JP6818977B2 - 電磁超音波センサ - Google Patents
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Description
そこで、特許文献1の電磁超音波センサでは、被検査物に対向する主磁石の表面形状を、複雑な形状(中央部が凹んだアーチ型の曲面)にして、磁束を集束させ受信感度を高くして、圧電素子に比べて低い感度を補うようにしている。
本発明は、上述の問題に鑑みてなされたものであり、より簡便な機構で被検査物の内部での磁束密度を高めることができ、検出感度を向上させることができる電磁超音波センサを提供することを目的とする。
即ち、本発明の電磁超音波センサは、被検査物の内部に渦電流を発生させるコイルと、当該コイルを挟んで前記被検査物の反対側に配備されると共に前記被検査物を貫通する向きに静磁場を形成する主磁石とを備え、前記被検査物の内部に渦電流と静磁場との相互作用で超音波を発生させる電磁超音波センサであって、前記主磁石の側方には、当該主磁石の磁束密度を高める補助磁石が設けられており、前記補助磁石は、前記主磁石のN極とS極とを結ぶ磁気ポールの向きと直交する向きに当該補助磁石の磁気ポールを向けて配備されていることを特徴とする。
る第1の導線群と、前記第1の導線群とは電流の向きが反対の第2の導線群とを有しており、前記主磁石は、前記第1の導線群に対応した第1の主磁石と、前記第2の導線群に対応した第2の主磁石とを有しているとよい。
なお、好ましくは、前記中央補助磁石に、前記第1の主磁石及び第2の主磁石よりも保磁力が高い磁石が用いられているとよい。
側部補助磁石を有しているとよい。
なお、好ましくは、前記主磁石と補助磁石と結ぶヨークが設けられているとよい。
また、本発明に係る電磁超音波センサの最も好ましい形態は、被検査物の内部に渦電流を発生させるコイルと、当該コイルを挟んで前記被検査物の反対側に配備されると共に前記被検査物を貫通する向きに静磁場を形成する主磁石とを備え、前記被検査物の内部に渦電流と静磁場との相互作用で超音波を発生させる電磁超音波センサであって、前記主磁石の側方には、当該主磁石の磁束密度を高める補助磁石が設けられており、前記補助磁石は、前記主磁石のN極とS極とを結ぶ磁気ポールの向きと直交する向きに当該補助磁石の磁気ポールを向けて配備されており、前記コイルは、前記被検査物の表面に沿って一方向に電流が流れる第1の導線群と、前記第1の導線群とは電流の向きが反対の第2の導線群とを有しており、前記主磁石は、前記第1の導線群に対応した第1の主磁石と、前記第2の導線群に対応した第2の主磁石とを有しており、前記補助磁石は、前記第1の主磁石と第2の主磁石との間に中央補助磁石を有しており、前記中央補助磁石は、前記第1の主磁石または第2の主磁石よりも狭幅に形成されており、前記中央補助磁石に、前記第1の主磁石及び第2の主磁石よりも保磁力が高い磁石が用いられており、前記補助磁石は、前記第1の主磁石及び第2の主磁石の両方の主磁石の外側方に側部補助磁石を有していることを特徴とする。
以下、本発明の電磁超音波センサ1の実施形態を、図面に基づき詳しく説明する。
図1は、第1実施形態の電磁超音波センサ1を模式的に示したものである。
図1に示すように、第1実施形態の電磁超音波センサ1は、金属などの被検査物Wの内部に存在する疵の検査及び被検査物Wの厚み測定を行う超音波探傷に使用される探触子に取り付けられるセンサである。つまり、この探触子は、電磁気的な作用で直接被検査物Wに超音波を伝達させる電磁超音波探傷の探触子(EMAT : Electro Magnetic Acoustic Transducer)となっている。
ところで、上述した従来例の電磁超音波センサ101では、被検査物Wに対して接触せずに(非接触で)超音波を伝達させることができる反面、圧電素子を用いた超音波センサなどに比べて受信感度が二桁も低くなるという課題がある。つまり、従来例の電磁超音波センサ101において探傷などの感度を高めるためには、探触子から出力される信号強度あるいは探触子で受信される信号強度を高める必要があり、これらの信号強度の向上には被検査物Wの内部での磁束密度を高めることが必要となる。例えば、主磁石103に磁力の強い磁石を用いれば磁束密度を高めることは理論的には可能であるが、現実的には主磁石103の磁力をさらに強くすることは困難なことが多い。
