JP6813572B2 - 放射線検出装置及び放射線検出用信号処理装置 - Google Patents

Description

本発明は、放射線検出装置及び当該放射線検出装置に用いられる信号処理装置に関するものである。

従来の放射線検出装置としては、特許文献１、２に示すように、ＳＤＤ（Silicon Drift Detector）等の半導体放射線検出素子を有する放射線検出部から出力される電荷の積算量を、ＣＳＡ（Charge Sensitive Amplifier）等の変換部によりその積算量に応じた積算信号（例えば電圧信号）に変換して、ＤＰＰ（Digital Pulse Processor）等のパルスプロセッサに入力する構成とされている。このパルスプロセッサは、積算信号を例えば台形波形からなるパルス信号に整形する。このパルス信号の波高値は、放射線のエネルギーに対応している。そして、このパルス信号をＭＣＡ（Multi Channel Analyzer）等のカウンタで波高別にカウントすることによって、放射線スペクトルを得ることができる。

ここで、ＣＳＡ等の変換部は、放射線検出部から出力される電荷を蓄積するためのコンデンサと、当該コンデンサに蓄積された電荷をリセット（放電）させるためのスイッチとを有している。そして、このスイッチには、コンデンサの電荷が飽和する前の所定のタイミングで外部からリセット信号を入力して、スイッチを所定時間オンにしてコンデンサの電荷をリセットする必要がある。複数の出力チャネルを有する放射線検出部の場合には、当該出力チャネル毎に変換部が設けられているため、各変換部毎にリセットを行う必要がある。

特開平１０−１８６０４１号公報 特開平１１−１０９０３９号公報

ここで、複数の変換部のコンデンサをリセットする方式として、（１）各コンデンサの蓄積電荷（電圧）が所定値になった時点で、各コンデンサ毎に個別にリセットを行う非同期リセット方式と、（２）何れかのコンデンサの蓄積電荷（電圧）が所定値になった時点で、全ての変換部のコンデンサをリセットするとともに、そのリセット期間において全ての変換部が放射線検出部からの信号を取り込まない同期リセット方式とが考えられている。

しかしながら、非同期リセット方式では、リセットパルスによるクロストークがリセットされていない変換部の出力電圧にノイズとして乗ってしまい、疑似放射線入力パルスとして処理されてしまう。そうすると、放射線スペクトルの分解能を低下させたり、また、低エネルギー領域に疑似スペクトルを形成したりする。

また、同期リセット方式では、何れかのコンデンサをリセットする毎に全ての変換部が放射線検出部からの信号を取り込まないことになり、不感時間（デッドタイム）が増加してしまう。そうすると、マッピングにおいては、全ての変換部において同時に放射線入力処理ができない状況になり、リセット期間に該当する画素で極端に計数率が低下し、ドット抜けのようになってしまう。

そこで本発明は、上記問題点を一挙に解決すべくなされたものであり、リセット信号のクロストークによる悪影響を低減するとともに、不感時間（デッドタイム）の増加を抑制することをその主たる課題とするものである。

すなわち本発明に係る放射線検出装置は、放射線が入射することにより発生した電荷を出力する複数の放射線検出部と、前記複数の放射線検出部に対応して設けられ、前記発生した電荷の積算量をその積算量に応じた積算信号に変換する複数の変換部と、前記複数の変換部からの積算信号を処理して放射線情報を生成する信号処理部と、前記変換部にリセット信号を出力して前記変換部に蓄積された電荷をリセットするリセット制御部と、前記複数の変換部からの積算信号又はそれから得られた信号を用いて、何れかの変換部がリセットされたことを示すリセット情報を取得するリセット情報取得部とを備え、前記信号処理部は、前記リセット情報に基づいて、リセットされた変換部とは異なる変換部からの積算信号又はそれから得られた信号から、前記リセットに起因するノイズを除去するノイズ除去部を有することを特徴とする。

この放射線検出装置によれば、複数の変換部からの積算信号又はそれから得られた信号を用いて、何れかの変換部がリセットされたことを示すリセット情報を取得して、リセットされた変換部とは異なる変換部からの積算信号又はそれから得られた信号からリセットに起因するノイズを除去するので、リセット信号のクロストークにより、放射線スペクトルの分解能を低下させたり、低エネルギー領域に疑似スペクトルを形成したりすることを防止することができる。また、本発明は、同期リセット方式のように何れかの変換部をリセットする毎に全ての変換部が放射線検出部からの信号を取り込なまい構成では無いので、不感時間の増大を抑制することができる。さらに、変換部からの積算信号又はそれから得られた信号を用いて何れかの変換部がリセットされたことを検出しているので、リセット制御部からリセット情報を取得する必要も無い。

