JP6817648B1 - Electronic component processing equipment - Google Patents
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Abstract
【課題】電子部品の位置決め精度の向上に有効な電子部品の処理装置を提供する。【解決手段】本開示の一側面に係る電子部品の処理装置は、所定の配置領域を通る搬送用循環軌道の中心軸まわりに旋回可能な旋回部と、搬送用循環軌道に位置するように旋回部に設けられた電子部品保持部と、所定の変位方向において、旋回部に対する電子部品保持部の変位を可能にする保持位置可変部と、電子部品を保持した電子部品保持部を配置領域に配置するように中心軸まわりに旋回部を旋回させる旋回駆動部と、配置領域に配置された電子部品保持部を変位方向の一方側に移動させるように配置領域に設けられた変位駆動部と、を備える。保持位置可変部は、変位方向に交差して電子部品保持部と旋回部とを接続する複数枚の平行な板ばねを有する。【選択図】図3PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a processing device for an electronic component which is effective for improving the positioning accuracy of the electronic component. SOLUTION: A processing device for an electronic component according to one aspect of the present disclosure has a swivel portion that can swivel around a central axis of a transport circulation orbit passing through a predetermined arrangement region, and swivels so as to be located in the transport circulation orbit. The electronic component holding portion provided in the portion, the holding position variable portion that enables the displacement of the electronic component holding portion with respect to the swivel portion in a predetermined displacement direction, and the electronic component holding portion that holds the electronic component are arranged in the arrangement area. A swivel drive unit that swivels the swivel portion around the central axis, and a displacement drive unit provided in the displacement region so as to move the electronic component holding portion arranged in the disposition area to one side in the displacement direction. Be prepared. The variable holding position portion has a plurality of parallel leaf springs that intersect in the displacement direction and connect the electronic component holding portion and the swivel portion. [Selection diagram] Fig. 3
Description
本開示は、電子部品の処理装置に関する。 The present disclosure relates to a processing device for electronic components.
特許文献1には、ターンテーブルと、ターンテーブルの外周端に取り付けられた電子部品保持装置とを備える電子部品検査装置が開示されている。電子部品検査装置は、電子部品の載置位置に対して昇降可能な吸着ノズルを有し、この吸着ノズルを載置位置に下降させて、載置位置に電子部品を離脱させ、あるいは載置位置から電子部品を取得する。
本開示は、電子部品の位置決め精度の向上に有効な電子部品の処理装置を提供する。 The present disclosure provides an electronic component processing apparatus effective for improving the positioning accuracy of electronic components.
本開示の一側面に係る電子部品の処理装置は、所定の配置領域を通る搬送用循環軌道の中心軸まわりに旋回可能な旋回部と、搬送用循環軌道に位置するように旋回部に設けられた電子部品保持部と、所定の変位方向において、旋回部に対する電子部品保持部の変位を可能にする保持位置可変部と、電子部品を保持した電子部品保持部を配置領域に配置するように中心軸まわりに旋回部を旋回させる旋回駆動部と、配置領域に配置された電子部品保持部を変位方向の一方側に移動させるように配置領域に設けられた変位駆動部と、を備える。保持位置可変部は、変位方向に交差して電子部品保持部と旋回部とを接続する複数枚の平行な板ばねを有する。 The electronic component processing device according to one aspect of the present disclosure is provided in a swivel portion that can swivel around the central axis of a transport circulation orbit that passes through a predetermined arrangement region, and a swivel portion that is located in the transport circulation orbit. The electronic component holding portion, the holding position variable portion that enables the displacement of the electronic component holding portion with respect to the swivel portion in a predetermined displacement direction, and the electronic component holding portion that holds the electronic component are centered so as to be arranged in the arrangement area. It includes a swivel drive unit that swivels the swivel unit around an axis, and a displacement drive unit provided in the displacement area so as to move the electronic component holding unit arranged in the disposition area to one side in the displacement direction. The variable holding position portion has a plurality of parallel leaf springs that intersect in the displacement direction and connect the electronic component holding portion and the swivel portion.
本開示によれば、電子部品の位置決め精度の向上に有効な電子部品の処理装置が提供される。 According to the present disclosure, an electronic component processing device effective for improving the positioning accuracy of electronic components is provided.
以下、実施形態について、図面を参照しつつ詳細に説明する。説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。 Hereinafter, embodiments will be described in detail with reference to the drawings. In the description, the same elements or elements having the same function are designated by the same reference numerals, and duplicate description will be omitted.
