JP6814605B2 - D/a変換回路、a/d変換回路、駆動システム - Google Patents
D/a変換回路、a/d変換回路、駆動システム Download PDFInfo
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- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 title claims description 142
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 47
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 15
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 claims 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 34
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 24
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 15
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 13
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 12
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 12
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000001934 delay Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
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- Analogue/Digital Conversion (AREA)
Description
31 昇降シリンダ(駆動ユニット)
34 切換バルブ(駆動ユニット)
36 第1のセンサ(センサ)
37 第2のセンサ(センサ)
42 CPU
44 記憶部
51 D/A変換回路
52 D/A変換器
54 記憶部(第1の記憶部)
55 D/A変換回路の入力端子
56 D/A変換回路の出力端子
61 A/D変換回路
62 A/D変換器
64 記憶部(第2の記憶部)
65 A/D変換回路の入力端子
66 A/D変換回路の出力端子
Claims (1)
- 駆動ユニットに対する駆動信号を第1のデジタル信号として出力するCPUと、
該第1のデジタル信号を第1のアナログ信号に変換して該駆動ユニットに中継するD/A変換回路と、
該第1のアナログ信号による該駆動ユニットの駆動を検出した検出信号を第2のアナログ信号として出力するセンサと、
該第2のアナログ信号を第2のデジタル信号に変換して該CPUに中継するA/D変換回路とを備え、
該D/A変換回路は、該CPUから該D/A変換回路の入力端子へ入力される時の該第1のデジタル信号の入力時刻と該D/A変換回路の出力端子から該駆動ユニットへ出力される時の該第1のアナログ信号の出力時刻とを記憶する第1の記憶部を有し、該第1のデジタル信号の入力時刻と第1のアナログ信号の出力時刻との差が予め設定した基準時間より大きい際に該D/A変換回路は異常であり、該第1のデジタル信号の入力時刻と該第1のアナログ信号の出力時刻との差が予め設定した基準時間以下の際に該D/A変換回路は正常であると判断し、
該A/D変換回路は、該センサから該A/D変換回路の入力端子へ入力される時の該第2のアナログ信号の入力時刻と該A/D変換回路の出力端子から該CPUへ出力される時の該第2のデジタル信号の出力時刻とを記憶する第2の記憶部を有し、該第2のアナログ信号の入力時刻と第2のデジタル信号の出力時刻との差が予め設定した基準時間より大きい際に該A/D変換回路は異常であり、該第2のアナログ信号の入力時刻と該第2のデジタル信号の出力時刻との差が予め設定した基準時間以下の際に該A/D変換回路は正常であると判断する駆動システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016215147A JP6814605B2 (ja) | 2016-11-02 | 2016-11-02 | D/a変換回路、a/d変換回路、駆動システム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016215147A JP6814605B2 (ja) | 2016-11-02 | 2016-11-02 | D/a変換回路、a/d変換回路、駆動システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018074501A JP2018074501A (ja) | 2018-05-10 |
JP6814605B2 true JP6814605B2 (ja) | 2021-01-20 |
Family
ID=62114519
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016215147A Active JP6814605B2 (ja) | 2016-11-02 | 2016-11-02 | D/a変換回路、a/d変換回路、駆動システム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6814605B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2022196303A1 (ja) * | 2021-03-18 | 2022-09-22 | ローム株式会社 | 遅延回路および半導体装置 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0784006A (ja) * | 1993-09-20 | 1995-03-31 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体集積回路 |
JP2013162484A (ja) * | 2012-02-08 | 2013-08-19 | Sharp Corp | 画像形成装置 |
JP5956287B2 (ja) * | 2012-08-23 | 2016-07-27 | 株式会社ディスコ | 研削装置 |
JP2016040647A (ja) * | 2014-08-12 | 2016-03-24 | アズビル株式会社 | アナログ/ディジタル変換回路 |
-
2016
- 2016-11-02 JP JP2016215147A patent/JP6814605B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2018074501A (ja) | 2018-05-10 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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R250 | Receipt of annual fees |
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