JP6824574B2 - 回転角検出装置及びロータリエンコーダ - Google Patents

回転角検出装置及びロータリエンコーダ Download PDF

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Description

本発明は、回転角を検出する技術に関するものである。
回転角を検出する技術としては、磁石を含む回転系とホール素子を含む固定系とを備え、回転軸に回転系を固定し基準座標系に固定系を固定した状態において、回転系の磁石の磁力を、固定系のホール素子で検出することにより、回転軸の基準座標系に対する回転角を検出する回転角検出装置が知られている(たとえば、特許文献1、2)。
また、重力を利用して傾斜角を検出する傾斜角センサの技術や(たとえば、特許文献3、4)、2軸方向や3軸方向について加速度を検出する加速度センサの技術も知られている(たとえば、特許文献5、6)。
特開2012- 83212号公報 特開2013- 7671号公報 特開2010-175359号公報 特開2005-257571号公報 特開2009- 63430号公報 特開2015-206799号公報
上述した回転角検出装置を検出対象の回転軸が特定されない汎用の回転角検出装置として適用する場合、回転角の検出を行う回転軸を変更する度に、回転角検出装置の回転系を回転軸に固定すると共に、回転角検出装置の固定系を基準座標系に固定する煩雑な作業が必要となる。また、周辺に回転角検出装置の固定系の基準座標系への固定に適した構造体が存在しない回転軸については、基準座標系に対する回転角の検出に大きな困難を伴う。
よって、回転角検出装置を回転軸に固定するだけで、良好な検出精度を維持したまま回転軸の基準座標系に対する回転角を検出できれば、回転角検出装置の利便性は大きく向上する。
そこで、本発明は、回転軸の基準座標系に対する回転角を精度良く検出できる、基準座標系に固定する必要のない回転角検出装置を提供することを課題とする。
前記課題達成のために、本発明は、回転軸の回転角を検出する回転角検出装置に、前記回転軸に同軸状に固定され当該回転軸と共に回転する検出用回転シャフトと、前記検出用回転シャフトと同軸に回転可能に、当該検出用回転シャフトに軸支されたサブベースと、前記サブベースと同軸に回転可能に、当該サブベースに軸支されたベースと、前記ベースに対する検出用回転シャフトの回転角を検出する回転角センサと、前記サブベースの下部に固定されたウエイトと、前記ベースに固定された、鉛直方向に対する傾斜角度を検出する傾斜角センサと、傾斜角センサが検出した傾斜角と前記回転角センサが検出した回転角とを用いて、前記回転軸の回転角を検出する検出部とを備えたものである。
このような回転角検出装置によれば、サブベースは、回転軸に固定される検出用回転シャフトに軸支されていると共に、サブベースの下部にはウェイトが設けられているために、回転軸から加わったトルクによって、サブベースが急峻に回転したり、大きく回転することはない。また、さらに、ベースはサブベースに軸支されているので、サブベースが回転してもサブベースからベースに伝達されるトルクは小さく、ベースに生じる角加速度は小さく抑えられる。
よって、回転軸から伝わるトルクによってベースの角加速度は小さく抑えられるので、当該角加速度による傾斜角センサの検出誤差も小さく、この結果、回転軸の回転角の検出誤差を小さく抑制することができる。
また、回転軸の移動により、下部にウェイトが設けられているために重心が偏っているサブベースが慣性力によって回転しても、ベースはサブベースに軸支されているので、サブベースが回転してもサブベースからベースに伝達されるトルクは小さく、ベースに生じる角加速度は小さく抑えられる。
よって、回転軸が移動してもベースの角加速度は小さく抑えられるので、当該角加速度による傾斜角センサの検出誤差も小さく、この結果回転軸の回転角の検出誤差を小さく抑制することができる。