本実施形態に係る電子部品の処理装置1は、所謂ダイソータであり、ダイシングなどの前工程で形成された電子部品Wを搬送しながら、外観検査、電気特性検査、マーキング等の処理を施した上でテープ、コンテナチューブ、トレイ等の収容部材に梱包する装置である。以下に例示する処理装置1は、部品供給部から受け取った電子部品Wに検査等の各種処理を施し、当該電子部品Wを基板等にボンディングすることなく収容部材に梱包する装置である。
The electronic
図1及び図2に示されるように、処理装置1は、回転搬送部10と、コントローラ100とを備える。回転搬送部10は、電子部品Wを循環軌道CR(搬送用循環軌道)に沿って移動させる。搬送対象の電子部品Wは、互いに平行な二か所の主面Wa,Wbと、主面Wa,Wbを囲む外周面Wcとを有してもよい(図3参照)。回転搬送部10は、旋回部20と、複数の電子部品保持部50と、複数の保持位置可変部70と、旋回駆動部60と、変位駆動部80とを有する。
As shown in FIGS. 1 and 2, the
旋回部20は、複数の配置領域ARを通る循環軌道CRの中心軸Axまわりに旋回可能である。旋回部20は、中心軸Axまわりに旋回可能に設けられるターンテーブル22と、複数の接続部24とを有する。ターンテーブル22の外周は、循環軌道CRよりも内側に位置している。例えば循環軌道CRは水平な円軌道であり、中心軸Axは鉛直である。
The
複数の配置領域ARは、循環軌道CRに沿って互いに等間隔となるように設定されてもよい。複数の配置領域ARは、旋回部20が旋回しても動かない領域である。例えば、循環軌道CRを通る複数の配置領域ARの少なくとも一部では、旋回部20から処理部16への電子部品Wの受け渡しが行われる。処理部16の具体例としては、電子部品Wを供給する部品供給部、電子部品Wを回収し、収容部材に梱包する回収部、及び部品供給部と回収部との間で電子部品Wに対して所定の処理を施す中間処理部が挙げられる。中間処理部としては、電子部品Wの外観検査を行う検査部、電子部品Wの電気特性を検査する検査部、及び電子部品Wにマーキングを施すマーキング部等が挙げられる。複数の接続部24は、ターンテーブル22の外周に沿って等間隔に並び、それぞれターンテーブル22から外周側に突出している。
The plurality of arrangement regions AR may be set so as to be evenly spaced from each other along the circulation orbit CR. The plurality of arrangement areas AR are areas that do not move even if the turning
複数の電子部品保持部50は、循環軌道CRに位置するように旋回部20に設けられている。例えば、複数の電子部品保持部50は、循環軌道CRに沿って等間隔に配置されており、複数の接続部24にそれぞれ取り付けられている。なお、本明細書において、「取り付けられる」とは、直接取り付けられる場合だけでなく、他の部材を介して取り付けられる場合も含まれる。一例として、複数の電子部品保持部50の数と複数の配置領域ARの数とは同じであってもよい。複数の電子部品保持部50が循環軌道CRに沿って配置されるピッチ角度(互いに隣り合う電子部品保持部50同士の間の角度)と、複数の配置領域ARが循環軌道CRに沿って配置されるピッチ角度とは同じであってもよい。
The plurality of electronic
複数の電子部品保持部50のそれぞれは、電子部品Wを保持する。電子部品保持部50は、いかなる方式で電子部品Wを保持してもよい。電子部品Wを保持する方式の具体例としては、負圧(真空)吸着、静電気式の吸着、及び把持等が挙げられる。例えば、電子部品保持部50は、ターンテーブル22に直交する方向(図示Z軸方向)の一方側から主面Wa,Wbのいずれか一方を負圧により吸着する。
Each of the plurality of electronic
図2に示されるように、保持位置可変部70は、旋回部20と電子部品保持部50との間を接続し、所定方向において、旋回部20に対する電子部品保持部50の変位を可能にする。以下では、保持位置可変部70により電子部品保持部50が変位可能となる方向を「変位方向」と称する。例えば、保持位置可変部70は、ターンテーブル22に対して垂直な方向(図示Z軸方向)において、電子部品保持部50の変位を可能にする。一例として、保持位置可変部70は、搬送位置と載置位置との間で電子部品保持部50の変位を可能にする。
As shown in FIG. 2, the holding
搬送位置は、旋回部20が旋回する際に電子部品保持部50が配置される位置であり、例えば、ターンテーブル22と同じ高さ位置に設定されている。載置位置は、処理部16に対する電子部品Wの受け渡しを行う位置であり、搬送位置よりも下方の(Z軸負方向の)位置に設定されている。
The transport position is a position where the electronic
旋回駆動部60は、中心軸Axまわりに旋回部20を旋回させる。旋回駆動部60は、例えば電動モータを動力源とし、ギヤを介さないダイレクトドライブによって中心軸Axまわりにターンテーブル22を回転させる。複数の電子部品保持部50はターンテーブル22に取り付けられているので、ターンテーブル22の回転に伴って複数の電子部品保持部50が循環軌道CRに沿って移動する(中心軸Axまわりに回転する)。旋回駆動部60は、複数の電子部品保持部50のそれぞれを一の配置領域ARに順に配置するように旋回部20を旋回させる。例えば、旋回駆動部60は、複数の配置領域ARに複数の電子部品保持部50がそれぞれ一時停止するように、旋回部20を間欠的に旋回させる。これにより、一の配置領域ARには、複数の電子部品保持部50のうちのいずれか1つが順次一時停止する。
