JP6806918B2 - フレキシャル・ピボット - Google Patents
フレキシャル・ピボット Download PDFInfo
- Publication number
- JP6806918B2 JP6806918B2 JP2019546245A JP2019546245A JP6806918B2 JP 6806918 B2 JP6806918 B2 JP 6806918B2 JP 2019546245 A JP2019546245 A JP 2019546245A JP 2019546245 A JP2019546245 A JP 2019546245A JP 6806918 B2 JP6806918 B2 JP 6806918B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flexible
- support member
- flexure
- pivot
- support
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 64
- 238000005219 brazing Methods 0.000 claims description 40
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 30
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 20
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 15
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 14
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 14
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 14
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 14
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 14
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims description 10
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 9
- 238000009760 electrical discharge machining Methods 0.000 claims description 8
- 239000011265 semifinished product Substances 0.000 claims description 7
- 238000005304 joining Methods 0.000 claims description 6
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 5
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 12
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 9
- 230000009471 action Effects 0.000 description 6
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 3
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 3
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 2
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 238000003698 laser cutting Methods 0.000 description 2
- 238000005461 lubrication Methods 0.000 description 2
- 238000003801 milling Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 2
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 238000005242 forging Methods 0.000 description 1
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 238000012805 post-processing Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 1
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 1
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C11/00—Pivots; Pivotal connections
- F16C11/04—Pivotal connections
- F16C11/12—Pivotal connections incorporating flexible connections, e.g. leaf springs
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2326/00—Articles relating to transporting
- F16C2326/47—Cosmonautic vehicles, i.e. bearings adapted for use in outer-space
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2370/00—Apparatus relating to physics, e.g. instruments
- F16C2370/20—Optical, e.g. movable lenses or mirrors; Spectacles