ここで、より具体的には、このような回転角検出装置は、前記検出部において、前記回転軸の回転角検出開始時の前記傾斜角センサの傾斜角に対する当該傾斜角センサが検出している傾斜角の変化を前記ベースの傾斜角として算出し、算出した前記ベースの傾斜角に前記回転角センサが検出した回転角を加算した角度を、前記回転軸の回転角として検出するように構成してもよい。
また、このような回転角検出装置は、当該回転角検出装置に前記ベースに固定された、当該ベースの回転軸上の位置の加速度を検出する加速度センサを設け、前記検出部において、前記加速度センサが検出した加速度を用いて、傾斜角センサが検出している傾斜角に含まれる当該加速度による誤差を補正し、補正後の傾斜角を用いて求まる前記ベースの傾斜角に、前記回転角センサが検出した回転角を加算した角度を、前記回転軸の回転角として検出するように構成してもよい。
このようにすることにより、回転軸の加速度をもった移動によって、傾斜角センサに直接加わる加速度の影響による傾斜角の検出誤差を加速度センサで検出した加速度を用いてキャンセルして、より精度よく回転軸の回転角を検出できるようになる。
また、前記課題達成のために、本発明は、回転軸の回転角を検出する回転角検出装置に、前記回転軸に同軸状に固定され当該回転軸と共に回転する検出用回転シャフトと、前記検出用回転シャフトと同軸に回転可能に、当該検出用回転シャフトに軸支されたベースと、前記ベースに対する検出用回転シャフトの回転角を検出する回転角センサと、前記ベースの下部に固定されたウエイトと、前記ベースに固定された、鉛直方向に対する傾斜角度を検出する傾斜角センサと、前記ベースに固定された、当該ベースの回転軸上の位置の加速度を検出する加速度センサと、前記加速度センサが検出した加速度を用いて、当該加速度による傾斜角センサが検出している傾斜角を補正し、補正後の傾斜角を用いて求まる前記ベースの傾斜角に、前記回転角センサが検出した回転角を加算した角度を、前記回転軸の回転角として検出する検出部とを備えたものである。
このような回転角検出装置によれば、ベースは検出用回転シャフトに軸支されていると共に、ベースの下部にはウェイトが設けられているために、ウエイトの重さやベースの慣性モーメントを充分な大きさに設定することにより、回転軸から加わったトルクや回転軸の移動によってベースに生じる角加速度を小さく抑制することができる。
また、回転軸の加速度をもった移動によって、傾斜角センサに直接加わる加速度の影響による傾斜角の検出誤差を、加速度センサで検出した加速度を用いてキャンセルすることができる。
よって、このような回転角検出装置によれば、より精度よく回転軸の回転角を検出できるようになる。
ここで、以上の回転角検出装置には、前記ベースに固定された、当該ベースの回転中心軸と垂直な方向に延びるフィンを設けるようにしてもよい。
また、併せて本発明は、以上の回転角検出装置と、前記検出部が検出した前記回転軸の回転角が、所定の単位角度変化する度に、所定の信号を出力する信号出力部とを備えたロータリエンコーダも提供する。
以上のように、本発明によれば、回転軸の基準座標系に対する回転角を精度良く検出できる、基準座標系に固定する必要のない回転角検出装置を提供することができる。
本発明の第1の実施形態に係る回転角検出装置の構成を示す図である。 本発明の第1の実施形態に係る回転角検出装置の信号処理系の構成を示す図である。 本発明の第1の実施形態に係る回転角検出の原理を示す図である。 本発明の第2の実施形態に係る回転角検出装置の構成を示す図である。 本発明の第2の実施形態に係る回転角検出装置の信号処理系の構成を示す図である。 本発明の第3の実施形態に係る回転角検出装置の構成を示す図である。 本発明の実施形態に係る回転角検出装置の他の構成例を示す図である。
以下、本発明の実施形態について説明する。
まず、第1の実施形態について説明する。
図1aに、本第1実施形態に係る回転角検出装置の外観を示す。