The
図3に示されるように、電子部品保持部50は、吸着ノズル52と、ノズルホルダ54と、接続ブロック55とを有してもよい。
As shown in FIG. 3, the electronic
吸着ノズル52は、循環軌道CRに位置している。吸着ノズル52は、下方に開口しており、電子部品Wの主面Wa,Wbのいずれか一方を上方から負圧により吸着する。例えば、吸着ノズル52は、ターンテーブル22に対して垂直に延びており、その下端部が下方に開口している。電子部品保持部50は、制御信号の入力に応じて吸着ノズル52による負圧吸着のオン及びオフを切り替えるためのバルブ(不図示)を更に有する。バルブの具体例としては、電磁バルブ等が挙げられる。
The
ノズルホルダ54は、吸着ノズル52を保持する。吸着ノズル52は、ノズルホルダ54から下方に突出している。接続ブロック55は、ノズルホルダ54に対してターンテーブル22側に隣接しており、接続部24に対向している。以下、接続ブロック55の外表面のうち接続部24に対向する面を「内面55a」といい、接続部24の外表面のうち接続ブロック55に対向する面を「外面24a」という。
The
保持位置可変部70は、複数枚の平行な板ばねを有する。保持位置可変部70は、例えば、2枚の平行な板ばねを有する。以下では、2枚の板ばねのうちの一方を「板ばね72a」とし、他方を「板ばね72b」として説明する。
The holding position
板ばね72a,72bは、電子部品保持部50の変位方向に交差して電子部品保持部50と旋回部20とを接続する。例えば、板ばね72a,72bは、互いに離れて上下に並び、それぞれ水平に延びて接続ブロック55の内面55aと接続部24の外面24aとを接続する。板ばね72aと板ばね72bとの間隔は、ターンテーブル22の厚さよりも大きくてもよい。2枚の平行な板ばね72a,72bが、電子部品保持部50と旋回部20とを接続することにより、旋回部20に対する電子部品保持部50が変位する方向(電子部品保持部50の移動動作)が規制される。すなわち、板ばね72a,72bは、旋回部20に対する電子部品保持部50の移動をガイドする機能を有する。
The
板ばね72aと板ばね72bとは、同じばね特性を有するように形成されていてもよい。例えば、板ばね72aと板ばね72bとは、互いに同じ材料で構成されている。また、板ばね72aと板ばね72bとは、同一形状を有している。なお、同一形状とは、板ばね72aが板ばね72bに完全に一致する場合だけでなく、略一致する場合も含まれる。
The
変位駆動部80は、配置領域ARに配置された電子部品保持部50を変位方向の一方側に移動させる。例えば、変位駆動部80は、鉛直方向において電子部品保持部50を下方に移動させる。回転搬送部10は、複数の変位駆動部80を備えてもよい。複数の変位駆動部80は、複数の配置領域ARのそれぞれ設けられている。複数の変位駆動部80は、複数の配置領域ARにそれぞれ固定されており、旋回部20が旋回しても移動しない。なお、電子部品保持部50を変位させる必要がない配置領域ARには、変位駆動部80が設けられていなくてもよい。一の変位駆動部80は、当該変位駆動部80が固定された配置領域ARに順次配置されてくる電子部品保持部50を変位方向の一方側に移動させる。
The
図2に戻り、回転搬送部10は、複数の変位駆動部80を固定する(保持する)固定板90を更に備えてもよい。固定板90は、例えば、旋回部20のターンテーブル22の上方に配置される板状の部材である。固定板90は、ターンテーブル22と共に旋回しないように構成されている。複数の変位駆動部80は、複数の配置領域ARにそれぞれ位置する状態で固定板90に固定されている。このため、複数の変位駆動部80は、旋回部20が旋回しても動かない。
Returning to FIG. 2, the
変位駆動部80は、例えば、本体部81と、プッシャー82と、駆動部84とを有する。本体部81は、ターンテーブル22(旋回部20)と共に旋回しないように配置領域ARに固定される。例えば、本体部81は、固定板90の外縁部のうちの配置領域ARに対応する部分に固定されている。プッシャー82は、本体部81に対して変位方向に沿って変位可能となるように本体部81に設けられる。例えば、プッシャー82は、上下方向に沿って移動可能となるように本体部81に保持されている。プッシャー82は、電子部品保持部50が配置領域ARに位置する状態において、当該電子部品保持部50の上方に位置する。駆動部84は、電動モータ又はエアシリンダ等を動力源としてプッシャー82を下方に移動させる。これにより、プッシャー82によって電子部品保持部50が下方に押される。変位駆動部80から電子部品保持部50への力の作用点(以下、「作用点P1」という。)の位置と、吸着ノズル52の位置とが、変位方向に直交する方向において異なっていてもよい。
The
