JP6804186B2 - Board support device - Google Patents
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Description
本発明は、基板支持装置に関する。 The present invention relates to a substrate support device.
従来より、基板の裏面を支持するものが知られている（例えば、特許文献１参照）。例えば、特許文献１には、スクリーン印刷機において、吸引口に真空装置を接続し、吸引口によって被印刷板を吸着することにより、被印刷板を支持する複数の支持体を備えるものが開示されている。 Conventionally, those that support the back surface of a substrate have been known (see, for example, Patent Document 1). For example, Patent Document 1 discloses a screen printing machine including a plurality of supports that support a printing plate by connecting a vacuum device to the suction port and sucking the printing plate by the suction port. ing.
しかしながら、特許文献１の技術では、複数の支持体のそれぞれに吸引口に連通する空気通路を設け、これら空気通路と真空装置とを継手や配管によって接続しなければならない。このため、装置が複雑化すると共に、配管が支持体の配置の邪魔となり配置レイアウトの自由度が阻害されてしまう。また、真空装置をオンとしてから吸引口に十分な負圧が作用するまでと、真空装置をオフとしてから吸引口が大気圧に戻るまでとにそれぞれ時間がかかるため、サイクルタイムが伸びてしまう。 However, in the technique of Patent Document 1, each of the plurality of supports must be provided with an air passage communicating with the suction port, and these air passages and the vacuum device must be connected by a joint or a pipe. For this reason, the device becomes complicated, and the piping interferes with the arrangement of the support, which hinders the degree of freedom in the arrangement layout. Further, since it takes time from turning on the vacuum device until a sufficient negative pressure acts on the suction port and from turning off the vacuum device until the suction port returns to the atmospheric pressure, the cycle time is extended.
本発明は、より簡易な構成により基板を適切に支持する基板支持装置を提供することを主目的とする。 An object of the present invention is to provide a substrate support device that appropriately supports a substrate with a simpler configuration.
本発明は、上述の主目的を達成するために以下の手段を採った。 The present invention has taken the following measures to achieve the above-mentioned main object.
本発明の基板支持装置は、
基板搬送装置により搬送された基板を支持する基板支持装置であって、
上下動が可能なテーブルと、
該テーブルに設置され、前記基板の裏面に吸着して該基板を支持する支持体と、
を備え、
前記支持体は、吸着面が凹状の曲面であり、前記基板の裏面に押し付けられたときに、弾性変形により略平面となる吸盤が設けられている
ことを要旨とする。
The substrate support device of the present invention
A substrate support device that supports a substrate conveyed by a substrate transfer device.
A table that can move up and down,
A support that is installed on the table and is attracted to the back surface of the substrate to support the substrate.
With
The gist of the support is that the suction surface is a concave curved surface, and a suction cup that becomes substantially flat due to elastic deformation when pressed against the back surface of the substrate is provided.
この本発明の基板支持装置では、基板の裏面に吸着して基板を支持するものにおいて、基板との吸着に、吸着面が凹状の曲面であり、基板の裏面に押し付けられたときに、弾性変形により略平面となる吸盤を用いる。これにより、吸盤を基板の裏面に押し付けることで、基板と吸盤とを密着させて基板を吸着固定させることができる。この結果、簡易な構成により基板を適切に支持することができる。 In the substrate support device of the present invention, in the device that supports the substrate by adsorbing to the back surface of the substrate, the adsorption surface is a concave curved surface due to adsorption with the substrate, and elastic deformation occurs when pressed against the back surface of the substrate. A suction board that becomes substantially flat is used. As a result, by pressing the suction cup against the back surface of the substrate, the substrate and the suction cup can be brought into close contact with each other to suck and fix the substrate. As a result, the substrate can be appropriately supported by a simple configuration.
こうした本発明の基板支持装置において、前記テーブルの下降により前記吸盤を前記基板の裏面から剥離する剥離部材を備えるものとすることもできる。この態様の本発明の基板支持装置において、前記支持体には、上下方向が長手方向となる長孔または長溝が形成され、前記剥離部材は、一端側が前記長孔または前記長溝に摺動可能に取り付けられると共に、他端側が前記吸盤の外側縁に取り付けられているものとすることもできる。こうすれば、別途動力源を必要とすることなしに、テーブルを下降させることにより、吸盤を基板から剥離することができる。 In such a substrate support device of the present invention, it is also possible to include a peeling member that peels the suction cup from the back surface of the substrate by lowering the table. In the substrate support device of the present invention of this aspect, the support is formed with a long hole or a long groove having a longitudinal direction in the vertical direction, and one end side of the peeling member is slidable in the long hole or the long groove. It can be attached and the other end can be attached to the outer edge of the suction cup. In this way, the suction cups can be peeled off from the substrate by lowering the table without the need for a separate power source.