いま、図中に示すように前後左右上下を定めるものとして、図1a1は回転角検出装置の前面を表し、図1a2は回転角検出装置の左側面を表し、図1a3は回転角検出装置の後面を表し、図1a4は図1a1の断面線A-Aによる回転角検出装置の断面を表し、図1a5は回転角検出装置を斜視したようすを表している。
図示するように、回転角検出装置は、ベース1、第1ベアリング2、サブベース3、第2ベアリング4、検出用回転シャフト5、磁石6、ウエイト7、回転角センサ8、傾斜角センサ9、ベース1に固定された信号処理系10を備えている。
ここで、検出用回転シャフト5は、第2ベアリング4によって前後方向を回転軸として回転可能にサブベース3を同軸状に軸支しており、サブベース3は第1ベアリング2によって前後方向を回転軸として回転可能にベース1を同軸状に軸支している。
また、磁石6は検出用回転シャフト5の前端面に固定されており、回転角センサ8はベース1に固定されている。
ここで、図1bに検出用回転シャフト5と磁石6と回転角センサ8の配置関係を示す。回転角センサ8は、磁石6と対向する配置でベース1に固定されている。また、磁石6はN極とS極が周方向に交互に配置された磁石である。また、回転角センサ8は、たとえば、ホール素子やMR素子などを用いて検出した磁力から回転角センサ8に対する磁石6の回転角、すなわち、ベース1に対する検出用回転シャフト5の回転角を検出するセンサである。
次に、図1cに、前後方向に見たウエイト7、回転角センサ8、傾斜角センサ9の配置を示す。傾斜角センサ9は、回転角センサ8と共に、ベース1に固定されており、重力を利用して重力方向(鉛直方向)に対する傾斜角、すなわち、ベース1の重力方向に対する傾斜角を検出する。
そして、ウエイト7は、サブベース3の下部に固定された重りである。
ここで、このような回転角検出装置は、図1d1、d2に示すように、回転角を検出する回転軸100に検出用回転シャフト5を固定して使用する。すなわち、回転角検出装置の全体が回転軸100によって支持されている形態で、回転軸100の回転角を検出する。
次に、回転角検出装置の信号処理系10の機能構成を図2に示す。
図示するように、信号処理系10は、制御部11、検出処理部12、外部と無線通信を行う無線通信インタフェース13よりなる。
なお、図1では図示を省略したがベース1には、信号処理系10の電源を供給するバッテリも固定されている。
ここで、図3aに示すように、回転軸100が静止している状態では、サブベース3は、ウエイト7の作用により、サブベース3の下方が鉛直下方となる姿勢となる。
ここで、ベース1の慣性モーメントは比較的大きく、また、ベース1の重心は、ほぼベース1の回転中心軸上の位置に設定されている。ただし、ベース1の重心は、回転軸100が静止している状態で、ベース1の回転角が、傾斜角センサ9が検出する傾斜角が0となる回転角となるように僅かに中心からずらして設定してもよい。
以下、このような回転角検出装置の回転角の検出動作について説明する。
ここで、回転角センサ8が検出している、回転軸100に固定された検出用回転シャフト5のベース1に対する回転角をθ1、計測開始時に傾斜角センサ9が検出していた鉛直方向に対するベース1の傾斜角をθref、傾斜角センサ9が検出している鉛直方向に対する現在のベース1の傾斜角をθdetとして、
検出処理部12は、ベース1の回転角θ2を、
θ2=θdet-θref
により算出し、
回転軸100の回転角θを、
θ=θ1+θ2により算出する。
さて、図3bに示すように、回転角センサ8が固定されているベース1が、検出用回転シャフト5に対してθ2回転すると、回転角センサ8が検出した回転角θ1は、検出用回転シャフト5、回転軸100の真の回転角θから、ベース1の回転角θ2を減算した角度となる。なお、図3bに示した例は、θrefが0であり、θ2=θdetである場合についてのものである。
したがって、上述のように、傾斜角センサ9を用いて求めたベース1の回転角θ2を用いて、θ=θ1+θ2により回転軸100の回転角θを算出することにより、回転軸100の真の回転角を検出することができる。