図3に示されるように、プッシャー82は、電子部品保持部50が配置領域ARに位置する状態において接続ブロック55の上方に位置し、電子部品保持部50を下方に押す際に接続ブロック55の上面55bに接する。すなわち、変位駆動部80から電子部品保持部50への力の作用点P1は、接続ブロック55の上面55bに位置している。接続ブロック55の上面55bに下向きの力を付与した状態を変位駆動部80が解除すると、板ばね72a,72bの反力によって電子部品保持部50が変位前の位置に復帰する。
As shown in FIG. 3, the
保持位置可変部70は、補助ばね78を更に有してもよい。補助ばね78は、変位方向の他方側に向かって電子部品保持部50を押す。例えば補助ばね78は、変位駆動部80が電子部品保持部50を押す方向の反対方向に電子部品保持部50を押す。補助ばね78から電子部品保持部50への力の作用点(以下、「作用点P2」という。)の位置と、変位駆動部80から電子部品保持部50への力の作用点P1の位置とは、変位方向に直交する方向(図示X軸方向)において互いに異なっていてもよい。
The holding position
一例として、電子部品保持部50は拡張部56(第1拡張部)を更に有し、接続部24は拡張部28(第2拡張部)を更に有し、補助ばね78は拡張部56と拡張部28との間に設けられている。拡張部56は、接続ブロック55の内面55aから接続部24の外面24aに向かって突出している。拡張部28は、接続部24の外面24aから接続ブロック55の内面55aに向かって突出している。拡張部28は、拡張部56よりも下方に位置しており、拡張部28の上面28aが拡張部56の下面56bに対向している。
As an example, the electronic
補助ばね78は、例えばコイルばね(圧縮コイルばね)である。補助ばね78は、その中心軸が変位方向に沿った状態で拡張部28と拡張部56との間に配置されており、補助ばね78の下端は拡張部28の上面28aに接し、補助ばね78の上端は拡張部56の下面56bに接している。補助ばね78は、電子部品保持部50が搬送位置から載置位置まで変位した際に、載置位置から搬送位置に向かう方向に電子部品保持部50に力を付与する。
The
接続部24及び電子部品保持部50の少なくとも一方は、補助ばね78の変形方向が変位方向に沿うようにガイドするガイドピン32を有してもよい。例えば接続部24はガイドピン32を更に有し、電子部品保持部50はガイド孔58を更に有している。ガイドピン32は、拡張部28から拡張部56に向かって突出している。ガイドピン32は、例えば円柱状に形成されている。ガイド孔58は、ガイドピン32に対応する位置において拡張部56を貫通している。例えば、ガイド孔58は、拡張部56を鉛直方向(図示Z軸方向)に貫通している。
At least one of the connecting
ガイド孔58にはガイドピン32の端部が通される。ガイド孔58の内径は、ガイドピン32の端部の外径よりも大きい。このため、ガイドピン32の外周面とガイド孔58の内周面との間には隙間が設けられている。この隙間は、変位方向に垂直な方向への電子部品保持部50の変位量よりも大きく設定されている。なお、変位方向に垂直な方向への電子部品保持部50の変位は、変位方向への板ばね72a,72bの撓みに伴って生じる変位である。補助ばね78は、ガイドピン32を囲むように配置されている。これにより、補助ばね78の変形方向がガイドピン32に沿った方向に規制される。
The end of the
拡張部28は、少なくとも板ばね72a,72bの少なくとも一方を拡張部56との間に挟むように配置されていてもよく、補助ばね78は、板ばね72a,72bのうち拡張部56と拡張部28との間に位置する板ばねを貫通して拡張部56と拡張部28とに接していてもよい。拡張部56及び拡張部28の一方が板ばね72a,72bの間に位置し、拡張部56及び拡張部28の他方が板ばね72a,72bの間の外に位置していてもよい。
The
一例として、拡張部28が板ばね72a,72bの間に位置し、拡張部56が板ばね72a,72bの間の外に位置している。より具体的に、拡張部56は板ばね72aよりも上に位置している。すなわち、拡張部28は、拡張部56との間に板ばね72aを挟むように配置されている。例えば拡張部56は接続ブロック55の上端寄りに位置しており、接続ブロック55の上面55bと拡張部56の上面56aとは面一となっている。拡張部56は、ターンテーブル22よりも上方に位置していてもよい。
As an example, the
板ばね72aは、ガイドピン32が貫通する開口76aを有する。開口76aは、板ばね72aを鉛直に貫通している。ガイドピン32が貫通しない板ばね72bが、開口76aと同様の開口76bを有していてもよい。板ばね72bにおける開口76bの位置、形状及び大きさは、板ばね72aにおける開口76aの位置、形状及び大きさと同じであってもよい。これにより、ガイドピン32が板ばね72aを貫通し、板ばね72bを貫通しない場合であっても、板ばね72bのばね特性を板ばね72aのばね特性と実質的に同じにすることができる。開口76a,76bの大きさは、少なくともガイドピン32よりも大きく、更にガイド孔58よりも大きくてもよい。
The
拡張部28,56及び板ばね72a,72bの互いの配置関係は、上述の例に限られない。拡張部28、板ばね72b、拡張部56、及び板ばね72aが、この順で下方から配置されていてもよい。すなわち、板ばね72a,72bの間には拡張部56が位置し、板ばね72a,72bの外(板ばね72bの下方)に拡張部28が位置していてもよい。このように、拡張部56が、拡張部28との間に板ばね72bを挟む位置に配置されていてもよい。この例では、板ばね72aが、拡張部28と拡張部56との間に位置していなくてもよく(拡張部56の上方に位置していてもよく)、板ばね72bが、拡張部28と拡張部56との間に位置していてもよい。この場合、板ばね72aの開口76aには、ガイドピン32及び補助ばね78が貫通しておらず、板ばね72bの開口76bに、ガイドピン32及び補助ばね78が貫通していてもよい。
