JP6821964B2 - 光照射装置、光配向装置、制御装置、および光照射装置の運転方法 - Google Patents
光照射装置、光配向装置、制御装置、および光照射装置の運転方法 Download PDFInfo
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これに対しては、光源の種類が固定されて、波長選択フィルタのみを取り換えることで透過波長が選択される方式も考えられるが、ランプの種類によっては短波長のピークが強いとか、長波長側のピークが強いなどの特性があり、ランプとフィルタの適切な組み合わせが個別に存在するので、選択が誤っていると光源の効率良い利用が損なわれる。
更に、適切な光学フィルタが選択されるだけでなく、ランプの種類と光学フィルタの種類との組み合わせに応じた最適な条件での光照射装置の運転も求められる場合がある。例えば、所望の積算光量が得られるようにピーク照度に応じた電力で運転される場合もあるし、水銀ランプとメタルハライドランプでは封入物が異なるので、封入物の未蒸発などが生じると放射される光の分光特性が変化してしまうので冷却条件の変更が求められる場合もある。
このため、作業者は、灯具毎にランプと光学フィルタとの組み合わせが最適であるか確かめる必要がある。もちろん、実際のランプやフィルタに作業者が視覚で確認できるように表示を付すことは容易であるが、これらは灯具の内部に収納されてしまうので、いちいち灯具を開けて確認する作業は、作業者にとって負担が大きい。
以上の状況を鑑みて、本発明では、複数波長の光照射を装置1台で効率良く兼用することが容易な光照射装置を提供することを課題とする。
このような光照射装置によれば、放電ランプの種類と光学フィルタの種類との組み合わせに応じた運転条件での運転が運転制御部による制御で実現するので、複数波長それぞれで効率のよい光照射を、作業者に煩わしい作業をさせることなく実現することができる。
このような光照射装置によれば、所望の積算光量が得られる運転条件での運転が容易に実現される。
また、前記光照射装置において、前記光学フィルタが、光の波長成分の一部を透過させる第1フィルタと、その第1フィルタを透過した光の偏光成分の一部を透過させる第2フィルタとを有するものであり、前記運転制御部が、前記組み合わせに応じて警告を通知するものであってもよい。
このような光照射装置によれば、光学フィルタと放電ランプとの組み合わせが不適切であることに起因した故障などが容易に回避される。
このような光照射装置によれば、上述した封入物の相違などに応じた適切な冷却条件での運転が容易に実現し、放射光の分光特性が安定する。
また、前記光照射装置において、前記運転制御部が、前記組み合わせに応じた照射条件で前記被照射物を照射するように前記ランプ部および前記照射部の少なくとも一方を運転させるものであってもよい。
このような光照射装置によれば、例えば所望の積算光量などが容易に実現される。
このような光配向装置によれば、放電ランプの種類と光学フィルタの種類との組み合わせに応じた運転条件での運転が運転制御部による制御で実現するので、複数波長それぞれで効率のよい光照射を、作業者に煩わしい作業をさせることなく実現することができる。
このような制御装置によれば、放電ランプの種類と光学フィルタの種類との組み合わせに応じた運転条件での運転が容易に実現する。
このような運転方法によれば、放電ランプの種類と光学フィルタの種類との組み合わせに応じた運転条件での運転が容易に実現する。
図1は、本発明の光照射装置および光配向装置の一実施形態に相当する偏光光照射装置100を示す概略構成図である。
偏光光照射装置100は、光源部10と、ワークWを搬送する搬送部20とを備える。ここで、ワークWは、例えば光配向膜が形成された矩形状の基板であり、本発明にいう被照射物の一例に相当する。
偏光光照射装置100は、光源部10から偏光光(偏光した光)を照射しながら、搬送部20によってワークWを直線移動させ、ワークWの光配向膜に上記偏光光を照射して光配向処理を行う。この搬送部20が、本発明にいう照射部の一例に相当する。なお、本実施形態では、搬送部20がワークWを移動させながら光を照射するが、本発明にいう照射部は、被照射物を停止させて光を照射するものであってもよい。
各灯具30は、ワークWの搬送路が延在する方向である搬送方向に直交する方向にランプ11の長手方向を一致させた状態で設置されている。本明細書では、ワークWの搬送方向をX方向、X方向に直交する水平方向をY方向、鉛直方向をZ方向とする。
