分が発生しやすく、シーラントから揮発成分が発生しやすくなるおそれがある。また、LLDPEのシール温度が比較的高いため、シール強度を出しにくいといった問題がある。 A sealant is located in the innermost layer of the package for packaging a silicon material, but if a volatile component derived from the sealant (outgas component derived from the sealant) adheres to polysilicon or a silicon wafer, the silicon wafer is moved. There is a problem of causing defects in the semiconductor device manufactured by using the device. Therefore, it is desired that the amount of volatile components from the sealant is small. One of the methods to reduce the volatile components from the sealant is to make the sealant thinner. Considering the resistance to bending and the like when the sealant is thinned, it is preferable to use LLDPE as a constituent material of the sealant. However, in LLDPE, since the pressure at the time of polymerization is low, low molecular weight components are likely to be generated, and volatile components may be easily generated from the sealant. Further, since the sealing temperature of LLDPE is relatively high, there is a problem that it is difficult to obtain the sealing strength.
上記課題に鑑みて、本開示は、シリコン材料の輸送用包装体に用いられる、揮発成分を低減させ、シール強度を向上させたシーラント、包装材料、シリコン材料の輸送用包装体及びシリコン材料の梱包体を提供することを一目的とする。 In view of the above problems, the present disclosure discloses a sealant, a packaging material, a silicone material transport packaging body, and a silicone material packaging, which are used for a silicone material transportation package and have reduced volatile components and improved sealing strength. One purpose is to provide the body.
上記課題を解決するために、本開示の一実施形態として、シリコン材料の輸送用包装体に用いられるシーラントであって、第1面及び前記第1面に対向する第2面を有するシーラント基材を備え、前記シーラント基材は、前記第1面を含む第1表面層と、前記第2面を含む第2表面層と、前記第1表面層及び前記第2表面層の間に位置する中間層とを有し、前記第1表面層及び前記第2表面層は、低密度ポリエチレン(LDPE)を含み、前記中間層は、リニア低密度ポリエチレン(LLDPE)を含み、前記中間層の厚さは、前記第1表面層の厚さ及び前記第2表面層の厚さのそれぞれよりも厚いシーラントが提供される。 In order to solve the above problems, as one embodiment of the present disclosure, a sealant base material used for a packaging for transporting a silicon material, which has a first surface and a second surface facing the first surface. wherein the sealant base is located between the the first surface layer comprising a first surface, a second front surface layer containing the second surface, the first surface layer and the second surface layer and an intermediate layer, the first surface layer and the second surface layer comprises a low density polyethylene (LDPE), the intermediate layer is linear low density polyethylene (LLDPE) seen including, thickness of the intermediate layer A sealant is provided that is thicker than the thickness of the first surface layer and the thickness of the second surface layer, respectively .
本開示の一実施形態として、シリコン材料の輸送用包装体に用いられるシーラントであって、第1面及び前記第1面に対向する第2面を有するシーラント基材を備え、前記シーラント基材は、低密度ポリエチレン(LDPE)とリニア低密度ポリエチレン(LLDPE)とを含む単層構造であり、前記低密度ポリエチレン(LDPE)の配合量が、前記リニア低密度ポリエチレン(LLDPE)の配合量以上であるシーラントが提供される。 As one embodiment of the present disclosure, the sealant used for a packaging body for transporting a silicon material includes a sealant base material having a first surface and a second surface facing the first surface, and the sealant base material is provided. , A single-layer structure containing low-density polyethylene (LDPE) and linear low-density polyethylene (LLDPE), and the blending amount of the low-density polyethylene (LDPE) is equal to or greater than the blending amount of the linear low-density polyethylene (LLDPE). Sealant is provided .
前記低密度ポリエチレン(LDPE)の配合量が、前記リニア低密度ポリエチレン(LLDPEの配合量よりも多くてもよいし、前記低密度ポリエチレン(LDPE)と前記リニア低密度ポリエチレン(LLDPE)との配合比が、50:50〜70:30であってもよい。The blending amount of the low density polyethylene (LDPE) may be larger than the blending amount of the linear low density polyethylene (LLDPE), and the blending ratio of the low density polyethylene (LDPE) and the linear low density polyethylene (LLDPE). However, it may be 50:50 to 70:30.
前記低密度ポリエチレン(LDPE)は、スリップ剤が添加されていない低密度ポリエチレンであってもよく、前記リニア低密度ポリエチレン(LLDPE)は、スリップ剤が添加されていないリニア低密度ポリエチレンであってもよい。前記シーラントの厚さが、35μm以上60μm以下であってもよい。 Before SL low density polyethylene (LDPE) may be a low density polyethylene slip agent is not added pressure, before Symbol linear low density polyethylene (LLDPE) slip agent is not added pressure linear low density polyethylene It may be. The thickness of the sealant may be 35 μm or more and 60 μm or less.
