JP6786162B2 - Coating device and coating method - Google Patents

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Description

本発明は、塗布装置、及び塗布方法に関する。 The present invention relates to a coating apparatus and a coating method.

ステージに載置された基板に対向する位置にノズルを配置し、基板とノズルを相対移動させながらノズルから液状体を吐出させることにより、基板上に液状体を塗布する塗布装置が知られている。上述のような塗布装置の場合、例えば、ノズルのメンテナンス、あるいは、塗布に使用する液状体を交換する際に、ノズルの交換が行われる。例えば、複数のノズルを基板の移動経路上に切り替えて配置する塗布装置が提案されている（例えば、下記の特許文献１参照） A coating device is known in which a nozzle is arranged at a position facing a substrate mounted on a stage, and a liquid material is discharged from the nozzle while moving the substrate and the nozzle relative to each other to apply the liquid material on the substrate. .. In the case of the coating apparatus as described above, the nozzle is replaced, for example, when the nozzle is maintained or the liquid material used for coating is replaced. For example, a coating device has been proposed in which a plurality of nozzles are switched and arranged on a moving path of a substrate (see, for example, Patent Document 1 below).

特開２００８−１６００４４号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2008-160044

ノズルの交換は、塗布装置の動作を停止して行うため、生産性を低下させる。このため、迅速にノズルの交換を行うことが可能な塗布装置が望まれている。 Since the nozzle replacement is performed by stopping the operation of the coating device, the productivity is lowered. Therefore, a coating device capable of quickly replacing the nozzle is desired.

以上のような事情に鑑み、本発明は、迅速にノズルの交換を行うことが可能な塗布装置、及び塗布方法を提供することを目的とする。 In view of the above circumstances, it is an object of the present invention to provide a coating device and a coating method capable of rapidly replacing nozzles.

本発明の第１の態様においては、塗布装置が提供される。塗布装置は、基板を載置するステージを備える。塗布装置は、液状体を吐出可能な複数のノズルから１つを選択して支持し、かつ、支持したノズルを昇降させる昇降駆動部を備えるノズル支持部を備える。塗布装置は、ノズル支持部とステージとを相対的に移動させる駆動部を備える。塗布装置は、ノズル支持部に対してノズルの受け渡しを行う複数のノズル受け渡し機構を備える。 Oite to a first aspect of the present invention, the coating apparatus is provided. The coating device includes a stage on which the substrate is placed . The coating device includes a nozzle support portion that includes a lifting drive unit that selects and supports one of a plurality of nozzles capable of discharging the liquid material and raises and lowers the supported nozzles . Application device, Ru provided with a driving unit for relatively moving the nozzle support and the stage. The coating device includes a plurality of nozzle delivery mechanisms for delivering nozzles to the nozzle support portion.

本発明の第２の態様においては、塗布方法が提供される。塗布方法は、基板に液状体を塗布する方法である。塗布方法は、基板をステージに載置することを含む。塗布方法は、液状体を吐出可能な複数のノズルをそれぞれ保持する複数の受け渡し機構により、ノズルを昇降させる昇降駆動部を備えるノズル支持部に対してノズルの受け渡しを行うことで複数のノズルから１つを選択して、ノズル支持部に支持することを含む。塗布方法は、ノズル支持部とステージとを相対的に移動させながら、基板にノズルにより液状体を塗布することを含む。 Oite to a second aspect of the present invention, the coating method is provided. Coating method, Ru method der applying a liquid material to a substrate. The coating method comprises placing the substrate on a stage . The coating method is to transfer the nozzles from a plurality of nozzles to a nozzle support portion provided with an elevating drive unit for raising and lowering the nozzles by a plurality of transfer mechanisms each holding a plurality of nozzles capable of discharging a liquid material. One of the selected includes supporting the Roh nozzle support. The coating method, while relatively moving the nozzle support and the stage, including that you apply the liquid material by the nozzle to the substrate.

本発明によれば、迅速にノズルの交換を行うことができる。 According to the present invention, the nozzle can be replaced quickly.

第１実施形態に係る塗布装置の一例を示す上面図である。It is a top view which shows an example of the coating apparatus which concerns on 1st Embodiment. 図１のＡ−Ａ線に沿った断面の断面図である。It is sectional drawing of the cross section along the line AA of FIG. 図１のＢ−Ｂ線に沿った断面の断面図である。It is sectional drawing of the cross section along the line BB of FIG. 実施形態に係る塗布方法の一例を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows an example of the coating method which concerns on embodiment. （Ａ）及び（Ｂ）は、塗布装置の動作の一例を示す図である。(A) and (B) are diagrams showing an example of the operation of the coating apparatus. 図５に続いて、（Ａ）及び（Ｂ）は塗布装置の動作の一例を示す図である。Following FIGS. 5, (A) and (B) are diagrams showing an example of the operation of the coating device. 図６に続いて、（Ａ）及び（Ｂ）は塗布装置の動作の一例を示す図である。Following FIG. 6, FIGS. 6A and 6B are diagrams showing an example of the operation of the coating apparatus. （Ａ）及び（Ｂ）は、ノズル支持部及びノズル受け渡し機構のノズル保持部の第１の例を示す図である。(A) and (B) are diagrams showing a first example of a nozzle support portion and a nozzle holding portion of a nozzle delivery mechanism. ノズル支持部及びノズル受け渡し機構のノズル保持部の第２の例を示す図である。It is a figure which shows the 2nd example of the nozzle support part and the nozzle holding part of a nozzle delivery mechanism. ノズル支持部及びノズル受け渡し機構のノズル保持部の第３の例を示す図である。It is a figure which shows the 3rd example of the nozzle support part and the nozzle holding part of a nozzle delivery mechanism. （Ａ）及び（Ｂ）は、位置決め部の一例を示す図である。(A) and (B) are diagrams showing an example of a positioning unit. 第２実施形態に係る塗布装置の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the coating apparatus which concerns on 2nd Embodiment. 第３実施形態に係る塗布装置の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the coating apparatus which concerns on 3rd Embodiment. 第４実施形態に係る塗布装置の一例を示す上面図である。It is a top view which shows an example of the coating apparatus which concerns on 4th Embodiment. （Ａ）は、第４実施形態のノズルを示す図である。（Ｂ）は、第４実施形態のノズル及びガントリを示す図である。(A) is a figure which shows the nozzle of 4th Embodiment. (B) is a diagram showing a nozzle and a gantry of the fourth embodiment. （Ａ）は、第４実施形態のノズル受け渡し機構を示す図である。（Ｂ）は、ノズル保持部の拡大図である。(A) is a figure which shows the nozzle delivery mechanism of 4th Embodiment. (B) is an enlarged view of the nozzle holding portion. （Ａ）及び（Ｂ）は、塗布装置の動作の一例を示す図である。(A) and (B) are diagrams showing an example of the operation of the coating apparatus. 図１７に続いて、（Ａ）及び（Ｂ）は、塗布装置の動作の一例を示す図である。Following FIGS. 17, FIGS. 17A and 17B are diagrams showing an example of the operation of the coating apparatus. 図１８に続いて、（Ａ）及び（Ｂ）は、塗布装置の動作の一例を示す図である。Following FIGS. 18, (A) and (B) are diagrams showing an example of the operation of the coating device. ノズル受け渡し機構の他の例を示す図である。It is a figure which shows another example of a nozzle delivery mechanism.

［第１実施形態］
第１実施形態について説明する。以下の説明において、適宜、図１などに示すＸＹＺ直交座標系を参照する。このＸＹＺ直交座標系は、Ｘ方向およびＹ方向が水平方向（横方向）であり、Ｚ方向が鉛直方向である。また、各方向において、適宜、矢印の先端と同じ側を＋側（例、＋Ｚ側）、矢印の先端と反対側を−側（例、−Ｚ側）と称す。例えば、鉛直方向（Ｚ方向）において、上方が＋Ｚ側であり、下方が−Ｚ側である。なお、図面においては、実施形態を説明するため、一部または全部を模式的に記載するとともに、一部分を大きくまたは強調して記載する等適宜縮尺を変更して表現した部分を含む。 [First Embodiment]
The first embodiment will be described. In the following description, the XYZ Cartesian coordinate system shown in FIG. 1 and the like will be referred to as appropriate. In this XYZ Cartesian coordinate system, the X direction and the Y direction are the horizontal direction (horizontal direction), and the Z direction is the vertical direction. Further, in each direction, the same side as the tip of the arrow is referred to as a + side (eg, + Z side), and the side opposite to the tip of the arrow is referred to as a − side (eg, −Z side). For example, in the vertical direction (Z direction), the upper side is the + Z side and the lower side is the −Z side. In addition, in the drawing, in order to explain the embodiment, a part or the whole is schematically described, and a part expressed by changing the scale as appropriate such as drawing a part in a large or emphasized manner is included.

図１は、第１実施形態に係る塗布装置の一例を示す上面図である。図２は、図１のＡ−Ａ線に沿った断面を−Ｙ方向から見た断面図である。図３は、図１のＢ−Ｂ線に沿った断面を−Ｙ方向から見た断面図である。本実施形態の塗布装置１は、基板Ｓに液状体Ｌ（図７（Ｂ）参照）を塗布する。塗布装置１は、例えば、フレーム２と、制御部３と、ステージ４と、ステージ駆動部５（駆動部）と、ノズルＮＺと、ノズル支持部６と、ノズル受け渡し機構７と、を備える。 FIG. 1 is a top view showing an example of the coating apparatus according to the first embodiment. FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line AA of FIG. 1 as viewed from the −Y direction. FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line BB of FIG. 1 as viewed from the −Y direction. The coating device 1 of the present embodiment coats the liquid material L (see FIG. 7B) on the substrate S. The coating device 1 includes, for example, a frame 2, a control unit 3, a stage 4, a stage driving unit 5 (driving unit), a nozzle NZ, a nozzle support unit 6, and a nozzle transfer mechanism 7.

フレーム２は、各部を支持する。フレーム２は、例えば、ステージ支持部９と、ガントリ１０と、を含む（図２及び図３参照）。ステージ支持部９は、例えば、ステージ４をＸ方向と平行な方向に移動可能に支持する。ステージ支持部９は、例えば、脚部９ａと、基台９ｂと、を備える。脚部９ａは、床面に設置され、基台９ｂを下方から支持する。脚部９ａは、例えば、４つの部材で構成され、基台９ｂの四つの角部の下方に配置される。基台９ｂは、例えば、上方から見て矩形状である。基台９ｂは、ステージ４を下方から、ガイド（図示せず）等を介して、Ｘ方向と平行な方向に移動可能に支持する。 The frame 2 supports each part. The frame 2 includes, for example, a stage support 9 and a gantry 10 (see FIGS. 2 and 3). The stage support portion 9 supports, for example, the stage 4 so as to be movable in a direction parallel to the X direction. The stage support portion 9 includes, for example, a leg portion 9a and a base 9b. The legs 9a are installed on the floor and support the base 9b from below. The leg portion 9a is composed of, for example, four members and is arranged below the four corner portions of the base 9b. The base 9b has, for example, a rectangular shape when viewed from above. The base 9b supports the stage 4 from below so as to be movable in a direction parallel to the X direction via a guide (not shown) or the like.

ガントリ１０は、一対の支柱部１０ａと、架橋部１０ｂとを有する（図１〜図３参照）。支柱部１０ａはステージ４をＹ方向に挟んで２つ設けられている（図１参照）。各支柱部１０ａは、それぞれ、鉛直方向に延びており、床面に設置される（図２及び図３参照）。各支柱部１０ａは、架橋部１０ｂを支持する。架橋部１０ｂは、Ｙ方向と平行な方向に延びている。架橋部１０ｂは、その両端が、それぞれ、各支柱部１０ａの上端側（＋Ｚ側）の面に接続されている（図１参照）。架橋部１０ｂは、後に説明するノズル支持部６を支持する。なお、ガントリ１０は移動可能でもよい。例えば、ガントリ１０は、基台９ｂに対してＸ方向に移動可能な構成でもよい。 The gantry 10 has a pair of strut portions 10a and a cross-linking portion 10b (see FIGS. 1 to 3). Two support columns 10a are provided with the stage 4 sandwiched in the Y direction (see FIG. 1). Each of the support columns 10a extends in the vertical direction and is installed on the floor surface (see FIGS. 2 and 3). Each strut portion 10a supports the crosslinked portion 10b. The crosslinked portion 10b extends in a direction parallel to the Y direction. Both ends of the crosslinked portion 10b are connected to the upper end side (+ Z side) surface of each strut portion 10a (see FIG. 1). The cross-linking portion 10b supports the nozzle support portion 6 described later. The gantry 10 may be movable. For example, the gantry 10 may be configured to be movable in the X direction with respect to the base 9b.

制御部３は、各部を制御する。制御部３は、塗布装置１の各部と通信可能に接続される。制御部３は、例えば、ＣＰＵ（図示せず）、ハードディスクやメモリなどの記憶装置（図示せず）を備えるコンピュータ装置である。制御部３は、例えば、塗布装置１の各部を制御するプログラムを実行可能である。このプログラムは、例えば、予め記憶装置に記憶される。なお、制御部３は、例えば、キーボード、マウス、タッチパネル等の入力装置と接続されてもよいし、また、ディスプレイ等の表示装置と接続されてもよい。 The control unit 3 controls each unit. The control unit 3 is communicably connected to each unit of the coating device 1. The control unit 3 is, for example, a computer device including a CPU (not shown) and a storage device (not shown) such as a hard disk or a memory. The control unit 3 can execute, for example, a program that controls each unit of the coating device 1. This program is stored in a storage device in advance, for example. The control unit 3 may be connected to, for example, an input device such as a keyboard, a mouse, or a touch panel, or may be connected to a display device such as a display.

ステージ４は、基板Ｓを載置する。ステージ４は、基台９ｂの上方に、基台９ｂにＸ方向に移動可能に支持される。ステージ４は、例えば、上方から見て矩形状である（図１参照）。ステージ４は、例えば、ＸＹ平面（水平面）と平行な上面を含む。上面は、例えば、定盤で形成される。基板Ｓは、上面に載置されることにより、基板ＳはＸＹ平面と平行（水平面）な面に配置される。基板Ｓは、例えば、ステージ４に設けられる位置決め機構（図示せず）により位置決めされて、上面に設けられる吸着部（図示せず）により吸着されることにより、上面に支持される。 The substrate S is placed on the stage 4. The stage 4 is supported above the base 9b and movably supported by the base 9b in the X direction. The stage 4 has, for example, a rectangular shape when viewed from above (see FIG. 1). The stage 4 includes, for example, an upper surface parallel to the XY plane (horizontal plane). The upper surface is formed of, for example, a surface plate. By placing the substrate S on the upper surface, the substrate S is arranged on a plane parallel to the XY plane (horizontal plane). The substrate S is supported on the upper surface by being positioned by, for example, a positioning mechanism (not shown) provided on the stage 4 and attracted by a suction portion (not shown) provided on the upper surface.

ステージ駆動部５は、ステージ４を駆動する。ステージ駆動部５は、例えば、電動モータ等である。ステージ駆動部５は、例えば、ステージ４を基台９ｂに対して、Ｘ方向と平行な方向に移動させる。ステージ４は、ステージ駆動部５の駆動により、後に説明するノズル支持部６に対して、相対的に移動する。ステージ駆動部５は、例えば、制御部３と通信可能に接続され、駆動のタイミング、駆動量、駆動方向、駆動の速度などが制御部３に制御され、ステージ４を所定位置に移動させる。なお、ステージ駆動部５は、制御部３に接続されなくてもよい。例えば、ステージ駆動部５は、ステージ４のユーザが手動により駆動する構成でもよい。 The stage drive unit 5 drives the stage 4. The stage drive unit 5 is, for example, an electric motor or the like. The stage drive unit 5 moves the stage 4 in a direction parallel to the X direction with respect to the base 9b, for example. The stage 4 is driven by the stage drive unit 5 and moves relative to the nozzle support unit 6 described later. The stage drive unit 5 is, for example, communicably connected to the control unit 3, and the drive timing, drive amount, drive direction, drive speed, and the like are controlled by the control unit 3 to move the stage 4 to a predetermined position. The stage drive unit 5 does not have to be connected to the control unit 3. For example, the stage drive unit 5 may be manually driven by the user of the stage 4.