具体的には、本実施形態の電磁超音波センサ1の補助磁石4は、主磁石3のN極とS極とを結ぶ磁気ポールの向きと直交する向きに、自らの磁気ポール(補助磁石4の磁気ポール)を向けるようにして配備されている。このように補助磁石4を主磁石3の側方に配備すれば主磁石3から被検査物Wの内部に放射される磁力線が歪められ、被検査物Wの内部における磁束密度を高めることが可能となる。
以降の第1実施形態では、主磁石3及び補助磁石4に合わせて5個の磁石を用いた横波用の電磁超音波センサ1を例に挙げて、第1実施形態の電磁超音波センサ1を構成する主磁石3、コイル2、補助磁石4について、詳しく説明する。
さらに、第1の主磁石8及び第2の主磁石9には、電磁超音波センサ1(EMATセンサ)として磁束密度を大きくすることが求められるので、図4の実線で示すような保磁力の大きな磁石ではなく、図4の点線で示すような磁束密度の大きい材質の磁石が好適に用いられる。
これらの補助磁石4は、主磁石3の側方に設けられて、主磁石3の磁束密度を高める作用を備えており、いずれも主磁石3の磁気ポールの向きと直交する向きに自らの磁気ポール(補助磁石4自身の磁気ポール)を向けるようにして配備されている。
中央補助磁石10に主磁石3よりも左右方向に狭幅で保磁力が高い磁石を用いるのは、主磁石3の減磁ではなく、中央補助磁石10自体の減磁の影響を小さくするためである。つまり、着磁方向の厚みが大きい磁石(主磁石3のような磁石)ではあまり外部磁場による減磁を考慮しなくてもよい。しかし、着磁方向の厚みが薄い磁石(本実施形態の中央補助磁石10のような磁石)では外部磁場による減磁の影響が顕著に出やすくなる。
また、左側側部補助磁石11Lは、この左側側部補助磁石11LのN極が中央補助磁石10のN極と対面し合うように(N極を右側に向けて)、配備されている。さらに、右側側部補助磁石11Rは、この右側側部補助磁石11RのS極が中央補助磁石10のS極と対面し合うように(S極を左側に向けて)、配備されている。
実際に、図6に示すように第1実施形態と従来例の電磁超音波センサ101の磁束密度をシミュレーションで計算すると、第1実施形態の電磁超音波センサ(点線)では、従来例の電磁超音波センサ(実線)に比べて、超音波の駆動に必要となる縦方向(上下方向)の磁束密度が大きくなっていることがわかる。
そこで、上述した第1実施形態では、補助磁石4の寸法形状や保磁力(残留磁束密度)を好ましくは規定して、センサ全体として見た場合に減磁の影響を小さくして、被検査物Wの内部での磁束密度を大きく向上させるようにしている。
つまり、図7A及び図7Bの結果は、厚みが100mmのアルミ板を対象に、受信側に従来例の磁石配列の電磁超音波センサ101を用い、送信側に第1実施形態及び従来例の磁石配列の電磁超音波センサ1、101を用いて、受信信号を計測したものとなっている。図7Aに示す第1実施形態の磁束密度の結果は、図7Bに示す従来例の受信信号よりも1.5倍程度まで信号強度が高くなっており、第1実施形態の電磁超音波センサ1が従来例のものより感度が高いことがわかる。また、図7Aは受信のみの結果であるが、送受信両方を合わせると1.5倍の2乗である2.25倍程度までは送受信の効率を向上させることが可能である。
[第2実施形態]
次に、本発明の第2実施形態の電磁超音波センサ1について説明する。
なお、上述した第2実施形態は、中央補助磁石10を残したまま、第1実施形態から側部補助磁石11の個数を減らした例であったが、中央補助磁石10を残したまま、第1実施形態から側部補助磁石11の個数を増やすことも考えられる。ただ、側部補助磁石11の個数を2個以上に増やしても、磁束密度向上の効果は第1実施形態の場合と比べてあまり変化はなく、磁束密度向上の効果は磁石数が5個の状態で飽和状態となり、それ以上磁石数を増加させても磁束密度は高くならない。そのため、本明細書では側部補助磁石11を2個以上設けた例についての説明を省略するが、本発明には2個以上の側部補助磁石11を設けた磁石配列も当然ながら含まれる。