本発明を実施するための形態を説明する。 A mode for carrying out the present invention will be described.
図１は印刷装置１０の構成の概略を示す構成図であり、図２はバックアップピン３０の構成の概略を示す構成図である。本実施形態の印刷装置１０は、図示するように、スキージ２８ａ，２８ｂを用いてスクリーンマスクＭ上のはんだをローリングさせながらスクリーンマスクＭに形成されたパターン孔に押し込むことにより、下方の基板Ｓにはんだを塗布（印刷）するものである。ここで、図１の左右方向は印刷方向であり、前（手前）後（奥）方向は基板Ｓの搬送方向を示す。 FIG. 1 is a configuration diagram showing an outline of the configuration of the printing apparatus 10, and FIG. 2 is a configuration diagram showing an outline of the configuration of the backup pin 30. As shown in the figure, the printing apparatus 10 of the present embodiment uses the squeegees 28a and 28b to roll the solder on the screen mask M and push it into the pattern holes formed in the screen mask M, thereby pressing the solder on the lower substrate S. Solder is applied (printed). Here, the left-right direction in FIG. 1 is the printing direction, and the front (front) and rear (back) directions indicate the transport direction of the substrate S.
印刷装置１０は、図１に示すように、筐体１２と、筐体１２の下段部に設けられた基台１４と、基台１４上に設置された基板搬送装置２２と、基台１４上に設置された本実施形態の基板支持装置としてのバックアップ装置２４と、筐体１２の中段部に設けられたスクリーンマスク台１６と、筐体１２の上段部に設けられたスキージ装置２６と、を備える。 As shown in FIG. 1, the printing apparatus 10 includes a housing 12, a base 14 provided in the lower portion of the housing 12, a substrate transfer device 22 installed on the base 14, and a base 14 on the base 14. The backup device 24 as the substrate support device of the present embodiment installed in the above, the screen mask base 16 provided in the middle part of the housing 12, and the squeegee device 26 provided in the upper part of the housing 12. Be prepared.
スクリーンマスク台１６は、スクリーンマスクＭを水平な姿勢で支持固定するものである。 The screen mask base 16 supports and fixes the screen mask M in a horizontal posture.
基板搬送装置２２は、左右一対のベルトコンベア装置２２ａ，２２ｂを備えており、ベルトコンベア装置２２ａ，２２ｂの駆動により基板Ｓを図１の奥から手前へと搬送する。 The substrate transport device 22 includes a pair of left and right belt conveyor devices 22a and 22b, and transports the substrate S from the back to the front in FIG. 1 by driving the belt conveyor devices 22a and 22b.
バックアップ装置２４は、図示しない昇降装置によって昇降（上下動）が可能な金属製のバックアップテーブル２５と、バックアップテーブル２５上に設置されたバックアップピン３０と、を備える。このバックアップ装置２４は、基板搬送装置２２により基板Ｓが搬送された状態で、バックアップテーブル２５を上昇させることにより、基板Ｓを裏面側からバックアップする。 The backup device 24 includes a metal backup table 25 that can be raised and lowered (moved up and down) by a lifting device (not shown), and a backup pin 30 installed on the backup table 25. The backup device 24 backs up the substrate S from the back surface side by raising the backup table 25 in a state where the substrate S is transported by the substrate transport device 22.
スキージ装置２６は、矩形の板状部材としての２つのスキージ２８ａ，２８ｂをスクリーンマスクＭに対して所定角度傾斜させた状態で保持しており、図示しない昇降装置によって２つのスキージ２８ａ，２８ｂの一方を下降させると共に図示しない直線送り機構（ボールねじ機構など）によって左右方向に移動させることにより印刷を行う。 The squeegee device 26 holds two squeegees 28a and 28b as rectangular plate-shaped members in a state of being tilted by a predetermined angle with respect to the screen mask M, and one of the two squeegees 28a and 28b is provided by an elevating device (not shown). Is lowered and moved in the left-right direction by a linear feed mechanism (ball screw mechanism, etc.) (not shown) to perform printing.