本開示の一実施形態として、樹脂材料により構成される基部と、前記基部の一方面側に設けられてなる上記シーラントとを有し、前記シーラントは、前記第2面を前記基部の一方面側に当接させるようにして設けられてなる包装材料、前記基部の他方面側に設けられてなるガスバリア層をさらに有する包装材料;上記包装材料により構成されるシリコン材料の輸送用包装体;及び上記輸送用包装体と、前記輸送用包装体内に収容されているシリコン材料とを備えるシリコン材料の梱包体が提供される。 As one embodiment of the present disclosure, the sealant has a base made of a resin material and the sealant provided on one surface side of the base portion, and the sealant has the second surface on one surface side of the base portion. A packaging material provided so as to be in contact with the base, a packaging material further having a gas barrier layer provided on the other side of the base; a packaging material for transporting a silicon material composed of the packaging material; and the above. A package of a silicon material including a package for transportation and a package of a silicon material housed in the package for transportation is provided.
本開示によれば、シリコン材料の輸送用包装体に用いられる、揮発成分を低減させ、シール強度を向上させたシーラント、包装材料、シリコン材料の輸送用包装体及びシリコン材料の梱包体を提供することができる。 According to the present disclosure, there are provided a sealant, a packaging material, a silicon material transportation package, and a silicon material package, which are used for a silicon material transportation package and have reduced volatile components and improved sealing strength. be able to.
本開示の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
本明細書に添付した図面においては、理解を容易にするために、各部の形状、縮尺、縦横の寸法比等を、実物から変更したり、誇張したりしている場合がある。本明細書等において「〜」を用いて表される数値範囲は、「〜」の前後に記載される数値のそれぞれを下限値及び上限値として含む範囲であることを意味する。本明細書等において、「フィルム」、「シート」、「板」等の用語は、呼称の相違に基づいて相互に区別されない。例えば、「板」は、「シート」、「フィルム」と一般に呼ばれ得るような部材をも含む概念である。
Embodiments of the present disclosure will be described with reference to the drawings.
In the drawings attached to the present specification, in order to facilitate understanding, the shape, scale, aspect ratio, etc. of each part may be changed or exaggerated from the actual product. The numerical range represented by using "~" in the present specification and the like means a range including each of the numerical values before and after "~" as a lower limit value and an upper limit value. In the present specification and the like, terms such as "film", "sheet" and "board" are not distinguished from each other based on the difference in designation. For example, "board" is a concept that includes members that can be generally called "sheet" or "film".
〔シーラント〕
図1及び図2に示すように、本実施形態に係るシーラント10は、シリコン材料を輸送する際に用いられる包装体(シリコン材料の輸送用包装体)用のものであって、第1面11A及びそれに対向する第2面11Bを有するシーラント基材11を備える。シーラント基材11は、第1面11A側に位置する第1表面層111と、第2面11B側に位置する第2表面層112と、第1表面層111及び第2表面層112の間に挟まれている中間層113とを有する積層構造体であってもよいし(図1参照)、第1面11A及び第2面11Bを有する単層構造体であってもよい(図2参照)。
[Sealant]
As shown in FIGS. 1 and 2, the
図1に示す態様において、第1面11A側に位置する第1表面層111は、スリップ剤が実質的に添加されていない低密度ポリエチレン(LDPE)を含む層である。第2面11B側に位置する第2表面層112は、第1表面層111と同様に、例えば、スリップ剤が実質的に添加されていない低密度ポリエチレン(LDPE)を含む層であり、第1表面層111と第2表面層112との間に挟まれている中間層113は、例えば、スリップ剤が実質的に添加されていないリニア低密度ポリエチレン(LLDPE)を含む層である。なお、本実施形態において「スリップ剤が実質的に添加されていない」とは、スリップ剤としてシーラントの表面の滑り性を実際に向上させる成分がシーラントの表面の滑り性に実際に影響を与える目的でシーラントの表面の滑り性に実際に影響を与える量を超えて添加されていないことを意味する。スリップ剤としては、例えば、炭酸カルシウムまたはタルクなどの粒子や、シリコーン樹脂または四級アンモニウム塩化合物などの界面活性剤が挙げられる。
In the embodiment shown in FIG. 1, the