さて、ベース1が角加速度をもって回転した場合、傾斜角センサ9には重力に加えて角加速度による力が加わり、傾斜角センサ9が検出する傾斜角θdetには、真のベース1の傾斜角に対する誤差が生じる。
ベース1が角加速度をもって回転する第1の要因は、検出用回転シャフト5、第2ベアリング4、サブベース3、第1ベアリング2を介して、回転軸100からベース1に伝達されるトルクである。
しかし、本第1実施形態に係る回転角検出装置によれば、サブベース3は第2ベアリング4で検出用回転シャフト5に軸支されていると共に、サブベース3の下部にはウェイトが設けられているために、回転軸100に固定された検出用回転シャフト5から第2ベアリング4を介して加わったトルクによって、サブベース3が急峻に回転したり、大きく回転することはない。また、さらに、ベース1は第1ベアリング2を介してサブベース3に軸支されているので、サブベース3が多少回転してもベース1に生じる角加速度は小さく抑えられる。
よって、本第1実施形態に係る回転角検出装置によれば、検出用回転シャフト5、第2ベアリング4、サブベース3、第1ベアリング2を介して、回転軸100からベース1に加わるトルクによってベース1の角加速度は小さく抑えられるので、当該角加速度による回転軸100の回転角θの検出誤差を小さく抑制することができる。
次に、ベース1が角加速度をもって回転する第2の要因は、図3cに示すように、回転軸100の位置が固定されておらず、回転軸100が移動する場合に、当該回転軸100の移動に伴い、下部にウェイトが設けられているために重心が偏っているサブベース3が慣性力によって角加速度をもって回転することによるものであり、この場合、サブベース3の回転に伴い第1ベアリング2を介してサブベース3からベース1にトルクが伝達される。
しかし、本第1実施形態に係る回転角検出装置によれば、上述のように、ベース1は第1ベアリング2を介してサブベース3に軸支されているので、サブベース3が回転しても、サブベース3からベース1に伝達されるトルクは小さく、ベース1に生じる角加速度は小さく抑えられる。
よって、本第1実施形態に係る回転角検出装置によれば、回転軸100が移動した場合でも、これによって、ベース1の角加速度はベース1に生じる角加速度は小さく抑えられるので、回転軸100の移動に伴うに回転軸100の回転角θの検出誤差を小さく抑制することができる。
さて、図2において、制御部11は無線インタフェースを介して受信した外部からのモード設定指令に従って、検出モードとして連続回転角検出モード、ロータリエンコーダモードのいずれかを検出処理部12に設定する。
検出処理部12は、連続回転角検出モードが設定されているときには、上述のように、計測開始時に、傾斜角センサ9が検出している鉛直方向に対するベース1の傾斜角をθrefとして記憶する。そして、以降、回転角センサ8が検出している、ベース1に対する回転軸100に固定された検出用回転シャフト5の回転角をθ1、傾斜角センサ9が検出している鉛直方向に対するベース1の傾斜角をθdetとして、
θ2=θdet-θref
θ=θ1+θ2
によって算出した回転軸100の回転角θを、無線通信インタフェース13を介して外部に無線通信により出力する処理を繰り返し行う。
次に、検出処理部12は、ロータリエンコーダモードが設定されているときには、計測開始時に、傾斜角センサ9が検出している鉛直方向に対するベース1の傾斜角をθrefとして記憶する。そして、以降は、
θ2=θdet-θref
θ=θ1+θ2
によって算出した回転軸100の回転角θが所定の単位角度増減したときにパルス信号を、無線通信インタフェース13を介して外部に無線通信により出力する処理を行う。
以上、本発明の第1の実施形態について説明した。
以下、本発明の第2の実施形態について説明する。
本第2実施形態に係る回転角検出装置の構成は、図1に示した第1実施形態に係る回転角検出装置の構成に、加速度センサを追加した構成を備えている。