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Micromachines (AREA)
- Pivots And Pivotal Connections (AREA)
- Pharmaceuticals Containing Other Organic And Inorganic Compounds (AREA)
- Hydrogenated Pyridines (AREA)
Description
Claims (27)
- フレキシャル・ピボットであって、当該フレキシャル・ピボットは、
3つのフレキシャ支持部材であって、各フレキシャ支持部材は、複数のフレキシャ開口部と複数のウェルとを有しており、各ウェルは、それぞれのフレキシャ開口部と流体連通している、3つのフレキシャ支持部材と、
複数の前記フレキシャ支持部材を互いに回転可能に結合する少なくとも1つのフレキシャであって、交差構成で配置された第1及び第2の可撓性ブレードを含む少なくとも1つのフレキシャと、を有しており、
第1及び第2の可撓性ブレードは、前記フレキシャ開口部に配置され、且つ前記フレキシャ支持部材のウェル内に延びており、該ウェルは、該可撓性ブレードの端部に沿って延びるように向き合わせされた開口部を含み、
前記ウェル及び前記フレキシャ開口部に堆積された結合材料が、前記フレキシャ開口部の外側端部において第1及び第2の可撓性ブレードを前記フレキシャ支持部材に接合する、
フレキシャル・ピボット。 - 前記フレキシャ開口部はスロットとして構成される、請求項1に記載のフレキシャル・ピボット。
- 前記複数のフレキシャ支持部材は、2つ又は3つのフレキシャ支持部材を含む、又は
2つのフレキシャ支持部材が、2つのフレキシャを介して互いに回転可能に結合されるように構成される、請求項1に記載のフレキシャル・ピボット。 - 第1のフレキシャ支持部材及び第2フレキシャ支持部材が第1の軸線の周りで互いに回転可能に構成され、第2のフレキシャ支持部材及び第3のフレキシャ支持部材は、第2の軸線の周りで互いに回転可能に構成される、請求項1に記載のフレキシャル・ピボット。
- 第1及び第2の軸線は、互いに直交する、請求項4に記載のフレキシャル・ピボット。
- 第1のフレキシャ支持部材及び第2のフレキシャ支持部材は、2つのフレキシャを介して互いに回転可能に結合されるように構成され、第2のフレキシャ支持部材及び第3のフレキシャ支持部材は、2つのフレキシャを介して互いに回転可能に結合されるように構成される、請求項4に記載のフレキシャル・ピボット。
- 前記フレキシャ支持部材は、回転運動の範囲を制限するための移動ストップを含む、請求項1に記載のフレキシャル・ピボット。
- 前記結合材料はろう材料である、請求項1に記載のフレキシャル・ピボット。
- 前記結合材料は接着剤である、請求項1に記載のフレキシャル・ピボット。
- フレキシャル・ピボット半製品であって、当該フレキシャル・ピボット半製品は、
3つのフレキシャ支持部材であって、各フレキシャ支持部材は、複数のフレキシャ開口部と複数のウェルとを有しており、各ウェルは、それぞれのフレキシャ開口部と流体連通している、3つのフレキシャ支持部材と、
複数の前記フレキシャ支持部材を互いに回転可能に結合する少なくとも1つのフレキシャであって、交差構成で配置された第1及び第2の可撓性ブレードを含む少なくとも1つのフレキシャと、を有しており、
第1及び第2の可撓性ブレードは、前記フレキシャ開口部に配置され、且つ前記フレキシャ支持部材のウェル内に延びており、該ウェルは、該可撓性ブレードの端部に沿って延びるように向き合わせされた開口部を含み、
前記フレキシャ開口部は、前記ウェル及び前記フレキシャ開口部に堆積された結合材料によって、前記フレキシャ開口部の外側端部において第1及び第2の可撓性ブレードを前記フレキシャ支持部材に接合するように構成される、
フレキシャル・ピボット半製品。 - 前記結合材料は、第1及び第2の可撓性ブレードを前記フレキシャ支持部材に結合するために、前記ウェル内に配置されたろう材料をさらに含む、請求項10に記載のフレキシャル・ピボット半製品。
- 前記結合材料は、第1及び第2の可撓性ブレードを前記フレキシャ支持部材に結合するために、前記ウェル内に配置された接着材料をさらに含む、請求項10に記載のフレキシャル・ピボット半製品。
- フレキシャル・ピボット製造システムであって、当該システムは、
下部支持体と該下部支持体に結合された上部支持体とを有する冶具と、
該冶具に結合された複数のフレキシャル・ピボット支持部材ワークピースと、を有しており、
該複数のフレキシャル・ピボット支持部材ワークピースは、前記下部支持体によって支持され且つ該下部支持体に結合された第1のフレキシャル・ピボット支持部材ワークピースと、前記上部支持体によって支持され且つ該上部支持体に結合された第2のフレキシャル・ピボット支持部材ワークピースと、を含み、
前記上部支持体及び前記下部支持体は、
フレキシャ支持部材を形成するために、フレキシャ開口部と、前記フレキシャル・ピボット支持部材ワークピースの端部内に延びる前記フレキシャ開口部と流体連通するウェルとを形成すること、
少なくとも1つのフレキシャを前記フレキシャ開口部に配置することであって、前記少なくとも1つのフレキシャは、交差構成で配置された第1及び第2の可撓性ブレードを含む、配置すること、及び
前記ウェル内に結合材料を配置して、前記少なくとも1つのフレキシャを前記フレキシャ支持部材に結合し、前記フレキシャ支持部材の互いに対する回転運動を提供すること、を促進する、
システム。 - 前記フレキシャ開口部はスロットとして構成される、請求項13に記載のシステム。
- 第1及び第2のフレキシャル・ピボット支持部材ワークピースは、留め具によってそれぞれ前記下部支持体及び前記上部支持体に結合される、請求項13に記載のシステム。
- 前記複数のフレキシャ支持部材は、第1及び第2のフレキシャ支持部材の間に配置され、且つ前記上部支持体及び前記下部支持体の少なくとも一方によって支持及び結合される第3のフレキシャ支持部材を含む、請求項13に記載のシステム。
- フレキシャル・ピボットを作製する方法であって、当該方法は、
複数のフレキシャル・ピボット支持部材ワークピースを冶具に結合するステップであって、第1のフレキシャル・ピボット支持部材ワークピースが前記冶具の下部支持体に結合され、第2のフレキシャル・ピボット支持部材ワークピースが前記冶具の上部支持体に結合される、結合するステップと、