ノズルＮＺは、基板Ｓに液状体Ｌを塗布する。本実施形態では、塗布装置１は、複数のノズルＮＺ（ＮＺ１、ＮＺ２）を備える。例えば、図１に示す例では、ノズルＮＺ１は、ノズル支持部６に支持され塗布可能な状態であり、ノズルＮＺ２は後に説明するノズル受け渡し機構７Ｂに支持されるノズルＮＺ１との交換用のノズルである。例えば、ノズルＮＺ１、ＮＺ２は、それぞれ、スリットノズルである。ノズルＮＺ１、ＮＺ２は、それぞれ、液状体Ｌを吐出する吐出口ＯＰ（図２（Ｂ）参照）を有する。例えば、吐出口ＯＰは、例えば、下方向に向いたスリット状の開口である。 The nozzle NZ coats the substrate S with the liquid L. In the present embodiment, the coating device 1 includes a plurality of nozzles NZ (NZ1, NZ2). For example, in the example shown in FIG. 1, the nozzle NZ1 is supported by the nozzle support portion 6 and can be applied, and the nozzle NZ2 is a nozzle for replacement with the nozzle NZ1 supported by the nozzle delivery mechanism 7B described later. is there. For example, the nozzles NZ1 and NZ2 are slit nozzles, respectively. The nozzles NZ1 and NZ2 each have a discharge port OP (see FIG. 2B) for discharging the liquid material L. For example, the discharge port OP is, for example, a slit-shaped opening facing downward.

ノズルＮＺ１、ＮＺ２は、それぞれ、対応するノズル受け渡し機構７の送液部１９に接続される。ノズルＮＺ１は、ノズル受け渡し機構７Ａの送液部１９に接続され、ノズル支持部６及びノズル受け渡し機構７Ａのいずれかに支持される。ノズルＮＺ２は、ノズル受け渡し機構７Ｂの送液部１９に接続され、ノズル支持部６及びノズル受け渡し機構７Ａのいずれかに支持される。ノズルＮＺ１、ＮＺ２は、それぞれ、例えば、パイプなどの配管（図示せず）により、対応する送液部１９に接続される。ノズルＮＺ１、ＮＺ２は、塗布の際、送液部１９からの液状体Ｌの供給により、吐出口ＯＰから液状体Ｌを吐出して、基板Ｓに液状体Ｌを塗布する。ノズル受け渡し機構７、送液部１９については、後に説明する。 The nozzles NZ1 and NZ2 are connected to the liquid feeding unit 19 of the corresponding nozzle delivery mechanism 7, respectively. The nozzle NZ1 is connected to the liquid feeding portion 19 of the nozzle delivery mechanism 7A and is supported by either the nozzle support portion 6 or the nozzle delivery mechanism 7A. The nozzle NZ2 is connected to the liquid feeding portion 19 of the nozzle delivery mechanism 7B and is supported by either the nozzle support portion 6 or the nozzle delivery mechanism 7A. The nozzles NZ1 and NZ2 are connected to the corresponding liquid feeding unit 19 by, for example, a pipe (not shown) such as a pipe. At the time of coating, the nozzles NZ1 and NZ2 discharge the liquid L from the discharge port OP by supplying the liquid L from the liquid feeding unit 19, and apply the liquid L to the substrate S. The nozzle delivery mechanism 7 and the liquid feeding unit 19 will be described later.

なお、ノズルＮＺは、スリットノズルに限定されず、任意である。例えば、ノズルＮＺは、インクジェット方式のノズル、バーコーター、ディスペンサーノズル等でもよい。また、複数のノズルＮＺは、それぞれ、異なる種類のノズルでもよい。また、複数のノズルＮＺは、用途が異なるノズルを含んでもよい。例えば、ノズルＮＺ１及びノズルＮＺ２は、互いに異なる種類の液状体Ｌの塗布に用いてもよい。また、複数のノズルＮＺ１、ＮＺ２は、それぞれ、送液部１９に接続されなくてもよい。例えば、複数のノズルＮＺ１、ＮＺ２は、それぞれ、塗布の際に、送液部１９に接続してもよい。 The nozzle NZ is not limited to the slit nozzle and is arbitrary. For example, the nozzle NZ may be an inkjet nozzle, a bar coater, a dispenser nozzle, or the like. Further, the plurality of nozzles NZ may be different types of nozzles. Further, the plurality of nozzles NZ may include nozzles having different uses. For example, the nozzle NZ1 and the nozzle NZ2 may be used for coating different types of liquid L. Further, the plurality of nozzles NZ1 and NZ2 do not have to be connected to the liquid feeding unit 19, respectively. For example, the plurality of nozzles NZ1 and NZ2 may be connected to the liquid feeding unit 19 at the time of coating, respectively.

ノズル支持部６は、複数のノズルＮＺから１つを選択して支持し、かつ、支持したノズルＮＺを昇降させる。ノズル支持部６は、例えば、ガイド部１２と、支持部１３と、ノズル保持部１４、昇降駆動部１５と、を備える。ノズル支持部６は、例えば、ガントリ１０に支持される。 The nozzle support portion 6 selects and supports one of a plurality of nozzles NZ, and raises and lowers the supported nozzle NZ. The nozzle support portion 6 includes, for example, a guide portion 12, a support portion 13, a nozzle holding portion 14, and an elevating drive portion 15. The nozzle support portion 6 is supported by, for example, the gantry 10.

ガイド部１２は、例えば、ガントリ１０の架橋部１０ｂに支持される。ガイド部１２は、支持部１３を鉛直方向に移動可能に支持する。支持部１３は、ノズル保持部１４を支持する。ガイド部１２は、例えば、支持部１３、ノズル保持部１４及びノズルＮＺを、鉛直方向（Ｚ方向と平行な方向）に移動可能に支持する。 The guide portion 12 is supported by, for example, the cross-linked portion 10b of the gantry 10. The guide portion 12 supports the support portion 13 so as to be movable in the vertical direction. The support portion 13 supports the nozzle holding portion 14. The guide portion 12 supports, for example, the support portion 13, the nozzle holding portion 14, and the nozzle NZ so as to be movable in the vertical direction (direction parallel to the Z direction).

ノズル保持部１４は、ノズルＮＺを保持する。ノズル保持部１４は、位置決めしてノズルＮＺを保持する。ノズル保持部１４は、保持したノズルＮＺを開放可能に形成される。ノズル保持部１４は、例えば、支持部１３に取り付けられている。ノズル保持部１４は、後に説明するノズル受け渡し機構７との間でノズルＮＺの受け渡しが可能に構成される。ノズル保持部１４は、例えば、後に説明するノズル受け渡し機構７からノズルＮＺが受けとる際には、ノズルＮＺを受けとって保持し、また、ノズル受け渡し機構７にノズルＮＺを受け渡す際には、支持するノズルＮＺを開放してノズル受け渡し機構７に渡す。なお、ノズル保持部１４のノズルＮＺの保持及び開放の機構については、後に図８〜図１１において説明する。また、ノズルＮＺの位置決めの機構については、後に図１１において説明する。 The nozzle holding unit 14 holds the nozzle NZ. The nozzle holding portion 14 is positioned to hold the nozzle NZ. The nozzle holding portion 14 is formed so that the held nozzle NZ can be opened. The nozzle holding portion 14 is attached to, for example, the supporting portion 13. The nozzle holding portion 14 is configured to enable delivery of the nozzle NZ to and from the nozzle delivery mechanism 7, which will be described later. For example, the nozzle holding portion 14 receives and holds the nozzle NZ when the nozzle NZ receives it from the nozzle delivery mechanism 7 described later, and supports the nozzle NZ when it is delivered to the nozzle delivery mechanism 7. The nozzle NZ is opened and passed to the nozzle delivery mechanism 7. The mechanism for holding and opening the nozzle NZ of the nozzle holding unit 14 will be described later in FIGS. 8 to 11. The mechanism for positioning the nozzle NZ will be described later in FIG.

昇降駆動部１５は、ノズルＮＺを昇降させる。昇降駆動部１５は、支持部１３に接続される。昇降駆動部１５は、例えば、支持部１３を昇降させることにより、ノズル保持部１４に保持されたノズルＮＺを基板Ｓに対して昇降させる。昇降駆動部１５は、例えば、電動モータ等である。昇降駆動部１５は、支持部１３を所定位置に移動可能である。例えば、昇降駆動部１５は、塗布の際、ノズルＮＺの吐出口ＯＰと基板Ｓとの間隔が所定の間隔になるように、支持部１３を駆動する。昇降駆動部１５は、例えば、制御部３と通信可能に接続され、その駆動が制御部３に制御される。昇降駆動部１５は、例えば、駆動のタイミング、駆動量、駆動方向、駆動の速度などが制御部３に制御される。なお、昇降駆動部１５は、制御部３に接続されなくてもよい。例えば、昇降駆動部１５は、ユーザが手動で昇降を制御する構成でもよい。また、昇降駆動部１５はなくてもよい。例えば、ノズル支持部６は、ユーザが人力により支持部１３を昇降させる構成でもよい。 The elevating drive unit 15 raises and lowers the nozzle NZ. The elevating drive unit 15 is connected to the support unit 13. The elevating drive unit 15 raises and lowers the nozzle NZ held by the nozzle holding unit 14 with respect to the substrate S, for example, by raising and lowering the support portion 13. The elevating drive unit 15 is, for example, an electric motor or the like. The elevating drive unit 15 can move the support unit 13 to a predetermined position. For example, the elevating drive unit 15 drives the support unit 13 so that the distance between the discharge port OP of the nozzle NZ and the substrate S becomes a predetermined distance at the time of coating. The elevating drive unit 15 is, for example, communicatively connected to the control unit 3, and its drive is controlled by the control unit 3. In the elevating drive unit 15, for example, the drive timing, drive amount, drive direction, drive speed, and the like are controlled by the control unit 3. The elevating drive unit 15 does not have to be connected to the control unit 3. For example, the elevating drive unit 15 may be configured such that the user manually controls elevating. Further, the elevating drive unit 15 may not be provided. For example, the nozzle support portion 6 may be configured such that the user manually raises and lowers the support portion 13.

上記のように構成されたノズル支持部６は、ノズルＮＺ１、ＮＺ２からノズルＮＺ１あるいはノズルＮＺ２を選択してノズル保持部１４により支持する。例えば、図１に示す例では、ノズル支持部６は、ノズルＮＺ１、ＮＺ２からノズルＮＺ１を選択して、支持している。また、ノズル支持部６は、支持したノズルＮＺ１を、塗布等の際、昇降駆動部１５の駆動により昇降させ、所定の位置に配置する。 The nozzle support portion 6 configured as described above selects nozzle NZ1 or nozzle NZ2 from nozzles NZ1 and NZ2 and supports them by the nozzle holding portion 14. For example, in the example shown in FIG. 1, the nozzle support portion 6 selects and supports the nozzle NZ1 from the nozzles NZ1 and NZ2. Further, the nozzle support portion 6 moves the supported nozzle NZ1 up and down by the drive of the elevating drive unit 15 at the time of coating or the like, and arranges the supported nozzle NZ1 at a predetermined position.

次に、ノズル受け渡し機構７について説明する。ノズル受け渡し機構７は、ノズル支持部６に対してノズルＮＺの受け渡しを行う。塗布装置１は、例えば、複数のノズル受け渡し機構７（７Ａ、７Ｂ）を備える。ノズル受け渡し機構７Ａ、７Ｂは、それぞれ、例えば、旋回部１８と、送液部１９と、を備える。ノズル受け渡し機構７Ａ、７Ｂは、それぞれ、ステージ４近傍に配置される。例えば、ノズル受け渡し機構７Ａ、７Ｂは、それぞれ、ステージ４の−Ｙ側及び＋Ｙ側に配置される。 Next, the nozzle delivery mechanism 7 will be described. The nozzle delivery mechanism 7 delivers the nozzle NZ to the nozzle support portion 6. The coating device 1 includes, for example, a plurality of nozzle delivery mechanisms 7 (7A, 7B). The nozzle delivery mechanisms 7A and 7B each include, for example, a swivel portion 18 and a liquid feeding portion 19. The nozzle delivery mechanisms 7A and 7B are arranged in the vicinity of the stage 4, respectively. For example, the nozzle delivery mechanisms 7A and 7B are arranged on the −Y side and the + Y side of the stage 4, respectively.

本実施形態では、ノズル受け渡し機構７Ａ、７Ｂは、それぞれ、同様の構成である。以下の説明では、ノズル受け渡し機構７Ａを例に説明をする。 In the present embodiment, the nozzle delivery mechanisms 7A and 7B have the same configuration, respectively. In the following description, the nozzle delivery mechanism 7A will be described as an example.

旋回部１８は、上下方向（鉛直方向）を軸としてノズルＮＺを旋回可能に保持する。旋回部１８は、例えば、軸部２０と、支持部２１と、旋回駆動部２２と、ノズル保持部２３と、を備える。 The swivel portion 18 holds the nozzle NZ so that it can swivel around the vertical direction (vertical direction). The swivel portion 18 includes, for example, a shaft portion 20, a support portion 21, a swivel drive portion 22, and a nozzle holding portion 23.

軸部２０は、鉛直方向に延びている。軸部２０は、例えば、床面に固定される。なお、軸部２０は、床面以外に固定されてもよい。例えば、軸部２０はフレーム２（例、基台９ｂ）に固定されてもよい。軸部２０は、支持部２１を、取り付け部材（図示せず）を介して、軸部２０の鉛直方向の軸まわりに回転可能に支持する。 The shaft portion 20 extends in the vertical direction. The shaft portion 20 is fixed to the floor surface, for example. The shaft portion 20 may be fixed to a surface other than the floor surface. For example, the shaft portion 20 may be fixed to the frame 2 (eg, base 9b). The shaft portion 20 rotatably supports the support portion 21 around the axis in the vertical direction of the shaft portion 20 via a mounting member (not shown).

支持部２１は、ノズル保持部２３を支持する。支持部２１は、軸部２０の軸周りに旋回する。支持部２１は、旋回駆動部２２に接続され、旋回駆動部２２の駆動により旋回する。軸部２０及び支持部２１は、ノズルＮＺがノズル保持部２３に保持された状態において、支持部２１を旋回した際に、ノズルＮＺの下端が、ステージ４に載置された基板Ｓに干渉しないよう、ステージ４に載置された基板Ｓの上方に配置されるように、形成されている（図２に示すノズル受け渡し機構７Ｂを参照）。 The support portion 21 supports the nozzle holding portion 23. The support portion 21 rotates around the axis of the shaft portion 20. The support unit 21 is connected to the swivel drive unit 22 and swivels by being driven by the swivel drive unit 22. In the shaft portion 20 and the support portion 21, the lower end of the nozzle NZ does not interfere with the substrate S mounted on the stage 4 when the support portion 21 is swiveled while the nozzle NZ is held by the nozzle holding portion 23. It is formed so as to be arranged above the substrate S mounted on the stage 4 (see the nozzle delivery mechanism 7B shown in FIG. 2).

旋回駆動部２２は、支持部２１を駆動して、旋回させる。旋回駆動部２２は、例えば、電動モータ等である。旋回駆動部２２は、例えば、制御部３と通信可能に接続され、その駆動が制御部３に制御される。旋回駆動部２２は、例えば、駆動のタイミング、駆動量、駆動方向、駆動の速度などが制御部３に制御され、支持部２１を所定位置に移動させる。なお、旋回駆動部２２は、制御部３に接続されなくてもよい。例えば、旋回駆動部２２は、ユーザが手動で旋回を制御する構成でもよい。また、旋回駆動部２２はなくてもよい。例えば、ノズル受け渡し機構７は、ユーザが人力により支持部２１を旋回させる構成でもよい。 The swivel drive unit 22 drives the support unit 21 to swivel. The swivel drive unit 22 is, for example, an electric motor or the like. The swivel drive unit 22 is, for example, communicatively connected to the control unit 3, and its drive is controlled by the control unit 3. In the swivel drive unit 22, for example, the drive timing, drive amount, drive direction, drive speed, and the like are controlled by the control unit 3, and the support unit 21 is moved to a predetermined position. The swivel drive unit 22 does not have to be connected to the control unit 3. For example, the turning drive unit 22 may be configured such that the user manually controls turning. Further, the swivel drive unit 22 may not be provided. For example, the nozzle delivery mechanism 7 may be configured such that the user manually turns the support portion 21.