ここで、図4aに、図1a1の断面線A-Aによる、本第2実施形態に係る回転角検出装置の断面を示す。本第2実施形態に係る回転角検出装置の加速度センサ41はベース1に固定されており、図4bに前後方向に見たウエイト7、傾斜角センサ9、加速度センサ41の配置を示す。加速度センサ41は、ベース1の回転中心軸上の位置に、回転角センサ8と前後方向に見て重なるようにベース1に固定される。そして、加速度センサ41は、ベース1の回転中心軸上の位置の当該回転中心軸と垂直な2軸方向について加速度を検出する。ここで、このように加速度センサ41はベース1の回転中心軸上の位置に配置されているので、加速度センサ41が検出する加速度は、回転軸100の移動によって生じた回転角検出装置の全体の移動の加速度を表すものとなる。
次に、図5に、本第2実施形態に係る信号処理系10の機能構成を示す。
図示するように、本第2実施形態では、信号処理系10の検出処理部12において、加速度センサ41で検出した加速度を考慮して、回転軸100の回転角θを算出する。
ここで、加速度センサ41と傾斜角センサ9の位置関係は固定であるので、加速度センサ41で検出した加速度の大きさ、方向より、回転軸100の移動によって生じた回転角検出装置の全体の移動により傾斜角センサ9に加わる加速度の大きさと傾斜角センサ9に対する方向は定まる。そして、上述のようにベース1に働く角加速度は小さく抑えられ、かつ、これにより、ベース1の慣性モーメントを大きく設定していることとも相まって、ベース1の回転速度も小さく抑えられるので、傾斜角センサ9にベース1の回転による力はほとんど加わらない。したがって、回転軸100の移動によって、直接、傾斜角センサ9に加わる加速度が、実質的に、傾斜角センサ9に加わる加速度となる。
そこで、検出処理部12は、加速度センサ41で検出した加速度を用いて、回転軸100の加速度をもった移動によって、直接、傾斜角センサ9に加わっている加速度により傾斜角センサ9に生じている傾斜角の検出誤差Eを算定し、傾斜角センサ9が検出している鉛直方向に対するベース1の傾斜角θdetを、
θdet' =θdet-E
によりθdetから検出誤差Eをキャンセルした傾斜角θdet'に補正する。
ここで、傾斜角センサ9に加速度が加わっている場合、図4c1に示すように、傾斜角センサ9には、加速度に対する慣性力ベクトルAと重力ベクトルGとを合成した力ベクトルFが加わり、この力Fベクトルに対する傾斜角が傾斜角センサ9において検出されることとなる。
また、図4c2に示すように、重力ベクトルGの大きさは固定であるので、慣性力ベクトルAの大きさ及び方向と、力Fベクトルの方向FDETが求まれば、重力ベクトルGの方向は定まり、この重力ベクトルGの方向と力Fベクトルの方向FDETの差が、傾斜角センサ9に加わっている加速度により傾斜角センサ9に生じている傾斜角の検出誤差Eとなる。
そして、加速度に対する慣性力ベクトルAの大きさと方向は加速度センサ41で検出した加速度より求まり、力Fベクトルの方向FDETは傾斜角センサ9において検出された傾斜角より求まるので、加速度センサ41で検出した加速度と傾斜角センサ9において検出された傾斜角より、傾斜角センサ9に生じている傾斜角の検出誤差Eを定めることができる。
そこで、検出処理部12における加速度センサ41で検出した加速度からの傾斜角センサ9に生じている傾斜角の検出誤差Eの算定は、たとえば、傾斜角センサ9で検出される傾斜角と、加速度センサ41で検出される加速度の大きさ及び方向と、傾斜角センサ9に生じる傾斜角の検出誤差Eとの関係式または対応関係を予め求めて検出処理部12に設定しておき、検出処理部12において当該関係式または対応関係と傾斜角センサ9で検出された傾斜角と加速度センサ41で検出した加速度とに従って算定すること等により行う。
そして、検出処理部12は、回転角センサ8が検出している、ベース1に対する回転軸100に固定された検出用回転シャフト5の回転角をθ1、計測開始時に傾斜角センサ9が検出していた鉛直方向に対するベース1の傾斜角をθrefとして、
θ2=θdet'-θref
θ=θ1+θ2