前記上部支持体及び前記下部支持体を互いに結合するステップと、
複数のフレキシャ支持部材を形成するために、フレキシャ開口部と、前記フレキシャル・ピボット支持部材ワークピースの端部内に延びる前記フレキシャ開口部と流体連通するウェルとを形成するステップと、
少なくとも1つのフレキシャを前記複数のフレキシャ支持部材の前記フレキシャ開口部に配置するステップであって、前記少なくとも1つのフレキシャは、交差構成で配置された第1及び第2の可撓性ブレードを含む、配置するステップと、
結合材料を前記ウェルに配置するステップと、
前記結合材料を十分に加熱して、該結合材料を前記フレキシャ開口部に流入させて、前記少なくとも1つのフレキシャを前記フレキシャ支持部材に結合し、それにより前記複数のフレキシャ支持部材を互いに回転可能に結合するステップと、を含む、
方法。 - 前記フレキシャ開口部はスロットとして構成される、請求項17に記載の方法。
- 前記フレキシャ開口部及び前記ウェルを形成するステップは、前記フレキシャ支持部材から材料を除去するステップを含む、請求項17に記載の方法。
- 前記フレキシャ支持部材から材料を除去するステップは、放電加工(EDM)動作を行うステップを含む、請求項19に記載の方法。
- 前記フレキシャ支持部材の前記フレキシャ開口部の少なくともいくつかは、同じ材料除去作業で形成される、請求項19に記載の方法。
- 前記フレキシャ支持部材の前記ウェルの少なくともいくつかは、同じ材料除去作業で形成される、請求項19に記載の方法。
- 第1及び第2のフレキシャル・ピボット支持部材ワークピースは、留め具によってそれぞれ前記下部支持体及び前記上部支持体に結合される、請求項17に記載の方法。
- 前記複数のフレキシャル・ピボット支持部材ワークピースは、第1及び第2のフレキシャル・ピボット支持部材ワークピースの間に配置された第3のフレキシャル・ピボット支持部材ワークピースを含み、第3のフレキシャル・ピボット支持部材ワークピースは、前記上部支持体及び前記下部支持体の少なくとも一方によって支持され且つ結合される、請求項17に記載の方法。
- 前記冶具は、前記上部支持体及び前記下部支持体を互いに位置付けするために、前記フレキシャル・ピボット支持部材ワークピースの側面に配置されたスタンドオフスペーサを含み、それにより前記フレキシャル・ピボット支持部材ワークピースを互いに位置付けする、請求項17に記載の方法。
- 前記冶具の前記上部支持体及び前記下部支持体並びに前記スタンドオフスペーサは、前記フレキシャル・ピボット支持部材ワークピースの端部を露出させて、前記フレキシャ開口部及びウェルの形成を促進する、請求項25に記載の方法。
- 前記スタンドオフスペーサは、前記上部支持体及び前記下部支持体のうちの少なくとも一方に関連付けられる、請求項25に記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US15/448,538 | 2017-03-02 | ||
US15/448,538 US10711832B2 (en) | 2017-03-02 | 2017-03-02 | Flexural pivot |
PCT/US2017/065870 WO2018160251A1 (en) | 2017-03-02 | 2017-12-12 | Flexural pivot |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020510798A JP2020510798A (ja) | 2020-04-09 |
JP6806918B2 true JP6806918B2 (ja) | 2021-01-06 |
Family
ID=60915655
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019546245A Active JP6806918B2 (ja) | 2017-03-02 | 2017-12-12 | フレキシャル・ピボット |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US10711832B2 (ja) |
EP (2) | EP3904708A1 (ja) |
JP (1) | JP6806918B2 (ja) |
CA (1) | CA3053457A1 (ja) |
IL (1) | IL268817B (ja) |
WO (1) | WO2018160251A1 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102018107015B4 (de) * | 2018-03-23 | 2023-11-23 | Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg | Gelenk |
US10914339B2 (en) * | 2018-09-25 | 2021-02-09 | Ball Aerospace & Technologies Corp. | Flexural pivot assembly with shaped blade sections |
US11143231B2 (en) * | 2019-07-26 | 2021-10-12 | The Boeing Company | Blade flexure assembly with replaceable elements |
US11326734B2 (en) * | 2019-10-03 | 2022-05-10 | Raytheon Company | Monolithic gimbal for a fast steering mirror |
CN112610594B (zh) * | 2020-12-23 | 2022-06-17 | 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所 | 一种低轴漂的柔性轴承及基于轴漂补偿的步进机构 |
US11822146B2 (en) * | 2021-02-18 | 2023-11-21 | Raytheon Company | Fast steering monolithic dual axis mirror and method for manufacturing |
CN114542591B (zh) * | 2022-02-25 | 2023-04-18 | 北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所) | 支撑装置及移动平台 |