The arrangement relationship between the
拡張部28及び拡張部56が、板ばね72a,72bの間に位置していてもよい。この場合、板ばね72a,72bの開口76a,76bにガイドピン32及び補助ばね78が貫通していてもよい。拡張部28及び拡張部56が、板ばね72a,72bの外に位置していてもよい。すなわち、拡張部28及び拡張部56が、板ばね72aの上方又は板ばね72bの下方に位置していてもよい。この場合、板ばね72a,72bには、開口76a,76bが設けられていなくてもよい。
The
保持位置可変部70は、板ばね72a,72bに加えて、少なくとも1枚の別の板ばねを有していてもよい。図3に示される例において、少なくとも1枚の別の板ばねが、拡張部28の下方に設けられてもよく、あるいは、拡張部28と拡張部56との間に設けられてもよい。また、拡張部28の下方に1枚以上の別の板ばねが設けられ、さらに、拡張部28と拡張部56との間に1枚以上の別の板ばねが設けられてもよい。別の板ばねは、板ばね72a,72bと同じ材料により、同じ形状に形成されてもよい。当該別の板ばねにも、開口76a(開口76b)と同じ開口が設けられてもよい。なお、板ばね72a,72bの間に拡張部56が位置し、板ばね72a,72bの外に拡張部28が位置する場合においても、少なくとも1枚の別の板ばねが同様に設けられてもよい。
The holding position
図3及び図4に示される例では、上方から見て板ばね72a,72bと重なる位置において、補助ばね78が設けられているが、板ばね72a,72bと重ならない位置において補助ばね78が設けられてもよい。この場合、板ばね72a,72bには開口76a,76bが設けられていなくてもよく、上方から見て、拡張部28,56が、板ばね72a,72bと重なっていなくてもよい。保持位置可変部70は、補助ばね78を有していなくてもよい。この場合、拡張部28、ガイドピン32、及び拡張部56が設けられていなくてもよい。
In the examples shown in FIGS. 3 and 4, the
旋回部20は、補助ばね78が電子部品保持部50を押す方向(例えば上方)への電子部品保持部50の移動を規制する規制部34を更に有してもよい。例えば旋回部20は、ガイドピン32の上端に設けられた規制部34を更に有する。規制部34は、ガイド孔58を通過することができない(ガイド孔58の周縁部と干渉する)形状及び大きさに形成されている。一例として、図4に示されるように、規制部34の形状は、上方から見て、最大幅がガイド孔58の径よりも大きい多角形である。
The
規制部34は、電子部品保持部50が上記搬送位置に位置する際に、拡張部56の上面56aに接する高さに配置されている。これにより、電子部品保持部50が搬送位置よりも上方に移動しようとしても、規制部34に接してその移動が妨げられる。補助ばね78は、拡張部56が規制部34に接した状態において、拡張部56を規制部34に押し付けるように構成されていてもよい。例えば、補助ばね78の自然長が、拡張部56が規制部34に接した状態における拡張部56と拡張部28との間隔よりも長くてもよい。
The
変位駆動部80による電子部品保持部50の変位に対し補助ばね78が生じる反力は、当該変位に対し板ばね72a,72bが生じる反力の合計よりも大きくてもよい。例えば、上記変位に対する補助ばね78のばね定数は、板ばね72a,72bに対するばね定数の2〜20倍であってもよく、5〜15倍であってもよく、8〜12倍であってもよい。
The reaction force generated by the
コントローラ100は、予め設定された制御手順で回転搬送部10を制御するコンピュータである。この制御において、コントローラ100は、少なくとも、電子部品保持部50に電子部品Wを保持させた状態で、当該電子部品保持部50をいずれかの配置領域ARに移動させるように旋回駆動部60を制御することと、配置領域ARに移動した電子部品保持部50を鉛直方向において搬送位置から載置位置に変位させるように変位駆動部80を制御することとを実行するように構成されている。
The
旋回駆動部60が旋回部20を旋回させる期間において、電子部品保持部50は上記搬送位置に配置される。電子部品保持部50が搬送位置にあるときには、補助ばね78によって拡張部56が規制部34に押し付けられる。このため、旋回部20の移動に伴う電子部品保持部50の振動が抑制される。配置領域ARに配置された電子部品保持部50を載置位置に変位させる際には、当該配置領域ARに位置する変位駆動部80がプッシャー82を下降させる。プッシャー82が初期位置から所定量下降すると、図5(a)に示されるように、プッシャー82が接続ブロック55に接触する。
During the period in which the
そして、変位駆動部80がプッシャー82により作用点P1に力を更に加えると、プッシャー82が電子部品保持部50を押す力が、板ばね72a,72b及び補助ばね78の反力を上回り、電子部品保持部50が下方に移動する。この際に、図5(b)に示されるように、板ばね72a,72bが略平行な状態を保ちながら変形するので、電子部品保持部50の姿勢は略一定に保たれる。すなわち電子部品保持部50は、吸着ノズル52を鉛直下方に向けた状態を実質的に保ちながら下方に変位する。