バックアップピン３０は、図２に示すように、本体３２と、本体３２の上端に設けられた吸盤３４と、本体３２の下端（底面）に設けられた永久磁石３６と、本体３２と吸盤３４とをつなぐレバー３８と、を備える。このバックアップピン３０は、金属製のバックアップテーブル２５に本体３２の底面（磁石面）を吸着させることにより、バックアップテーブル２５上の任意の位置に直立姿勢で設置可能となっている。 As shown in FIG. 2, the backup pin 30 includes a main body 32, a suction cup 34 provided at the upper end of the main body 32, a permanent magnet 36 provided at the lower end (bottom surface) of the main body 32, and the main body 32 and the suction cup 34. A lever 38 for connecting the above is provided. The backup pin 30 can be installed in an upright posture at an arbitrary position on the backup table 25 by attracting the bottom surface (magnet surface) of the main body 32 to the metal backup table 25.
本体３２は、円柱形状の部材であり、バックアップテーブル２５に直立姿勢で設置することで、基板Ｓの裏面を支持可能となっている。また、本体３２は、中心軸上に長手方向が上下方向となる長孔３２ａが形成されている。 The main body 32 is a cylindrical member, and can support the back surface of the substrate S by installing it on the backup table 25 in an upright posture. Further, the main body 32 is formed with an elongated hole 32a having a longitudinal direction in the vertical direction on the central axis.
吸盤３４は、吸着面が凹状の曲面に形成された弾性部材であり、基板Ｓの裏面に押し付けられると、弾性変形により略平面となり、基板Ｓと吸盤３４との間を負圧（真空）状態として基板Ｓに吸着する。 The suction cup 34 is an elastic member whose suction surface is formed into a concave curved surface, and when pressed against the back surface of the substrate S, the suction cup 34 becomes a substantially flat surface due to elastic deformation, and a negative pressure (vacuum) state is provided between the substrate S and the suction cup 34. Is adsorbed on the substrate S.
永久磁石３６は、吸盤３４が基板Ｓを吸着した際に、本体３２がバックアップテーブル２５から浮き上がらないように、バックアップテーブル２５に対して吸盤３４の吸着力よりも強い吸引力を発生させるものが選定されている。 The permanent magnet 36 is selected to generate a suction force stronger than the suction force of the suction cup 34 on the backup table 25 so that the main body 32 does not rise from the backup table 25 when the suction cup 34 attracts the substrate S. Has been done.
レバー３８は、その両端にフック部３８ａ，３８ｂを有しており、一方のフック部３８ａが本体３２に形成された長孔３２ａに摺動自在に挿通され、他方のフック部３８ｂが吸盤３４の外側縁に設けられた係合穴３４ａに係合されている。 The lever 38 has hook portions 38a and 38b at both ends thereof, one hook portion 38a is slidably inserted into an elongated hole 32a formed in the main body 32, and the other hook portion 38b is a suction cup 34. It is engaged with an engaging hole 34a provided on the outer edge.
次に、こうして構成された本実施形態の基板支持装置としてのバックアップ装置２４の動作、特に、印刷前に基板Ｓをバックアップ（クランプ）する際の動作と、印刷後に基板Ｓのバックアップ（クランプ）を解除する際の動作について説明する。図３は、基板Ｓをバックアップする様子とバックアップを解除する様子とを示す説明図である。基板搬送装置２２により基板Ｓが機内に搬送されると、バックアップ装置２４は、昇降装置を駆動制御して、バックアップテーブル２５を上昇させる。吸盤３４が基板Ｓの裏面に接触した後（図３（ａ）参照）、バックアップ装置２４がバックアップテーブル２５をさらに上昇させると、吸盤３４の吸着面は、基板Ｓに押し付けられて弾性変形し、略平面となる（図３（ｂ）参照）。これにより、吸盤３４と基板Ｓとの間は瞬時に負圧（真空）状態となるため、吸盤３４が基板Ｓに吸着されて、基板Ｓがバックアップされることとなる。その後、印刷が終了すると、バックアップ装置２４は、昇降装置を駆動制御して、バックアップテーブル２５を下降させる。バックアップテーブル２５が下降すると、吸盤３４は外側縁がレバー３８によって引き離された状態となる（図３（ｃ）参照）。これにより、吸盤３４と基板Ｓとの間は瞬時に大気圧に達するため、吸盤３４が基板Ｓから剥離されて、基板Ｓのバックアップが解除されることとなる。なお、バックアップ装置２４によりバックアップが解除された基板Ｓは、基板搬送装置２２により機外へ搬出される。 Next, the operation of the backup device 24 as the substrate support device of the present embodiment configured in this way, particularly the operation of backing up (clamping) the substrate S before printing and the backup (clamping) of the substrate S after printing. The operation when releasing is described. FIG. 3 is an explanatory diagram showing a state of backing up the substrate S and a state of canceling the backup. When the substrate S is transported into the machine by the board transport device 22, the backup device 24 drives and controls the elevating device to raise the backup table 25. After the suction cup 34 comes into contact with the back surface of the substrate S (see FIG. 3A), when the backup device 24 further raises the backup table 25, the suction surface of the suction cup 34 is pressed against the substrate S and elastically deformed. It becomes a substantially flat surface (see FIG. 3B). As a result, the suction cup 34 and the substrate S are instantly in a negative pressure (vacuum) state, so that the suction cup 34 is attracted to the substrate S and the substrate S is backed up. After that, when printing is completed, the backup device 24 drives and controls the elevating device to lower the backup table 25. When the backup table 25 is lowered, the suction cup 34 is in a state where the outer edge is pulled away by the lever 38 (see FIG. 3C). As a result, the suction cup 34 and the substrate S instantly reach the atmospheric pressure, so that the suction cup 34 is peeled off from the substrate S and the backup of the substrate S is released. The board S whose backup has been released by the backup device 24 is carried out of the machine by the board transfer device 22.