前記リセット情報取得部は、前記積算信号又はそれから得られた信号の変化によりリセット開始時点を取得するものであり、前記ノイズ除去部は、リセットされた変換部とは異なる変換部からの積算信号又はそれから得られた信号から、前記リセット開始時点に基づいて定まる所定期間の信号を除去するものであることが望ましい。
この構成であれば、リセット開始時点を取得するだけでよく、当該リセット開始時点に基づいて予め設定された所定期間の積算信号又はそれから得られた信号を画一的に取り除けばよいので、信号処理が容易となる。

また、前記リセット情報取得部は、前記積算信号又はそれから得られた信号の変化によりリセット終了時点を取得するものであり、前記ノイズ除去部は、リセットされた変換部とは異なる変換部からの積算信号又はそれから得られた信号から、前記リセット終了時点に基づいて定まる所定期間の信号を除去するものであることが望ましい。
この構成であれば、リセット終了時点を取得するだけでよく、当該リセット終了時点に基づいて予め設定された所定期間の積算信号又はそれから得られた信号を画一的に取り除けばよいので、信号処理が容易となる。また、リセット終了時点を取得することにより、リセット終了時点後の電圧信号を無駄に取り除くことを防ぐこともできる。

信号処理部の具体的な実施の態様としては、前記信号処理部は、前記変換部からの積算信号をパルス信号に整形する波形整形部と、前記波形整形部により整形されたパルス信号の波高値を検出する波高検出部と、前記波高検出部により得られた波高値を、波高別にカウントするカウント部とをさらに備え、前記ノイズ除去部は、前記リセット情報に基づいて、前記波高検出部により得られた波高値からノイズを除去するものであることが望ましい。

また、信号処理部の別の実施の態様としては、前記信号処理部は、前記変換部からの積算信号を所定時間遅延させる遅延部と、前記遅延部により遅延された積算信号をパルス信号に整形する波形整形部と、前記波形整形部により整形されたパルス信号の波高値を検出する波高検出部と、前記波高検出部により得られた波高値を、波高別にカウントするカウント部とをさらに備え、前記ノイズ除去部は、前記リセット情報に基づいて、前記遅延部により遅延された積算信号からクロストークノイズを除去するものであることが望ましい。

前記複数の放射線検出部は、半導体ブロックの表面が複数の放射線検出領域に分割されており、各領域に収集電極が設けられることにより構成されていることが望ましい。
この構成では、半導体ブロックに複数の収集電極が設けられており、リセットパルスのクロストークノイズが乗り易い。そのため、本発明の効果を一層顕著にすることができる。また、半導体ブロックを複数の放射線検出領域に分割することにより、各収集電極当たりの面積が小さくなり、同じドリフト電界を作るのに必要なバイアス電圧を低くできるので、リーク電流を小さくすることができ、信号のＳ／Ｎ比が向上する。

また、本発明に係る放射線検出用信号処理装置は、放射線が入射することにより発生した電荷を出力する複数の放射線検出部に対応して設けられ、前記発生した電荷の積算量をその積算量に応じた積算信号に変換する複数の変換部と、前記複数の変換部から積算信号を処理して放射線情報を生成する信号処理部と、前記変換部にリセット信号を出力して前記変換部に蓄積された電荷をリセットするリセット制御部と、前記複数の変換部からの積算信号又はそれから得られた信号を用いて、何れかの変換部がリセットされたことを示すリセット情報を取得するリセット情報取得部とを備え、前記信号処理部は、前記リセット情報に基づいて、前記リセットに起因するノイズを除去するノイズ除去部を有することを特徴とする。

このように構成した本発明によれば、複数の変換部からの積算信号又はそれから得られた信号を用いて、何れかの変換部がリセットされたことを示すリセット情報を取得して、リセットされた変換部とは異なる変換部からの積算信号又はそれから得られた信号からリセットに起因するノイズを除去するので、リセット信号のクロストークによる悪影響を低減するとともに、不感時間（デッドタイム）の増加を抑制することができる。