Then, when the
なお、電子部品保持部50が下方に変位すると、変位前に水平であった板ばね72a,72bは、接続ブロック55の内面55aと接続部24の外面24aとの間で撓むこととなる。このため、内面55aと外面24aとの間隔は、板ばね72a,72bの全長よりも短くなる。これにより、電子部品保持部50は、旋回部20の中心軸Axに向かって水平方向にも変位することとなる。電子部品保持部50の下方への変位が板ばね72a,72bの全長よりも微小である限り、電子部品保持部50の水平方向への変位は微小である。上述したように、ガイド孔58とガイドピン32との間の隙間が、変位方向に垂直な方向(図示X軸方向)への電子部品保持部50の変位量よりも大きく設定されていれば、水平方向への電子部品保持部50の変位に起因する電子部品保持部50とガイドピン32との接触、擦れが抑制される。
When the electronic
変位駆動部80がプッシャー82により作用点P1に力を加えた状態(電子部品保持部50が載置位置に位置する状態)において、電子部品保持部50と処理部16との間で電子部品Wの受け渡しが行われる。例えば、吸着ノズル52に保持されている電子部品Wの吸着が解除され、当該電子部品Wが電子部品保持部50から処理部16に渡される。そして、変位駆動部80は、作用点P1に加わる力を減少させる。作用点P1に加わる力が減少すると、板ばね72a,72b及び補助ばね78の反力が、プッシャー82が電子部品保持部50を押す力を上回り、電子部品保持部50が上方に変位する。
In a state where the
その後、電子部品保持部50(拡張部56)が規制部34に当たり、電子部品保持部50の上昇が停止し、プッシャー82が電子部品保持部50から離れる。これにより、電子部品保持部50が再び旋回(搬送)可能な状態に戻される。なお、電子部品Wを保持していない電子部品保持部50が処理部16から電子部品Wを受け取る際も、電子部品保持部50の下降及び上昇が同様に行われてもよい。
After that, the electronic component holding unit 50 (expansion unit 56) hits the regulating
以上説明したように、本開示の一側面に係る処理装置1は、所定の配置領域ARを通る循環軌道CRの中心軸Axまわりに旋回可能な旋回部20と、循環軌道CRに位置するように旋回部20に設けられた電子部品保持部50と、所定の変位方向において、旋回部20に対する電子部品保持部50の変位を可能にする保持位置可変部70と、電子部品Wを保持した電子部品保持部50を配置領域ARに配置するように中心軸Axまわりに旋回部20を旋回させる旋回駆動部60と、配置領域ARに配置された電子部品保持部50を変位方向の一方側に移動させるように配置領域ARに設けられた変位駆動部80と、を備える。保持位置可変部70は、上記変位方向に交差して電子部品保持部50と旋回部20とを接続する2枚の平行な板ばね72a,72bを有する。
As described above, the
所定の変位方向における電子部品保持部50の変位を案内する機構としては、当該変位方向に沿った電子部品保持部50の移動を案内するスライドガイドが挙げられる。しかしながら、スライドガイドには、構造上のガタが不可欠であり、変位方向に垂直な方向への電子部品保持部の移動を完全には規制できない。また、摩耗等に起因して、ガタが経年的に増大することも考えられる。これに対し、変位方向に交差して電子部品保持部50と旋回部20とを接続する2枚の平行な板ばね72a,72bを有する保持位置可変部70によれば、板ばね72a,72bに沿った方向への電子部品保持部50の移動をガタなく規制しつつ、板ばね72a,72bに垂直な方向への電子部品保持部50の移動を許容することができる。
Examples of the mechanism for guiding the displacement of the electronic
なお、板ばね72a,72bの変形によって電子部品保持部50の変位を可能にする機構によれば、上記変位方向に垂直な方向への電子部品保持部50の変位(以下、「垂直変位」という。)も生じることとなる。この変位については、変位方向への変位量に比較して板ばね72a,72bの長さを十分に大きく設定することで、垂直変位を微小に抑えることが可能である。また、垂直変位の大きさは、スライドガイドにおける構造上のガタの大きさに比較して経時的に変化し難いので、垂直変位を見込んだ位置を目標位置とすれば位置決め精度を向上させることができ、その位置決め精度を長期的に維持することができる。従って、電子部品Wの位置決め精度の向上に有効である。
According to the mechanism that enables the displacement of the electronic
変位駆動部80は、旋回部20と共に旋回しないように配置領域ARに固定された本体部81と、変位方向に沿って変位可能となるように本体部81に設けられ、変位方向の一方側に向かって電子部品保持部50を押すプッシャー82と、変位方向に沿ってプッシャー82を移動させる駆動部84とを有してもよい。変位駆動部80が旋回部20と共に旋回せずに配置領域ARに設けられることで、当該配置領域ARにおいて電子部品保持部50を変位させる機構が簡素化される。
The