ノズル保持部２３は、ノズルＮＺを保持する。ノズル保持部２３は、保持したノズルＮＺを開放可能に構成される。ノズル保持部２３は、例えば、ノズル支持部６のノズル保持部１４との間でノズルＮＺの受け渡しが可能に構成される。ノズルＮＺの受け渡しについては、後に説明する。なお、ノズル保持部２３のノズルＮＺの保持及び開放の機構については、後に図８〜図１１において説明する。 The nozzle holding unit 23 holds the nozzle NZ. The nozzle holding portion 23 is configured so that the held nozzle NZ can be opened. The nozzle holding portion 23 is configured so that the nozzle NZ can be delivered to and from the nozzle holding portion 14 of the nozzle support portion 6, for example. The delivery of the nozzle NZ will be described later. The mechanism for holding and opening the nozzle NZ of the nozzle holding unit 23 will be described later in FIGS. 8 to 11.

送液部１９は、ノズルＮＺに液状体Ｌを供給する。送液部１９は、例えば、ポンプである。送液部１９は、例えば、図３に示すように、ワゴン２５に形成されている。ワゴン２５は、例えば、ステージ４の側方（Ｙ方向と平行な方向）に配置される。ワゴン２５は、例えば、旋回部１８に対してステージ４から離れる側（−Ｙ側）の近傍に配置される。ワゴン２５は、例えば、複数の車輪２５ａと、収容部２５ｂと、送液部１９と、を備える。ワゴン２５は、収容部２５ｂの下部に設けられる複数の車輪２５ａにより移動可能に形成されている。収容部２５ｂは、箱体に形成され、内部に物品を収容可能である。例えば、収容部２５ｂの内部には、液状体Ｌを格納する複数の容器２７が収容されている。送液部１９は、例えば、収容部２５ｂの上部の管部２５ｃに配置される。送液部１９は、例えば、収容部２５ｂに収容される容器２７と、管部２５ｃを介して、パイプなどの配管（図示せず）により接続される。また、送液部１９は、例えば、複数のノズルＮＺのうちの、対応する所定のノズルＮＺとパイプなどの配管（図示せず）により接続される。例えば、ノズル受け渡し機構７Ａの送液部１９は、ノズルＮＺ１に接続され、ノズル受け渡し機構７Ｂの送液部１９は、ノズルＮＺ２に接続される。なお、ノズルＮＺ１と送液部１９までの配管の長さと、ノズルＮＺ２と送液部１９までの配管の長さは、ほぼ同一に設定される。この場合、送液部１９の制御をノズルＮＺ１とノズルＮＺ２で同様にすることができる。 The liquid feeding unit 19 supplies the liquid L to the nozzle NZ. The liquid feeding unit 19 is, for example, a pump. The liquid feeding unit 19 is formed on the wagon 25, for example, as shown in FIG. The wagon 25 is arranged, for example, on the side of the stage 4 (in a direction parallel to the Y direction). The wagon 25 is arranged, for example, in the vicinity of the side (−Y side) away from the stage 4 with respect to the turning portion 18. The wagon 25 includes, for example, a plurality of wheels 25a, an accommodating portion 25b, and a liquid feeding portion 19. The wagon 25 is movably formed by a plurality of wheels 25a provided below the accommodating portion 25b. The accommodating portion 25b is formed in a box body and can accommodate an article inside. For example, a plurality of containers 27 for storing the liquid material L are housed inside the storage unit 25b. The liquid feeding unit 19 is arranged, for example, in the pipe portion 25c above the accommodating portion 25b. The liquid feeding unit 19 is connected to, for example, the container 27 housed in the storage unit 25b via a pipe unit 25c by a pipe (not shown) such as a pipe. Further, the liquid feeding unit 19 is connected to, for example, a predetermined nozzle NZ corresponding to the plurality of nozzles NZ by a pipe (not shown) such as a pipe. For example, the liquid feeding unit 19 of the nozzle delivery mechanism 7A is connected to the nozzle NZ1, and the liquid feeding unit 19 of the nozzle delivery mechanism 7B is connected to the nozzle NZ2. The length of the pipe between the nozzle NZ1 and the liquid feeding unit 19 and the length of the pipe between the nozzle NZ2 and the liquid feeding unit 19 are set to be substantially the same. In this case, the control of the liquid feeding unit 19 can be similarly controlled by the nozzle NZ1 and the nozzle NZ2.

送液部１９は、容器２７に格納された液状体Ｌを所定量ノズルＮＺに対して送液する。送液部１９は、制御部３と通信可能に接続され、制御部３によりその動作が制御される。送液部１９は、例えば、ノズルＮＺに液状体Ｌを供給するタイミング、ノズルＮＺに供給する液状体Ｌの量などが、制御部３により制御される。送液部１９は、例えば、制御部３の制御により駆動し、容器２７に格納された液状体Ｌを所定の量、ノズルＮＺに供給する。これにより、塗布の際、ノズル支持部６に支持されるノズルＮＺは、送液部１９の液状体Ｌの供給により、吐出口ＯＰから所定量の液状体Ｌを基板Ｓに対して吐出して、液状体Ｌを基板Ｓに塗布する。 The liquid feeding unit 19 feeds the liquid L stored in the container 27 to the predetermined amount nozzle NZ. The liquid feeding unit 19 is communicably connected to the control unit 3, and its operation is controlled by the control unit 3. In the liquid feeding unit 19, for example, the timing of supplying the liquid material L to the nozzle NZ, the amount of the liquid material L supplied to the nozzle NZ, and the like are controlled by the control unit 3. The liquid feeding unit 19 is driven by, for example, the control of the control unit 3 to supply a predetermined amount of the liquid L stored in the container 27 to the nozzle NZ. As a result, at the time of coating, the nozzle NZ supported by the nozzle support portion 6 discharges a predetermined amount of the liquid material L from the discharge port OP to the substrate S by supplying the liquid material L of the liquid feeding unit 19. , Liquid L is applied to the substrate S.

なお、送液部１９及び容器２７のうち少なくとも一つは、ワゴン２５に形成されなくてもよい。また、塗布装置１がワゴン２５を備えるか否かは、任意である。 At least one of the liquid feeding unit 19 and the container 27 does not have to be formed on the wagon 25. Further, it is optional whether or not the coating device 1 includes the wagon 25.

以上のように構成されるノズル受け渡し機構７Ａ、７Ｂは、それぞれ、受け渡し位置Ｐ１Ａ、Ｐ１Ｂと、待機位置Ｐ２Ａ、Ｐ２Ｂとの間を移動して、受け渡し位置Ｐ１Ａ、Ｐ１Ｂで、ノズル支持部６に対してノズルＮＺの受け渡しを行い、待機位置Ｐ２Ａ、Ｐ２Ｂで待機する（図５（Ａ）、図６（Ａ）参照）。なお、本実施形態のノズル受け渡し機構７Ａ、７Ｂは、それぞれ、旋回による水平のみの移動により、受け渡し位置Ｐ１Ａ、Ｐ１Ｂと、待機位置Ｐ２Ａ、Ｐ２Ｂとの間を移動可能に形成されている。この場合、迅速にノズルＮＺの受け渡しをすることができる。 The nozzle delivery mechanisms 7A and 7B configured as described above move between the delivery positions P1A and P1B and the standby positions P2A and P2B, respectively, and at the delivery positions P1A and P1B, with respect to the nozzle support portion 6. The nozzle NZ is handed over and waits at the standby positions P2A and P2B (see FIGS. 5 (A) and 6 (A)). The nozzle delivery mechanisms 7A and 7B of the present embodiment are formed so as to be movable between the delivery positions P1A and P1B and the standby positions P2A and P2B, respectively, by moving only horizontally by turning. In this case, the nozzle NZ can be delivered quickly.

受け渡し位置Ｐ１Ａ、Ｐ１Ｂは、それぞれ、ノズル支持部６とノズル受け渡し機構７Ａ、７Ｂとの間で、ノズルＮＺの受け渡しが可能な位置に設定される。例えば、ノズル受け渡し機構７Ａ、７Ｂは、それぞれ、受け渡し位置Ｐ１Ａ、Ｐ１Ｂにおいて、支持部２１の長手方向が、ステージ４の移動方向と直交する方向（Ｙ方向と平行な方向）になるように形成されている。 The delivery positions P1A and P1B are set to positions where the nozzle NZ can be delivered between the nozzle support portion 6 and the nozzle delivery mechanisms 7A and 7B, respectively. For example, the nozzle delivery mechanisms 7A and 7B are formed so that the longitudinal direction of the support portion 21 is orthogonal to the moving direction of the stage 4 (direction parallel to the Y direction) at the delivery positions P1A and P1B, respectively. ing.

待機位置Ｐ２Ａ、Ｐ２Ｂは、それぞれ、ノズル受け渡し機構７Ａ、７ＢがノズルＮＺを保持したときに、ノズルＮＺがステージ４の上方から外れた位置に設定される。ノズル受け渡し機構７Ａ、７Ｂは、それぞれ、待機位置Ｐ２Ａ、Ｐ２Ｂにおいて、支持部２１の長手方向が、Ｘ方向と平行な方向になるように形成される。例えば、ノズル受け渡し機構７Ａ、７Ｂは、それぞれ、待機位置Ｐ２Ａ、Ｐ２Ｂにおいて、ノズルＮＺのメンテナンスなどが行われる。 The standby positions P2A and P2B are set to positions where the nozzle NZ is displaced from above the stage 4 when the nozzle delivery mechanisms 7A and 7B hold the nozzle NZ, respectively. The nozzle delivery mechanisms 7A and 7B are formed so that the longitudinal direction of the support portion 21 is parallel to the X direction at the standby positions P2A and P2B, respectively. For example, in the nozzle delivery mechanisms 7A and 7B, maintenance of the nozzle NZ is performed at the standby positions P2A and P2B, respectively.

以下、塗布装置１の動作に基づいて、本実施形態に係る塗布方法を説明する。図４は、実施形態に係る塗布方法のフローチャートである。図５〜図７は、塗布装置１の動作の一例を示す図である。なお、図４を説明する際、適宜、図１〜図３、及び図５〜図７を参照する。 Hereinafter, the coating method according to the present embodiment will be described based on the operation of the coating device 1. FIG. 4 is a flowchart of the coating method according to the embodiment. 5 and 7 are views showing an example of the operation of the coating device 1. In addition, when explaining FIG. 4, FIG. 1 to FIG. 3 and FIGS. 5 to 7 are referred to as appropriate.

本塗布方法は、基板Ｓに液状体Ｌを塗布する方法である。本塗布方法は、例えば、図４に示すステップＳ１において、ノズルＮＺを保持していないノズル受け渡し機構７Ａを、ノズル支持部６に対して進出させる。例えば、図５（Ａ）に示すように、ノズルＮＺを保持していない待機位置Ｐ２Ａに位置するノズル受け渡し機構７Ａは、制御部３の制御により旋回駆動部２２が駆動して、旋回部１８が旋回することにより、受け渡し位置Ｐ１Ａに移動する。ノズル受け渡し機構７Ａは、旋回による水平のみの移動により、受け渡し位置Ｐ１Ａと待機位置Ｐ２Ａとの間を移動可能に形成されているので、迅速に移動することができる。 This coating method is a method of coating the liquid material L on the substrate S. In this coating method, for example, in step S1 shown in FIG. 4, the nozzle delivery mechanism 7A that does not hold the nozzle NZ is advanced to the nozzle support portion 6. For example, as shown in FIG. 5A, in the nozzle delivery mechanism 7A located at the standby position P2A that does not hold the nozzle NZ, the swivel drive unit 22 is driven by the control of the control unit 3, and the swivel unit 18 is driven. By turning, it moves to the delivery position P1A. Since the nozzle delivery mechanism 7A is formed so as to be movable between the delivery position P1A and the standby position P2A by moving only horizontally by turning, it can move quickly.

続いて、図４に示すステップＳ２において、ノズル受け渡し機構７ＡによりノズルＮＺを保持する。例えば、受け渡し位置Ｐ１Ａにおいて、ノズル受け渡し機構７Ａは、ノズル支持部６が保持している状態のノズルＮＺ１を、ノズル保持部２３で保持する。この時、ノズルＮＺ１は、ノズル支持部６のノズル保持部１４及びノズル受け渡し機構７Ａのノズル保持部２３の両方の保持機構により保持される。 Subsequently, in step S2 shown in FIG. 4, the nozzle NZ is held by the nozzle delivery mechanism 7A. For example, at the delivery position P1A, the nozzle delivery mechanism 7A holds the nozzle NZ1 held by the nozzle support portion 6 by the nozzle holding portion 23. At this time, the nozzle NZ1 is held by both the holding mechanisms of the nozzle holding portion 14 of the nozzle supporting portion 6 and the nozzle holding portion 23 of the nozzle delivery mechanism 7A.

続いて、図４に示すステップＳ３において、ノズル支持部６によるノズルＮＺの保持を開放する。例えば、ノズル支持部６は、ノズル受け渡し機構７ＡがノズルＮＺ１を保持している状態で、ノズルＮＺ１を開放し、ノズルＮＺ１がノズル受け渡し機構７Ａに渡される。ノズルＮＺ１は、ノズル支持部６とノズル受け渡し機構７Ａとのいずれかに保持された状態で、受け渡しが行われるので、確実にノズルＮＺの受け渡しを行うことができる。 Subsequently, in step S3 shown in FIG. 4, the holding of the nozzle NZ by the nozzle support portion 6 is released. For example, the nozzle support portion 6 opens the nozzle NZ1 while the nozzle delivery mechanism 7A holds the nozzle NZ1, and the nozzle NZ1 is passed to the nozzle delivery mechanism 7A. Since the nozzle NZ1 is delivered while being held by either the nozzle support portion 6 or the nozzle delivery mechanism 7A, the nozzle NZ can be reliably delivered.

続いて、図４に示すステップＳ４において、ノズル受け渡し機構７Ａを退避する。ノズル支持部６に選択されないノズルＮＺ１は、ノズル受け渡し機構７Ａによりステージの上方から退避する。例えば、図５（Ｂ）に示すように、ノズル受け渡し機構７Ａは、ノズルＮＺ１を保持している状態で、制御部３の制御により旋回駆動部２２が駆動して、待機位置Ｐ２Ａに移動する。例えば、待機位置Ｐ２Ａにおいて、ノズル受け渡し機構７Ａに保持されたノズルＮＺ１は、ノズルの交換、ノズルのメンテナンスなどが行われる。 Subsequently, in step S4 shown in FIG. 4, the nozzle delivery mechanism 7A is retracted. The nozzle NZ1 not selected for the nozzle support portion 6 is retracted from above the stage by the nozzle delivery mechanism 7A. For example, as shown in FIG. 5B, the nozzle delivery mechanism 7A moves to the standby position P2A by driving the turning drive unit 22 under the control of the control unit 3 while holding the nozzle NZ1. For example, at the standby position P2A, the nozzle NZ1 held by the nozzle delivery mechanism 7A is subjected to nozzle replacement, nozzle maintenance, and the like.

続いて、図４に示すステップＳ５において、ノズルＮＺ２を保持している別のノズル受け渡し機構７Ｂを、ノズル支持部６に対して進出させる。例えば、図６（Ａ）に示すように、ノズルＮＺ２を保持している待機位置Ｐ２Ｂに位置するノズル受け渡し機構７Ｂは、制御部３の制御により旋回駆動部２２が駆動して、旋回部１８が旋回することにより、受け渡し位置Ｐ１Ｂに移動する。ノズル受け渡し機構７Ｂは、旋回による水平方向のみの移動により、受け渡し位置Ｐ１Ｂと待機位置Ｐ２Ｂとの間を移動可能に形成されているので、迅速に移動することができる。 Subsequently, in step S5 shown in FIG. 4, another nozzle delivery mechanism 7B holding the nozzle NZ2 is advanced to the nozzle support portion 6. For example, as shown in FIG. 6A, in the nozzle delivery mechanism 7B located at the standby position P2B holding the nozzle NZ2, the swivel drive unit 22 is driven by the control of the control unit 3, and the swivel unit 18 is driven. By turning, it moves to the delivery position P1B. Since the nozzle delivery mechanism 7B is formed so as to be movable between the delivery position P1B and the standby position P2B by moving only in the horizontal direction due to turning, it can move quickly.