本実施形態のＸ線検出装置の構成を示す模式図である。 同実施形態の１つの半導体検出部に接続される回路を示す模式図である。 同実施形態のＸ線検出部の構成を示す模式図である。 同実施形態のリセット情報取得部を示す機能構成図である。 同実施形態のリセット期間における各変換部の電圧信号及びリセット変換部の電圧信号から得られたファスト系出力波形を示す図である。 変形実施形態の１つの半導体検出部に接続される回路を示す模式図である。 変形実施形態のリセット情報取得部を示す機能構成図である。 変形実施形態の信号処理の概要を示す図である。

１００・・・Ｘ線検出装置
２ ・・・Ｘ線検出部
３ ・・・変換部
４ ・・・信号処理部
４４ ・・・ノイズ除去部
４６ ・・・ノイズ除去部
５ ・・・リセット制御部
６ ・・・リセット情報取得部

以下に本発明に係る放射線検出装置の一態様であるＸ線検出装置について図面を参照して説明する。

本実施形態のＸ線検出装置１００は、図１及び図２に示すように、Ｘ線が入射することにより発生した電荷を出力する複数のＸ線検出部２と、複数のＸ線検出部２それぞれに対応して設けられ、発生した電荷の積算量をその積算量に応じた積算信号である電圧信号に変換する複数の変換部３と、複数の変換部３からの電圧信号を処理してＸ線情報を生成する信号処理部４と、を備えている。

複数のＸ線検出部２は、シリコンドリフト検出器（ＳＤＤ（Silicon Drift Detector））である。なお、シリコンドリフト検出器は、同心状の電極構造により中心部の収集電極に発生した電荷を集めるものである。そして、このシリコンドリフト検出器では、入射したＸ線を空乏層で吸収し、当該空乏層において入射したＸ線のエネルギーに比例した数の電子−正孔対が生成される。生成された電子は、シリコンドリフト検出器内の電位勾配に従って、発生した電子は収集電極（アノード）に流れる。これにより、シリコンドリフト検出器は、入射したＸ線のエネルギーに比例した電荷を出力する。

具体的に複数のＸ線検出部２は、図３に示すように、単一の半導体ブロック２００の表面が複数のＸ線検出領域Ｒ１〜Ｒ４に分割されており、各領域Ｒ１〜Ｒ４に収集電極Ｅ１〜Ｅ４が設けることにより単一の検出器として構成されている。つまり、各Ｘ線検出領域Ｒ１〜Ｒ４に対応する部分が各Ｘ線検出部２となる。また、収集電極Ｅ１〜Ｅ４は、それぞれ出力チャネルＣｈ１〜Ｃｈ４に接続されている。なお、複数の出力チャネルＣｈ１〜Ｃｈ４には、それぞれ変換部３が接続される。

各変換部３は、電荷増幅器（ＣＳＡ（Charge Sensitive Amplifier））であり、各Ｘ線検出部２から出力された電荷をオペアンプ３１及びコンデンサ３２により積分・増幅して、Ｘ線のエネルギーに比例した電圧信号（アナログ信号）に変換するものである。各変換器３は、オペアンプ３１と、オペアンプ３１の入力端子（反転入力端子）及び出力端子の間に接続されたコンデンサ３２と、コンデンサ３２の電荷をリセット（放電）させる半導体スイッチ（例えばＦＥＴ）等のスイッチ３３とを有する。

前記スイッチ３３は、そのオンオフがリセット制御部５により制御される。
リセット制御部５は、スイッチ３３を所定時間オンにするリセット信号を出力して、当該スイッチ３３に対応するコンデンサ３２の蓄積電荷を放電させてリセットするものである。

具体的にリセット制御部５は、各オペアンプ３１から出力される電圧信号を取得して、所定のリセット開始閾値と比較し、当該電圧信号がリセット開始閾値を超えた場合に、そのコンデンサ３２に対応するスイッチ３３にリセット信号を出力して、スイッチ３３をオンにする。また、リセット制御部５は、前記電圧信号が所定のリセット終了閾値と比較し、当該電圧信号がリセット終了閾値以下となった場合に、前記スイッチ３３をオフにする。あるいは、リセット制御部５は、スイッチ３３にリセット信号を出力して所定の一定期間経過した後に、前記スイッチ３３をオフにする。なお、各コンデンサ３２の電圧を検出する電圧検出手段を設けておき、リセット制御部５は、当該電圧検出手段により得られた電圧が所定の電圧値となったときに、その積分コンデンサ３２に対応するスイッチ３３にリセット信号を出力するように構成しても良い。その他、リセット制御部５を、各積分コンデンサ３２毎に予め設定されたリセット周期毎にリセット信号を出力するように構成しても良い。