各灯具30は、エアーシリンダを内蔵してZ方向に伸縮自在な支持柱35によって支持されており、例えばメンテナンスの際に、支持柱35の伸縮によって各灯具30は上下移動する。
なお、図1では、灯具30が2灯備えられているが、本発明の光照射装置や光配向装置では1灯だけ備えられてもよく、あるいは3灯以上備えられてもよい。灯具の数は、光配向処理に必要な光量やタクトタイム等に応じて決定される。
なお、光源としては、ショートアーク放電ランプや長さの短いロングアーク放電ランプが採用されてもよい。
光配向膜の材料としては、波長254nmの光で配向されるもの、波長313nmの光で配向されるもの、波長365nmの光で配向されるものなどが知られており、光源(ランプ11)の種類は必要とされる波長に応じて適宜選択され、光源が交換される。
ランプハウス14は、その底面に、ランプ11からの放射光およびミラー12による反射光が通過する光出射口を有する。
フィルタユニット13は波長選択フィルタを有しランプハウス14の光出射口に取り付けられている。このフィルタユニット13は、当該光出射口を通過する光の波長を選択する。このフィルタユニット13は、光源の種類に応じて選択されて交換されるものである。
偏光素子ユニット19は偏光板を有しランプハウス14の光出射口に取り付けられている。この偏光素子ユニット19は、当該光出射口を通過する光の偏光を選択する。
このように、ステージ21は、搬送軸であるガイド22Aに沿ってX方向に往復移動可能に構成されている。なお、X方向駆動機構22の構成は、図1に示す構成に限定されるものではなく、ステージ21をX方向に移動可能な構成であれば任意の構成が採用され得る。例えば、X方向駆動機構22としては、ボールねじが用いられた機構も採用され得る。
ステージ21の移動経路は、光源部10の真下を通るように設計されている。搬送部20は、ワークWを光源部10による偏光光の照射領域に搬送し、且つその照射領域を通過させるように構成されている。また、搬送部20は、ワークWが照射領域を完全に通過した後、当該ワークWを折り返し、再び当該照射領域を通過させるように構成されていてもよい。
搬送部20は、ワークWを保持するステージ21の他に、偏光測定器が搭載された測定用ステージ(図示省略)を有しており、この測定用ステージは、偏光光照射装置100のメンテナンス時などに、ワークWを保持するステージ21に替えてX方向駆動機構22上に配備され、X方向駆動機構22によって駆動されることで偏光光の照射領域を通過する。そして、照射領域の通過時に、偏光光の偏光方向や消光比が測定される。偏光方向や消光比の測定値は、偏光素子ユニット19の設置位置の調整などに用いられる。この測定用ステージに搭載される偏光測定器は交換可能で、測定する光の波長に対応した種類の偏光測定器が選択されて搭載される。
図2は、灯具30の長手方向に直交する方向の断面図である。なお、図2において、ランプの点灯装置などの構成については図示を省略している。
上述したように、ミラー12は、断面が楕円形または放物線状の樋状集光鏡であり、ランプ11からの放射光を光出射口14aの方向に反射する。ミラー12は、その長手方向がランプ11の長手方向と一致するように配置されている。また、ランプ11及びミラー12は、隔壁15により囲まれたランプ部となっており、隔壁15の外側をランプハウス14が覆っている。このランプ部が、本発明にいうランプ部の一例に相当する。
ランプハウス14の底部には、ランプ部からワークWに向かって照射される光が通過する光出射口14aが形成されており、この光出射口14aにフィルタユニット13と偏光素子ユニット19が取り付けられている。
偏光素子ユニット19は、ランプ11の長手方向に沿って並んだ複数の偏光板19aと、それら複数の偏光板19aを一体に保持したフレーム19bと、フィルタユニット13を偏光素子ユニット19のフレーム19bに対して所定の間隔を空けて保持した保持ブロック19cとを備えている。
偏光素子ユニット19は、光源の種類に応じて交換される場合もあるが、本実施形態では、根源の種類に関わらず同一の偏光素子ユニット19が用いられるものとする。
フィルタユニット13が、本発明にいうフィルタ部の一例に相当するとともに、本発明にいう波長フィルタ部の一例に相当する。また、偏光素子ユニット19が本発明にいう偏光部の一例に相当する。