処理装置1は、複数の電子部品保持部50と、複数の保持位置可変部70と、を備えてもよい。複数の電子部品保持部50は、旋回部20に対する複数の電子部品保持部50の変位をそれぞれ可能にする。旋回駆動部60は、複数の電子部品保持部50のそれぞれを配置領域ARに順に配置するように旋回部20を旋回させる。この場合、複数の電子部品保持部50により複数の電子部品Wを同時に搬送することができる。従って、電子部品Wの効率的な処理に有効である。
The
変位駆動部80は、変位方向の一方側に向かって電子部品保持部50を押すように構成されてもよい。保持位置可変部70は、変位方向の他方側に向かって電子部品保持部50を押す補助ばね78を更に有してもよい。板ばね72a,72bによれば、ガタなしで電子部品保持部50の移動方向の規制が可能になる一方で、板ばね72a,72bによる反力は、板ばね72a,72bの厚さのばらつきに応じてそれぞればらつき易い。一方、補助ばね78には、電子部品保持部50の移動方向を規制する機能を考慮せずに、反力の大きさを調節し易いばねを用いることができる。このため、保持位置可変部70が補助ばね78を更に有する上記構成によれば、保持位置可変部70が電子部品保持部50に付与する反力をより高い精度で調節することができる。
The
旋回部20は、補助ばね78が電子部品保持部50を押す方向への電子部品保持部50の移動を規制する規制部34を更に有してもよい。この場合、電子部品保持部50を規制部34に押し当てることによって、電子部品保持部50と旋回部20との接続部の剛性が高められる。また、その剛性の強さは、補助ばね78による反力の大きさによって適宜調節することができる。これにより、旋回部20の回転及び停止に応じた電子部品保持部50の振動を抑制することができるので、旋回部20の回転速度を高め易い。旋回部20の回転速度を高めることは、電子部品Wの処理効率の更なる向上に有効である。
The
補助ばね78から電子部品保持部50への力の作用点P2と、変位駆動部80から電子部品保持部50への力の作用点P1とが、変位方向に直交する方向において異なっていてもよい。この場合、2枚の板ばね72a,72bによる電子部品保持部50の姿勢保持機能を利用して、省スペース化を図ることができる。
The point of action P2 of the force from the
電子部品保持部50は、旋回部20に向かって突出した拡張部56を有してもよい。旋回部20は、拡張部56との間に少なくとも2枚の板ばね72a,72bのいずれかを挟む位置にて電子部品保持部50に向かって突出した拡張部28を有してもよい。補助ばね78は、2枚の板ばね72a,72bのうち拡張部56と拡張部28との間に位置する板ばねを貫通して拡張部56と拡張部28とに接していてもよい。この場合、2枚の板ばね72a,72bの間の一部を補助ばね78の配置スペースとして利用することで、省スペース化を更に図ることができる。
The electronic
拡張部56及び拡張部28の一方は2枚の板ばね72a,72bの間に位置し、拡張部56及び拡張部28の他方は2枚の板ばね72a,72bの外に位置していてもよい。この場合、2枚の板ばね72a,72bの間を拡張部56又は拡張部28の配置スペースとして利用することで、省スペース化を更に図ることができる。
Even if one of the
2枚の板ばね72a,72bのうち、拡張部28と拡張部56との間に位置する板ばねは補助ばね78が貫通する開口を有し、拡張部28と拡張部56との間に位置しない板ばねも上記開口と同じ開口を有してもよい。この場合、補助ばね78が貫通しない板ばねにも、補助ばねが貫通する板ばねと同じ開口を設けることで、省スペース化と位置決め精度との両立をより確実に図ることができる。
Of the two
電子部品保持部50は、拡張部56を貫通するガイド孔58を有してもよい。旋回部20は、拡張部28から拡張部56に向かって突出し、ガイド孔58を貫通して補助ばね78をガイドするガイドピン32を有してもよい。ガイド孔58とガイドピン32との間の隙間は、変位方向に垂直な方向への電子部品保持部50の変位量よりも大きく設定されていてもよい。この場合、2枚の板ばね72a,72bの変形に従った電子部品保持部50の変位を、ガイド孔58とガイドピン32との接触により妨げることなく、補助ばね78をガイドすることができる。これにより、保持位置可変部70が電子部品保持部50に付与する反力をより高い精度で調節することができる。
The electronic
変位駆動部80による電子部品保持部50の変位に対し補助ばね78が生じる反力は、当該変位に対し2枚の板ばね72a,72bが生じる反力の合計よりも大きくてもよい。この場合、保持位置可変部が電子部品保持部に付与する反力をより高い精度で調節することができる。
The reaction force generated by the
以上、実施形態について説明したが、本発明は必ずしも上述した形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変形が可能である。 Although the embodiments have been described above, the present invention is not necessarily limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made without departing from the gist thereof.