ここで、リセット信号は、前記スイッチ３３がＦＥＴの場合には、そのゲート電圧をゲート閾値電圧（例えば０Ｖ）から、ゲート電圧をゲート閾値電圧以上であって所定時間一定電圧とするパルス信号である。

信号処理部４は、変換部３からの電圧信号をパルス信号に整形する波形整形部４１と、波形整形部４１により整形されたパルス信号の波高値を検出する波高検出部４２と、波高検出部４２により得られた波高値を、波高別にカウントするカウント部４３とを備えている。

波形整形部４１及び波高検出部４２は、デジタルパルスプロセッサ（ＤＰＰ（Digital Pulse Processor））であり、複数の変換部３に対応して複数設けられている。

波形整形部４１は、変換部３により変換された電圧信号から例えば台形波形のパルス信号（デジタル信号）を生成する。なお、このパルス信号の波高値は、Ｘ線のエネルギーに比例している。また、波高検出部４２は、ピークホールドにより、入力されたパルス信号の波高値を検出する。

ここで、本実施形態の波形整形部４１は、スロー系波形出力部とファスト系波形出力部とを備えている。スロー系波形出力部は、Ｘ線のエネルギーに対して高分解能を有するものであり、大きい時定数を用いて、変換部３からの電圧信号をフィルタ処理することにより、時間幅の大きい台形波形のパルス信号を生成するものである。なお、このスロー系波形出力部により得られた時間幅の大きいパルス信号は、波高検出部４２及びカウント部４３に出力されてＸ線情報の生成に用いられる。また、ファスト系波形出力部は、Ｘ線の入射検出に対して高時間分解能を有するものであり、スロー系波形出力部よりも小さい時定数を用いて、変換部３からの電圧信号をフィルタ処理することにより、時間幅の小さいパルス信号（タイミングパルス）を生成するものである。なお、このファスト系波形出力部により得られた時間幅の小さいパルス信号は、パイルアップの検出等に用いられるだけでなく、後述するリセット検出部６に出力されて、リセットされた変換部３の検出に用いられる。

カウント部４３は、マルチチャンネルアナライザ（ＭＣＡ）であり、複数の波高検出部４２により得られた波高値を処理する単一のものである。そして、カウント部４３は、波高別に、パルス信号の波高が入力された回数をカウントして、Ｘ線情報であるＸ線スペクトルを生成する。

しかして、本実施形態のＸ線検出装置１００は、図２及び図４に示すように、複数の変換部３からの電圧信号から得られたパルス信号を用いて、何れかの変換部３がリセットされたことを示すリセット情報を取得するリセット情報取得部６を備えている。

リセット情報取得部６は、図４に示すように、各波形整形部４１のファスト系波形出力部により得られたパルス信号（出力波形）を受け付けて、それらパルス信号を用いて何れかの変換部３がリセットされたことを示すリセット情報を検出するリセット情報検出部６１を有している。以下、リセット信号が出力された変換部をリセット変換部３Ａともいう。具体的にリセット情報検出部６１は、各波形整形部４１のファスト系波形出力部により得られたパルス信号と所定のリセット検出閾値（例えばマイナス値）とを比較する（図５（Ｃ）、（Ｄ）参照）。そして、リセット情報検出部６１は、前記出力信号が所定の閾値を下回った場合に、その下回った出力信号を出力した波形整形部４１に接続された変換部３を、リセット変換部３Ａとする。

さらにリセット情報検出部６１は、図５（Ｄ）に示すように、前記出力信号が前記所定の閾値を下回ったタイミングをリセット開始時点として検出する。また、リセット情報検出部６１は、前記リセット開始時点を検出した後に、前記パルス信号が前記所定の閾値を上回ったタイミングをリセット終了時点として検出する。これらリセット情報検出部６１により検出された情報は、リセット情報格納部６２に格納される。なお、リセット情報がリセット情報格納部６２に格納されることには、瞬間的な短時間格納されることや、リセット情報検出部６１から信号処理部４に受け渡す（リセット情報が通過する）だけのことも含む。また、リセット情報取得部６は、リセット変換部３Ａの情報とともに、それらリセット開始時点及びリセット終了時点の情報を含む検出信号を信号処理部４に出力する。