Family Cites Families (29)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2931092A (en) | 1957-01-14 | 1960-04-05 | Paul E Humphrey | Cross spring flexure pivot and process of making the same |
US3142888A (en) | 1960-02-26 | 1964-08-04 | Bendix Corp | Method of making a flexural pivot device |
US3181918A (en) | 1962-06-29 | 1965-05-04 | Bendix Corp | Flexural pivot |
US3319951A (en) | 1965-03-15 | 1967-05-16 | Bendix Corp | Flexural pivot device and method of making same |
CH452286A (de) | 1965-08-30 | 1968-05-31 | Wild Heerbrugg Ag | Drehlagerung |
US3544175A (en) | 1968-12-30 | 1970-12-01 | Trw Inc | Flexural pivot having limited bending stresses imparted to flexure member |
US3811665A (en) | 1972-09-05 | 1974-05-21 | Bendix Corp | Flexural pivot with diaphragm means |
US3844022A (en) | 1972-09-05 | 1974-10-29 | Bendix Corp | Method of making a universal flexural assembly |
FR2198578A5 (ja) | 1972-09-05 | 1974-03-29 | Bendix Corp | |
DE2454811A1 (de) | 1974-11-19 | 1976-05-20 | British Aircraft Corp Ltd | Biegsame kupplung |
DE2653427C3 (de) | 1976-11-24 | 1979-05-03 | Anschuetz & Co Gmbh, 2300 Kiel | Federgelenk zur schwenkbaren Verbindung zweier Körper miteinander u. Verfahren zur Herstellung des Gelenks |
GB2046905B (en) | 1978-05-31 | 1983-02-09 | British Aerospace | Gimbals |
FR2446952A1 (fr) * | 1979-01-22 | 1980-08-14 | Pilch Jean Michel | Articulation a lames assemblees |
FR2503387B1 (fr) | 1981-04-03 | 1986-05-23 | Reosc | Dispositif de liaison entre une piece optique et un support situe a distance de cette piece |
US4571988A (en) | 1984-07-16 | 1986-02-25 | Nl Industries, Inc. | Apparatus and method for measuring viscosity |
US4640640A (en) | 1985-03-01 | 1987-02-03 | Mobil Oil Corporation | Substantially frictionless universal connecting device |
JPS62256441A (ja) | 1986-04-30 | 1987-11-09 | Hitachi Ltd | ダイボンデイング装置 |
US4802784A (en) | 1988-03-11 | 1989-02-07 | Santa Barbara Research Center | Bi-flex pivot |
US5061107A (en) | 1989-12-22 | 1991-10-29 | Santa Barbara Research Center | Torflex pivot |
US5620169A (en) | 1994-11-02 | 1997-04-15 | Ball Corporation | Rotary mount integral flexural pivot with blades which are integrally interconnected at the blade intersection |
FR2754577B1 (fr) | 1996-10-11 | 1998-12-11 | Suisse Electronique Microtech | Pivot flexible planaire a modules unitaires monolithiques |
US6365252B1 (en) | 1999-04-16 | 2002-04-02 | Lucas Aerospace Power Transmission | Multi-piece flexural pivot |
FR2797923B1 (fr) * | 1999-08-31 | 2001-10-26 | Centre Nat Etd Spatiales | Pivot a lames flexibles |
DE10330947B4 (de) | 2003-07-08 | 2015-10-29 | Schenck Process Gmbh | Kreuzfederelement |
ITMI20031500A1 (it) | 2003-07-22 | 2005-01-23 | Milano Politecnico | Dispositivo e metodo per la misura di forze e momenti |