シリコン材料の輸送用包装体の最内層に位置するシーラント10に由来する揮発成分(シーラント10由来のアウトガス成分等)が内容物であるポリシリコンやシリコンウェハに付着してしまうと、当該シリコンウェハを用いて製造される半導体装置において欠陥を生じさせてしまうおそれがある。そのため、シーラント10に由来する揮発成分は、可能な限り少ないのが望ましい。シーラント10に由来する揮発成分を低減させるためには、シーラント10の厚みT10を可能な限り薄くするのが望ましい。シーラント10の厚みT10が相対的に薄いことで、シーラント10に由来する揮発成分がフィルム外部へ放出されるため、シーラント10に由来する揮発成分を低減させることができる。一方で、シーラント10の厚みT10を薄くし過ぎると、引張強度等の機械的特性に対する耐性が低くなってしまい、内容物を梱包する袋として機能が低下するおそれがある。この点、リニア低密度ポリエチレン(LLDPE)は、低密度ポリエチレン(LDPE)に比べ、伸縮性が高く、折り曲げに対する耐性が高いため、シーラント10としてリニア低密度ポリエチレン(LLDPE)を用いることで、シーラント10の厚みT10を相対的に薄くすることができる。
If a volatile component derived from the sealant 10 (outgas component derived from the
また、シリコン材料の輸送用包装体40に樹脂ケース51を収容した後、当該包装体40から脱気して梱包されるため、当該包装体40を構成する包装材料に含まれるシーラント10には、良好な追従性が求められる。この点においても、リニア低密度ポリエチレン(LLDPE)は相対的に高い伸縮性を有するため、当該リニア低密度ポリエチレン(LLDPE)が用いられることで、シーラント10の追従性を良好にすることができる。
Further, since the
シーラントがリニア低密度ポリエチレン(LLDPE)の単層で構成されれば、リニア低密度ポリエチレン(LLDPE)の単層で構成されるシーラントの押込弾性率を150MPa〜600MPa程度に調整することができるため、シーラントの厚みを薄くすることができると考えられる。また、シーラントの追従性を良好にすることを考慮しても、シーラントがリニア低密度ポリエチレン(LLDPE)の単層で構成されるのは好ましいということができる。しかし、リニア低密度ポリエチレン(LLDPE)の重合時の圧力は、低密度ポリエチレン(LDPE)の重合時の圧力よりも低いために、リニア低密度ポリエチレン(LLDPE)においては、低密度ポリエチレン(LDPE)に比べて低分子成分が揮発しやすい。そのため、シーラントがリニア低密度ポリエチレン(LLDPE)の単層で構成されていると、シーラントの厚みを薄くすることができたとしても、シーラントに由来する揮発成分によってシリコン材料が汚染されてしまうおそれがあると考えられる。また、リニア低密度ポリエチレン(LLDPE)は、低密度ポリエチレン(LDPE)よりも滑り性が低くなる傾向があるため、シーラントがリニア低密度ポリエチレン(LLDPE)の単層で構成されていると、シーラントの表面の滑り性が低くなるおそれがあると考えられる。シリコン材料の輸送用包装体に用いられるシーラントは、異物になるおそれがあるスリップ剤は実質的に添加されないことが好ましいため、スリップ剤の使用以外の手段で滑り性を向上させることが好ましい。本実施形態においては、リニア低密度ポリエチレン(LLDPE)を含む中間層113が、低密度ポリエチレン(LDPE)を含む第1表面層111及び第2表面層112により挟まれている。そのため、本実施形態に係るシーラント10によれば、厚みT10を相対的に薄くすることができ、追従性や滑り性も良好であり、また中間層113に含まれるリニア低密度ポリエチレン(LLDPE)から低分子成分が揮発するのを防止することができる。
If the sealant is composed of a single layer of linear low density polyethylene (LLDPE), the indentation elastic modulus of the sealant composed of a single layer of linear low density polyethylene (LLDPE) can be adjusted to about 150 MPa to 600 MPa. It is considered that the thickness of the sealant can be reduced. Further, it can be said that it is preferable that the sealant is composed of a single layer of linear low density polyethylene (LLDPE) in consideration of improving the followability of the sealant. However, since the pressure during the polymerization of the linear low density polyethylene (LLDPE) is lower than the pressure during the polymerization of the low density polyethylene (LDPE), the linear low density polyethylene (LLDPE) becomes the low density polyethylene (LDPE). In comparison, low-density components are more likely to volatilize. Therefore, if the sealant is composed of a single layer of linear low density polyethylene (LLDPE), even if the thickness of the sealant can be reduced, there is a risk that the silicon material will be contaminated by the volatile components derived from the sealant. It is believed that there is. Also, linear low density polyethylene (LLDPE) tends to be less slippery than low density polyethylene (LDPE), so if the sealant is composed of a single layer of linear low density polyethylene (LLDPE), the sealant will It is considered that the slipperiness of the surface may be lowered. Since it is preferable that the sealant used for the transportation packaging of the silicon material does not substantially contain a slip agent that may become a foreign substance, it is preferable to improve the slipperiness by means other than the use of the slip agent. In this embodiment, the
