JP6809930B2 - 静電容量型湿度センサ - Google Patents
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Description
εH2O:水の誘電率(比誘電率:80〕、
εp:乾燥状態の感湿誘電体薄膜の誘電率、
γ:感湿誘電体薄瞑の水分含有率、
γm:感湿誘電体薄膜最大水分含有率(湿度100%)、
H:相対湿度、
n:ベキ指数(フィッティングパラメータ)。
また、櫛形構造で幅方向を小さく(小型化)するためには、単位面積当たりの静電容量を大きくする必要、つまり電極間の距離(櫛のピッチ)を短くし、かつ電極の厚さを厚くし、電極の厚さと電極間隔の比であるアスペクト比を高くする必要がある。
しかしながら、従来の感湿誘電体薄膜23は、材料であるポリイミドをスピン塗布することで作製され、このポリイミドの粘度が高いために、電極の厚さと電極間隔の比であるアスペクト比を高くした場合には、電極下端部をポリイミドで完全に埋めることが難しくなり、幅方向の縮小化を図ることができない。
請求項2の発明は、上記感湿誘電体薄膜として、上記ナノメートルサイズ以上の孔を有さずガラスの原子レベルのネットワークの中に水分子を分子レベルで吸着するサイトを有するスピンオングラスを材料とする第1誘電体膜と高湿度領域に高感度となる感湿誘電体材料からなる第2誘電体膜を有し、湿度に対する静電容量の変化の線形性を高めたことを特徴とする。
請求項3の発明は、上記高湿度領域に高感度となる感湿誘電体材料として、ポリイミド又は多孔質のスピンオングラスを用いることを特徴とする。
請求項5の発明は、静電容量の変化を検出する上記電極として、櫛形電極を設け、この櫛形電極間に、上記第1誘電体膜と第2誘電体膜を垂直方向に重ねて配置したことを特徴とする。
請求項6の発明は、静電容量の変化を検出する上記電極として、平行平板電極を設け、この平行平板電極間の領域を水平方向で分割し、この分割した各領域に上記第1誘電体膜と第2誘電体膜を振分け配置したことを特徴とする。
請求項7の発明は、静電容量の変化を検出する上記電極として、平行平板電極を設け、この平行平板電極間に、上記第1誘電体膜と第2誘電体膜を垂直方向に重ねて配置したことを特徴とする。
また、感湿誘電体薄膜として、低湿度領域に高感度な非多孔質のSOGからなる第1誘電体膜と、高湿度領域に高感度となる、例えばポリイミド又はナノメートルサイズ以上の孔を有する多孔質のSOGからなる第2誘電体膜とを設けることができる。
また、櫛形構造の場合、櫛形電極形成後に低粘度となる非多孔質SOGを感湿誘電体薄膜として用いるため、従来のポリイミドと比較して、アスペクト比(電極厚さと電極間隔の比)の高い電極構造にすることができ、湿度センサの小型化、低コスト化を図ることが可能となる。
上記櫛形電極12aの歯と櫛形電極12bの歯との間隔(幅)は、例えば0.5μmで、これら櫛形電極12a,12bの高さは例えば1.0μmである。上記基板11として、シリコン基板を用いる場合は、櫛形電極12a,12bと基板11との間に、絶縁性を確保しかつ基板による寄生容量を低減するため、シリコン酸化膜や低誘電率の誘電体材料を挟むことが望ましい。なお、基板11はシリコン基板に限らず、ガラス等の誘電体基板であってもよい。
上記櫛形電極12a,12bの各々の上に配置される電極パッド13a,13bは、アルミニウム、アルミニウム合金、銅、金等で形成される。
図2に、第2の実施例の静電容量型湿度センサの構成が示されており、この第2実施例の感湿誘電体薄膜は、櫛形電極12a,12bの領域を水平方向で2分割し、図の右半分の領域を非多孔質SOGからなる第1誘電体膜16a、左半分の領域を高湿度領域に高感度な第2誘電体膜16bとし、これらで櫛形電極12a,12bを被覆して形成される。上記第2誘電体膜16bとしては、ポリイミド系、或いはナノポーラスのような多孔質のSOG等を使用する。
上記第2誘電体膜16bは、粘度が低くなくても、既に櫛形電極12a,12bのアスペクト比は半分程度になっている上、これら電極間の底(第1誘電体膜16aの上面)の部分は下に緩やかな凸の断面形状を有しているため、隙間なくポリイミドで被覆することが可能となる。この場合においても第2誘電体膜16bとして、ナノポーラス材料のような多孔質のSOGを用いることができる。
上記第1〜第3実施例では、櫛形電極構造において、低粘度となるSOGを感湿誘電体薄膜として用いたので、アスペクト比の高い構造にすることができ、小型化、低コスト化を促進した湿度センサ(チップ)を得ることが可能となる。
図6(B)は、下部電極22と上部電極24の間の感湿誘電体薄膜を垂直方向で2分割し、下側に非多孔質SOGからなる第1誘電体膜16a、上側にポリイミド、ナノポーラスからなる第2誘電体膜16bを設けたものである。
このような実施例によっても、線形性等が良好となる感度の湿度センサを得ることが可能となる。
13a,13b,25a,25b…電極パッド、
14…感湿誘電体薄膜(非多孔質SOG)、
16a…第1誘電体膜(非多孔質SOG)、
16b…第2誘電体膜、 22…下部電極、
23…感湿誘電体薄膜、 24…上部電極。
Claims (7)
- 感湿誘電体薄膜の吸湿による誘電率の変化に基づく電極間の静電容量の変化から湿度を検出する静電容量型湿度センサにおいて、
上記感湿誘電体薄膜は、ナノメートルサイズ以上の孔を有さずガラスの原子レベルのネットワークの中に水分子を分子レベルで吸着するサイトを有するスピンオングラスを含むことを特徴とする静電容量型湿度センサ。 - 上記感湿誘電体薄膜は、上記ナノメートルサイズ以上の孔を有さずガラスの原子レベルのネットワークの中に水分子を分子レベルで吸着するサイトを有するスピンオングラスを材料とする第1誘電体膜と高湿度領域に高感度となる感湿誘電体材料からなる第2誘電体膜を有し、湿度に対する静電容量の変化の線形性を高めたことを特徴とする請求項1記載の静電容量型湿度センサ。
- 上記高湿度領域に高感度となる感湿誘電体材料として、ポリイミド又は多孔質のスピンオングラスを用いることを特徴とする請求項2記載の静電容量型湿度センサ。
- 静電容量の変化を検出する上記電極として、櫛形電極を設け、
この櫛形電極の領域を水平方向で分割し、この分割した各領域に上記第1誘電体膜と第2誘電体膜を振分け配置したことを特徴とする請求項2又は3記載の静電容量型湿度センサ。 - 静電容量の変化を検出する上記電極として、櫛形電極を設け、
この櫛形電極間に、上記第1誘電体膜と第2誘電体膜を垂直方向に重ねて配置したことを特徴とする請求項2又は3記載の静電容量型湿度センサ。 - 静電容量の変化を検出する上記電極として、平行平板電極を設け、
この平行平板電極間の領域を水平方向で分割し、この分割した各領域に上記第1誘電体膜と第2誘電体膜を振分け配置したことを特徴とする請求項2又は3記載の静電容量型湿度センサ。 - 静電容量の変化を検出する上記電極として、平行平板電極を設け、
この平行平板電極間に、上記第1誘電体膜と第2誘電体膜を垂直方向に重ねて配置したことを特徴とする請求項2又は3記載の静電容量型湿度センサ。
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