ここで、本実施形態の構成要素と本発明の構成要素との対応関係を明らかにする。本実施形態のバックアップ装置２４が本発明の基板支持装置に相当し、バックアップテーブル２５がテーブルに相当し、バックアップピン３０（本体３２）が支持体に相当し、吸盤３４が吸盤に相当する。また、レバー３８が剥離部材に相当する。 Here, the correspondence between the components of the present embodiment and the components of the present invention will be clarified. The backup device 24 of the present embodiment corresponds to the substrate support device of the present invention, the backup table 25 corresponds to the table, the backup pin 30 (main body 32) corresponds to the support, and the suction cup 34 corresponds to the suction cup. Further, the lever 38 corresponds to the peeling member.
以上説明した本実施形態の基板支持装置は、バックアップテーブル２５に設置されて基板Ｓの裏面に吸着して基板Ｓを支持するバックアップピン３０を備え、バックアップピン３０の先端に、吸着面が凹状の曲面であり、基板Ｓに押し付けられたときに、弾性変形により略平面となる吸盤３４を設ける。これにより、バックアップテーブル２５を上昇させることにより、基板Ｓを吸盤３４とを密着させて、基板Ｓを吸着固定することができる。この結果、バックアップピンの吸着部に負圧源からの負圧を導入して基板Ｓを吸着させるものに比して、より簡易な構成で基板Ｓを支持することができると同時に、低コスト化を図ることができる。また、本実施形態の基板支持装置は、吸盤３４を基板Ｓに押し付けることで、直ちに基板Ｓに吸着することができるから、印刷動作へ素早く移行することが可能となり、サイクルタイムを向上させることができる。また、バックアップピンの吸着部に負圧源からの負圧を導入する場合、各バックアップピンと負圧源とを配管や継手によって接続しなければならず、配管がバックアップピン配置の邪魔となり配置レイアウトの自由度が阻害されるおそれがある。これに対して、本実施形態の基板支持装置は、こうした配管や継手が不要となるため、配置レイアウトの自由度を高くすることができる。また、配管の引き回しが不要となるため、生産する基板の種類を変更する段取り替えを行う場合に、バックアップピン３０をバックアップテーブル２５から取り外して次の基板の生産に適した配置レイアウトで配置し直すだけでよく、段取り替えの作業時間を大幅に短縮することができる。さらに、配管の引き回しが不要となるため、バックアップピン３０の配置を装置によって自動で行うように設計することも可能となる。 The substrate support device of the present embodiment described above includes a backup pin 30 that is installed on the backup table 25 and is attracted to the back surface of the substrate S to support the substrate S, and the suction surface is concave at the tip of the backup pin 30. A suction plate 34 which is a curved surface and becomes a substantially flat surface due to elastic deformation when pressed against the substrate S is provided. As a result, by raising the backup table 25, the substrate S can be brought into close contact with the suction cup 34, and the substrate S can be sucked and fixed. As a result, it is possible to support the substrate S with a simpler configuration and at the same time reduce the cost as compared with the one in which the negative pressure from the negative pressure source is introduced into the suction portion of the backup pin to suck the substrate S. Can be planned. Further, since the substrate support device of the present embodiment can be immediately attracted to the substrate S by pressing the suction cup 34 against the substrate S, it is possible to quickly shift to the printing operation and improve the cycle time. it can. In addition, when introducing negative pressure from a negative pressure source to the suction part of the backup pin, each backup pin and the negative pressure source must be connected by piping or joints, and the piping interferes with the backup pin arrangement and the arrangement layout The degree of freedom may be hindered. On the other hand, the substrate support device of the present embodiment does not require such pipes and joints, so that the degree of freedom in arrangement layout can be increased. In addition, since it is not necessary to route the pipes, the backup pin 30 is removed from the backup table 25 and rearranged in a layout suitable for the production of the next board when performing a setup change to change the type of the board to be produced. It is only necessary, and the work time for setup change can be significantly reduced. Further, since it is not necessary to route the pipes, it is possible to design the backup pins 30 to be automatically arranged by the device.