図2に示すシーラント10において、単層構造体のシーラント基材11は、低密度ポリエチレン(LDPE)とリニア低密度ポリエチレン(LLDPE)とを含む。このシーラント基材11において、低密度ポリエチレン(LDPE)とリニア低密度ポリエチレン(LLDPE)との配合比が、50:50〜70:30程度であればよい。このように、低密度ポリエチレン(LDPE)の配合量がリニア低密度ポリエチレン(LLDPE)の配合量よりも多いことで、シーラント基材11の第1面11A側において低密度ポリエチレン(LDPE)の存在量を多くすることができるとともに、リニア低密度ポリエチレン(LLDPE)によりシーラント10の厚みT10を薄くするという効果、すなわち低分子成分が揮発するのを防止するという効果が奏される。なお、シーラント基材11の厚み方向で見たときに、低密度ポリエチレン(LDPE)とリニア低密度ポリエチレン(LLDPE)とが実質的に均一に存在していてもよいし、第1面11A側及び第2面11B側に低密度ポリエチレン(LDPE)が偏在していてもよい。
In the
本実施形態に係るシーラント10の厚みT10は、当該シーラント10を含む包装材料により構成されるシリコン材料の輸送用包装体の厚さ等に応じて適宜設定され得るものであるが、例えば、35μm〜60μm程度であればよい。
The thickness T10 of the
図1に示す態様において、低密度ポリエチレン(LDPE)を含む第1表面層111及び低密度ポリエチレン(LDPE)を含む第2表面層112が中間層113を挟んで配置されていることで、シーラント10の一方面側の内部応力と他方面側の内部応力とがある程度相殺され、シーラント10がカールすることを抑制できる。また、図1に示す態様において第1表面層111及び第2表面層112のそれぞれの厚みT111,T112は、いずれも中間層113の厚みT113よりも薄い。第1表面層111及び第2表面層112のそれぞれの厚みT111,T112が中間層113の厚みT113よりも薄く構成されていることで、シーラント10に所定の追従性が付与され得る。第1表面層111の厚みT111と中間層113の厚みT113との比は、1:1〜10程度であればよく、1:2〜3程度であるのが好ましい。当該厚みの比が上記範囲であることで、中間層113に含まれる低密度リニアポリエチレン(LLDPE)による十分な追従性がシーラント10に付与され、シーラント10の押込弾性率を300MPa〜500MPaの範囲とすることができる。なお、押込弾性率は、微小硬さ試験機(製品名「ピコデンター(PICODENTOR) HM500」、フィッシャー・インスツルメント社製)により測定され得る。
In the embodiment shown in FIG. 1, the
シーラントのシール強度は、ヒートシール時のシール温度、シール圧力、シール時間等によりコントロール可能であることが知られている。一般に、シール温度が高くなるほどに、シール強度が向上する傾向を有するが、シール温度が高すぎると、必要以上にシーラントが溶融してしまい、却ってシール強度を低下させてしまうおそれがある。本実施形態においては、シール温度150℃、シール圧力0.1MPa、シール時間1秒のヒートシール条件下で、シーラント10の第1面11A同士をシールしたときのシール強度が、30N/15mm以上であればよく、50N/15mm以上60N/15mm未満であるのが好ましい。当該シール強度が30N/15mm未満であると、シーラント10を有する包装材料20により構成されるシリコン材料の輸送用包装体40に包装されたシリコン材料の輸送途中に、当該シリコン材料の輸送用包装体40のヒートシール部(例えば上面ヒートシール部HST等(図7参照))が剥離してしまうおそれがある。
It is known that the seal strength of the sealant can be controlled by the seal temperature at the time of heat sealing, the seal pressure, the seal time, and the like. Generally, the higher the sealing temperature, the higher the sealing strength tends to be. However, if the sealing temperature is too high, the sealant may melt more than necessary, and the sealing strength may be lowered. In the present embodiment, the sealing strength when the
上述したように、シーラント10の厚みT10を相対的に薄くする観点から、シーラント10の構成材料としてリニア低密度ポリエチレン(LLDPE)を使用するのが好適であると考えられる。しかしながら、リニア低密度ポリエチレン(LLDPE)により構成されるシーラントにおいては、所定のシール強度を得るために必要なシール温度が相対的に高くなってしまう。この点、本実施形態においては、シーラント10の第1表面層111が低密度ポリエチレン(LDPE)を含むことで、所定のシール強度を得るために必要なシール温度を相対的に低下させることができる。
As described above, from the viewpoint of making the thickness T10 of the
本実施形態に係るシーラント10のヘイズは、25%以下であればよく、20%以下であるのが好ましい。シーラント10のヘイズが20%以下であることで、、シーラント10を有する包装材料20から製造されるシリコン材料の輸送用包装体40においてその内部の視認性を良好にすることができる。また、シリコン材料をシリコン材料の輸送用包装体に包装する前に、シーラント10の第1面11Aに異物が付着しているか否かを確認することができ、シリコン材料の汚染を未然に防止することもできる。なお、シーラント10のヘイズは、例えば、ヘイズメーター(製品名:HM−150,村上色彩研究所社製)を用いて、JIS−K7136に準拠して測定され得る。
The haze of the
上述した構成を有するシーラント10は、従来公知のフィルム成膜法を用いて製造され得る。例えば、図1に示す構成を有するシーラント10は、ダイコート法、インフレーション法等の塗工法等を用いて、第2表面層112、中間層113及び第1表面層111を積層形成することで製造され得る。図2に示す構成を有するシーラント10も同様に、上記塗工法、押出インフレーション法等を用いて製造され得る。
The
〔包装材料〕
図3に示すように、本実施形態における包装材料20は、基部21の一方面側に第2面11Bを当接させるようにして上記シーラント10を積層してなる多層構造を有する。
基部21は、例えば、ポリエチレン(PE)、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ナイロン(登録商標,Ny)、ポリブチレンテレフタレート(PBT)等から選択される1種の樹脂材料又は2種以上の樹脂材料の積層体により構成される。なお、図3に示す例においては、基部21が2種の樹脂材料の積層体(第1樹脂層211及び第2樹脂層212)により構成されており、第1樹脂層211がシーラント10の第2面11Bに対する接着層として機能している。この場合において、例えば、第1樹脂層211はポリエチレン(PE)により構成され、第2樹脂層212はポリエチレンテレフタレート(PET)により構成されていればよい。
[Packaging material]
As shown in FIG. 3, the
The
上記包装材料20におけるシーラント10は、当該包装材料20から製造されるシリコン材料の輸送用包装体40(図6参照)にシリコン材料が包装されたときに、当該包装体40内部を視認可能な程度の透明性を有する。そのため、当該シーラント10を有する包装材料20においても、同様に、包装体40内部を視認可能な程度の透明性を有しているのが望ましい。そのような観点から、本実施形態における包装材料20のヘイズは、例えば、30%以下であればよく、25%以下であるのが好ましい。包装材料20のヘイズが30%を超えると、包装材料20から製造されるシリコン材料の輸送用包装体40の内部の視認性が悪化してしまったり、シリコン材料の輸送用包装体40におけるシーラント10の第1面11Aに異物が付着しているか否かの確認が困難になったりするおそれがある。なお、包装材料20のヘイズは、例えば、ヘイズメーター(製品名:HM−150,村上色彩研究所社製)を用いて、JIS−K7136に準拠して測定され得る。
The
本実施形態において、基部21の他方面側にガスバリア層22を有していてもよい(図4参照)。ガスバリア層22を有することで、包装材料20から製造されるシリコン材料の輸送用包装体40の外部から、シリコン材料表面を汚染するガス等が侵入するのを防止することができる。ガスバリア層22は、例えば、シリカもしくはアルミナ等の無機酸化物等を樹脂層(例えばPET層等)に蒸着させてなる蒸着膜等であればよい。また、包装材料20は、基材21の他方面側に、アルミニウム等の金属を蒸着させてなる金属蒸着膜や、アルミニウム等の金属箔を有していてもよい。これらの金属蒸着膜や金属箔を基材21の他方面側に有する場合、包装材料20において透明性が確保されないが、包装材料20から製造されるシリコン材料の輸送用包装体40にガスバリア性の他、光遮蔽性をも付与することができる。また、この態様において、基材21の一方面側に設けられているシーラント10が所定の透明性を有することで、包装材料20から作製されるシリコン材料の輸送用包装体40におけるシーラント10の第1面11Aに異物が付着しているか否かを、より容易に確認することができる。
In the present embodiment, the
上述した構成を有する包装材料20は、従来公知のフィルム等の作製方法により作製すればよいが、例えば、図5に示すように、第1ロール61、第2ロール62、第3ロール63及びTダイ64を有する製造装置60を用いて作製され得る。かかる製造装置において、シーラント10の第2面11Bと、第2樹脂層212との間に、第1樹脂層211を構成する樹脂材料がフィルム状にTダイ64から押し出され、第1ロール61、第2ロール62及び第3ロール63により面状圧接されて冷却されることで、包装材料20が作製される。
The
〔シリコン材料の輸送用包装体〕
図6に示すように、本実施形態におけるシリコン材料の輸送用包装体40は、広げることで略方体状(略直方体状)となる包装袋であって、第1側面フィルム41、第2側面フィルム42、第1ガゼットフィルム43及び第2ガゼットフィルム44によって構成されている。第1側面フィルム41、第2側面フィルム42、第1ガゼットフィルム43及び第2ガゼットフィルム44は、いずれも上記包装材料20により構成されている。シリコン材料の輸送用包装体40は、第1側面フィルム41、第2側面フィルム42、第1ガゼットフィルム43及び第2ガゼットフィルム44のいずれものシーラント10の第1面11Aが最内面に位置し、基部21の他方面側が最外面に位置するように構成されている。
[Packaging for transportation of silicon material]
As shown in FIG. 6, the
上記シリコン材料の輸送用包装体40において、第1側面フィルム41の2つの対向する側縁部の一方と折り込まれた第1ガゼットフィルム43の2つの対向する側縁部の一方とを重ね合わせてヒートシールにより溶着させてなる第1ヒートシール部HS1が形成され、第1側面フィルム41の上記側縁部の他方と折り込まれた第2ガゼットフィルム44の2つの対向する側縁部の一方とを重ね合わせてヒートシールにより溶着させてなる第2ヒートシール部HS2が形成されている。また、第2側面フィルム42の2つの対向する側縁部の一方と折り込まれた第1ガゼットフィルム43の上記側縁部の他方とを重ね合わせてヒートシールにより溶着させてなる第3ヒートシール部HS3が形成され、第2側面フィルム42の上記側縁部の他方と折り込まれた第2ガゼットフィルム44の上記側縁部の他方とを重ね合わせてヒートシールにより溶着させてなる第4ヒートシール部HS4が形成されている。第1側面フィルム41及び第2側面フィルム42のそれぞれの側縁部を重ね合わせてヒートシールにより溶着させてなる底面ヒートシール部HSBが形成され、底面ヒートシール部HSBに対向して位置する第1側面フィルム41及び第2側面フィルム42のそれぞれの側縁部は、ヒートシールされずにシリコン材料の輸送用包装体40の開口部45を形成している。
In the
第1ガゼットフィルム43及び第2ガゼットフィルム44を折り込んだシリコン材料の輸送用包装体40が多数積み重ねられている状態で、第1側面フィルム41又は第2側面フィルム42を吸着保持して上方に持ち上げることで、開口部45を開くことができる。その開いた開口部45から、シリコン材料の輸送用包装体40内にシリコン材料52を格納する樹脂ケース51(図7参照)を収容し、当該開口部45における第1側面フィルム41及び第2側面フィルム42のそれぞれの側縁部を重ね合わせてヒートシールすることで、上面ヒートシール部HSTを形成してシリコン材料の梱包体50(図7参照)を作製することができる。
In a state where a large number of silicone
本実施形態におけるシリコン材料の輸送用包装体40においては、その最内層に位置するシーラント10の第1面11A側に低密度ポリエチレン(LDPE)が含まれ、それよりも第2面11B側にリニア低密度ポリエチレン(LLDPE)が含まれている。シーラント10を構成するリニア低密度ポリエチレン(LLDPE)により、シーラント10の厚みT10を相対的に薄くすることができ、追従性を良好することができるとともに、シーラント10の第1面11A側に含まれる低密度ポリエチレン(LDPE)によって、リニア低密度ポリエチレン(LLDPE)からの低分子成分の揮発を防止することができる。なお、シリコン材料の輸送用包装体40を構成する包装材料20の基材21の他方面側に金属蒸着膜や金属箔が設けられている場合、所定の透明性が確保されないが、包装材料20の基材21の他方面側に金属蒸着膜や金属箔が設けられていることで、シリコン材料の輸送用包装体40にガスバリア性や光遮蔽性を付与することができる。また、基材21の一方面側に設けられているシーラント10において所定の透明性が確保されていることで、シリコン材料の輸送用包装体40におけるシーラント10の第1面11Aに異物が付着しているか否かを容易に確認することができる。
In the
以上説明した実施形態は、本開示の理解を容易にするために記載されたものであって、本開示を限定するために記載されたものではない。したがって、上記実施形態に開示された各要素は、本開示の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。 The embodiments described above have been described for facilitating the understanding of the present disclosure, and are not described for limiting the present disclosure. Therefore, each element disclosed in the above embodiment is intended to include all design changes and equivalents belonging to the technical scope of the present disclosure.
上記実施形態におけるシリコン材料の梱包体50は、上記シリコン材料の輸送用包装体40を内袋とし、それと同様の構成を有する外袋をさらに有するものであってもよく、この場合において、内袋としてのシリコン材料の輸送用包装体40にシリコン材料52を収容し、さらに外袋に収容すればよい。この外袋の第1側面フィルム41、第2側面フィルム42、第1ガゼットフィルム43及び第2ガゼットフィルム44のそれぞれを構成する包装材料は、図3及び図4に示す構成を有する包装材料20であってもよいし、帯電防止機能を有する樹脂フィルム(例えば、帯電防止層付きナイロンフィルム(製品名:ボニールAS,興人フィルム&ケミカルズ株式会社製)等))、ガスバリア層22、第1樹脂層211及びシーラント10をこの順で積層してなる積層体等であってもよい。
The
上記実施形態におけるシリコン材料の輸送用包装体40は、第1ガゼットフィルム43及び第2ガゼットフィルム44を有しないものであってもよい。この場合において、第1側面フィルム41及び第2側面フィルム42を、互いのシーラント10の第1面11Aを対向させるようにして3つの側縁部をヒートシールすればよい。
The
以下、実施例等を挙げて本開示をさらに詳細に説明するが、本開示は下記の実施例等により何ら限定されるものではない。 Hereinafter, the present disclosure will be described in more detail with reference to Examples and the like, but the present disclosure is not limited to the following Examples and the like.
〔実施例1〕
第1表面層111の構成材料として低密度ポリエチレン(スリップ剤が実質的に添加されていないLDPE,宇部丸善ポリエチレン社製,製品名:UBEポリエチレンB128)を用い、中間層113の構成材料として低密度ポリエチレン(スリップ剤が実質的に添加されていないLDPE,宇部丸善ポリエチレン社製,製品名:UBEポリエチレンB128)及びリニア低密度ポリエチレン(スリップ剤が実質的に添加されていないLLDPE,プライムポリマー社製,製品名:ウルトゼックス3500ZA)の溶融混合物(配合比=1:1(質量基準))を用い、第2表面層112の構成材料として低密度ポリエチレン(スリップ剤が実質的に添加されていないLDPE,宇部丸善ポリエチレン社製,製品名:UBEポリエチレンB128)を用い、多層共押出インフレーション成膜法により、図1に示す構成を有するシーラント10(第1表面層111(膜厚:8μm)、中間層113(膜厚:24μm)、第2表面層112(膜厚:8μm))を作製した。
[Example 1]
Low density polyethylene (LDPE with substantially no slip agent added, manufactured by Ube Maruzen Polyethylene, product name: UBE polyethylene B128) is used as a constituent material of the
〔実施例2〕
低密度ポリエチレン(スリップ剤が実質的に添加されていないLDPE,宇部丸善ポリエチレン社製,製品名:UBEポリエチレンB128)のペレット及びリニア低密度ポリエチレン(スリップ剤が実質的に添加されていないLLDPE,プライムポリマー社製,製品名:ウルトゼックス3500ZA)のペレットを配合比7:3(質量基準)で溶融混合し、インフレーション成膜法により、図2に示す構成を有するシーラント10(厚み:40μm)を作製した。
[Example 2]
Pellets of low-density polyethylene (LDPE with virtually no slip agent added, manufactured by Ube-Maruzen Polyethylene, product name: UBE polyethylene B128) and linear low-density polyethylene (LDPE with virtually no slip agent added, prime) Pellets of Ultzex 3500ZA (manufactured by Polymer Co., Ltd.) are melt-mixed at a blending ratio of 7: 3 (mass basis), and a sealant 10 (thickness: 40 μm) having the configuration shown in FIG. did.
〔比較例1〕
無添加リニア低密度ポリエチレン(無添加LLDPE,タマポリ社製,製品名:NB−1)シーラント(厚み:50μm)を準備した。
[Comparative Example 1]
Additive-free linear low-density polyethylene (additive-free LLDPE, manufactured by Tamapoli, product name: NB-1) sealant (thickness: 50 μm) was prepared.