フィルタユニット13が適宜交換されることで波長選択フィルタ13aが選択されて、例えば上述した波長254nm、313nm、365nmの各光のうち、光配向膜の材料に適した光を含んだ波長領域の光がフィルタユニット13によって選択されることになる。
図示は省略されているが、灯具30は複数箇所で上下に分離可能な構造となっている。フィルタユニット13やランプ11の交換時には、灯具30が支持柱35の収縮によって下降し、交換対象を搭載した下部を残して上部のみが支持柱35の伸長によって上昇する。これにより、交換対象のフィルタユニット13やランプ11が露出し、上方からの作業で交換可能となる。
図3は、偏光光照射装置100の機能構造を表した機能ブロック図である。
偏光光照射装置100には、上述したように、複数の灯具30を有する光源部10やステージ21が備えられ、灯具30にはランプ11、フィルタユニット13、偏光素子ユニット19、送風機(ブロア)17が備えられている。また、偏光光照射装置100には、上記で図示が省略された偏光測定器53も備えられている。
また、偏光光照射装置100には、偏光光照射装置100全体を制御する制御部60と、制御部60における制御に必要な情報を記憶する記憶部70も備えられている。
また、ランプ識別器111によってランプ11の種類を検知するランプ種類検知器41と、フィルタ識別器131によって波長選択フィルタの種類を検知するフィルタ種類検知器43が備えられており、ランプ11が接続されていることを検知する接続検知器42も備えられている。
偏光測定器53の偏光測定器識別器531は、例えば、コネクタに組み込まれたジャンパー線からなり、ジャンパー線の接続パターンで偏光測定器53の種類が表されている。
図4は、ランプ11の検知構成の具体例を示す図である。
ランプ11は、放電管112と給電線113を有し、給電線113の末端は給電プラグ114となっている。給電プラグ114が給電ソケット511に差し込まれることによってランプ11に電力が供給される。接続検知器42としては、例えば給電ソケット511に差し込まれた給電プラグ114によって物理的に押されるスイッチなどが用いられる。接続検知器42は、給電プラグ114の差し忘れなどを確実に検知できる接触式の手段が望ましい。
図5には、ランプハウス14の端部が開放された状態の灯具30が示されていて、ランプハウス14内にはフィルタユニット13の端部が見えている。フィルタユニット13のフレーム13bの端部にはフィルタ識別器131が取り付けられている。
本実施形態では、フィルタ識別器131は、遮光ブロック133が2ヶ所取り付け可能なブロック保持バー132と、そのブロック保持バー132に取り付けられる遮光ブロック133とで形成されている。フィルタユニット13がランプハウス14内に固定されたときに各遮光ブロック133と対面する2箇所それぞれに、フィルタ種類検知器43として反射型の光学センサが設けられている。なお、フィルタ種類検知器43としては、反射型の光学センサに限らず、透過型や光学以外の形式のセンサであってもよいが、多少の位置ズレが生じていても種類を検知できる非接触式の手段が望ましい。
ランプハウス14内に配備されたフィルタユニット13には遮光ブロック133が最大2箇所に取り付けられており、各遮光ブロック133と対面する2箇所にフィルタ種類検知器43の光学センサが設けられている。2箇所に設けられたフィルタ種類検知器43の光学センサを区別するためここでは「センサA」「センサB」と称する。
また、本実施形態では、遮光ブロック133の取り付けパターンと対応付けられるフィルタの種類としては、波長254nmの光による照射を目的としてこの波長以下の短波長をカットする254フィルタと、波長365nmの光による照射を目的としてこの波長以下の短波長をカットする365フィルタと、およびフィルタが形成されていないただの石英基板との3種類が用いられるものとする。
図6(B)には、センサAと対面する箇所に遮光ブロック133が取り付けられ、センサBと対面する箇所には遮光ブロック133が存在しない取り付けパターンが示されている。この取り付けパターンに対応して、センサAはオフ状態、センサBはオン状態となる。この取り付けパターンは、例えば365フィルタに対応付けられる。
図6(C)には、2箇所の双方に遮光ブロック133が取り付けられた取り付けパターンが示されている。この取り付けパターンに対応して、センサAとセンサBの両方がオフ状態となる。この取り付けパターンは、例えば石英基板に対応付けられる。