また、本実施形態の基板支持装置は、本体３２の長孔３２ａと吸盤３４の外側縁とをつなぐレバー３８を設けるから、バックアップテーブル２５を下降させるだけで、レバー３８によって吸盤３４を基板Ｓから剥離することができる。この結果、別途動力源を必要とすることなしに、吸盤３４を基板Ｓから剥離することができる。また、本実施形態の基板支持装置は、レバー３８によって吸盤３４と基板Ｓとの間に大気を導入して吸盤３４を直ちに基板Ｓから剥離させることができるから、次の基板Ｓの搬入動作へ素早く移行することが可能となり、サイクルタイムをさらに向上させることができる。 Further, since the substrate support device of the present embodiment is provided with a lever 38 connecting the elongated hole 32a of the main body 32 and the outer edge of the suction cup 34, the suction cup 34 is moved from the substrate S by the lever 38 only by lowering the backup table 25. Can be peeled off. As a result, the suction cup 34 can be peeled off from the substrate S without requiring a separate power source. Further, in the substrate support device of the present embodiment, the suction cup 34 can be immediately separated from the substrate S by introducing the atmosphere between the suction cup 34 and the substrate S by the lever 38, so that the next operation of carrying in the substrate S can be performed. It is possible to make a quick transition, and the cycle time can be further improved.
なお、本発明は上述した実施形態に何ら限定されることはなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の態様で実施し得ることはいうまでもない。 It is needless to say that the present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be implemented in various aspects as long as it belongs to the technical scope of the present invention.
例えば、上述した実施形態では、本体３２に長孔３２ａを形成し、レバー３８のフック部３８ａを長孔３２ａに摺動自在に挿通するものとしたが、例えば、長孔３２ａに代えて長溝を形成し、長溝にレバーのフック部を摺動自在に係合するもの等、レバーの一端を摺動自在に係合可能なものであれば、如何なる構成としてもよい。 For example, in the above-described embodiment, the elongated hole 32a is formed in the main body 32, and the hook portion 38a of the lever 38 is slidably inserted into the elongated hole 32a. For example, an elongated groove is provided instead of the elongated hole 32a. Any configuration may be used as long as it is formed and one end of the lever can be slidably engaged, such as one in which the hook portion of the lever is slidably engaged with the long groove.
また、上述した実施形態では、バックアップテーブル２５を上昇させることにより、バックアップテーブル２５に設置されたバックアップピン３０の吸盤３４を基板Ｓに押し付けるものとしたが、プッシャなどによって基板Ｓの表面を下方向に押さえることで、基板Ｓを吸盤３４に押し付けるものとしてもよい。 Further, in the above-described embodiment, the suction cup 34 of the backup pin 30 installed on the backup table 25 is pressed against the substrate S by raising the backup table 25, but the surface of the substrate S is downwardly pressed by a pusher or the like. The substrate S may be pressed against the suction cup 34 by pressing the substrate S against the suction cup 34.