回転軸100の回転角θにより算出する。
なお、以上の回転軸100の回転角θの算出動作以外の他の信号処理系10の動作は第1実施形態と同様である。
以上、本発明の第2実施形態について説明した。
このような第2実施形態によれば、回転軸100の加速度をもった移動によって、傾斜角センサ9に直接加わる加速度の影響による傾斜角の検出誤差をキャンセルして、より精度よく回転軸100の回転角θを検出できるようになる。
以下、本発明の第3の実施形態について説明する。
図6aに、本第3実施形態に係る回転角検出装置の外観を示す。
いま、図中に示すように前後左右上下を定めるものとして、図6a1は回転角検出装置の前面を表し、図6a2は回転角検出装置の左側面を表し、図6a3は回転角検出装置の後面を表し、図6a4は図6a1の断面線A-Aによる回転角検出装置の断面を表し、図6a5は回転角検出装置を斜視したようすを表している。
図示するように、回転角検出装置は、ベース61、ベアリング62、検出用回転シャフト63、磁石64、ウエイト65、回転角センサ66、傾斜角センサ67、ベース1に固定された信号処理系68、加速度センサ69を備えている。
ここで、検出用回転シャフト63は、ベアリング62によって前後方向を回転軸100として回転可能にベース61を軸支している。
また、磁石64は検出用回転シャフト63の前端面に固定されており、回転角センサは、磁石64と対向する配置でベース61に固定されている。
また、加速度センサ69は、ベース61の回転中心軸上の位置に、回転角センサと前後方向に見て重なるようにベース61に固定され、ベース61の回転中心軸上の位置の当該回転中心軸と垂直な2軸方向について加速度を検出する。
また、図6bに、前後方向に見たウエイト65、加速度センサ69、傾斜角センサ67の配置を示すように、傾斜角センサ67は、回転角センサと共に、ベース61に固定されており、各々、重力を利用して重力方向(鉛直方向)に対する傾斜角、すなわち、ベース61の重力方向に対する傾斜角を検出する。
そして、ウエイト65は、ベース61の下部に固定された重りである。
ここで、このような回転角検出装置は、回転角を検出する回転軸100に検出用回転シャフト63を固定して使用する。すなわち、回転角検出装置の全体が回転軸100によって支持されている形態で、回転軸100の回転角を検出する。
次に、本第3実施形態に係る信号処理系10の構成、動作は、上述した第2実施形態に係る信号処理系10の構成、動作と同じである。
以上、本発明の第3の実施形態について説明した。
以上のように、本第3実施形態に係る回転角検出装置は、上述した第2実施形態に係る回転角検出装置において、サブベース3と第2ベアリング4を除いて、ベース1を直接、第1ベアリング2を介して検出用回転シャフト5で軸支すると共に、ウエイト7をサブベース3に代えてベース1の下部に固定した構成と等しい構成を備えている。
ここで、本第3実施形態に係る回転角検出装置によれば、ベース61は検出用回転シャフト63に軸支されていると共に、ベース61の下部にはウェイトが設けられているために、ウエイト7の重さやベース1の慣性モーメントを充分に大きく設定したり、ベアリング62の摩擦係数を充分に小さく設定することにより、回転軸100の回転や回転軸100の移動によって生じるベース1の角加速度を充分に小さく抑えることができる。
したがって、第2実施形態と同様に精度よく回転軸100の回転角θを検出することができる。
以上の第1、第2、第3実施形態に係る回転角検出装置には、ベース1/61の回転を非接触で抑制するための機構を、さらに備えるようにしてもよい。
すなわち、たとえば、図7a1に示すように、ベース1/61の外周面に、回転軸100と垂直な方向に延びるフィン701を設けるようにしてもよい。
このように設けたフィン701は、ベース1/61の回転に対する空気抵抗を増大し、ベース1/61の回転を非接触で抑制する。