このように、遮光ブロック133の取り付けパターンによってフィルタの種類が検知される。
図3に示す偏光光照射装置100には、偏光光照射装置100全体の制御系として制御部60が備えられている。この制御部60は、具体的には、例えばプログマラブルロジックコントローラ(PLC)であり、本発明にいう運転制御部の一例に相当する。
制御部60は、ランプ判定部61、フィルタ判定部62、点灯条件設定部63、冷却条件設定部64、測定器判定部65を有し、ランプ判定部61は、ランプ種類検知器41と接続検知器42によって検知された情報から、ランプ11の種類や接続状態を判定する。フィルタ判定部62は、フィルタ種類検知器43によって検知された情報から、フィルタユニット13におけるフィルタの種類を判定する。測定器判定部65は、偏光測定器識別器531のジャンパー線パターンから偏光測定器53の種類を判定する。
偏光光照射装置100には、記憶部70として例えばATAカードが備えられており、記憶部70には、ランプ種別情報71、フィルタ種別情報72、点灯条件情報73、冷却条件情報74、積算光量管理情報75が記憶される。このうち、ランプ種別情報71およびフィルタ種別情報72は、ランプ判定部61およびフィルタ判定部62により判定されて表示部80の光源情報表示部81,82に表示される情報と同じ情報である。
制御部60の冷却条件設定部64は、投入電力の設定値に基づいて、ブロア17による冷却条件としてインバータ52の駆動周波数を設定する。投入電力と駆動周波数との対応関係も記憶部70に積算光量管理情報75の一部として記憶されており、冷却条件設定部64は、投入電力の設定値を積算光量管理情報75と参照して駆動周波数を得る。
このように設定された情報は、記憶部70に、点灯条件情報73、冷却条件情報74として記憶される。
図7は、ランプ11およびフィルタの種類と積算光量との対応関係が設定されるパラメータ設定画面を示す図である。
パラメータ設定画面90は複数のページで構成されており、パラメータ設定画面90にはページを変更する変更ボタン95,96が設けられている。そして、パラメータ設定画面90の各ページには、例えば3つの対応設定欄91が設けられている。そして、各対応設定欄91は、ランプ入力欄92とフィルタ入力欄93と積算光量入力欄94を有している。ランプ入力欄92にはランプの種類が入力され、フィルタ入力欄93にはフィルタの種類が入力され、積算光量入力欄94には積算光量の値が入力される。そして、1つの対応設定欄91に入力されたランプの種類とフィルタの種類と積算光量の値が互いに対応付けられて記憶部70に記憶される。なお、ランプの種類とフィルタの種類との組合せとして適当でないものについては、この例では積算光量入力欄94に「設定無し」が入力されるものとする。
図8には、3種類のランプと3種類のフィルタが組み合わされた9個の組合せが例示されていて、これら9個の組合せが対応表150の形式で記憶部70に記憶されているものとする。
対応表150中の9個の組合せのうち、例えば組合せNo.2の行に記載されたオゾン有りの水銀ランプと365フィルタとの組合せについては、設定積算光量が「設定無し」となっている。オゾン有りの水銀ランプが光源として用いられる場合は、通常は254nmの光が照射光として用いられるので、254nmの光をカットする365フィルタとの組合せは適当ではなく、選択ミスの可能性があるからである。
同様に、例えば組合せNo.4の行と、組合せNo.7の行に記載された組合せについても、選択ミスの可能性がある組合せなので設定積算光量が「設定無し」となっている。
インバータ設定画面160も複数のページで構成されており、図9にはメインページが示されている。
このメインページには、投入電力に対するインバータの駆動周波数を設定するサブページを呼び出すインバータ設定ボタン161が、ランプの各種類に対応付けて設けられている。このインバータ設定ボタン161が操作されることで、ランプの種類毎のサブページが表示され、そのサブページ上でインバータの駆動周波数が設定されることとなる。
また、インバータ設定画面160には、ページを変更する変更ボタン162,163や、メインページに復帰するメインボタン164も設けられている。
図10には、投入電力と駆動周波数との対応関係を表した対応表171,172,173が示されている。