なお、リセット情報検出部６１は、ファスト系波形出力部により得られたパルス信号の変化量（時刻ｔ＋１のパルス信号と時刻ｔのパルス信号との差）が所定の閾値を超えた場合に、そのパルス信号を出力した波形整形部４１に接続された変換部３を、リセット変換部３Ａとして検出しても良い。また、リセット情報検出部６１は、変換部から出力される電圧信号の変化量（時刻ｔ＋１の電圧信号と時刻ｔの電圧信号との差）が所定の閾値を超えた場合に、その電圧信号を出力した変換部３を、リセット変換部３Ａとして検出しても良い。

そして、本実施形態の信号処理部４は、前記リセット変換部３Ａとは別の変換部３Ｂからの電圧信号を用いてＸ線情報を生成する場合に、リセット変換部３Ａへのリセット信号に起因するクロストークノイズを除去する。

ここで、別の変換部３Ｂは、例えば、リセット変換部３Ａに隣接する変換部（１つとは限らない。）である。なぜならば、リセット変換部３Ａに隣接する変換部３Ｂは、クロストークノイズの影響が最も大きいと考えられるからである。また、リセット変換部３Ａに隣接する変換部３Ｂとは、リセット変換部３Ａが接続された出力チャネルＣｈに隣接する出力チャネルＣｈに接続された変換部である。

具体的に信号処理部４は、リセット情報検出部６１により得られたリセット情報に基づいて、波高検出部４２により得られた波高値からノイズを除去するノイズ除去部４４を有している。

このノイズ除去部４４は、リセットに伴うノイズの影響を受けている前記別の変換部３Ｂからの信号（波高値）を除去するものである。具体的にノイズ除去部４４は、前記別の変換部３Ｂからの電圧信号により得られた波高値のうち、クロストークノイズにより生じた波高値を、カウント部４３によるカウントから除外するために、除去するものである。

より詳細には、ノイズ除去部４４は、前記リセット情報検出部６１により得られたリセット開始時点及びリセット終了時点に基づいて定まる所定期間に含まれる波高値を除去する。ここで、所定期間とは、予め設定された期間であり、リセット信号の立ち上がり時にクロストークノイズが生じる時点からリセット信号の立ち下がり時に生じるクロストークノイズが無視できる程度に減衰する時点までを含む期間である。本実施形態では、リセット開始時点に基づいて定まる第１の所定期間に含まれる波高値と、リセット終了時点に基づいて定まる第２の所定期間に含まれる波高値とを除去している。このノイズ除去部４４により、クロストークノイズにより生じた波高値が除去されたその他の波高値が、カウント部４３によりカウントされる。なお、ノイズ除去部４４の機能をカウント部４３に持たせても良い。

＜本実施形態の効果＞
このように構成した本実施形態のＸ線検出装置１００によれば、複数の変換部３からの電圧信号を用いて、何れかの変換部３（３Ａ）がリセットされたことを示すリセット情報を取得して、その変換部３Ａとは異なる変換部３Ｂからの電圧信号からリセットに起因するノイズを除去するので、リセット信号のクロストークにより、Ｘ線スペクトルの分解能を低下させたり、また、低エネルギー領域に疑似スペクトルを形成したりすることを防止することができる。また、同期リセット方式のように何れかの変換部３Ａをリセットする毎に全ての変換部３が放射線検出部２からの信号を取り込なまい構成では無いので、不感時間の増大を抑制することができる。さらに、変換部３からの電圧信号を用いて何れかの変換部３がリセットされたことを検出しているので、リセット制御部５からリセット情報を取得する必要も無い。

なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。

例えば、前記実施形態の信号処理部は、カウント部に入力される前の波高値からノイズを除去するように構成しているが、その他、次のようにしてクロストークノイズを除去するようにしても良い。

つまり、Ｘ線検出装置１００は、図６及び図７に示すように、変換部３からの電圧信号を所定時間遅延させる遅延部４５と、リセット変換部３Ａが検出された場合に、前記遅延部４５により遅延された別の変換部３Ｂの電圧信号からリセット情報に基づいてクロストークノイズを除去するノイズ除去部４６とを備えている。