また、このように設けたフィン701は、回転軸100と共に回転角検出装置の全体が移動を継続する場合、図7b1に示すように、当該移動に伴って生じるベース1/61に対する気流の方向に沿った方向に、ベース1/61の回転角を固定する。
または、たとえば、図7bに示すように、ヘリウム等を充填した気球702でベース1/61の姿勢を一定に保つ力を加えることにより、ベース1/61の回転を非接触で抑制するようにしてもよい。
または、たとえば、図7cに示すように、ベース1/61の外周等に磁石703を固定し、周辺に存在する金属等の磁性体や、別途周辺に配置した他の磁石との磁力による結合によって、ベース1/61にベース1/61の姿勢を一定に保つ力が加わるようにすることにより、ベース1/61の回転を非接触で抑制するようにしてもよい。
以上、本発明の実施形態について説明した。
以上の第1、第2、第3実施形態では、回転検出装置から外部に無線通信を介して検出した回転角θやパルス信号を出力したが、これは、回転検出装置と外部とをケーブルにより接続し、回転検出装置から外部にケーブルを介して検出した回転角θやパルス信号を出力するようにしてもよい。また、この場合には、当該ケーブルを介して回転検出装置の電源を供給するようにしてよい。
1…ベース、2…第1ベアリング、3…サブベース、4…第2ベアリング、5…検出用回転シャフト、6…磁石、7…ウエイト、8…回転角センサ、9…傾斜角センサ、10…信号処理系、11…制御部、12…検出処理部、13…無線通信インタフェース、41…加速度センサ、61…ベース、62…ベアリング、63…検出用回転シャフト、64…磁石、65…ウエイト、66…回転角センサ、67…傾斜角センサ、68…信号処理系、69…加速度センサ、100…回転軸、701…フィン、702…気球、703…磁石。

Claims (5)

  1. 回転軸の回転角を検出する回転角検出装置であって、
    前記回転軸に同軸状に固定され当該回転軸と共に回転する検出用回転シャフトと、
    前記検出用回転シャフトと同軸に回転可能に、当該検出用回転シャフトに軸支されたサブベースと、
    前記サブベースと同軸に回転可能に、当該サブベースに軸支されたベースと、
    前記ベースに対する検出用回転シャフトの回転角を検出する回転角センサと、
    前記サブベースの下部に固定されたウエイトと、
    前記ベースに固定された、鉛直方向に対する傾斜角度を検出する傾斜角センサと、
    傾斜角センサが検出した傾斜角と前記回転角センサが検出した回転角とを用いて、前記回転軸の回転角を検出する検出部とを有することを特徴とする回転角検出装置。
  2. 請求項1記載の回転角検出装置であって、
    前記検出部は、前記回転軸の回転角検出開始時の前記傾斜角センサの傾斜角に対する当該傾斜角センサが検出している傾斜角の変化を前記ベースの傾斜角として算出し、算出した前記ベースの傾斜角に前記回転角センサが検出した回転角を加算した角度を、前記回転軸の回転角として検出することを特徴とする回転角検出装置。
  3. 請求項1記載の回転角検出装置であって、
    前記ベースに固定された、当該ベースの回転軸上の位置の加速度を検出する加速度センサを有し、
    前記検出部は、前記加速度センサが検出した加速度を用いて、傾斜角センサが検出している傾斜角に含まれる当該加速度による誤差を補正し、補正後の傾斜角を用いて求まる前記ベースの傾斜角に、前記回転角センサが検出した回転角を加算した角度を、前記回転軸の回転角として検出することを特徴とする回転角検出装置。
  4. 請求項1、2または3記載の回転角検出装置であって、
    前記ベースに固定された、当該ベースの回転中心軸と垂直な方向に延びるフィンを有することを特徴とする回転角検出装置。
  5. 請求項1、2、3または4記載の回転角検出装置と、
    前記検出部が検出した前記回転軸の回転角が、所定の単位角度変化する度に、所定の信号を出力する信号出力部とを有することを特徴とするロータリエンコーダ。
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