〔試験例1〕
実施例1〜2及び比較例1のシーラントを100mm×25mmに切り出した切片を被験試料として準備し、当該被験試料をエタノールに60℃1週間分間浸漬させた。エタノールに浸漬させた被験試料からの揮発成分を、下記条件のGC/MSにて分析し、マススペクトルを得た。得られたマススペクトルを図8A〜図8Cに示す。
[Test Example 1]
Sections of the sealants of Examples 1 and 2 and Comparative Example 1 cut into 100 mm × 25 mm were prepared as test samples, and the test samples were immersed in ethanol at 60 ° C. for 1 week. The volatile components from the test sample immersed in ethanol were analyzed by GC / MS under the following conditions to obtain a mass spectrum. The obtained mass spectra are shown in FIGS. 8A to 8C.
<GC/MS条件>
・ガスクロマトグラフ:GCMS−QP2010(島津製作所社製)
・カラム:670−15003−03(長さ:30mm,内径:0.25mm,島津製作所社製)
・カラムオーブン温度:50℃
・注入量:1μL
・キャリアガス:He(57.1mL/分)
・気化室温度設定:300℃
・測定モード:スプリット
<GC / MS conditions>
-Gas chromatograph: GCMS-QP2010 (manufactured by Shimadzu Corporation)
-Column: 670-15003-03 (length: 30 mm, inner diameter: 0.25 mm, manufactured by Shimadzu Corporation)
・ Column oven temperature: 50 ℃
・ Injection volume: 1 μL
-Carrier gas: He (57.1 mL / min)
・ Vaporization chamber temperature setting: 300 ℃
・ Measurement mode: Split
〔試験例2〕押込弾性率
実施例1〜2及び比較例1のシーラントから所望サイズで切り出した切片を被験試料として準備し、当該被験試料について、ISO14577:2015に準拠して、温度23℃±2℃、湿度60%RH±5%RHの雰囲気で押込弾性率を測定した。まず、20mm×20mmの大きさに切り出した被験試料の第1面11Aが上面となるように市販のスライドガラスに、接着樹脂(製品名「アロンアルフア(登録商標)一般用」、東亜合成社製)を介して固定した。具体的には、スライドガラス1(製品名「スライドガラス(切放タイプ)1−9645−11」、アズワン社製)の中央部に上記接着樹脂を滴下した。この際、接着樹脂を塗り広げず、また後述するように押し広げたときに接着樹脂が被験試料からはみ出さないように1滴の接着樹脂を滴下した。その後、上記大きさに切り出した被験試料を第1面11A側が上面になり、かつ被験試料の中央部に接着樹脂が位置するようにスライドガラスに接触させ、スライドガラス1と被験試料の間で接着樹脂を押し広げ、仮接着した。そして、別の新しいスライドガラス2を被験試料の上に載せ、スライトガラス1/接着樹脂/被験試料/スライドガラス2の積層体を得た。次いで、スライドガラス2の上に30g以上50gの重りを置き、12時間室温で放置した。その後、重りとスライドガラス2を取り外し、これを測定用サンプルとした。そして、この測定用サンプルを除振台に平行に設置した微小硬さ試験機(製品名:ピコデンター(PICODENTOR)HM500、フィッシャー・インスツルメント社製)の測定ステージに固定した。この固定は、測定サンプルが動かないように、スライドガラス1の4辺をテープ(製品名:セロテープ(登録商標)、ニチバン社製)で固定した。次に、被験試料の第1面11Aにおいて、ビッカース圧子(対面角136°の正四角錐のダイヤモンド圧子)を装着させた超微小負荷硬さ試験機(ピコデンターHM500,フィッシャー・インストルメンツ社製)を用いて、押込速度0.15μm/秒、押込深さ3μm、保持時間5秒間、引き抜き速度0.15μm/秒の条件で押込弾性率を測定した。1つの被験試料において、少なくとも異なる5箇所で測定し、それらの測定値の平均を、シーラントについてその条件での押込弾性率の値とした。結果を表1に示す。
[Test Example 2] Indentation elastic modulus A section cut out from the sealants of Examples 1 and 2 and Comparative Example 1 in a desired size was prepared as a test sample, and the temperature of the test sample was 23 ° C. ± in accordance with ISO14577: 2015. The indentation elastic modulus was measured in an atmosphere of 2 ° C. and a humidity of 60% RH ± 5% RH. First, an adhesive resin (product name "Aron Alpha (registered trademark) for general use", manufactured by Toagosei Co., Ltd.) was applied to a commercially available slide glass so that the
〔試験例3〕シール強度
実施例1〜2及び比較例1のシーラントの第1面同士を下記表2に示す条件でヒートシールし、ヒートシール部を含む15mm幅のヒートシール試験片を採取し、当該ヒートシール試験片をJIS−Z1711に準拠してシール強度を求めた。結果を表2に示す。
[Test Example 3] Seal strength The first surfaces of the sealants of Examples 1 and 2 and Comparative Example 1 are heat-sealed under the conditions shown in Table 2 below, and a heat-seal test piece having a width of 15 mm including the heat-seal portion is collected. , The seal strength of the heat seal test piece was determined in accordance with JIS-Z1711. The results are shown in Table 2.