そして、Ｘ線検出装置１００は、図８に示すように、遅延される前の電圧信号を波形整形部４１のファスト系波形出力部に入力し、リセット情報検出部６１によりリセットされた変換部３Ａを検出する（図８（Ａ）参照）。リセット情報取得部６は、図７に示すように、リセット情報検出部６１からのリセット情報を別の変換部３Ｂに対応するノイズ除去部４５に出力し、そのノイズ除去部４５は、前記遅延部４４により遅延された別の変換部３Ｂの電圧信号から所定の除去期間の前後の値で直線補間等によりクロストークノイズを除去する（図８（Ｃ）、（Ｄ）参照）。

このように別の変換部３Ｂにおいてはノイズ除去部４５でクロストークノイズが除去された電圧信号が、波形整形部４１に入力されて、当該波形整形部４１のスロー系波形出力部により波形整形されてパルス信号が生成される。このパルス信号の波高値が波高検出部４２により検出されて、カウント部４３により波高別にカウントされる。

前記実施形態では、ノイズ除去部４４は第１の所定期間及び第２の所定期間のそれぞれに含まれる波高値を除去するように構成していたが、リセット開始時点及びリセット終了時点を含む連続した期間に含まれる波高値を除去するように構成しても良い。

また、前記実施形態のリセット情報取得部６は、リセット開始時点又はリセット終了時点の一方のみを取得するものであっても良い。この場合、ノイズ除去部４４は、リセット開始時点に基づいた所定期間又はリセット終了時点に基づいた所定期間に含まれる波高値を除去するように構成される。

また、ノイズ除去部４４は、リセット開始時点に基づいた所定期間又はリセット終了時点に基づいた所定期間に含まれる波高値を除去する他、複数の変換部からの積算信号又はそれから得られた信号と、予め定めた上限閾値及び／又は下限閾値とを比較することによって、それらの大小関係から信号又は波高値をノイズとして除去しても良い。さらに、ノイズ除去部４４は、前記所定期間に含まれる信号を除去するだけでなく、その所定期間に含まれる信号のノイズを、実験などにより予め定めた基準値や範囲等を用いてそれらに当てはまるか否かにより特定し、その特定したノイズを除去するようにしても良い。

また、前記実施形態のノイズ除去部４４はカウント部４３の前段に設けられてカウント部４３に入力される波高値からノイズを除去する構成であったが、ノイズ除去部４４をカウント部４３の後段に設けて、カウント部４３により得られたカウント値からノイズによるカウント分を除去するように構成しても良い。具体的は、ノイズ情報取得部６のノイズ情報格納部６２により記憶されたリセット開始時点又はリセット終了時点を用いて、そのリセット開始時点又はリセット終了時点に基づいて定まる所定期間にカウントされた値を差し引いて除去することが考えられる。

さらに、ノイズ除去部４４は、波形整形部４１の前段に設けられたものであっても良いし、波形整形部４１及び波高検出部４２の間に設けられたものであっても良い。

また、前記実施形態では、波形整形部及び波高検出部をパルスカウンタにより構成し、カウント部をマルチチャネルアナライザにより構成していたが、例えば専用又は汎用のコンピュータ（ＣＰＵ、メモリ、ＡＤ変換器等を有する。）を用いて構成しても良い。

前記実施形態では、複数の変換部３に対応して複数のパルスプロセッサ（波形整形部及び波高検出部）が設けられていたが、複数の変換部３に対して共用のパルスプロセッサを用いても良い。

前記実施形態では、リセット情報取得部６は、複数の変換部３に対して共通のものであったが、リセット情報取得部６は複数の変換部３それぞれに対応して複数設けられるものであっても良いし、複数の変換部３のうちの一部で共用されるものであっても良い。

前記実施形態では、１つのリセット制御部５が複数の変換部３に対してリセット信号を出力する構成であったが、複数の変換部３に対応して複数のリセット制御部５を設ける構成としても良い。

前記実施形態では、リセット変換部３に隣接する変換部３に対してクロストークノイズの補正処理を行うものであったが、それ以外の変換部３に対してクロストークノイズの補正処理を行うものであっても良い。

また、リセット変換部３が接続されるチャネルから十分に離れてクロストークノイズが実質的に問題にならない出力チャネルＣｈに接続される変換部３や、シールド等の他のクロストーク対策が施されているチャネルＣｈに接続される変換部３に対しては、クロストークノイズの補正処理を行わないものであっても良い。なお、上述のリセット変換部３が接続されるチャネルから十分に離れているとは、実験等により予め定められた所定距離離れていることを含む。