ITMI20061000A1 (it) | 2006-05-22 | 2007-11-23 | Milano Politecnico | Giunto elastico a cerniera sferica traslante e sensore di forze e momenti perfezionato con tale giunto |
EP1887398A1 (en) | 2006-08-08 | 2008-02-13 | Selex Sensors and Airborne Systems Limited | Mirror mount |
US8556533B2 (en) * | 2011-11-21 | 2013-10-15 | Raytheon Company | Multi-stage flexural pivot |
US11143231B2 (en) * | 2019-07-26 | 2021-10-12 | The Boeing Company | Blade flexure assembly with replaceable elements |
-
2017
- 2017-03-02 US US15/448,538 patent/US10711832B2/en active Active
- 2017-12-12 CA CA3053457A patent/CA3053457A1/en not_active Abandoned
- 2017-12-12 EP EP21181500.6A patent/EP3904708A1/en active Pending
- 2017-12-12 WO PCT/US2017/065870 patent/WO2018160251A1/en unknown
- 2017-12-12 JP JP2019546245A patent/JP6806918B2/ja active Active
- 2017-12-12 EP EP17823309.4A patent/EP3589854B1/en active Active
-
2019
- 2019-08-21 IL IL268817A patent/IL268817B/en unknown
-
2020
- 2020-07-14 US US16/928,968 patent/US11384790B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20180252261A1 (en) | 2018-09-06 |
JP2020510798A (ja) | 2020-04-09 |
EP3589854A1 (en) | 2020-01-08 |
IL268817B (en) | 2022-06-01 |
EP3904708A1 (en) | 2021-11-03 |
WO2018160251A1 (en) | 2018-09-07 |
CA3053457A1 (en) | 2018-09-07 |
US20200340520A1 (en) | 2020-10-29 |
IL268817A (en) | 2019-10-31 |
US11384790B2 (en) | 2022-07-12 |
US10711832B2 (en) | 2020-07-14 |
EP3589854B1 (en) | 2021-06-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6806918B2 (ja) | フレキシャル・ピボット | |
JP6806917B2 (ja) | フレキシャル・ピボット | |
EP3574222B1 (en) | Flexural pivot | |
US11680602B2 (en) | Device comprising interlocked monolithic flexible elements and corresponding additive manufacturing method | |
EP2594984B1 (en) | Multi-stage flexural pivot | |
KR20130105333A (ko) | 갈바노스캐너 | |
US20170191521A1 (en) | Flexure Mechanisms | |
US11566662B2 (en) | Multi-axis flexure | |
AU2018388676B2 (en) | 2D bi-pod flexure design, mount technique and process for implementation | |
JP6080789B2 (ja) | 繊維強化プラスチック製の継手部材、及び繊維強化プラスチック製の継手部材の製造方法 | |
JP2000320565A (ja) | 撓みピボットの構成部材および撓みピボットの製造方法 | |
JP6268821B2 (ja) | 半導体レーザ装置 | |
JP2017032793A (ja) | ミラー支持構造、ミラー構造体およびその製造方法 | |
US11183951B2 (en) | Flexure stage with modularized flexure units | |
JP2022552708A (ja) | 駆動システム | |
JP2020202650A (ja) | 固定具 | |
JP2017199848A (ja) | フレーム組立体および電子装置 | |
JPH03100606A (ja) | 光半導体モジュール |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190823 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200428 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200721 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20201104 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20201204 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6806918 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |