JP6790731B2 - ダイヤモンド膜表面に微細周期構造溝を形成する方法 - Google Patents
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- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 title claims description 75
- 239000010432 diamond Substances 0.000 title claims description 75
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 51
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 claims description 60
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 8
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 claims description 8
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims description 6
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 claims description 5
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000010409 ironing Methods 0.000 description 56
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 24
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 24
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 23
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 17
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 239000000463 material Substances 0.000 description 15
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 14
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 11
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 9
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 9
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 description 8
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 7
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N iron Substances [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 6
- 238000001069 Raman spectroscopy Methods 0.000 description 5
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 5
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 5
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 4
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 4
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 3
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N Propane Chemical compound CCC ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001237 Raman spectrum Methods 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 229910003481 amorphous carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 2
- 238000000608 laser ablation Methods 0.000 description 2
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 2
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 2
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 2
- UONOETXJSWQNOL-UHFFFAOYSA-N tungsten carbide Chemical compound [W+]#[C-] UONOETXJSWQNOL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005491 wire drawing Methods 0.000 description 2
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 1
- UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N Carbon monoxide Chemical compound [O+]#[C-] UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OTMSDBZUPAUEDD-UHFFFAOYSA-N Ethane Chemical compound CC OTMSDBZUPAUEDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N alpha-acetylene Natural products C#C HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 1
- 229910002091 carbon monoxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000007865 diluting Methods 0.000 description 1
- 230000008034 disappearance Effects 0.000 description 1
- 125000002534 ethynyl group Chemical group [H]C#C* 0.000 description 1
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 230000001050 lubricating effect Effects 0.000 description 1
- 238000005461 lubrication Methods 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 239000001294 propane Substances 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 238000010183 spectrum analysis Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000005028 tinplate Substances 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
- 230000037303 wrinkles Effects 0.000 description 1
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/062—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by direct control of the laser beam
- B23K26/0622—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by direct control of the laser beam by shaping pulses
- B23K26/0624—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by direct control of the laser beam by shaping pulses using ultrashort pulses, i.e. pulses of 1ns or less
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/36—Removing material
- B23K26/362—Laser etching
- B23K26/364—Laser etching for making a groove or trench, e.g. for scribing a break initiation groove
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B21—MECHANICAL METAL-WORKING WITHOUT ESSENTIALLY REMOVING MATERIAL; PUNCHING METAL
- B21D—WORKING OR PROCESSING OF SHEET METAL OR METAL TUBES, RODS OR PROFILES WITHOUT ESSENTIALLY REMOVING MATERIAL; PUNCHING METAL
- B21D22/00—Shaping without cutting, by stamping, spinning, or deep-drawing
- B21D22/20—Deep-drawing
- B21D22/28—Deep-drawing of cylindrical articles using consecutive dies
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B21—MECHANICAL METAL-WORKING WITHOUT ESSENTIALLY REMOVING MATERIAL; PUNCHING METAL
- B21D—WORKING OR PROCESSING OF SHEET METAL OR METAL TUBES, RODS OR PROFILES WITHOUT ESSENTIALLY REMOVING MATERIAL; PUNCHING METAL
- B21D37/00—Tools as parts of machines covered by this subclass
- B21D37/01—Selection of materials
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B21—MECHANICAL METAL-WORKING WITHOUT ESSENTIALLY REMOVING MATERIAL; PUNCHING METAL
- B21D—WORKING OR PROCESSING OF SHEET METAL OR METAL TUBES, RODS OR PROFILES WITHOUT ESSENTIALLY REMOVING MATERIAL; PUNCHING METAL
- B21D37/00—Tools as parts of machines covered by this subclass
- B21D37/20—Making tools by operations not covered by a single other subclass
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B21—MECHANICAL METAL-WORKING WITHOUT ESSENTIALLY REMOVING MATERIAL; PUNCHING METAL
- B21D—WORKING OR PROCESSING OF SHEET METAL OR METAL TUBES, RODS OR PROFILES WITHOUT ESSENTIALLY REMOVING MATERIAL; PUNCHING METAL
- B21D51/00—Making hollow objects
- B21D51/16—Making hollow objects characterised by the use of the objects
- B21D51/26—Making hollow objects characterised by the use of the objects cans or tins; Closing same in a permanent manner
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K2103/00—Materials to be soldered, welded or cut
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mounting, Exchange, And Manufacturing Of Dies (AREA)
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Description
また、特許文献2には、基板上に形成される切削工具用ダイヤモンド皮膜であって、この皮膜は複数の皮膜層から形成されており、最表層の皮膜層(第三皮膜層)は、ラマン分光スペクトル分析による強度比(ID/IG)が0.6以上であることが記載されている。
しかしながら、集束イオンビーム(FIB)を用いる方法は、装置が高価であるばかりか加工範囲が狭いという問題がある。また、フェムト秒レーザを用いる方法も装置が高価であり、しかも大型であるばかりか、加工量が少ないという問題がある。
従って、上記の方法は、何れも加工面の小さな切削工具の表面に形成されたダイヤモンド表面に適用され、ダイヤモンド表面が大面積の加工面となっている成形金型には、実質上、適用されない。コストと時間がかかり過ぎるからである。
しかしながら、この成形金型表面に形成されている微細周期構造溝は、絞りしごき加工に際しての摩耗や金属の凝着が著しいため、寿命が短く、繰り返しての加工が困難であり、結果として、量産目的の工業的実施には適用困難であった。
(1)前記微細周期構造溝が、構造色を発現する規則的配列を有していること、
(2)前記レーザ光が、200mJ/cm2以上のフルエンスでダイヤモンド表面に照射されること、
(3)前記レーザ光の波長が1064nm未満であること、
が好適である。
かかる溝3の間隔や幅及び深さは、可視光波長(約400nm〜700nm)に近いものであり、このような溝3が多数形成されていることにより、光の回折が生じ、隣り合う溝3、3の間の部分(凸部)で光路差による光の干渉が生じ、これにより、構造色が発現する。
本発明において、上記のダイヤモンド表面1は、CVD法により形成された多結晶構造のダイヤモンド膜の表面である。即ち、ダイヤモンドの単結晶は大面積に形成することが困難であるため、本発明では、CVDにより形成された多結晶構造のダイヤモンド膜の表面に、微細周期構造溝を形成するものである。
ID/IG (1)
式中、
IDは、前記炭素膜表面のラマン分光スペクトルにおける1333±10cm−1での最大ピーク強度であり、
IGは、前記炭素膜表面のラマン分光スペクトルにおける1500±100cm−1での最大ピーク強度である、
で表される強度比が1.0以上、特に1.2以上のラマン分光スペクトルを示すことが好適である。
例えば、ピーク強度比が上記の範囲にあるダイヤモンド膜は、ビッカース硬度が8000以上の著しく硬度な膜であり、また、化学的安定性が高い。従って、このようなダイヤモンド膜は、しごき加工のような過酷な成形が行われるしごきダイスの加工面を形成するのに適している。例えば、上記強度比が1.0よりも低いときには、ダイヤモンド膜中のグラファイト成分が多く、硬度等が損なわれ、過酷な成形が行われるしごき加工ダイス等の塑性加工金型の加工面を形成するには適当でない。
上記の原料ガスを使用し、ダイヤモンド膜の下地となる基材を700〜1000℃の高温に加熱し、原料ガスを分解して活性種を生成せしめ、基材上でダイヤモンド結晶を成長させることにより成膜が行われる。かかる成膜に際しては、解離した水素原子が、基材上に生成したグラファイトやアモルファスカーボンを選択的にエッチングし、これにより、ダイヤモンド成分が多く、膜のラマン分光スペクトルのピーク強度比を前述した範囲内とすることができる。
例えば、本出願人が提案している特開2011−177883号に開示されているように、炭素と易反応性の金属(Zr,Ta,Ti,W,Nb、Alなど)または浸炭性金属(Fe,Ni,Coなど)からなる表面を有するベルト、ワイヤー等の研磨部材を使用し、炭素膜表面(及び/または研磨部材の表面)をレーザ等の加熱手段を用いてダイヤモンドが分解しない程度の温度に加熱しながら研磨部材を摺擦することにより、膜の表面粗さRaを前述した範囲に調整し、これにより、目的とするダイヤモンド膜、即ち、所定のダイヤモンド表面1を得ることができる。
本発明においては、上記のようなダイヤモンド表面1に微細周期構造溝3を、レーザ加工及び干渉を利用して形成する。即ち、このダイヤモンド表面1は、硬質であり、工具を用いての切削加工では、溝を形成することができず、また、単にレーザを集光させただけでも微細加工ができないため、周期的強度分布が発生するように(即ち、光の干渉)レーザ光を照射してのレーザ加工により微細周期構造溝3を形成する。
尚、エネルギー密度(フルエンス)のコントロールは、レーザ発振器11におけるレーザ出力の調整の他、例えば、レーザ出力が同じで照射ビーム径を変化させることによっても実現できる。
また、コリメータ素子13は、例えば焦点距離が200mmの合成石英平凸レンズを用いることができ、この場合は、ビームスプリッタ12から200mmの位置に置かれる。そして、コリメータ素子13は、ビームスプリッタ12で分割された複数の光束を通す。
さらに、光束選択素子14は、コリメータ素子13を通過した光束が焦点を結ぶ位置におかれ、複数の光束のうち干渉に不必要な光束を遮り、必要な光束のみを通過させる。
集光素子15は、例えば、焦点距離が100mmの合成石英平凸レンズを用いることができ、光束選択素子14を通過した光束を集光し、光束を交差させ干渉させる。
尚、コリメータ素子や集光素子としては、凸レンズの他、フレネルレンズやGRIN(Graded−Index)レンズ等の光学素子を用いることができる。
この干渉領域は図3に示すように高強度域の分布となり、この領域で基材20に形成されているダイヤモンド表面1にレーザ光が照射される。このとき、干渉領域における高強度域の間隔(周期)dは、光束の交差角度θによって異なる。高強度域の周期dは、レーザ波長λ、光束の交差角度θを用いて次式で求めることができる。
d=λ/(2sin(θ/2))
本発明にしたがって微細周期構造溝3が形成されたしごき加工用ダイスを説明するに先立って、このダイスを用いたしごき加工を利用したプレス加工について説明する。
図4は、しごき加工を利用したプレス成形プロセスの代表例である金属缶の製造プロセスを示したものである。
かかる打ち抜き加工では、円板33の直径に相当する外径を有する打ち抜き用パンチ35と、素板31を保持し且つ円板33の直径に相当する開口を有するダイス37が使用される。即ち、パンチ35によりダイス37上に保持された素板31を打ち抜くことにより、所定の大きさの円板33が得られる。
尚、かかる製造プロセスで製造する成形物の形態によっては、素板31は、他の形状(例えば矩形状)に打ち抜かれることもある。
かかる絞り加工においては、ダイス41上に打ち抜かれた円板33が保持され、この円板33の周囲はしわ押え用の治具43によって保持されている。ダイス41には、開口が形成されており、絞り用のパンチ45を用いてダイス41の開口内に円板33を押し込むことにより、絞り缶39が得られることとなる。
尚、このダイス41の開口の上端のコーナー部(円板33を保持している側)にアール(曲率部)が形成されており、円板33が速やかに且つ折れることなく、ダイス41の開口内に押し込まれるようになっており、パンチ45の外径は、円板33のほぼ厚みに相当する分だけ、ダイス41の開口の径よりも小さく設定されている。即ち、この絞り加工では、薄肉化はほとんど行われない。
このしごき加工では、上記の絞り加工により得られた絞り缶39の内部にしごき用のパンチ49を挿入し、リング形状のしごきダイス51の内面に該絞り缶39の外面を圧接しながら、パンチ49を降下させることにより、しごきダイス51により、絞り缶39の側壁が薄肉化されていくこととなる。これにより、薄肉化され、且つ薄肉化の程度に応じてハイトが高くなった金属缶基体47が得られることとなる。
即ち、この金属缶基体47は、印刷等が施されておらず、また、ネックイン加工等が行われていないブランク缶である。
本発明では、このしごき加工用ダイス51の加工面(被成形物とダイス51とが接触する面)を、前述したダイヤモンド膜の形成及び表面研磨によるダイヤモンド表面1とし、この表面1に、前述した方法により微細周期構造溝3を形成することが好ましい。
さらに、微細周期構造溝3は、この作用面60xの少なくとも一部に形成される。
即ち、加工面60が滑り性に優れ、被加工金属材の凝着がし難い硬質のダイヤモンド表面1となっているため、上記ブランク缶47の外面は平滑度の高い鏡面となり、且つしごき加工により、微細周期構造溝3がつぶれることなく、効果的にブランク缶47の外面に転写され、明瞭な構造色を発色することとなる。
しかも、上記のしごき加工が繰り返し行われた場合にも、摩耗や被加工金属材の凝着が有効に抑制されているため、繰り返しの加工による微細周構造溝3の消失も有効に防止され、この工具寿命は極めて長い。従って、しごき加工用ダイス51を交換することなく、多数のブランク缶47を形成することができ、工業的に極めて有利である。
また、このようなしごき加工用ダイス51を用いてのしごき加工は、種々の金属ないし合金材に適用することができ、例えば、アルミニウム、銅、鉄或いは、これらの金属を含む合金、さらにはブリキなどの錫めっき鋼板などの表面処理鋼板などについても、本発明のしごき加工用ダイス51を用いて、しごき率の高い過酷なしごき加工を行うことができる。
特に、本発明のしごき加工用ダイス51は、前述した図4に示すプロセスで金属缶基体を製造する際のしごき加工に好適に使用することができ、アルミニウムもしくはアルミニウム合金製缶の製造に最も好適に適用される。
また、上記では、本発明で使用するレーザ光照射装置、本発明の微細周期構造溝の形成方法等の実施態様も説明したが、これらについても、上述した実施態様に限定されず、本発明の範囲で種々の変更実施が可能であることは言うまでもない。
3:微細周期構造溝
51:しごき加工用ダイス
60:加工面
Claims (4)
- CVD法により形成された多結晶構造のダイヤモンド膜の表面を平均表面粗さRaが0.1μm以下となるように表面研磨し、次いで該表面研磨により平滑化された平滑面に、周期的強度分布を発生させたパルス幅が1ns以上のレーザ光を照射することにより、微細周期構造溝を形成することを特徴とするダイヤモンド膜表面への微細周期構造溝形成方法。
- 前記微細周期構造溝が、構造色を発現する規則的配列を有している請求項1に記載の微細周期構造溝形成方法。
- 前記レーザ光が、200mJ/cm2以上のフルエンスでダイヤモンド表面に照射される請求項1または2に記載の微細周期構造溝形成方法。
- 前記レーザ光の波長が1064nm未満である請求項1〜3の何れかに記載の微細周期構造溝形成方法。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016214553A JP6790731B2 (ja) | 2016-11-01 | 2016-11-01 | ダイヤモンド膜表面に微細周期構造溝を形成する方法 |
CN201780066874.9A CN109890555B (zh) | 2016-11-01 | 2017-09-01 | 在金刚石的表面形成精细周期性结构的槽的方法 |
PCT/JP2017/031658 WO2018083878A1 (ja) | 2016-11-01 | 2017-09-01 | ダイヤモンド表面に微細周期構造溝を形成する方法 |
EP17866752.3A EP3536441B1 (en) | 2016-11-01 | 2017-09-01 | Method for forming fine periodic structural grooves on diamond surface |
KR1020197014397A KR102235628B1 (ko) | 2016-11-01 | 2017-09-01 | 다이아몬드 표면에 미세 주기 구조 홈을 형성하는 방법 |
US16/345,966 US20200055147A1 (en) | 2016-11-01 | 2017-09-01 | Method of forming grooves of a fine periodic structure in the surface of the diamond |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016214553A JP6790731B2 (ja) | 2016-11-01 | 2016-11-01 | ダイヤモンド膜表面に微細周期構造溝を形成する方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018069309A JP2018069309A (ja) | 2018-05-10 |
JP6790731B2 true JP6790731B2 (ja) | 2020-11-25 |
Family
ID=62076653
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016214553A Active JP6790731B2 (ja) | 2016-11-01 | 2016-11-01 | ダイヤモンド膜表面に微細周期構造溝を形成する方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20200055147A1 (ja) |
EP (1) | EP3536441B1 (ja) |
JP (1) | JP6790731B2 (ja) |
KR (1) | KR102235628B1 (ja) |
CN (1) | CN109890555B (ja) |