続いて、図４に示すステップＳ６において、ノズル支持部６によりノズルＮＺ２を保持する。例えば、受け渡し位置Ｐ２Ａにおいて、ノズル支持部６は、ノズル受け渡し機構７Ｂが保持している状態のノズルＮＺ２を、ノズル保持部１４で保持する。この時、ノズルＮＺは、ノズル支持部６のノズル保持部１４及びノズル受け渡し機構７Ｂのノズル保持部２３の両方の保持機構により保持される。 Subsequently, in step S6 shown in FIG. 4, the nozzle NZ2 is held by the nozzle support portion 6. For example, at the delivery position P2A, the nozzle support portion 6 holds the nozzle NZ2 held by the nozzle delivery mechanism 7B by the nozzle holding portion 14. At this time, the nozzle NZ is held by both the holding mechanisms of the nozzle holding portion 14 of the nozzle supporting portion 6 and the nozzle holding portion 23 of the nozzle delivery mechanism 7B.

続いて、図４に示すステップＳ７において、ノズル受け渡し機構７ＢによるノズルＮＺ２の保持を開放する。例えば、ノズル受け渡し機構７Ｂは、ノズル支持部６がノズルＮＺを保持している状態で、ノズルＮＺ２を開放し、ノズルＮＺ２がノズル支持部６に渡される。ノズルＮＺ２は、ノズル支持部６とノズル受け渡し機構７Ａとのいずれかに保持された状態で、受け渡しが行われるので、確実にノズルＮＺの受け渡しを行うことができる。 Subsequently, in step S7 shown in FIG. 4, the holding of the nozzle NZ2 by the nozzle delivery mechanism 7B is released. For example, the nozzle delivery mechanism 7B opens the nozzle NZ2 while the nozzle support portion 6 holds the nozzle NZ, and the nozzle NZ2 is passed to the nozzle support portion 6. Since the nozzle NZ2 is delivered while being held by either the nozzle support portion 6 or the nozzle delivery mechanism 7A, the nozzle NZ can be reliably delivered.

続いて、図４に示すステップＳ８において、ノズル受け渡し機構７Ｂを退避する。例えば、図６（Ｂ）に示すように、ノズル受け渡し機構７Ｂは、制御部３の制御により旋回駆動部２２が駆動して、待機位置Ｐ２Ｂに移動し待機する。なお、ステップＳ８を行うか否かは任意である。 Subsequently, in step S8 shown in FIG. 4, the nozzle delivery mechanism 7B is retracted. For example, as shown in FIG. 6B, the nozzle delivery mechanism 7B is driven by the swivel drive unit 22 under the control of the control unit 3, moves to the standby position P2B, and stands by. It is optional whether or not step S8 is performed.

続いて、図４に示すステップＳ９において、ステージ４上に基板Ｓを載置する。例えば、図７（Ａ）に示すように、基板Ｓをステージ４に位置決めして載置する。なお、基板Ｓの載置は、例えば、ユーザが人力により行ってもよいし、搬送装置等の装置により行ってもよい。 Subsequently, in step S9 shown in FIG. 4, the substrate S is placed on the stage 4. For example, as shown in FIG. 7A, the substrate S is positioned and placed on the stage 4. The substrate S may be placed by the user manually, or by a device such as a transfer device.

続いて、図４に示すステップＳ１０において、ステージ４を移動させて基板Ｓ上に液状体Ｌを塗布する。例えば、図７（Ｂ）に示すように、ステージ４とノズル支持部６とを相対的に移動させて、基板Ｓ上に液状体Ｌを塗布する。例えば、まず、制御部３の制御により、昇降駆動部１５は、ノズルＮＺ２の下端と基板Ｓと間隔が所定の間隔になるように、支持部１３を駆動することにより、ノズルＮＺ２を移動する。次に、制御部３の制御により、ステージ駆動部５はステージ４を−Ｘ方向に移動させながら、送液部１９が所定の量の液状体ＬをノズルＮＺ２に供給する。これにより、ノズルＮＺ２は、液状体Ｌを吐出口ＯＰから吐出して、基板Ｓ上に液状体Ｌを塗布する。基板Ｓへの液状体Ｌの塗布が終了の後、基板Ｓを搬出する。基板Ｓの搬出は、例えば、ユーザが手動により行ってもよいし、搬送装置などにより行ってもよい。なお、ステップＳ９によるステージ４上の基板Ｓの載置は、例えば、上記したステップＳ１の開始前に行ってもよい。 Subsequently, in step S10 shown in FIG. 4, the stage 4 is moved to apply the liquid material L on the substrate S. For example, as shown in FIG. 7B, the stage 4 and the nozzle support portion 6 are relatively moved to apply the liquid material L on the substrate S. For example, first, under the control of the control unit 3, the elevating drive unit 15 moves the nozzle NZ2 by driving the support unit 13 so that the distance between the lower end of the nozzle NZ2 and the substrate S is a predetermined distance. Next, under the control of the control unit 3, the stage driving unit 5 moves the stage 4 in the −X direction, and the liquid feeding unit 19 supplies a predetermined amount of the liquid L to the nozzle NZ2. As a result, the nozzle NZ2 discharges the liquid body L from the discharge port OP and coats the liquid body L on the substrate S. After the application of the liquid material L to the substrate S is completed, the substrate S is carried out. The substrate S may be carried out manually by the user, or may be carried out by a transport device or the like. The substrate S on the stage 4 may be placed on the stage 4 in step S9, for example, before the start of step S1 described above.

次に、ノズル支持部６のノズル保持部１４及びノズル受け渡し機構７のノズル保持部２３について説明する。図８〜図１０は、それぞれ、ノズル支持部６及びノズル受け渡し機構７のノズル保持部の第１の例〜第３の例を示す図である。 Next, the nozzle holding portion 14 of the nozzle supporting portion 6 and the nozzle holding portion 23 of the nozzle delivery mechanism 7 will be described. 8 to 10 are views showing first to third examples of the nozzle support portion 6 and the nozzle holding portion of the nozzle delivery mechanism 7, respectively.

ノズル支持部６のノズル保持部１４及びノズル受け渡し機構７のノズル保持部２３は、それぞれ、互いにノズルＮＺの受け渡しが可能であれば、構成は任意である。ノズル支持部６のノズルＮＺの保持機構は、例えば、図８〜図１０に示す第１の例〜第３の例のいずれの構成を用いてもよい。 The nozzle holding portion 14 of the nozzle support portion 6 and the nozzle holding portion 23 of the nozzle delivery mechanism 7 are arbitrarily configured as long as the nozzles NZ can be delivered to each other. As the holding mechanism of the nozzle NZ of the nozzle support portion 6, for example, any configuration of the first example to the third example shown in FIGS. 8 to 10 may be used.

まず、図８（Ａ）及び（Ｂ）に示すノズル支持部６のノズル保持部１４Ａ、及びノズル受け渡し機構７のノズル保持部２３Ａの第１の例について説明する。第１の例のノズル支持部６のノズル保持部１４Ａ、及びノズル受け渡し機構７のノズル保持部２３Ａは、それぞれ、ノズルＮＺをノズルＮＺの長手方向で挟み込むことにより、ノズルＮＺを保持する。ノズル支持部６のノズル保持部１４Ａ及びノズル受け渡し機構７のノズル保持部２３Ａは、それぞれ、把持部３０を備える。 First, a first example of the nozzle holding portion 14A of the nozzle supporting portion 6 shown in FIGS. 8A and 8B and the nozzle holding portion 23A of the nozzle delivery mechanism 7 will be described. The nozzle holding portion 14A of the nozzle supporting portion 6 of the first example and the nozzle holding portion 23A of the nozzle delivery mechanism 7 hold the nozzle NZ by sandwiching the nozzle NZ in the longitudinal direction of the nozzle NZ, respectively. The nozzle holding portion 14A of the nozzle supporting portion 6 and the nozzle holding portion 23A of the nozzle delivery mechanism 7 each include a grip portion 30.

ノズル支持部６の把持部３０は、例えば、図８（Ａ）に示すように、ノズルＮＺを長手方向（Ｙ方向と平行な方向）に挟みこむことが可能に形成される一対の把持部材である。一対の把持部材は、ノズルＮＺの長手方向にノズルＮＺを挟んで配置される。一対の把持部材は、それぞれ、凹部３０ａを有している。凹部３０ａは、ノズルＮＺの長手方向の端部を挿入可能に形成されている。一対の把持部材は、支持部１３に支持される。一対の把持部材は、図示しないガイドを介して、支持部１３に対してノズルＮＺの長手方向と平行な方向に移動可能に、支持部１３に支持される。一対の把持部材は、ノズルＮＺを保持する際、ノズルＮＺに近づく方向に移動することにより、ノズルＮＺの長手方向の端部が凹部３０ａに挿入され、ノズルＮＺを押圧することでノズルＮＺを支持する。また、一対の把持部材は、ノズルＮＺを保持から解放する際、ノズルＮＺに離れる方向に移動することにより、ノズルＮＺの長手方向の端部が凹部３０ａからはずれることで、ノズルＮＺを解放する。 The grip portion 30 of the nozzle support portion 6 is, for example, a pair of grip members formed so as to be able to sandwich the nozzle NZ in the longitudinal direction (direction parallel to the Y direction) as shown in FIG. 8 (A). is there. The pair of gripping members are arranged so as to sandwich the nozzle NZ in the longitudinal direction of the nozzle NZ. Each of the pair of gripping members has a recess 30a. The recess 30a is formed so that the end portion in the longitudinal direction of the nozzle NZ can be inserted. The pair of gripping members are supported by the support portion 13. The pair of gripping members are supported by the support portion 13 so as to be movable in a direction parallel to the longitudinal direction of the nozzle NZ with respect to the support portion 13 via a guide (not shown). When holding the nozzle NZ, the pair of gripping members move in a direction approaching the nozzle NZ, so that the longitudinal end of the nozzle NZ is inserted into the recess 30a, and the nozzle NZ is supported by pressing the nozzle NZ. To do. Further, when the pair of gripping members release the nozzle NZ from holding, the pair of gripping members move in the direction away from the nozzle NZ, so that the end portion in the longitudinal direction of the nozzle NZ is detached from the recess 30a, thereby releasing the nozzle NZ.

次に、ノズル受け渡し機構７の把持部３０は、一対の把持部材が支持部２１に支持される。ノズル受け渡し機構７の把持部３０は、配置される位置が異なる以外は、ノズル支持部６の把持部３０と同様に構成される。ノズル受け渡し機構７の把持部３０は、ノズルＮＺの長手方向から挟んで保持し、把持部３０によりノズルＮＺの挟み込みを解除することにより、保持したノズルＮＺを開放する。 Next, in the grip portion 30 of the nozzle delivery mechanism 7, a pair of grip members are supported by the support portion 21. The grip portion 30 of the nozzle delivery mechanism 7 is configured in the same manner as the grip portion 30 of the nozzle support portion 6 except that the positions of the grip portions 30 are different. The grip portion 30 of the nozzle delivery mechanism 7 is sandwiched and held from the longitudinal direction of the nozzle NZ, and the grip portion 30 releases the sandwiching of the nozzle NZ to release the held nozzle NZ.

ノズル支持部６の把持部３０とノズル受け渡し機構７の把持部３０とは、図８（Ｂ）に示すように、それぞれ、ノズルＮＺの受け渡しをする位置Ｐ１Ａ、Ｐ１Ｂ（図５（Ａ）、図６（Ａ）参照）において、異なる高さになるように形成されている。例えば、図８（Ｂ）に示す例では、位置Ｐ１Ａ、Ｐ１Ｂにおいて、ノズル支持部６の把持部３０は、ノズル受け渡し機構７の把持部３０に対して、下方に位置するように形成されている。なお、位置Ｐ１Ａ、Ｐ１Ｂにおいて、ノズル支持部６の把持部３０は、ノズル受け渡し機構７の把持部３０に対して、上方に位置するように形成されていてもよい。 As shown in FIG. 8B, the grip portion 30 of the nozzle support portion 6 and the grip portion 30 of the nozzle delivery mechanism 7 are located at positions P1A and P1B (FIGS. 5A and 5B, respectively) for delivering the nozzle NZ. 6 (A)), they are formed to have different heights. For example, in the example shown in FIG. 8B, at positions P1A and P1B, the grip portion 30 of the nozzle support portion 6 is formed so as to be located below the grip portion 30 of the nozzle delivery mechanism 7. .. At positions P1A and P1B, the grip portion 30 of the nozzle support portion 6 may be formed so as to be located above the grip portion 30 of the nozzle delivery mechanism 7.

第１の例では、ノズル支持部６の把持部３０とノズル受け渡し機構７の把持部３０とが、図８（Ｂ）に示すように、それぞれ、ノズルＮＺの受け渡しをする位置Ｐ１（図５（Ａ）、図６（Ａ）参照）において、異なる高さになるように形成されているので、ノズル支持部６の把持部３０及びノズル受け渡し機構７の把持部３０において、それぞれのノズル保持動作及びノズル開放動作は、干渉せず、独立して行うことができる。これにより、ノズル支持部６及びノズル受け渡し機構７の一方がノズルＮＺを保持した状態で、他方がノズルＮＺを開放することができる。 In the first example, as shown in FIG. 8B, the grip portion 30 of the nozzle support portion 6 and the grip portion 30 of the nozzle delivery mechanism 7 each transfer the nozzle NZ at the position P1 (FIG. 5 (FIG. 5). In A) and FIG. 6A), the nozzles are formed so as to have different heights, so that the gripping portion 30 of the nozzle support portion 6 and the gripping portion 30 of the nozzle delivery mechanism 7 have their respective nozzle holding operations and The nozzle opening operation can be performed independently without interference. As a result, one of the nozzle support portion 6 and the nozzle delivery mechanism 7 can hold the nozzle NZ, and the other can open the nozzle NZ.

続いて、図９に示すノズル支持部６のノズル保持部１４及びノズル受け渡し機構７のノズル保持部２３の第２の例について説明する。第２の例のノズル支持部６のノズル保持部１４Ｂ及びノズル受け渡し機構７のノズル保持部２３Ｂは、それぞれ、把持部３２を備え、ノズルＮＺに設けられた被把持部３１を、把持部３２により挟み込むことでノズルＮＺを保持する。 Subsequently, a second example of the nozzle holding portion 14 of the nozzle supporting portion 6 and the nozzle holding portion 23 of the nozzle delivery mechanism 7 shown in FIG. 9 will be described. The nozzle holding portion 14B of the nozzle support portion 6 and the nozzle holding portion 23B of the nozzle delivery mechanism 7 of the second example each include a grip portion 32, and the gripped portion 31 provided on the nozzle NZ is gripped by the grip portion 32. The nozzle NZ is held by sandwiching it.

図９に示すように、ノズルＮＺには、被把持部３１が設けられている。被把持部３１は、ノズルＮＺの短手方向（Ｘ方向と平行な方向）の両側のそれぞれの面に設けられている。被把持部３１は、例えば、突出部３１ａを有するフランジ部材である。ノズル支持部６に近い側（−Ｘ側）に設けられた被把持部３１は、ノズル支持部６の把持部３２に挟み込まれる。また、ノズル支持部６に対して離れた側（＋Ｘ側）に設けられた被把持部３１は、ノズル受け渡し機構７の把持部３２に挟み込まれる。 As shown in FIG. 9, the nozzle NZ is provided with a gripped portion 31. The gripped portion 31 is provided on each surface of the nozzle NZ on both sides in the lateral direction (direction parallel to the X direction). The gripped portion 31 is, for example, a flange member having a protruding portion 31a. The gripped portion 31 provided on the side closer to the nozzle support portion 6 (−X side) is sandwiched between the gripped portions 32 of the nozzle support portion 6. Further, the gripped portion 31 provided on the side (+ X side) away from the nozzle support portion 6 is sandwiched between the gripped portions 32 of the nozzle delivery mechanism 7.