図8A〜図8Cに示す結果から明らかなように、実施例1及び実施例2のシーラントにおいては、揮発成分が検出されなかったが、比較例1のシーラントにおいては、揮発成分が検出された。この結果から、実施例1及び実施例2のように、第1面11A側に位置する第1部分が低密度ポリエチレン(LDPE)を含む、それよりも第2面11B側に位置する第2部分がリニア低密度ポリエチレン(LLDPE)を含むことで、シーラントから低分子成分の揮発を防止可能であると推察される。
As is clear from the results shown in FIGS. 8A to 8C, no volatile component was detected in the sealants of Examples 1 and 2, but volatile components were detected in the sealant of Comparative Example 1. From this result, as in Examples 1 and 2, the first portion located on the
表1に示す結果から明らかなように、実施例1及び実施例2の押込弾性率は、比較例1の押込弾性率よりも大きいものの、実用上、十分な追従性を発揮可能な程度に伸縮性を有し、耐屈曲性を有するものと推察される。また、実施例1及び実施例2のシーラントは、十分な透明性を確保可能であることが確認された。 As is clear from the results shown in Table 1, the indentation elastic modulus of Example 1 and Example 2 is larger than the indentation elastic modulus of Comparative Example 1, but it expands and contracts to such an extent that sufficient followability can be exhibited in practice. It is presumed to have properties and bending resistance. Further, it was confirmed that the sealants of Examples 1 and 2 can ensure sufficient transparency.
表2に示す結果から明らかなように、実施例1及び実施例2のシーラントにおいては、比較例1〜3のシーラントに比して、より低いシール温度で高いシール強度を得ることができることが確認された。 As is clear from the results shown in Table 2, it was confirmed that the sealants of Examples 1 and 2 can obtain high sealing strength at a lower sealing temperature than the sealants of Comparative Examples 1 to 3. Was done.
10…シーラント
11A…第1面
11B…第2面
20…包装材料
40…シリコン材料の輸送用包装体
50…シリコン材料の梱包体
10 ...
Claims (11)
第1面及び前記第1面に対向する第2面を有するシーラント基材を備え、
前記シーラント基材は、前記第1面を含む第1表面層と、前記第2面を含む第2表面層と、前記第1表面層及び前記第2表面層の間に位置する中間層とを有し、
前記第1表面層及び前記第2表面層は、低密度ポリエチレン(LDPE)を含み、
前記中間層は、リニア低密度ポリエチレン(LLDPE)を含み、
前記中間層の厚さは、前記第1表面層の厚さ及び前記第2表面層の厚さのそれぞれよりも厚い
シーラント。 A sealant used for shipping packaging of silicone materials.
A sealant substrate having a first surface and a second surface facing the first surface is provided.
The sealant substrate, a first surface layer comprising a first surface, a second front surface layer containing the second surface, and an intermediate layer located between the first surface layer and the second surface layer Have ,
The first surface layer and the second surface layer contain low density polyethylene (LDPE).
The intermediate layer, viewed contains a linear low density polyethylene (LLDPE),
The thickness of the intermediate layer is thicker than the thickness of the first surface layer and the thickness of the second surface layer, respectively .
第1面及び前記第1面に対向する第2面を有するシーラント基材を備え、A sealant substrate having a first surface and a second surface facing the first surface is provided.
前記シーラント基材は、低密度ポリエチレン(LDPE)とリニア低密度ポリエチレン(LLDPE)とを含む単層構造であり、The sealant base material has a single-layer structure containing low-density polyethylene (LDPE) and linear low-density polyethylene (LLDPE).
前記低密度ポリエチレン(LDPE)の配合量が、前記リニア低密度ポリエチレン(LLDPE)の配合量以上であるThe blending amount of the low density polyethylene (LDPE) is equal to or larger than the blending amount of the linear low density polyethylene (LLDPE).
シーラント。Sealant.
請求項2に記載のシーラント。The sealant according to claim 2.
請求項2に記載のシーラント。The sealant according to claim 2.
請求項1〜4のいずれかに記載のシーラント。 Before SL low density polyethylene (LDPE), sealant according to any one of claims 1-4 slip agent is a low density polyethylene which is not added pressure.
請求項1〜5のいずれかに記載のシーラント。 Before SL linear low density polyethylene (LLDPE) sealant according to any one of claims 1-5 slip agent is a linear low density polyethylene which is not added pressure.
請求項1〜6のいずれかに記載のシーラント。The sealant according to any one of claims 1 to 6.
前記基部の一方面側に設けられてなる、請求項1〜7のいずれかに記載のシーラントと
を有し、
前記シーラントは、前記第2面を前記基部の一方面側に当接させるようにして設けられてなる包装材料。 The base made of resin material and
The sealant according to any one of claims 1 to 7 , which is provided on one side of the base portion.
The sealant is a packaging material provided so that the second surface is brought into contact with one surface side of the base portion.
請求項8に記載の包装材料。 The packaging material according to claim 8 , further comprising a gas barrier layer provided on the other side of the base.
シリコン材料の輸送用包装体。 A packaging body for transporting a silicon material composed of the packaging material according to claim 8 or 9 .
前記シリコン材料の輸送用包装体内に収容されているシリコン材料と
を備えるシリコン材料の梱包体。 The packaging for transporting the silicon material according to claim 10 ,
A package of a silicon material including the silicon material contained in the package for transporting the silicon material.
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