WO (1) | WO2018083878A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113039025B (zh) * | 2018-10-31 | 2024-01-12 | 东洋制罐集团控股株式会社 | 机械加工用治具以及机械加工方法和无缝罐体的制造方法 |
CN109570746A (zh) * | 2018-12-13 | 2019-04-05 | 郑州元素工具技术有限公司 | 一种激光粗化金刚石的方法 |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4733193Y1 (ja) | 1968-02-22 | 1972-10-06 | ||
DE2328412C3 (de) | 1973-06-04 | 1975-11-27 | Springfix-Befestigungstechnik Gmbh, 7335 Salach | Befestigungselement |
WO1992001973A2 (en) * | 1990-07-20 | 1992-02-06 | Mcgrew Stephen P | Embossing tool |
JP2801451B2 (ja) | 1991-12-25 | 1998-09-21 | 京セラ株式会社 | 金属加工用治具 |
US5458827A (en) * | 1994-05-10 | 1995-10-17 | Rockwell International Corporation | Method of polishing and figuring diamond and other superhard material surfaces |
US5824374A (en) * | 1996-07-22 | 1998-10-20 | Optical Coating Laboratory, Inc. | In-situ laser patterning of thin film layers during sequential depositing |
KR100250453B1 (ko) * | 1997-11-29 | 2000-04-01 | 정선종 | 브래그 거울의 식각을 실시간으로 감지하는 방법 |
JPH11277160A (ja) * | 1998-03-27 | 1999-10-12 | Asahi Seiki Mfg Co Ltd | プレス用ダイヤモンド被覆絞りダイス |
JP4124396B2 (ja) * | 1999-12-17 | 2008-07-23 | 独立行政法人科学技術振興機構 | ホログラムの製造方法および装置 |
JP2004537758A (ja) * | 2001-07-27 | 2004-12-16 | エフ・イ−・アイ・カンパニー | 電子ビーム処理 |
JP4073204B2 (ja) * | 2001-11-19 | 2008-04-09 | 株式会社荏原製作所 | エッチング方法 |
JP2003165548A (ja) * | 2001-11-29 | 2003-06-10 | Toyo Seikan Kaisha Ltd | ホログラム付き金属容器およびその製造方法 |
JP2004188511A (ja) * | 2002-12-06 | 2004-07-08 | Ricoh Co Ltd | 微細溝加工方法及び微細溝形状加工品並びに成形品 |
JP4247383B2 (ja) * | 2003-08-28 | 2009-04-02 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 透明材料の微細アブレーション加工方法 |
CN2787362Y (zh) * | 2004-12-31 | 2006-06-14 | 中国科学院理化技术研究所 | 一种利用激光在光敏性材料中制有多重周期微结构的系统 |
JP4269295B2 (ja) * | 2007-02-20 | 2009-05-27 | セイコーエプソン株式会社 | 微細構造体の製造方法 |
CN201244625Y (zh) * | 2008-06-25 | 2009-05-27 | 江苏大学 | 一种激光微造型盒形拉深模具 |
JPWO2011096353A1 (ja) * | 2010-02-05 | 2013-06-10 | 株式会社フジクラ | 微細構造の形成方法および微細構造を有する基体 |
US8512588B2 (en) * | 2010-08-13 | 2013-08-20 | Lawrence Livermore National Security, Llc | Method of fabricating a scalable nanoporous membrane filter |
JP5878086B2 (ja) * | 2012-06-21 | 2016-03-08 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 切削工具の製造方法 |
-
2016
- 2016-11-01 JP JP2016214553A patent/JP6790731B2/ja active Active
-
2017
- 2017-09-01 CN CN201780066874.9A patent/CN109890555B/zh active Active
- 2017-09-01 WO PCT/JP2017/031658 patent/WO2018083878A1/ja unknown
- 2017-09-01 KR KR1020197014397A patent/KR102235628B1/ko active IP Right Grant
- 2017-09-01 US US16/345,966 patent/US20200055147A1/en not_active Abandoned
- 2017-09-01 EP EP17866752.3A patent/EP3536441B1/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20200055147A1 (en) | 2020-02-20 |
CN109890555A (zh) | 2019-06-14 |
KR20190072601A (ko) | 2019-06-25 |
KR102235628B1 (ko) | 2021-04-02 |
EP3536441A4 (en) | 2021-02-17 |
JP2018069309A (ja) | 2018-05-10 |
WO2018083878A1 (ja) | 2018-05-11 |
EP3536441A1 (en) | 2019-09-11 |
EP3536441B1 (en) | 2024-02-14 |
CN109890555B (zh) | 2021-11-09 |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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