JP6822270B2 - 成膜装置 - Google Patents
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Description
10 :処理ハウジング
15 :軸支ハウジング
16 :上開口部
17 :下開口部
18 :シール部材
20 :回転テーブル
21 :回転軸
22 :回転中心
40 :ガスガイド
41 :カバー部材
42 :ノズル
43 :ガス流路
50 :加熱コイル
60 :回転機構
61 :接続部材
62 :ガス流路
70 :支持部材
84 :上ベアリング
86 :下ベアリング
92 :ガス供給源
93 :ポンプ
95 :隙間
101 :上面
401 :下面
Claims (2)
- 原料ガスを用いてウェハの上面に膜を形成する成膜装置であって、
ハウジングと、
前記ハウジング内に配置されている回転テーブルと、
前記回転テーブルの上にウェハが配置された状態で前記回転テーブルを回転させる回転機構と、
前記回転テーブルの上に配置されたウェハの上面の中心部に向けて原料ガスを供給するノズルと、
前記回転テーブルの上に配置されたウェハの上面を覆うカバー部材を備えており、
前記ノズルに形成されているガス流路は、前記回転テーブルの上に配置されたウェハの上面の中心部のみに向けて開口しており、
ウェハの上面と前記カバー部材の下面の間の幅が、ウェハの中心部側から外周部側に向かうにしたがって広くなっており、
前記ノズルによってウェハの上面の中心部に向けて供給された原料ガスが、ウェハの上面と前記カバー部材の下面の間をウェハの中心部側から外周部側に向けて流れる、成膜装置。 - 前記カバー部材の下面は、前記ノズルの外周部からテーパー状に延びており、ガス流路が形成されていない、請求項1に記載の成膜装置。
Priority Applications (1)
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JP2017065261A JP6822270B2 (ja) | 2017-03-29 | 2017-03-29 | 成膜装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017065261A JP6822270B2 (ja) | 2017-03-29 | 2017-03-29 | 成膜装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2018170345A JP2018170345A (ja) | 2018-11-01 |
JP6822270B2 true JP6822270B2 (ja) | 2021-01-27 |
Family
ID=64020564
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2017065261A Active JP6822270B2 (ja) | 2017-03-29 | 2017-03-29 | 成膜装置 |
Country Status (1)
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-
2017
- 2017-03-29 JP JP2017065261A patent/JP6822270B2/ja active Active
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