また、上述した実施形態では、基板支持装置を、基板Ｓに配線パターンを印刷する印刷装置に適用して説明したが、これに限定されるものではなく、配線パターンが印刷された基板Ｓに部品を装着する部品装着装置に適用する等、基板Ｓを支持した状態で所定の作業を行う装置であれば、如何なる装置にも適用可能である。ここで、本実施形態の基板支持装置（バックアップ装置２４）を用いて構成された部品装着装置１１０の一例を図４に示す。なお、部品装着装置１１０は、図示するように、上述した構成と同様の基板搬送装置２２と、上述した構成と同様のバックアップ装置２４と、部品を供給する部品供給装置１２４と、供給された部品を吸着して基板Ｓに装着可能なノズル１２７を有するヘッド１２６と、ヘッド１２６を移動させる移動装置１２８と、を備える。 Further, in the above-described embodiment, the substrate support device has been described by applying it to a printing device that prints a wiring pattern on the substrate S, but the present invention is not limited to this, and components are mounted on the substrate S on which the wiring pattern is printed. It can be applied to any device as long as it is a device that performs a predetermined operation while supporting the substrate S, such as being applied to a component mounting device to which the board S is mounted. Here, FIG. 4 shows an example of the component mounting device 110 configured by using the board support device (backup device 24) of the present embodiment. As shown in the figure, the component mounting device 110 includes a substrate transfer device 22 having the same configuration as described above, a backup device 24 having the same configuration as described above, a component supply device 124 to supply components, and supplied components. The head 126 has a nozzle 127 that can be attached to the substrate S by adsorbing the head 126, and a moving device 128 that moves the head 126.
本発明は、基板支持装置の製造産業などに利用可能である。 The present invention can be used in the manufacturing industry of substrate support devices and the like.
１０ 印刷装置、１２ 筐体、１４ 基台、１６ スクリーンマスク台、２２ 基板搬送装置、２２ａ，２２ｂ ベルトコンベア装置、２４ バックアップ装置、２５ バックアップテーブル、２６ スキージ装置、２８ａ，２８ｂ スキージ、３０ バックアップピン、３２ 本体、３２ａ 長孔、３４ 吸盤、３４ａ 係合穴、３６ 永久磁石、３８ レバー、３８ａ，３８ｂ フック部、１１０ 部品装着装置、１２４ 部品供給装置、１２６ ヘッド、１２７ ノズル、１２８ 移動装置、Ｓ 基板、Ｍ スクリーンマスク。 10 printing equipment, 12 housings, 14 bases, 16 screen mask bases, 22 board transport equipment, 22a, 22b belt conveyor equipment, 24 backup equipment, 25 backup tables, 26 squeegee equipment, 28a, 28b squeegees, 30 backup pins, 32 Main body, 32a long hole, 34 suction plate, 34a engaging hole, 36 permanent magnet, 38 lever, 38a, 38b hook part, 110 parts mounting device, 124 parts supply device, 126 head, 127 nozzle, 128 moving device, S board , M screen mask.
Claims (1)
前記所定の作業の前に上昇し、前記所定の作業が終了すると下降するように上下動が可能な金属製のテーブルと、
底面に永久磁石が設けられ、前記永久磁石が前記底面を前記テーブルに吸着することにより前記テーブルに設置され、前記基板の裏面に吸着して該基板を支持する支持体と、
を備え、
前記支持体は、吸着面が凹状の曲面であり、前記基板の裏面に押し付けられたときに、弾性変形により略平面となる吸盤が設けられ、
前記テーブルに対する前記永久磁石の吸着力は、前記吸盤の吸着力よりも強くされ、
前記テーブルの下降により前記吸盤を前記基板の裏面から剥離する剥離部材を備え、
前記支持体には、上下方向が長手方向となる長孔または長溝が形成され、
前記剥離部材は、一端側が前記長孔または前記長溝に摺動可能に取り付けられると共に、他端側が前記吸盤の外側縁に取り付けられている
ことを特徴とする基板支持装置。 An apparatus for performing a predetermined work in a state of supporting the substrate, a substrate supporting device for supporting the substrate transferred by the substrate transfer device,
A metal table that can be moved up and down so that it rises before the predetermined work and lowers when the predetermined work is completed .
A permanent magnet is provided on the bottom surface, and the permanent magnet is installed on the table by attracting the bottom surface to the table, and a support that is attracted to the back surface of the substrate to support the substrate.
With
The support has a curved surface with a concave suction surface, and is provided with a suction cup that becomes substantially flat due to elastic deformation when pressed against the back surface of the substrate.
The attractive force of the permanent magnet to the table is made stronger than the attractive force of the suction cup .
A peeling member for peeling the suction cup from the back surface of the substrate by lowering the table is provided.
The support is formed with an elongated hole or an elongated groove having a longitudinal direction in the vertical direction.
The substrate support device is characterized in that one end side is slidably attached to the elongated hole or the elongated groove and the other end side is attached to the outer edge of the suction cup .
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