図10(A)に示す対応表171は、オゾン有りの水銀ランプについて設定された対応関係を表している。この対応表171が表す対応関係は階段関数であり、投入電力が100W/cm未満の間はインバータはオフ状態で、投入電力が100W/cmに達するとインバータの駆動周波数は10Hzに上がる。また、投入電力が200W/cmに達するとインバータの駆動周波数は20Hzに上がり、投入電力が300W/cmに達するとインバータの駆動周波数は30Hzに上がる。
このような階段関数で表された対応関係に従って、投入電力から駆動周波数が得られることとなる。
図11〜図13は、制御部60による設定の手順を示すシーケンス図であり、図11には手順の前段部分が示され、図12には手順の中段部分が示され、図13には手順の後段部分が示されている。
制御部60によって偏光光照射装置100の電源がオンとなると、制御部60には記憶部70から図8や図10に例示したような設定情報が読み出される(図11のステップS101)。
ランプ無しアラームを受けて作業者は、上述したように灯具を昇降させて灯具のカバーを開く、このとき制御部60ではカバーの開放を検知してカバー開アラームをアラーム表示部83に表示させる(ステップS104)。作業者は、灯具にランプを搭載してカバーを閉める。これにより、カバー開アラームとランプ無しアラームがリセットされる(ステップS105)。
その後、制御部60のランプ判定部61は、接続検知器42によりランプの有無を再度確認し、ランプ有りという検知結果を得る(ステップS106)。ランプがはじめから搭載されていた場合にはこのステップS106から手順が開始される。
ランプ情報読み取り失敗処理が開始されると、制御部60は表示部80にランプ種別読取失敗ウィンドウを表示させ、作業者(オペレータ)の操作によってランプの種類が選択される(ステップS109)。このように選択されたランプの種類は、制御部60によって、現在搭載されているランプの種類として管理される(ステップS110)。
このようにランプの種類が確定すると、次に、制御部60のフィルタ判定部62が、フィルタ種類検知器43によりフィルタの種類を検知する(ステップS114)。そして、制御部60は、ランプの種類とフィルタの種類との組合せを、図11のステップS101で読み出した設定情報と比較する(ステップS115)。比較の結果、ランプの種類とフィルタの種類との組合せが、積算光量が設定されている組合せと不一致であった場合には、表示部80のアラーム表示部83に種別不一致アラームが表示される(ステップS116)。
このように、ランプの種類とフィルタの種類との組合せが設定情報と不一致の場合に警告が発せられることで作業者のミスが回避される。
入れ替え作業後、再び制御部60のフィルタ判定部62が、フィルタ種類検知器43によりフィルタの種類を検知し、制御部60は、ランプの種類とフィルタの種類との組合せを設定情報と比較する(ステップS118)。
比較の結果、ランプの種類とフィルタの種類との組合せが、積算光量が設定されている組合せと一致した場合には、表示部80に、種別が一致し点灯可能な状態になったことが表示され、種別不一致アラームのリセット処理が行われる(ステップS119)。
このように、ランプの種類とフィルタの種類との組合せに基づいて運転条件が決定されることにより、偏光光照射装置100は複数波長のいずれでも安全に運転されることになる。
制御部60は、図10に示す対応表が表す階段関数に投入電力を当てはめてインバータの駆動周波数を得、その駆動周波数をインバータ52に設定する。そしてインバータ52は、設定された周波数で駆動を開始して、駆動の完了を制御部60に通知する(ステップS123)。
ランプの点灯完了とインバータの駆動完了の通知を受けた制御部60は、表示部80を介して作業者に点灯完了を通知する(ステップS124)。
最後に制御部60は、各種の設定パラメータを記憶部70に書込み、設定パラメータの書込みが正常に完了すると記憶部70から制御部60に完了の通知が送られる。
このような手順で偏光光照射装置100の運転条件が設定され、運転が実行される。
Claims (8)
- 複数種類の放電ランプのうちから選択された放電ランプが搭載され、その搭載された放電ランプからの光を放出するランプ部と、
光が有する波長成分と偏光成分の少なくとも一方について成分の一部を透過させる光学フィルタであって、複数種類の光学フィルタのうちから選択された光学フィルタが搭載され、その搭載された光学フィルタを、前記ランプ部から放出された光に作用させるフィルタ部と、
前記フィルタ部の光学フィルタを透過した光を被照射物に照射する照射部と、