[第3実施形態]
次に、本発明の第3実施形態の電磁超音波センサ1について説明する。
つまり、図10A及び図10Bに示すように、第3実施形態の電磁超音波センサ1に設けられるコイル2は円形の板状とされており、導線5を渦巻き状態で巻き回したものとなっている。また、第3実施形態の電磁超音波センサ1に設けられる主磁石3(中心主磁石3)は、上下方向に軸心を向けた円柱形状に形成されており、補助磁石4はこの中心主磁石3の周囲に配備された同軸の円筒形状となっている。さらに、図10Aは、1個の円柱状の中心主磁石3の周囲に1個の円筒状の補助磁石4を同軸状に配備した場合(磁石2個の場合)であるが、図10Bに示すように1個の円筒状の補助磁石4の周囲にさらに径の大きな円筒状の側部補助磁石11を同軸状に配備したような電磁超音波センサ1(磁石3個の電磁超音波センサ1)を用いても、図11に示す従来例(1個の円形型コイル102と1個の円柱形状の磁石103を利用した電磁超音波センサ101)に比べれば被検査物Wに対する磁束密度を向上させることができる。
[第4実施形態]
次に、本発明の第4実施形態の電磁超音波センサ1について説明する。
つまり、図13Aに示す第4実施形態の電磁超音波センサ1は、第1の主磁石8と第2の主磁石9との間に、補助磁石4として中央補助磁石10が配備されたもの、言い換えれば3個の磁石を備えた構成となっている。また、図13Bに示す第4実施形態の変形例の電磁超音波センサ1は、第1の主磁石8と第2の主磁石9との間に、補助磁石4として中央補助磁石10を備えるのみでなく、第1の主磁石8及び第2の主磁石9の外側方に側部補助磁石11が配備されたもの、言い換えれば5個の磁石を備えた構成となっている。
[第5実施形態]
次に、本発明の第5実施形態の電磁超音波センサ1について説明する。
また、図16の結果から、主磁石3、補助磁石4を合わした磁石の個数(電磁超音波センサ1に使用される磁石の個数)が多い方が、言い換えれば磁石3個の場合よりも5個の場合の方が電磁超音波センサ1の送受信効率を高めることができることがわかる。
2 コイル
3 主磁石
4 補助磁石
5 導線
6 第1導線群
7 第2導線群
8 第1の主磁石
9 第2の主磁石
10 中央補助磁石
11 側部補助磁石
11L 左側側部補助磁石
11R 右側側部補助磁石
12 ヨーク
108 第1の主磁石
109 第2の主磁石
101 従来例の電磁超音波センサ
102 従来例のコイル
103 従来例の主磁石
W 被検査物
Claims (2)
- 被検査物の内部に渦電流を発生させるコイルと、当該コイルを挟んで前記被検査物の反対側に配備されると共に前記被検査物を貫通する向きに静磁場を形成する主磁石とを備え、前記被検査物の内部に渦電流と静磁場との相互作用で超音波を発生させる電磁超音波センサであって、
前記主磁石の側方には、当該主磁石の磁束密度を高める補助磁石が設けられており、
前記補助磁石は、前記主磁石のN極とS極とを結ぶ磁気ポールの向きと直交する向きに当該補助磁石の磁気ポールを向けて配備されており、
前記コイルは、前記被検査物の表面に沿って一方向に電流が流れる第1の導線群と、前記第1の導線群とは電流の向きが反対の第2の導線群とを有しており、前記主磁石は、前記第1の導線群に対応した第1の主磁石と、前記第2の導線群に対応した第2の主磁石とを有しており、
前記補助磁石は、前記第1の主磁石と第2の主磁石との間に中央補助磁石を有しており、前記中央補助磁石は、前記第1の主磁石または第2の主磁石よりも狭幅に形成されており、
前記中央補助磁石に、前記第1の主磁石及び第2の主磁石よりも保磁力が高い磁石が用いられており、
前記補助磁石は、前記第1の主磁石及び第2の主磁石の両方の主磁石の外側方に側部補助磁石を有している
ことを特徴とする電磁超音波センサ。 - 前記主磁石と補助磁石とを結ぶヨークが設けられていることを特徴とする請求項1に記載の電磁超音波センサ。
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