1…処理装置、20…旋回部、28…拡張部、32…ガイドピン、34…規制部、56…拡張部、60…旋回駆動部、70…保持位置可変部、72a,72b…板ばね、78…補助ばね、80…変位駆動部、90…固定板、AR…配置領域、CR…循環軌道、Ax…中心軸。 1 ... processing device, 20 ... swivel part, 28 ... expansion part, 32 ... guide pin, 34 ... regulation part, 56 ... expansion part, 60 ... swivel drive part, 70 ... holding position variable part, 72a, 72b ... leaf spring, 78 ... Auxiliary spring, 80 ... Displacement drive unit, 90 ... Fixed plate, AR ... Arrangement area, CR ... Circulation trajectory, Ax ... Central axis.
Claims (5)
前記搬送用循環軌道に位置するように前記旋回部に設けられた電子部品保持部と、
所定の変位方向において、前記旋回部に対する前記電子部品保持部の変位を可能にする保持位置可変部と、
電子部品を保持した前記電子部品保持部を前記配置領域に配置するように前記中心軸まわりに前記旋回部を旋回させる旋回駆動部と、
前記配置領域に配置された前記電子部品保持部を前記変位方向の一方側に移動させるように前記配置領域に設けられた変位駆動部と、を備え、
前記変位駆動部は、前記変位方向の一方側に向かって前記電子部品保持部を押すように構成され、
前記保持位置可変部は、複数枚の平行な板ばねと、補助ばねとを有し、
前記複数枚の平行な板ばねそれぞれは、前記変位方向に交差する方向に沿って延びて前記電子部品保持部と前記旋回部とを接続し、
前記補助ばねは、前記変位駆動部に押されて前記変位方向の一方側に変位した前記電子部品保持部を、前記変位方向の他方側に向かって押すように構成されている、電子部品の処理装置。 A swivel part that can swivel around the central axis of the transport circulation track that passes through a predetermined arrangement area,
An electronic component holding portion provided in the swivel portion so as to be located in the transport circulation track, and
A holding position variable portion that enables displacement of the electronic component holding portion with respect to the swivel portion in a predetermined displacement direction,
A rotation driving section to the electronic component holder holding the electronic parts to pivot the pivoting part about said central axis so as to place said placement area,
A displacement drive unit provided in the arrangement area so as to move the electronic component holding unit arranged in the arrangement area to one side in the displacement direction is provided.
The displacement drive unit is configured to push the electronic component holding unit toward one side in the displacement direction.
The holding position varying section, possess parallel leaf springs of several sheets double and an auxiliary spring,
Each of the plurality of parallel leaf springs extends along a direction intersecting the displacement direction to connect the electronic component holding portion and the swivel portion.
The auxiliary spring is configured to push the electronic component holding portion displaced to one side in the displacement direction by the displacement drive unit toward the other side in the displacement direction. apparatus.
前記旋回部と共に旋回しないように前記配置領域に固定された本体部と、
前記変位方向に沿って変位可能となるように前記本体部に設けられ、前記変位方向の一方側に向かって前記電子部品保持部を押すプッシャーと、
前記変位方向に沿って前記プッシャーを移動させる駆動部とを有する、請求項1記載の電子部品の処理装置。 The displacement drive unit
A main body fixed to the arrangement area so as not to turn together with the turning part,
A pusher provided on the main body so as to be displaceable along the displacement direction and pushes the electronic component holding portion toward one side in the displacement direction.
The electronic component processing apparatus according to claim 1, further comprising a drive unit for moving the pusher along the displacement direction.
前記保持位置可変部を含む複数の保持位置可変部と、を備え、
前記複数の保持位置可変部は、前記旋回部に対する前記複数の電子部品保持部の変位をそれぞれ可能にし、
前記旋回駆動部は、前記複数の電子部品保持部のそれぞれを前記配置領域に順に配置するように前記旋回部を旋回させる、請求項1又は2記載の電子部品の処理装置。 A plurality of electronic component holding units including the electronic component holding unit, and
A plurality of holding position variable portions including the holding position variable portion are provided.
The plurality of variable holding position portions enable displacement of the plurality of electronic component holding portions with respect to the swivel portion.
The electronic component processing device according to claim 1 or 2, wherein the swivel drive unit swivels the swivel portion so that each of the plurality of electronic component holding portions is sequentially arranged in the arrangement region.
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