前記ランプ部に搭載された放電ランプの種類を検出するランプ検出器と、
前記フィルタ部に搭載された光学フィルタの種類を検出するフィルタ検出器と、
前記ランプ検出器によって検出された放電ランプの種類と前記フィルタ検出器によって検出された光学フィルタの種類との組み合わせに応じた運転条件で本光照射装置を運転させる運転制御部とを備えたことを特徴とする光照射装置。 - 前記光学フィルタが、光の波長成分の一部を透過させるものであり、
前記運転制御部が、前記光学フィルタを透過した光で前記組み合わせに応じた積算光量を実現するように本光照射装置を制御することを特徴とする請求項1に記載の光照射装置。 - 前記光学フィルタが、光の波長成分の一部を透過させる第1フィルタと、その第1フィルタを透過した光の偏光成分の一部を透過させる第2フィルタとを有するものであり、 前記運転制御部が、前記組み合わせに応じて警告を通知するものであることを特徴とする請求項1または2に記載の光照射装置。
- 前記ランプ部を冷却する冷却器を備え、
前記運転制御部が、前記組み合わせに応じた冷却条件で前記冷却器を運転させるものであることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の光照射装置。 - 前記運転制御部が、前記組み合わせに応じた照射条件で前記被照射物を照射するように
前記ランプ部および前記照射部の少なくとも一方を運転させるものであることを特徴とす
る請求項1から4のいずれか1項に記載の光照射装置。 - 複数種類の放電ランプのうちから選択された放電ランプが搭載され、その搭載された放電ランプからの光を放出するランプ部と、
光が有する波長成分の一部を透過させる波長フィルタであって、複数種類の波長フィルタのうちから選択された波長フィルタが搭載され、その搭載された波長フィルタを、前記ランプ部から放出された光に作用させる波長フィルタ部と、
光が有する偏光成分の一部を透過させる偏光板であって、複数種類の偏光板のうちから選択された偏光板が搭載され、その搭載された偏光板を、前記波長フィルタ部を透過した光に作用させる偏光部と、
前記偏光板を透過した光を被照射物に照射する照射部と、
前記ランプ部に搭載された放電ランプの種類を検出する第1検出器と、
前記波長フィルタ部に搭載された波長フィルタおよび前記偏光部に搭載された偏光板のうち少なくとも一方いついて種類を検出する第2検出器と、
前記第1検出器によって検出された放電ランプの種類と前記第2検出器によって検出された種類との組み合わせに応じた運転条件で本光配向装置を運転させる運転制御部とを備えたことを特徴とする光配向装置。 - 複数種類の放電ランプのうちから選択された放電ランプが搭載され、その搭載された放電ランプからの光を放出するランプ部と、光が有する波長成分と偏光成分の少なくとも一方について成分の一部を透過させる光学フィルタであって、複数種類の光学フィルタのうちから選択された光学フィルタが搭載され、その搭載された光学フィルタを、前記ランプ部から放出された光に作用させるフィルタ部と、前記フィルタ部の光学フィルタを透過した光を被照射物に照射する照射部とを備えた光照射装置のランプ部に搭載された放電ランプの種類を取得し、
前記フィルタ部に搭載された光学フィルタの種類を取得し、
前記放電ランプの種類と前記光学フィルタの種類との組み合わせに応じた運転条件で、前記光照射装置を運転させることを特徴とする制御装置。 - 複数種類の放電ランプのうちから選択された放電ランプが搭載され、その搭載された放電ランプからの光を放出するランプ部と、光が有する波長成分と偏光成分の少なくとも一方について成分の一部を透過させる光学フィルタであって、複数種類の光学フィルタのうちから選択された光学フィルタが搭載され、その搭載された光学フィルタを、前記ランプ部から放出された光に作用させるフィルタ部と、前記フィルタ部の光学フィルタを透過した光を被照射物に照射する照射部とを備えた光照射装置のランプ部に搭載された放電ランプの種類を検出するランプ検出過程と、
前記フィルタ部に搭載された光学フィルタの種類を検出するフィルタ検出過程と、
前記ランプ検出過程で検出された放電ランプの種類と前記フィルタ検出過程で検出された光学フィルタの種類との組み合わせに応じた運転条件で前記光照射装置を運転させる運転過程とを経ることを特徴とする光照射装置の運転方法。
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