さらに、前記実施形態では、Ｘ線検出部２の出力チャネルを介したクロストークノイズについて説明したが、信号処理部４のチャネルを介したクロストークノイズ、Ｘ線検出部や変換部３を実装している基板の配線間又はその基板から信号処理部４までの配線間でのクロストークについても同様である。

さらに、Ｘ線検出器としては、Ｓｉ（Ｌｉ）型検出器等のその他の半導体検出器を用いることができる。

その他、本発明は前記実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であるのは言うまでもない。

本発明によれば、放射線検出装置においてリセット信号のクロストークによる悪影響を低減するとともに、不感時間（デッドタイム）の増加を抑制することができる。

Claims (7)

1. 放射線が入射することにより発生した電荷を出力する複数の放射線検出部と、
   前記複数の放射線検出部に対応して設けられ、前記発生した電荷の積算量をその積算量に応じた積算信号に変換する複数の変換部と、
   前記複数の変換部からの積算信号を処理して放射線情報を生成する信号処理部と、
   前記変換部にリセット信号を出力して前記変換部に蓄積された電荷をリセットするリセット制御部と、
   前記複数の変換部からの積算信号又はそれから得られた信号を用いて、何れかの変換部がリセットされたことを示すリセット情報を取得するリセット情報取得部とを備え、
   前記信号処理部は、前記リセット情報に基づいて、リセットされた変換部とは異なる変換部からの積算信号又はそれから得られた信号から、前記リセットに起因するノイズを除去するノイズ除去部を有する放射線検出装置。
2. 前記リセット情報取得部は、前記積算信号又はそれから得られた信号の変化によりリセット開始時点を取得するものであり、
   前記ノイズ除去部は、リセットされた変換部とは異なる変換部からの積算信号又はそれから得られた信号から、前記リセット開始時点に基づいて定まる所定期間の信号を除去するものである請求項１記載の放射線検出装置。
3. 前記リセット情報取得部は、前記積算信号又はそれから得られた信号の変化によりリセット終了時点を取得するものであり、
   前記ノイズ除去部は、リセットされた変換部とは異なる変換部からの積算信号又はそれから得られた信号から、前記リセット終了時点に基づいて定まる所定期間の信号を除去するものである請求項１記載の放射線検出装置。
4. 前記信号処理部は、
   前記変換部からの積算信号をパルス信号に整形する波形整形部と、
   前記波形整形部により整形されたパルス信号の波高値を検出する波高検出部と、
   前記波高検出部により得られた波高値を、波高別にカウントするカウント部とをさらに備え、
   前記ノイズ除去部は、前記リセット情報に基づいて、前記波高検出部により得られた波高値からノイズを除去するものである請求項２又は３記載の放射線検出装置。
5. 前記信号処理部は、
   前記変換部からの積算信号を所定時間遅延させる遅延部と、
   前記遅延部により遅延された積算信号をパルス信号に整形する波形整形部と、
   前記波形整形部により整形されたパルス信号の波高値を検出する波高検出部と、
   前記波高検出部により得られた波高値を、波高別にカウントするカウント部とをさらに備え、
   前記ノイズ除去部は、前記リセット情報に基づいて、前記遅延部により遅延された積算信号からクロストークノイズを除去するものである請求項２又は３記載の放射線検出装置。
6. 前記複数の放射線検出部は、半導体ブロックの表面が複数の放射線検出領域に分割されており、各領域に収集電極が設けられることにより構成されている請求項１記載の放射線検出装置。
7. 放射線が入射することにより発生した電荷を出力する複数の放射線検出部に対応して設けられ、前記発生した電荷の積算量をその積算量に応じた積算信号に変換する複数の変換部と、
   前記複数の変換部から積算信号を処理して放射線情報を生成する信号処理部と、
   前記変換部にリセット信号を出力して前記変換部に蓄積された電荷をリセットするリセット制御部と、
   前記複数の変換部からの積算信号又はそれから得られた信号を用いて、何れかの変換部がリセットされたことを示すリセット情報を取得するリセット情報取得部とを備え、
   前記信号処理部は、前記リセット情報に基づいて、リセットされた変換部とは異なる変換部からの積算信号又はそれから得られた信号から、前記リセットに起因するノイズを除去するノイズ除去部を有する放射線検出用信号処理装置。

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