ノズル支持部６の把持部３２は、例えば、図９に示すように、被把持部３１の突出部３１ａをノズルＮＺの長手方向（Ｙ方向と平行な方向）に挟みこむことが可能に形成される、一対の把持部材である。一対の把持部材は、被把持部３１をノズルＮＺの長手方向を挟んで配置される。一対の把持部材は、それぞれ、凹部３２ａを有している。凹部３２ａは、被把持部３１の突出部３１ａを挿入可能に形成されている。一対の把持部材は、支持部１３に支持される。一対の把持部材は、図示しないガイドを介して、支持部１３に対してノズルＮＺの長手方向と平行な方向に移動可能に、支持部１３に支持される。一対の把持部材は、ノズルＮＺを保持する際、ノズルＮＺに近づく方向に移動することにより、ノズルＮＺのノズル支持部６側の突出部３１ａが凹部３２ａに挿入され、突出部３１ａを押圧することでノズルＮＺを支持する。また、一対の把持部材は、ノズルＮＺを保持から解放する際、ノズルＮＺから離れる方向に移動することにより、突出部３１ａが凹部３２ａからはずれることで、ノズルＮＺを開放する。 As shown in FIG. 9, the grip portion 32 of the nozzle support portion 6 is formed so that the protruding portion 31a of the gripped portion 31 can be sandwiched in the longitudinal direction (direction parallel to the Y direction) of the nozzle NZ. A pair of gripping members. The pair of gripping members are arranged with the gripped portion 31 sandwiched in the longitudinal direction of the nozzle NZ. Each of the pair of gripping members has a recess 32a. The recess 32a is formed so that the protruding portion 31a of the gripped portion 31 can be inserted. The pair of gripping members are supported by the support portion 13. The pair of gripping members are supported by the support portion 13 so as to be movable in a direction parallel to the longitudinal direction of the nozzle NZ with respect to the support portion 13 via a guide (not shown). When holding the nozzle NZ, the pair of gripping members move in a direction approaching the nozzle NZ, so that the protruding portion 31a on the nozzle support portion 6 side of the nozzle NZ is inserted into the recess 32a and presses the protruding portion 31a. Supports the nozzle NZ with. Further, when the nozzle NZ is released from the holding, the pair of gripping members move in the direction away from the nozzle NZ, so that the protruding portion 31a is detached from the recess 32a, thereby opening the nozzle NZ.

ノズル受け渡し機構７の把持部３２は、一対の把持部材が支持部２１に支持される点以外は、ノズル支持部６の把持部３２と同様に構成され、ノズルＮＺのノズル支持部６から離れた側の突出部３１ａを長手方向から挟むことによりノズルＮＺを保持し、把持部３２によりノズルＮＺの挟み込みを解除することにより、保持したノズルＮＺを開放する。 The grip portion 32 of the nozzle transfer mechanism 7 is configured in the same manner as the grip portion 32 of the nozzle support portion 6 except that a pair of grip members are supported by the support portion 21, and is separated from the nozzle support portion 6 of the nozzle NZ. The nozzle NZ is held by sandwiching the protruding portion 31a on the side from the longitudinal direction, and the held nozzle NZ is released by releasing the sandwiching of the nozzle NZ by the grip portion 32.

本例では、被把持部３１は、ノズルＮＺの短手方向のそれぞれの面に設けられているので、ノズル支持部６の把持部３２及びノズル受け渡し機構７の把持部３２は、位置Ｐ１（図５（Ａ）、図６（Ａ）参照）において、ノズルＮＺの短手方向に対して反対側において、それぞれのノズル保持動作及びノズル開放動作を、干渉せず、独立して行うことができる。これにより、ノズル支持部６及びノズル受け渡し機構７の一方がノズルＮＺを保持した状態で、他方がノズルＮＺを開放することができるので、ノズルＮＺの受け渡しを確実に行うことができる。 In this example, since the gripped portion 31 is provided on each surface of the nozzle NZ in the lateral direction, the gripped portion 32 of the nozzle support portion 6 and the gripped portion 32 of the nozzle delivery mechanism 7 are located at position P1 (FIG. In 5 (A) and 6 (A)), the nozzle holding operation and the nozzle opening operation can be performed independently on the opposite side of the nozzle NZ in the lateral direction without interfering with each other. As a result, one of the nozzle support portion 6 and the nozzle delivery mechanism 7 can open the nozzle NZ while the other holds the nozzle NZ, so that the nozzle NZ can be reliably delivered.

なお、被把持部３１及び把持部３２は、それぞれ、被把持部３１を把持部３２により把持（保持）可能であれば、任意の構成を用いることができる。また、把持部３２は、例えば、駆動部（不図示）により行われてもよい。 Any configuration can be used for the gripped portion 31 and the gripped portion 32 as long as the gripped portion 31 can be gripped (held) by the gripped portion 32, respectively. Further, the grip portion 32 may be performed by, for example, a drive portion (not shown).

続いて、図１０に示すノズル支持部６のノズル保持部１４及びノズル受け渡し機構７のノズル保持部２３の第３の例について説明する。第３の例のノズル支持部６のノズル保持部１４Ｃ及びノズル受け渡し機構７のノズル保持部２３Ｃは、それぞれ、電磁石部３８を備え、ノズルＮＺに設けられた被吸着部３７を電磁石部３８が吸着することで、ノズルＮＺを保持する。 Subsequently, a third example of the nozzle holding portion 14 of the nozzle supporting portion 6 and the nozzle holding portion 23 of the nozzle delivery mechanism 7 shown in FIG. 10 will be described. The nozzle holding portion 14C of the nozzle support portion 6 and the nozzle holding portion 23C of the nozzle delivery mechanism 7 of the third example each include an electromagnet portion 38, and the electromagnet portion 38 attracts the attracted portion 37 provided on the nozzle NZ. By doing so, the nozzle NZ is held.

図１０に示すように、ノズルＮＺには、それぞれ、被吸着部３７が設けられている。被吸着部３７は、ノズルＮＺの短手方向（Ｘ方向と平行な方向）のそれぞれの面に設けられている。被吸着部３７は、電磁石部３８に吸着可能な鉄などの磁性材料により形成される。 As shown in FIG. 10, each nozzle NZ is provided with a suctioned portion 37. The suctioned portion 37 is provided on each surface of the nozzle NZ in the lateral direction (direction parallel to the X direction). The adsorptioned portion 37 is formed of a magnetic material such as iron that can be attracted to the electromagnet portion 38.

ノズル支持部６の電磁石部３８は、例えば、磁性材料で形成される芯のまわりにコイルが巻かれ、通電することによって一時的に磁力を発生させる磁石である。ノズル支持部６の電磁石部３８は、電源（図示せず）及びスイッチ３９に接続され、通電および遮断の切り替えが行われる。電磁石部３８は、支持部１３に支持される。電磁石部３８は、スイッチ３９で通電することにより、磁力が発生して被吸着部３７を吸着して、ノズルＮＺを保持する。電磁石部３８は、スイッチ３９で遮断することにより、磁力がなくなり被吸着部３７との吸着が解除されて、ノズルＮＺを開放する。スイッチ３９による通電および遮断の切り替えは、例えば、制御部３により制御される。なお、スイッチ３９による通電および遮断の切り替えは、ユーザが手動により行う構成でもよい。 The electromagnet portion 38 of the nozzle support portion 6 is, for example, a magnet in which a coil is wound around a core made of a magnetic material and energized to temporarily generate a magnetic force. The electromagnet portion 38 of the nozzle support portion 6 is connected to a power supply (not shown) and a switch 39, and switching between energization and cutoff is performed. The electromagnet portion 38 is supported by the support portion 13. When the electromagnet portion 38 is energized by the switch 39, a magnetic force is generated to attract the attracted portion 37 and hold the nozzle NZ. By shutting off the electromagnet unit 38 with the switch 39, the magnetic force is lost and the adsorption with the adsorption unit 37 is released, and the nozzle NZ is opened. Switching between energization and cutoff by the switch 39 is controlled by, for example, the control unit 3. The switch 39 may be used to manually switch between energization and cutoff.

ノズル受け渡し機構７のノズル保持部２３Ｃは、電磁石部３８が支持部２１に支持される点以外は、ノズル支持部６のノズル保持部１４Ｃと同様に構成され、ノズルＮＺに設けられた被吸着部３７に電磁石部３８が吸着することによりノズルＮＺを保持し、電磁石部３８による被吸着部３７の吸着を解除することにより、保持したノズルＮＺを開放する。 The nozzle holding portion 23C of the nozzle delivery mechanism 7 is configured in the same manner as the nozzle holding portion 14C of the nozzle supporting portion 6 except that the electromagnet portion 38 is supported by the supporting portion 21, and is provided in the nozzle NZ to be attracted. The nozzle NZ is held by attracting the electromagnet portion 38 to 37, and the held nozzle NZ is released by releasing the suction of the attracted portion 37 by the electromagnet portion 38.

本例では、被吸着部３７は、ノズルＮＺの短手方向のそれぞれの面に設けられているので、ノズル支持部６の電磁石部３８及びノズル受け渡し機構７の電磁石部３８は、位置Ｐ１（図５（Ａ）、図６（Ａ）参照）において、ノズルＮＺの短手方向に対して反対側において、それぞれのノズル保持動作及びノズル開放動作を、干渉せず、独立して行うことができる。これにより、ノズル支持部６及びノズル受け渡し機構７の一方がノズルＮＺを保持した状態で、他方がノズルＮＺを開放することができる。 In this example, since the attracted portion 37 is provided on each surface of the nozzle NZ in the lateral direction, the electromagnet portion 38 of the nozzle support portion 6 and the electromagnet portion 38 of the nozzle delivery mechanism 7 are located at position P1 (FIG. In 5 (A) and 6 (A)), the nozzle holding operation and the nozzle opening operation can be performed independently without interfering with each other on the side opposite to the lateral direction of the nozzle NZ. As a result, one of the nozzle support portion 6 and the nozzle delivery mechanism 7 can hold the nozzle NZ, and the other can open the nozzle NZ.

次に、位置決め部４１について説明する。図１１（Ａ）及び（Ｂ）は、位置決め部の一例を示す図であり、（Ａ）は上方から見た図であり、（Ｂ）は側方から見た図である。 Next, the positioning unit 41 will be described. 11 (A) and 11 (B) are views showing an example of the positioning portion, (A) is a view seen from above, and (B) is a view seen from the side.

以下、図８（Ａ）及び（Ｂ）に示すノズル支持部６のノズル保持部１４Ａの位置決め部４１を例に説明する。位置決め部４１は、例えば、図１１（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、支持面４２と、２つの凸部４３と、２つの凹部４４と、を備える。支持面４２は、例えば、矩形平板状である。支持面４２は、例えば、支持部１３の２つの面のうちのノズルＮＺを保持する側（＋Ｘ側）の面に設けられる。支持面４２の＋Ｘ側の面は、ノズルＮＺがノズル保持部１４Ａに保持されたときに、ノズルＮＺの−Ｘ側の面に密着するように形成される。 Hereinafter, the positioning portion 41 of the nozzle holding portion 14A of the nozzle support portion 6 shown in FIGS. 8A and 8B will be described as an example. The positioning portion 41 includes, for example, a support surface 42, two convex portions 43, and two concave portions 44, as shown in FIGS. 11A and 11B. The support surface 42 has, for example, a rectangular flat plate shape. The support surface 42 is provided, for example, on the side (+ X side) of the two surfaces of the support portion 13 that holds the nozzle NZ. The + X side surface of the support surface 42 is formed so as to be in close contact with the −X side surface of the nozzle NZ when the nozzle NZ is held by the nozzle holding portion 14A.

２つの凸部４３は、支持面４２の＋Ｘ側の面の、支持面４２の高さ方向における中央部分に、Ｙ方向と平行な方向に並んで形成される。２つの凸部４３は、例えば、円錐状（テーパー状）である。２つの凹部４４は、ノズルＮＺの−Ｘ側の面に、Ｙ方向と平行な方向に並んで形成され、ノズルＮＺがノズル保持部１４Ａに保持されたときに、２つの凸部４３が嵌め合わされるように形成される。 The two convex portions 43 are formed side by side in a direction parallel to the Y direction at the central portion of the surface of the support surface 42 on the + X side in the height direction of the support surface 42. The two convex portions 43 are, for example, conical (tapered). The two recesses 44 are formed side by side in a direction parallel to the Y direction on the −X side surface of the nozzle NZ, and when the nozzle NZ is held by the nozzle holding portion 14A, the two convex portions 43 are fitted together. Is formed so as to.

なお、凸部４３および凹部４４の個数は、それぞれ、２つでなくてもよく、例えば、凸部４３および凹部４４の個数は、３つ以上でもよい。なお、凸部４３の形状は、円錐状（テーパー状）に限定されず、任意である。例えば、凸部４３の形状は、円柱状でもよいし、矩形柱状でもよい。 The number of the convex portions 43 and the concave portions 44 does not have to be two, respectively. For example, the number of the convex portions 43 and the concave portions 44 may be three or more. The shape of the convex portion 43 is not limited to a conical shape (tapered shape) and is arbitrary. For example, the shape of the convex portion 43 may be a columnar shape or a rectangular columnar shape.

位置決め部４１は、ノズルＮＺがノズル保持部１４Ａに保持されたときに、支持面４２がノズルＮＺの−Ｘ側の面と密着することにより、ノズルＮＺのＹ軸まわり及びＺ軸まわりの移動を規制し、且つ、２つの凸部４３と２つの凹部４４とが嵌め合わされることにより、ノズルＮＺのＸ軸まわりの移動を制限する。これにより、位置決め部４１は、ノズルＮＺがノズル保持部１４Ａに保持されたときに、ノズルＮＺを所定位置に位置決めすることができる。また、２つの凸部は、円錐状（テーパー状）であるので、ノズル受け渡し機構７がノズルＮＺをノズル支持部６に対して受け渡しをする際、ノズルＮＺの位置が若干ずれていても、ノズルＮＺを位置決めすることができる。 When the nozzle NZ is held by the nozzle holding portion 14A, the positioning unit 41 moves the nozzle NZ around the Y-axis and the Z-axis by bringing the support surface 42 into close contact with the surface of the nozzle NZ on the −X side. By restricting and fitting the two convex portions 43 and the two concave portions 44, the movement of the nozzle NZ around the X axis is restricted. As a result, the positioning unit 41 can position the nozzle NZ at a predetermined position when the nozzle NZ is held by the nozzle holding unit 14A. Further, since the two convex portions have a conical shape (tapered shape), when the nozzle transfer mechanism 7 transfers the nozzle NZ to the nozzle support portion 6, even if the position of the nozzle NZ is slightly deviated, the nozzle The NZ can be positioned.

なお、図９に示すノズル保持部１４Ｂに位置決め部４１を設ける場合、例えば、支持面４２及び２つの凸部４３は、把持部３２の上方または下方に配置され、２つの凹部４４は、ノズルＮＺがノズル保持部１４Ｂに保持されたときに、２つの凸部４３が嵌め合わされる位置に配置される。 When the positioning portion 41 is provided in the nozzle holding portion 14B shown in FIG. 9, for example, the support surface 42 and the two convex portions 43 are arranged above or below the grip portion 32, and the two concave portions 44 are the nozzle NZ. Is held by the nozzle holding portion 14B, the two convex portions 43 are arranged at a position where they are fitted together.

また、図１０に示すノズル保持部１４Ｃに位置決め部４１を設ける場合、例えば、支持面４２及び２つの凸部４３は、電磁石部３８の上方または下方に配置され、２つの凹部４４は、ノズルＮＺがノズル保持部１４Ｃに保持されたときに、２つの凸部４３が嵌め合わされる位置に配置される。 When the positioning portion 41 is provided in the nozzle holding portion 14C shown in FIG. 10, for example, the support surface 42 and the two convex portions 43 are arranged above or below the electromagnet portion 38, and the two concave portions 44 are the nozzle NZ. Is held by the nozzle holding portion 14C, the two convex portions 43 are arranged at a position where they are fitted together.

なお、図８〜図１０に示すノズル受け渡し機構７に位置決め部４１を設けてもよい。例えば、図８に示すノズル受け渡し機構７のノズル保持部２３Ａに位置決め部４１を設ける場合、支持面４２及び２つの凸部４３は、ノズル保持部２３Ａの支持部２１に配置され、２つの凹部４４は、ノズルＮＺがノズル保持部１４Ａに保持されたときに、２つの凸部４３が嵌め合わされる位置に配置される。また、図９に示すノズル受け渡し機構７のノズル保持部２３Ｂに位置決め部４１を設ける場合、例えば、支持面４２及び２つの凸部４３は、ノズル保持部２３Ｂの把持部３２の上方または下方に配置され、２つの凹部４４は、ノズルＮＺがノズル保持部１４Ａに保持されたときに、２つの凸部４３が嵌め合わされる位置に配置される。また、図１０に示すノズル受け渡し機構７のノズル保持部２３Ｃに位置決め部４１を設ける場合、例えば、支持面４２及び２つの凸部４３は、電磁石部３８の上方または下方に配置され、２つの凹部４４は、ノズルＮＺがノズル保持部１４Ａに保持されたときに、２つの凸部４３が嵌め合わされる位置に配置される。 The nozzle delivery mechanism 7 shown in FIGS. 8 to 10 may be provided with a positioning unit 41. For example, when the positioning portion 41 is provided in the nozzle holding portion 23A of the nozzle delivery mechanism 7 shown in FIG. 8, the support surface 42 and the two convex portions 43 are arranged in the support portion 21 of the nozzle holding portion 23A, and the two concave portions 44 Is arranged at a position where the two convex portions 43 are fitted when the nozzle NZ is held by the nozzle holding portion 14A. When the positioning portion 41 is provided on the nozzle holding portion 23B of the nozzle delivery mechanism 7 shown in FIG. 9, for example, the support surface 42 and the two convex portions 43 are arranged above or below the grip portion 32 of the nozzle holding portion 23B. The two concave portions 44 are arranged at positions where the two convex portions 43 are fitted when the nozzle NZ is held by the nozzle holding portion 14A. Further, when the positioning portion 41 is provided in the nozzle holding portion 23C of the nozzle delivery mechanism 7 shown in FIG. 10, for example, the support surface 42 and the two convex portions 43 are arranged above or below the electromagnet portion 38 and have two concave portions. 44 is arranged at a position where the two convex portions 43 are fitted when the nozzle NZ is held by the nozzle holding portion 14A.

このように、本実施形態の塗布装置１および塗布方法は、ノズル支持部６に対してノズルＮＺの受け渡しを行うことで複数のノズルＮＺから１つを選択するので、ノズル支持部６を複数のノズルＮＺで共用することができる。これにより、装置のコストを抑制することができ、また、装置の構成をシンプルでコンパクトにすることができる。また、複数のノズルＮＺでノズル支持部６を共用するので、ノズルの交換による、ノズル支持部６のノズルの支持機構、あるいはノズルの駆動機構の調整に要する時間を抑制することができ、迅速にノズルの交換を行うことができる。 As described above, in the coating device 1 and the coating method of the present embodiment, one is selected from a plurality of nozzles NZ by passing the nozzles NZ to the nozzle support portions 6, so that a plurality of nozzle support portions 6 are used. It can be shared by the nozzle NZ. As a result, the cost of the device can be suppressed, and the configuration of the device can be made simple and compact. Further, since the nozzle support portion 6 is shared by a plurality of nozzles NZ, it is possible to suppress the time required for adjusting the nozzle support mechanism of the nozzle support portion 6 or the nozzle drive mechanism by exchanging the nozzles, and quickly. The nozzle can be replaced.

以上のように、本実施形態の塗布装置１及び塗布方法は、迅速にノズルの交換を行うことができる。 As described above, in the coating device 1 and the coating method of the present embodiment, the nozzles can be replaced quickly.

［第２実施形態］
第２実施形態について説明する。本実施形態において、上述の実施形態と同様の構成については、同じ符号を付してその説明を省略あるいは簡略化する。 [Second Embodiment]
The second embodiment will be described. In the present embodiment, the same components as those in the above-described embodiment are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted or simplified.

図１２（Ａ）及び（Ｂ）は、第２実施形態に係る塗布装置１Ａを示す図であり、（Ａ）はＸ方向から見た図であり、（Ｂ）は上方から見た図である。本実施形態の塗布装置１Ａは、メンテナンス部４６を備える。塗布装置１Ａは、ワゴン２５Ａ、メンテナンス部４６以外は、第１実施形態の塗布装置１と同様の構成である。なお、図１２において、塗布装置１Ａのメンテナンス部４６以外は、図示を省略あるいは簡略化している。 12 (A) and 12 (B) are views showing the coating device 1A according to the second embodiment, (A) is a view seen from the X direction, and (B) is a view seen from above. .. The coating device 1A of the present embodiment includes a maintenance unit 46. The coating device 1A has the same configuration as the coating device 1 of the first embodiment except for the wagon 25A and the maintenance unit 46. In FIG. 12, the illustration is omitted or simplified except for the maintenance unit 46 of the coating device 1A.

メンテナンス部４６は、ノズルＮＺのメンテナンスを行う部分である。例えば、塗布装置１Ａのワゴン２５Ａは、メンテナンス部４６を備える。ワゴン２５Ａは、メンテナンス部４６を備える点以外は、第１実施形態のワゴン２５と同様の構成である。なお、ワゴン２５Ａは、ノズル受け渡し機構７Ａ、７Ｂの近傍に２つ配置される。 The maintenance unit 46 is a portion for performing maintenance on the nozzle NZ. For example, the wagon 25A of the coating device 1A includes a maintenance unit 46. The wagon 25A has the same configuration as the wagon 25 of the first embodiment except that it includes a maintenance unit 46. Two wagons 25A are arranged in the vicinity of the nozzle delivery mechanisms 7A and 7B.

メンテナンス部４６は、ワゴン２５Ａの上部に配置される。メンテナンス部４６は、例えば、待機位置Ｐ２Ａ、Ｐ２Ｂに位置するノズル受け渡し機構７Ａ、７Ｂに保持された状態のノズルＮＺがアクセス可能に形成されている。例えば、本実施形態では、ワゴン２５Ａが移動することにより、ノズル受け渡し機構７Ａ、７Ｂに保持された状態のノズルＮＺがワゴン２５Ａのメンテナンス部４６にアクセス可能である。 The maintenance unit 46 is arranged above the wagon 25A. The maintenance unit 46 is formed so that, for example, the nozzle NZ held in the nozzle delivery mechanisms 7A and 7B located at the standby positions P2A and P2B can be accessed. For example, in the present embodiment, by moving the wagon 25A, the nozzle NZ held by the nozzle delivery mechanisms 7A and 7B can access the maintenance unit 46 of the wagon 25A.

メンテナンス部４６は、例えば、ノズルＮＺの先端を洗浄する洗浄部（図示せず）と、ノズルＮＺから液状体Ｌを予備的に吐出するための予備吐出部（図示せず）と、ノズルＮＺの先端を払拭する払拭部（図示せず）と、を備える。なお、メンテナンス部４６は、これらのうち少なくとも１つを備えていればよい。 The maintenance unit 46 includes, for example, a cleaning unit (not shown) for cleaning the tip of the nozzle NZ, a preliminary discharge unit (not shown) for preliminarily discharging the liquid L from the nozzle NZ, and a nozzle NZ. It is provided with a wiping portion (not shown) for wiping the tip. The maintenance unit 46 may include at least one of these.

洗浄部は、例えば、ノズルＮＺを洗浄するための洗浄液を保持する容器を備える。予備吐出部は、ノズルＮＺから予備吐出した液状体Ｌを受けるための容器を備える。払拭部は、例えば、ノズルＮＺの先端に対して移動することによりノズルＮＺを払拭する払拭部材を備える。 The cleaning unit includes, for example, a container that holds a cleaning liquid for cleaning the nozzle NZ. The pre-discharge unit includes a container for receiving the liquid L pre-discharged from the nozzle NZ. The wiping unit includes, for example, a wiping member that wipes the nozzle NZ by moving with respect to the tip of the nozzle NZ.

以上のように、本実施形態の塗布装置１Ａは、メンテナンス部４６を備えるので、ノズルＮＺのメンテナンスを塗布動作中に行うことができる。これにより、塗布装置１Ａは、生産性の低下を抑制することができる。また、本実施形態の塗布装置１Ａは、ワゴン２５Ａがメンテナンス部４６を備えるので、メンテナンス部４６の構成をシンプルにすることができる。また、メンテナンス部４６及び送液部１９はワゴン２５Ａを共用するので、塗布装置１Ａの装置サイズをコンパクトにすることができる。 As described above, since the coating device 1A of the present embodiment includes the maintenance unit 46, maintenance of the nozzle NZ can be performed during the coating operation. As a result, the coating device 1A can suppress a decrease in productivity. Further, in the coating device 1A of the present embodiment, since the wagon 25A includes the maintenance unit 46, the configuration of the maintenance unit 46 can be simplified. Further, since the maintenance unit 46 and the liquid feeding unit 19 share the wagon 25A, the device size of the coating device 1A can be made compact.

［第３実施形態］
第３実施形態について説明する。本実施形態において、上述の実施形態と同様の構成については、同じ符号を付してその説明を省略あるいは簡略化する。 [Third Embodiment]
The third embodiment will be described. In the present embodiment, the same components as those in the above-described embodiment are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted or simplified.

図１３は、第３実施形態に係る塗布装置１Ｂを示す上面図である。本実施形態の塗布装置１Ｂは、例えば、フレーム２と、制御部３（図示せず）と、ステージ４と、ステージ駆動部５（駆動部）と、４つのノズルＮＺ（ＮＺ１〜ＮＺ４）と、２つのノズル支持部６（６Ａ、６Ｂ）と、４つのノズル受け渡し機構７（７Ａ〜７Ｄ）と、を備える。なお、制御部３、ステージ４、及びステージ駆動部５（駆動部）は、第１実施形態の同様であるので、説明を省略あるいは簡略化する。 FIG. 13 is a top view showing the coating device 1B according to the third embodiment. The coating device 1B of the present embodiment includes, for example, a frame 2, a control unit 3 (not shown), a stage 4, a stage drive unit 5 (drive unit), four nozzles NZ (NZ1 to NZ4), and the like. It includes two nozzle support portions 6 (6A, 6B) and four nozzle delivery mechanisms 7 (7A to 7D). Since the control unit 3, the stage 4, and the stage drive unit 5 (drive unit) are the same as those in the first embodiment, the description thereof will be omitted or simplified.

本実施形態のフレーム２は、ステージ支持部９Ｂと、ガントリ１０と、を備える。本実施形態のステージ支持部９Ｂは、第１実施形態のステージ支持部９よりもＸ方向に長く形成される以外は、第１実施形態と同様の構成である。ステージ４は、ステージ支持部９ＢのＸ方向と平行な方向の両端部の間を移動する。ガントリ１０は、第１実施形態のガントリ１０と同様の構成である。 The frame 2 of the present embodiment includes a stage support portion 9B and a gantry 10. The stage support portion 9B of the present embodiment has the same configuration as that of the first embodiment except that it is formed longer in the X direction than the stage support portion 9 of the first embodiment. The stage 4 moves between both ends of the stage support portion 9B in a direction parallel to the X direction. The gantry 10 has the same configuration as the gantry 10 of the first embodiment.

２つのノズル支持部６Ａ、６Ｂは、それぞれ、例えば、ガントリ１０の架橋部１０ｂに支持される。例えば、ノズル支持部６Ａは、ガントリ１０の架橋部１０ｂの＋Ｘ側に支持され、ノズル支持部６Ｂは、ガントリ１０の架橋部１０ｂの−Ｘ側に支持される。 The two nozzle support portions 6A and 6B are supported by, for example, the cross-linking portion 10b of the gantry 10. For example, the nozzle support portion 6A is supported on the + X side of the crosslinked portion 10b of the gantry 10, and the nozzle support portion 6B is supported on the −X side of the crosslinked portion 10b of the gantry 10.

ノズル支持部６Ａは、第１実施形態のノズル支持部６と同様の構成であり、複数のノズルＮＺ１、ＮＺ２から１つを選択して支持し、かつ、支持したノズルＮＺを昇降させる。ノズル支持部６Ｂは、複数のノズルＮＺ３、ＮＺ４から１つを選択して支持し、かつ、支持したノズルＮＺを昇降させる。ノズル支持部６Ｂは、ガントリ１０に支持される位置、及び支持するノズルＮＺが異なること以外は、第１実施形態のノズル支持部６と同様の構成である。また、ノズル支持部６Ａ、６Ｂの動作は、それぞれ、第１実施形態のノズル支持部６と同様である。 The nozzle support portion 6A has the same configuration as the nozzle support portion 6 of the first embodiment, and one of a plurality of nozzles NZ1 and NZ2 is selected and supported, and the supported nozzle NZ is moved up and down. The nozzle support portion 6B selects and supports one of a plurality of nozzles NZ3 and NZ4, and raises and lowers the supported nozzle NZ. The nozzle support portion 6B has the same configuration as the nozzle support portion 6 of the first embodiment except that the position supported by the gantry 10 and the nozzle NZ to be supported are different. The operation of the nozzle support portions 6A and 6B is the same as that of the nozzle support portion 6 of the first embodiment, respectively.

ノズル受け渡し機構７Ａ〜７Ｄは、それぞれ、ステージ支持部９Ｂの近傍に配置される。例えば、ノズル受け渡し機構７Ａ、ＡＣは、ステージ支持部９Ｂの−Ｙ側に、Ｘ方向と平行な方向に並んで形成される。例えば、ノズル受け渡し機構７Ｂ、７Ｄは、ステージ支持部９Ｂの＋Ｙ側に、Ｘ方向と平行な方向に並んで形成される。ノズル受け渡し機構７Ａ〜ＡＤは、それぞれ、配置される位置が異なる点以外は、第１実施形態のノズル受け渡し機構７Ａと同様の構成である。ノズル受け渡し機構７Ａ、７Ｂは、それぞれ、ノズル支持部６Ａとの間でノズルＮＺの受け渡しが可能に形成されている。また、ノズル受け渡し機構７Ｃ、ＡＤは、それぞれ、ノズル支持部６Ｂに対してノズルＮＺの受け渡しが可能に形成されている。ノズル受け渡し機構７Ａ〜７Ｄの動作は、それぞれ、第１実施形態のノズル受け渡し機構７と同様である。 The nozzle delivery mechanisms 7A to 7D are arranged in the vicinity of the stage support portion 9B, respectively. For example, the nozzle delivery mechanisms 7A and AC are formed side by side on the −Y side of the stage support portion 9B in a direction parallel to the X direction. For example, the nozzle delivery mechanisms 7B and 7D are formed side by side on the + Y side of the stage support portion 9B in a direction parallel to the X direction. The nozzle delivery mechanisms 7A to AD have the same configuration as the nozzle delivery mechanism 7A of the first embodiment, except that the positions of the nozzle delivery mechanisms 7A to AD are different from each other. The nozzle delivery mechanisms 7A and 7B are formed so that the nozzle NZ can be delivered to and from the nozzle support portion 6A, respectively. Further, the nozzle delivery mechanisms 7C and AD are formed so that the nozzle NZ can be delivered to the nozzle support portion 6B, respectively. The operations of the nozzle delivery mechanisms 7A to 7D are the same as those of the nozzle delivery mechanism 7 of the first embodiment, respectively.

ノズルＮＺ１〜ＮＺ４は、それぞれ、第１実施形態と同様のスリットノズルである。ノズルＮＺ１は、ノズル受け渡し機構７Ａの送液部１９に接続され、ノズル支持部６及びノズル受け渡し機構７Ａのいずれかに支持される。また、ノズルＮＺ２は、ノズル受け渡し機構７Ｂの送液部１９に接続され、ノズル支持部６及びノズル受け渡し機構７Ｂのいずれかに支持される。また、ノズルＮＺ３は、ノズル受け渡し機構７Ｃの送液部１９に接続され、ノズル支持部６及びノズル受け渡し機構７Ｃのいずれかに支持される。また、ノズルＮＺ４は、ノズル受け渡し機構７Ｄの送液部１９に接続され、ノズル支持部６及びノズル受け渡し機構７Ｄのいずれかに支持される。 The nozzles NZ1 to NZ4 are slit nozzles similar to those in the first embodiment, respectively. The nozzle NZ1 is connected to the liquid feeding portion 19 of the nozzle delivery mechanism 7A and is supported by either the nozzle support portion 6 or the nozzle delivery mechanism 7A. Further, the nozzle NZ2 is connected to the liquid feeding portion 19 of the nozzle delivery mechanism 7B and is supported by either the nozzle support portion 6 or the nozzle delivery mechanism 7B. Further, the nozzle NZ3 is connected to the liquid feeding portion 19 of the nozzle delivery mechanism 7C and is supported by either the nozzle support portion 6 or the nozzle delivery mechanism 7C. Further, the nozzle NZ4 is connected to the liquid feeding unit 19 of the nozzle transfer mechanism 7D and is supported by either the nozzle support unit 6 or the nozzle transfer mechanism 7D.

次に、塗布装置１Ｂの動作について説明する。本実施形態の塗布装置１Ｂは、４つのノズルＮＺ１〜ＮＺ４のいずれか１つをノズル支持部６Ａあるいはノズル支持部６Ｂで選択して、基板Ｓに塗布する点が第１実施形態と異なっており、これ以外の動作については、第１実施形態の塗布装置１の動作と同様である。 Next, the operation of the coating device 1B will be described. The coating device 1B of the present embodiment is different from the first embodiment in that any one of the four nozzles NZ1 to NZ4 is selected by the nozzle support portion 6A or the nozzle support portion 6B and coated on the substrate S. The operation other than this is the same as the operation of the coating device 1 of the first embodiment.

本実施形態の塗布装置１Ｂは、ノズルＮＺ１〜ＮＺ４から１つを選択して、ノズル支持部６Ａあるいはノズル支持部６Ｂに支持する。例えば、ノズルＮＺ１、ＮＺ２のいずれかが選択される場合、ノズルＮＺ１、ＮＺ２は、対応するノズル受け渡し機構７Ａ、７Ｂにより、ノズル支持部６Ａに渡され、ノズル支持部６Ａに支持される。また、ノズルＮＺ３、ＮＺ４のいずれかが選択される場合、ノズルＮＺ３、ＮＺ４は、対応するノズル受け渡し機構７Ｃ、７Ｄにより、ノズル支持部６Ｂに渡され、ノズル支持部６Ｂに支持される。 The coating device 1B of the present embodiment selects one of the nozzles NZ1 to NZ4 and supports the nozzle support portion 6A or the nozzle support portion 6B. For example, when any of the nozzles NZ1 and NZ2 is selected, the nozzles NZ1 and NZ2 are passed to the nozzle support portion 6A by the corresponding nozzle delivery mechanisms 7A and 7B, and are supported by the nozzle support portion 6A. When any of the nozzles NZ3 and NZ4 is selected, the nozzles NZ3 and NZ4 are passed to the nozzle support portion 6B by the corresponding nozzle delivery mechanisms 7C and 7D, and are supported by the nozzle support portion 6B.

ノズル支持部６Ａあるいはノズル支持部６Ｂに支持されたノズルＮＺは、対応する昇降駆動部１５により、ノズルＮＺの下端が基板Ｓに対して所定の距離になるように移動する。続いて、制御部３の制御により、ステージ駆動部５が駆動し、ステージ４が＋Ｘ方向又は−Ｘ方向と平行な方向に移動しながら、ノズルＮＺは、対応する送液部１９によりに液状体Ｌが供給されて、吐出口ＯＰから液状体Ｌを吐出する。これにより、塗布装置１Ｂは、基板Ｓに液状体Ｌを塗布する。 The nozzle NZ supported by the nozzle support portion 6A or the nozzle support portion 6B is moved by the corresponding elevating drive unit 15 so that the lower end of the nozzle NZ is at a predetermined distance from the substrate S. Subsequently, under the control of the control unit 3, the stage drive unit 5 is driven, and while the stage 4 moves in the + X direction or the direction parallel to the −X direction, the nozzle NZ is brought into a liquid state by the corresponding liquid feed unit 19. L is supplied, and the liquid L is discharged from the discharge port OP. As a result, the coating device 1B coats the liquid material L on the substrate S.

ノズル支持部６Ａあるいはノズル支持部６Ｂに支持されたノズルＮＺは、交換する際、対応するノズル受け渡し機構７Ａ〜７Ｄのいずれかに渡される。この際、ノズル支持部６Ａ及びノズル支持部６Ｂは、それぞれ、ノズルＮＺを支持していない状態である。続いて、最初に戻り、塗布装置１Ｂは、複数のノズルＮＺ１〜ＮＺ４から１つを選択して、ノズル支持部６Ａあるいはノズル支持部６Ｂに支持し、次の塗布が行われる。 The nozzle NZ supported by the nozzle support portion 6A or the nozzle support portion 6B is passed to any of the corresponding nozzle delivery mechanisms 7A to 7D at the time of replacement. At this time, the nozzle support portion 6A and the nozzle support portion 6B are not supporting the nozzle NZ, respectively. Subsequently, returning to the beginning, the coating device 1B selects one from the plurality of nozzles NZ1 to NZ4 and supports it on the nozzle support portion 6A or the nozzle support portion 6B, and the next coating is performed.

以上のように、本実施形態の塗布装置１Ｂは、４つのノズルＮＺが交換可能に形成されているので、使用可能なノズルを多くすることができる。 As described above, in the coating device 1B of the present embodiment, the four nozzles NZ are formed to be replaceable, so that the number of usable nozzles can be increased.

［第４実施形態］
第４実施形態について説明する。本実施形態において、上述の実施形態と同様の構成については、同じ符号を付してその説明を省略あるいは簡略化する。以下、本実施形態と上記実施形態の相違点を中心に説明する。 [Fourth Embodiment]
A fourth embodiment will be described. In the present embodiment, the same components as those in the above-described embodiment are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted or simplified. Hereinafter, the differences between the present embodiment and the above-described embodiment will be mainly described.

図１４は、第４実施形態に係る塗布装置の一例を示す上面図である。本実施形態の塗布装置１Ｃは、例えば、フレーム２、制御部３、ステージ４、ステージ駆動部５（駆動部）、ノズルＮＺ、ノズル支持部６Ｃ（ガントリ１０の支柱部１０ｃ）、ノズル受け渡し機構７（７Ａ、７Ｂ）、及びワゴン２５を備える。制御部３、ステージ４、ステージ駆動部５、及びワゴン２５は、第１実施形態と同様である。 FIG. 14 is a top view showing an example of the coating apparatus according to the fourth embodiment. The coating device 1C of the present embodiment includes, for example, a frame 2, a control unit 3, a stage 4, a stage drive unit 5 (drive unit), a nozzle NZ, a nozzle support unit 6C (a strut portion 10c of a gantry 10), and a nozzle transfer mechanism 7. (7A, 7B), and wagon 25. The control unit 3, the stage 4, the stage drive unit 5, and the wagon 25 are the same as those in the first embodiment.

フレーム２は、各部を支持する。フレーム２は、例えば、ステージ支持部９（図２参照）と、ガントリ１０と、を含む。ステージ支持部９は、第１実施形態と同様である。 The frame 2 supports each part. The frame 2 includes, for example, a stage support 9 (see FIG. 2) and a gantry 10. The stage support portion 9 is the same as that of the first embodiment.

図１５（Ａ）は、第４実施形態のノズルを示す図である。第４実施形態のノズルＮＺは、上部にアダプタ５５が取り付けられている。ノズルＮＺは、アダプタ５５が取り付けられている以外は、第１実施形態と同様である。アダプタ５５は、長手方向（Ｙ方向と平行な方向）の長さが、ノズルＮＺよりも長く形成されている。アダプタ５５の下面（下部）には、アダプタ５５を、後に説明するガントリ１０の支柱部１０ｃに位置決めする位置決め部５６が設けられている。位置決め部５６は、アダプタ５５の下面に設けられる凹部５６ａと、支柱部１０ｃの上面に設けられる凸部５６ｂ（図１５（Ｂ）参照）と、を備える。凹部５６ａは、アダプタ５５の下部の＋Ｙ側及び−Ｙ側に設けられている。各凹部５６ａは、下方に開口される。各凹部５６ａには、ノズルＮＺがガントリ１０（支柱部１０ｃ（ノズル支持部６Ｃ））に設置される際、支柱部１０ｃの凸部５６ｂがはめ込まれ、その結果、ノズルＮＺは支柱部１０ｃに対して位置決めされる。 FIG. 15A is a diagram showing a nozzle of the fourth embodiment. An adapter 55 is attached to the upper portion of the nozzle NZ of the fourth embodiment. The nozzle NZ is the same as that of the first embodiment except that the adapter 55 is attached. The adapter 55 is formed to have a length in the longitudinal direction (direction parallel to the Y direction) longer than that of the nozzle NZ. A positioning portion 56 for positioning the adapter 55 on the support column portion 10c of the gantry 10, which will be described later, is provided on the lower surface (lower portion) of the adapter 55. The positioning portion 56 includes a recess 56a provided on the lower surface of the adapter 55 and a convex portion 56b (see FIG. 15B) provided on the upper surface of the support column 10c. The recesses 56a are provided on the + Y side and the −Y side of the lower part of the adapter 55. Each recess 56a is opened downward. When the nozzle NZ is installed in the gantry 10 (post portion 10c (nozzle support portion 6C)), the convex portion 56b of the strut portion 10c is fitted into each recess 56a, and as a result, the nozzle NZ is fitted to the strut portion 10c. Is positioned.

アダプタ５５の上面には、被支持部５７が設けられている。被支持部５７は、後に説明するノズル受け渡し機構７のノズル保持部２３Ｄ（図１６（Ａ）参照）に支持される。被支持部５７は、例えば、一対のＬ字状の部材（Ｌ字状部材）で構成されている。被支持部５７は、例えば、一対のＬ字状の部材が、Ｙ方向と平行な方向（ノズルＮＺの長手方向と平行な方向）に沿って配置される。＋Ｙ側のＬ字状部材は−Ｙ側に突出した突出部５７ａを有し、−Ｙ側のＬ字状部材は＋Ｙ側に突出した突出部５７ａを有している。各Ｌ字状部材の突出部５７ａの下面（下部）には、ノズル保持部２３Ｄに位置決めする位置決め部６０の凹部６０ａが設けられている。凹部６０ａは、例えば、円錐状（テーパー状）である。各位置決め部６０は、凹部６０ａと、後に説明するノズル保持部２３Ｄの突出部６５の上面に設けられる凸部６０ｂ(図１６（Ｂ）参照)と、を備える。各凹部６０ａは、下方に開口される。各凹部６０ａは、ノズルＮＺがノズル受け渡し機構７に保持される際、ノズル受け渡し機構７の支持部Ｑの凸部６０ｂがはめ込まれ、その結果、ノズルＮＺは、ノズル受け渡し機構７の支持部２１に対して位置決めされる。 A supported portion 57 is provided on the upper surface of the adapter 55. The supported portion 57 is supported by the nozzle holding portion 23D (see FIG. 16A) of the nozzle delivery mechanism 7 described later. The supported portion 57 is composed of, for example, a pair of L-shaped members (L-shaped members). In the supported portion 57, for example, a pair of L-shaped members are arranged along a direction parallel to the Y direction (a direction parallel to the longitudinal direction of the nozzle NZ). The + Y side L-shaped member has a protruding portion 57a protruding toward the −Y side, and the −Y side L-shaped member has a protruding portion 57a protruding toward the + Y side. On the lower surface (lower part) of the protruding portion 57a of each L-shaped member, a recess 60a of the positioning portion 60 for positioning on the nozzle holding portion 23D is provided. The recess 60a has, for example, a conical shape (tapered shape). Each positioning portion 60 includes a concave portion 60a and a convex portion 60b (see FIG. 16B) provided on the upper surface of the protruding portion 65 of the nozzle holding portion 23D, which will be described later. Each recess 60a is opened downward. When the nozzle NZ is held by the nozzle delivery mechanism 7, the concave portion 60a is fitted with the convex portion 60b of the support portion Q of the nozzle delivery mechanism 7, and as a result, the nozzle NZ is fitted into the support portion 21 of the nozzle delivery mechanism 7. Positioned against.

図１５（Ｂ）は、第４実施形態のノズル及びガントリを示す図である。本実施形態のガントリ１０は、一対の支柱部１０ｃを備える。一対の支柱部１０ｃはステージ４をＹ方向に挟んで２つ設けられている。各支柱部１０ｃは、ステージ支持部９に支持されている。各支柱部１０ｃは、鉛直方向に延びており、後に説明する昇降駆動部１５の駆動により鉛直方向に移動する。各支柱部１０ｃは、その上面（＋Ｚ側の面）でアダプタ５５を介してノズルＮＺを支持するノズル支持部６Ｃである。各支柱部１０ｃ（ノズル支持部６Ｃ）は、複数のノズルＮＺ（ＮＺ１、ＮＺ２）から１つを選択して支持し、後に説明するノズル受け渡し機構７との間でノズルＮＺの受け渡しが可能に構成されている。なお、支柱部１０ｃは、ステージ支持部９に支持されなくてもよい。例えば、支柱部１０ｃは、床面に支持されてもよいし、第１実施形態のガントリ１０の支柱部１０ａに支持されてもよい。 FIG. 15B is a diagram showing a nozzle and a gantry of the fourth embodiment. The gantry 10 of the present embodiment includes a pair of support columns 10c. Two pairs of support columns 10c are provided with the stage 4 sandwiched in the Y direction. Each strut portion 10c is supported by the stage support portion 9. Each strut portion 10c extends in the vertical direction and moves in the vertical direction by being driven by the elevating drive portion 15 described later. Each strut portion 10c is a nozzle support portion 6C that supports the nozzle NZ via the adapter 55 on its upper surface (+ Z side surface). Each strut portion 10c (nozzle support portion 6C) is configured to select and support one of a plurality of nozzles NZ (NZ1, NZ2) so that the nozzle NZ can be delivered to and from the nozzle delivery mechanism 7 described later. Has been done. The strut portion 10c does not have to be supported by the stage support portion 9. For example, the strut portion 10c may be supported by the floor surface, or may be supported by the strut portion 10a of the gantry 10 of the first embodiment.

各支柱部１０ｃには、アダプタ５５の位置決めをする、位置決め部５６の凸部５６ｂが設けられている。各凸部５６ｂは、例えば、円錐状（テーパー状）である。各凸部５６ｂは、ノズルＮＺがガントリ１０（支柱部１０ｃ）に支持される際、アダプタ５５の凹部５６ａにはまり込み、ノズルＮＺは位置決めされる。なお、凹部５６ａ及び凸部５６ｂの個数は、それぞれ、２つでなくてもよく、例えば、凹部５６ａ及び凸部５６ｂの個数は、３つ以上でもよい。なお、凹部５６ａ及び凸部５６ｂの形状は、それぞれ、円錐状（テーパー状）に限定されず、任意である。例えば、凹部５６ａ及び凸部５６ｂの形状は、円柱状でもよいし、矩形柱状でもよい。 Each strut portion 10c is provided with a convex portion 56b of the positioning portion 56 for positioning the adapter 55. Each convex portion 56b has, for example, a conical shape (tapered shape). Each convex portion 56b fits into the concave portion 56a of the adapter 55 when the nozzle NZ is supported by the gantry 10 (support portion 10c), and the nozzle NZ is positioned. The number of concave portions 56a and convex portions 56b may not be two, respectively. For example, the number of concave portions 56a and convex portions 56b may be three or more. The shapes of the concave portion 56a and the convex portion 56b are not limited to the conical shape (tapered shape), and are arbitrary. For example, the shapes of the concave portion 56a and the convex portion 56b may be cylindrical or rectangular.

本実施形態の塗布装置１Ｃは、クランプ機構６２を備える(図１５（Ｂ）参照)。クランプ機構６２は、アダプタ５５と支柱部１０ｃとを固定する。クランプ機構６２は、＋Ｙ側及び−Ｙ側に設けられている。各クランプ機構６２は、例えば、支柱部１０ｃに取り付けられている。各クランプ機構６２は、例えば、アダプタ５５を支柱部１０ｃの上面に押し付けて固定する。各クランプ機構６２は、制御部３（図１４参照）の制御により、不図示の駆動部により駆動され、アダプタ５５と支柱部１０ｃとを固定する。また、各クランプ機構６２は、制御部３の制御により、不図示の駆動部により駆動され、アダプタ５５と支柱部１０ｃとの固定を開放する。なお、クランプ機構６２は、図１５（Ｂ）の例では、＋Ｙ側及び−Ｙ側に設けられているが、＋Ｙ側及び−Ｙ側の少なくとも一方に設けられてもよい。また、塗布装置１Ｃが、クランプ機構６２を備えるか否かは任意である。 The coating device 1C of the present embodiment includes a clamp mechanism 62 (see FIG. 15B). The clamp mechanism 62 fixes the adapter 55 and the support column 10c. The clamp mechanism 62 is provided on the + Y side and the −Y side. Each clamp mechanism 62 is attached to, for example, a strut portion 10c. For example, each clamp mechanism 62 presses the adapter 55 against the upper surface of the support column portion 10c to fix it. Each clamp mechanism 62 is driven by a drive unit (not shown) under the control of the control unit 3 (see FIG. 14) to fix the adapter 55 and the support column portion 10c. Further, each clamp mechanism 62 is driven by a drive unit (not shown) under the control of the control unit 3 to release the fixation between the adapter 55 and the support column portion 10c. Although the clamp mechanism 62 is provided on the + Y side and the −Y side in the example of FIG. 15B, it may be provided on at least one of the + Y side and the −Y side. Further, it is arbitrary whether or not the coating device 1C includes the clamp mechanism 62.

また、各支柱部１０ｃは、昇降駆動部１５により鉛直方向に駆動する。昇降駆動部１５は、各支柱部１０ｃを鉛直方向に駆動することにより、支持するノズルＮＺを昇降させる。昇降駆動部１５は、例えば、電動モータ等である。昇降駆動部１５は、制御部３（図１４参照）に制御され、塗布時におけるノズルＮＺと基板Ｓとの距離の調整時（微調整時）、及び、ガントリ１０（支柱部１０ｃ）とノズルＮＺとノズル受け渡し機構７（７Ａ、７Ｂ）とにおけるノズルＮＺの受け渡し時などの際に、ノズルＮＺを昇降させる。 Further, each support column portion 10c is driven in the vertical direction by the elevating drive portion 15. The elevating drive unit 15 elevates and elevates the supporting nozzle NZ by driving each strut portion 10c in the vertical direction. The elevating drive unit 15 is, for example, an electric motor or the like. The elevating drive unit 15 is controlled by the control unit 3 (see FIG. 14), and when adjusting the distance between the nozzle NZ and the substrate S during coating (during fine adjustment), and when adjusting the distance between the gantry 10 (support portion 10c) and the nozzle NZ. And when the nozzle NZ is delivered by the nozzle delivery mechanism 7 (7A, 7B), the nozzle NZ is moved up and down.

次に、図１４の説明に戻り、第４実施形態のノズル受け渡し機構７について説明する。ノズル受け渡し機構７は、複数のノズル受け渡し機構７Ａ、７Ｂを備える。ノズル受け渡し機構７Ａ、７Ｂは、それぞれ、ステージ４近傍に配置される。ノズル受け渡し機構７Ａは、ステージ４の−Ｙ側に配置され、ノズルＮＺ１を支持する。ノズル受け渡し機構７Ｂは、ステージ４の＋Ｙ側に配置され、ノズルＮＺ２を支持する。ノズル受け渡し機構７Ａ、７Ｂは、それぞれ、旋回部１８と、送液部１９と、を備える。各送液部１９は、第１実施形態と同様であり、対応するノズルＮＺに接続され、液状体Ｌ（図７（Ｂ）参照）を送液する。 Next, returning to the description of FIG. 14, the nozzle delivery mechanism 7 of the fourth embodiment will be described. The nozzle delivery mechanism 7 includes a plurality of nozzle delivery mechanisms 7A and 7B. The nozzle delivery mechanisms 7A and 7B are arranged in the vicinity of the stage 4, respectively. The nozzle delivery mechanism 7A is arranged on the −Y side of the stage 4 and supports the nozzle NZ1. The nozzle delivery mechanism 7B is arranged on the + Y side of the stage 4 and supports the nozzle NZ2. The nozzle delivery mechanisms 7A and 7B each include a swivel portion 18 and a liquid feeding portion 19. Each liquid feeding unit 19 is the same as that of the first embodiment, and is connected to the corresponding nozzle NZ to feed the liquid L (see FIG. 7B).

図１６（Ａ）は、第４実施形態のノズル受け渡し機構を示す図である。図１６（Ａ）は、第４実施形態のノズル受け渡し機構７Ｂを−Ｙ方向から見た図である。なお、本実施形態では、ノズル受け渡し機構７Ａ、７Ｂは、それぞれ、同様の構成である。以下の説明では、ノズル受け渡し機構７Ｂを例に説明をする。 FIG. 16A is a diagram showing a nozzle delivery mechanism of the fourth embodiment. FIG. 16A is a view of the nozzle delivery mechanism 7B of the fourth embodiment as viewed from the −Y direction. In the present embodiment, the nozzle delivery mechanisms 7A and 7B have the same configuration, respectively. In the following description, the nozzle delivery mechanism 7B will be described as an example.

旋回部１８は、上下方向（鉛直方向）を軸としてノズルＮＺを旋回可能に保持する。旋回部１８は、例えば、軸部２０と、支持部２１と、旋回駆動部２２と、ノズル保持部２３Ｄと、を備える。軸部２０、支持部２１、及び旋回駆動部２２は、第１実施形態と同様である。旋回駆動部２２は、制御部３（図１４参照）に制御され、軸部２０に回転可能に支持される支持部２１を旋回させる。支持部２１は、旋回駆動部２２の駆動により、第１実施形態と同様に、水平方向に旋回する。なお、受け渡し機構７は、旋回駆動部２２を備えず、ユーザが人力により支持部２１を旋回させる構成でもよい。 The swivel portion 18 holds the nozzle NZ so that it can swivel around the vertical direction (vertical direction). The swivel portion 18 includes, for example, a shaft portion 20, a support portion 21, a swivel drive portion 22, and a nozzle holding portion 23D. The shaft portion 20, the support portion 21, and the swivel drive portion 22 are the same as those in the first embodiment. The swivel drive unit 22 is controlled by the control unit 3 (see FIG. 14) and swivels the support unit 21 rotatably supported by the shaft unit 20. The support portion 21 is swiveled in the horizontal direction by the drive of the swivel drive unit 22, as in the first embodiment. The delivery mechanism 7 may not include the swivel drive unit 22, and the user may manually swivel the support portion 21.

ノズル保持部２３Ｄは、ノズルＮＺを保持する。ノズル保持部２３Ｄは、例えば、一対のＬ字状の部材（Ｌ字状部材）で構成されている。この一対のＬ字状部材は、Ｘ方向と平行な方向（支持部２１の長手方向と平行な方向）に並んで配置される。＋Ｘ側のＬ字状部材は＋Ｘ側に突出した突出部６５を有し、−Ｘ側のＬ字状部材は−Ｘ側に突出した突出部６５を有している。各突出部６５は、ノズルＮＺ（アダプタ５５）の被支持部５７の内側（中央側）に位置する。各突出部６５は、その上面で、ノズルＮＺの被支持部５７の突出部５７ａの下面を支持する。ノズル保持部２３Ｄは、ノズルＮＺの被支持部５７を支持することにより、ノズルＮＺを支持する。 The nozzle holding portion 23D holds the nozzle NZ. The nozzle holding portion 23D is composed of, for example, a pair of L-shaped members (L-shaped members). The pair of L-shaped members are arranged side by side in a direction parallel to the X direction (a direction parallel to the longitudinal direction of the support portion 21). The L-shaped member on the + X side has a protruding portion 65 protruding toward the + X side, and the L-shaped member on the −X side has a protruding portion 65 protruding toward the −X side. Each protrusion 65 is located inside (center side) of the supported portion 57 of the nozzle NZ (adapter 55). Each protrusion 65 supports the lower surface of the protrusion 57a of the supported portion 57 of the nozzle NZ on its upper surface. The nozzle holding portion 23D supports the nozzle NZ by supporting the supported portion 57 of the nozzle NZ.

図１６（Ｂ）は、本実施形態のノズル保持部２３Ｄの拡大図である。ノズル保持部２３Ｄは、各突出部６５の上面（上部）に、ノズルＮＺの位置決めをする位置決め部６０の凸部６０ｂが設けられている。各凸部６０ｂは、ノズルＮＺがノズル保持部２３Ｄに支持される際、アダプタ５５の被支持部５７の各凹部６０ａにはまり込み、ノズルＮＺは位置決めされる。なお、凹部６０ａ及び凸部６０ｂの個数は、それぞれ、２つでなくてもよく、例えば、凹部６０ａ及び凸部６０ｂの個数は、３つ以上でもよい。なお、凹部６０ａ及び凸部６０ｂの形状は、それぞれ、円錐状（テーパー状）に限定されず、任意である。例えば、凹部６０ａ及び凸部６０ｂの形状は、円柱状でもよいし、矩形柱状でもよい。ノズルＮＺの受け渡しについては、後に説明する。なお、ノズル保持部２３ＤのノズルＮＺの保持及び開放の機構については、後に説明する。 FIG. 16B is an enlarged view of the nozzle holding portion 23D of the present embodiment. The nozzle holding portion 23D is provided with a convex portion 60b of the positioning portion 60 for positioning the nozzle NZ on the upper surface (upper portion) of each protruding portion 65. When the nozzle NZ is supported by the nozzle holding portion 23D, each convex portion 60b fits into each concave portion 60a of the supported portion 57 of the adapter 55, and the nozzle NZ is positioned. The number of concave portions 60a and convex portions 60b may not be two, respectively. For example, the number of concave portions 60a and convex portions 60b may be three or more. The shapes of the concave portion 60a and the convex portion 60b are not limited to the conical shape (tapered shape), and are arbitrary. For example, the shapes of the concave portion 60a and the convex portion 60b may be cylindrical or rectangular. The delivery of the nozzle NZ will be described later. The mechanism for holding and opening the nozzle NZ of the nozzle holding portion 23D will be described later.

上記のように構成される本実施形態のノズル受け渡し機構７Ａ、７Ｂは、それぞれ、受け渡し位置Ｐ１Ａ、Ｐ１Ｂ（図１４参照）と、待機位置Ｐ２Ａ、Ｐ２Ｂとの間を移動して、受け渡し位置Ｐ１Ａ、Ｐ１Ｂで、ガントリ１０の支柱部１０ｃに対してノズルＮＺの受け渡しを行い、待機位置Ｐ２Ａ、Ｐ２Ｂで待機する。 The nozzle delivery mechanisms 7A and 7B of the present embodiment configured as described above move between the delivery positions P1A and P1B (see FIG. 14) and the standby positions P2A and P2B, respectively, and the delivery positions P1A and 7B At P1B, the nozzle NZ is handed over to the support column portion 10c of the gantry 10, and the standby positions P2A and P2B stand by.

受け渡し位置Ｐ１Ａ、Ｐ１Ｂは、それぞれ、ガントリ１０の支柱部１０ｃとノズル受け渡し機構７Ａ、７Ｂとの間で、ノズルＮＺの受け渡しが可能に設定される。例えば、ノズル受け渡し機構７Ａ、７Ｂは、それぞれ、受け渡し位置Ｐ１Ａ、Ｐ１Ｂにおいて、支持部２１の長手方向が、ステージ４の移動方向と直交する方向（Ｙ方向と平行な方向）になるように形成されている（図１４参照）。 The delivery positions P1A and P1B are set so that the nozzle NZ can be delivered between the support column portion 10c of the gantry 10 and the nozzle delivery mechanisms 7A and 7B, respectively. For example, the nozzle delivery mechanisms 7A and 7B are formed so that the longitudinal direction of the support portion 21 is orthogonal to the moving direction of the stage 4 (direction parallel to the Y direction) at the delivery positions P1A and P1B, respectively. (See FIG. 14).

待機位置Ｐ２Ａ、Ｐ２Ｂは、それぞれ、ノズル受け渡し機構７Ａ、７ＢがノズルＮＺを保持したときに、ノズルＮＺがステージ４の上方から外れた位置に設定される。ノズル受け渡し機構７Ａ、７Ｂは、それぞれ、待機位置Ｐ２Ａ、Ｐ２Ｂにおいて、支持部２１の長手方向が、Ｘ方向と平行な方向になるように形成される（図１４参照）。例えば、ノズル受け渡し機構７Ａ、７Ｂは、それぞれ、待機位置Ｐ２Ａ、Ｐ２Ｂにおいて、ノズルＮＺのメンテナンスなどが行われる。 The standby positions P2A and P2B are set to positions where the nozzle NZ is displaced from above the stage 4 when the nozzle delivery mechanisms 7A and 7B hold the nozzle NZ, respectively. The nozzle delivery mechanisms 7A and 7B are formed so that the longitudinal direction of the support portion 21 is parallel to the X direction at the standby positions P2A and P2B, respectively (see FIG. 14). For example, in the nozzle delivery mechanisms 7A and 7B, maintenance of the nozzle NZ is performed at the standby positions P2A and P2B, respectively.

次に、塗布装置１Ｃの動作について説明する。図１７〜図１９は、それぞれ、塗布装置１Ｃの動作を示す図である。塗布装置１Ｃの動作を説明する際、適宜、図１４〜図１６を参照する。 Next, the operation of the coating device 1C will be described. 17 to 19 are diagrams showing the operation of the coating device 1C, respectively. When explaining the operation of the coating device 1C, FIGS. 14 to 16 are referred to as appropriate.

本実施形態の塗布装置１Ｃは、図１４に示すように、２つのノズルＮＺ１、ＮＺ２のいずれか１つをガントリ１０の支柱部１０ｃ（ノズル支持部６Ｃ）で選択して、基板Ｓに塗布する。例えば、ノズルＮＺ１、ＮＺ２のいずれかが選択される場合、ノズルＮＺ１、ＮＺ２は、対応するノズル受け渡し機構７Ａ、７Ｂにより、各支柱部１０ｃに支持される。なお、図１４は、支柱部１０ｃが、ノズルＮＺ１を支持する例を示している。 In the coating device 1C of the present embodiment, as shown in FIG. 14, any one of the two nozzles NZ1 and NZ2 is selected by the support column portion 10c (nozzle support portion 6C) of the gantry 10 and coated on the substrate S. .. For example, when any of the nozzles NZ1 and NZ2 is selected, the nozzles NZ1 and NZ2 are supported by the corresponding strut portions 10c by the corresponding nozzle delivery mechanisms 7A and 7B. Note that FIG. 14 shows an example in which the support column portion 10c supports the nozzle NZ1.

各支柱部１０ｃは、例えば、図１７（Ａ）に示すように、ノズルＮＺを各支柱部１０ｃの上面で、下方から、ノズルＮＺのアダプタ５５を支持することにより、ノズルＮＺを支持する。各支柱部１０ｃは、ノズルＮＺを下方から支持するので、ノズルＮＺを落下させずに確実に保持することができる。また、ノズルＮＺは、位置決め部５６により、各支柱部１０ｃに位置決めされた状態で支持される。ノズルＮＺは、アダプタ５５の下面（下部）の凹部５６ａに、各支柱部１０ｃの凸部５６ｂがはめ込まれて位置決めされる。クランプ機構６２は、ノズルＮＺが各支柱部１０ｃに位置決めされて支持された状態で、アダプタ５５と各支柱部１０ｃとを固定する。＋Ｙ側及び−Ｙ側のクランプ機構６２は、例えば、アダプタ５５の下面を各支柱部１０ｃの上面に押し付けて固定する。アダプタ５５と各支柱部１０ｃとは、クランプ機構６２により、確実に固定される。各クランプ機構６２は、制御部３（図１４参照）の制御により、不図示の駆動部により駆動され、アダプタ５５と各支柱部１０ｃとを固定する。塗布装置１Ｃは、制御部３の制御により昇降駆動部１５（図１４参照）を駆動して、基板ＳとノズルＮＺとの間の距離を微調整して、基板Ｓに塗布を行う。塗布装置１Ｃによる基板Ｓの塗布の動作は、第１実施形態と同様である。 As shown in FIG. 17A, each support column 10c supports the nozzle NZ by supporting the nozzle NZ on the upper surface of each support column 10c from below by supporting the adapter 55 of the nozzle NZ. Since each support column portion 10c supports the nozzle NZ from below, the nozzle NZ can be reliably held without dropping. Further, the nozzle NZ is supported by the positioning portion 56 in a state of being positioned on each support column portion 10c. The nozzle NZ is positioned by fitting the convex portion 56b of each strut portion 10c into the concave portion 56a on the lower surface (lower portion) of the adapter 55. The clamp mechanism 62 fixes the adapter 55 and each support column 10c in a state where the nozzle NZ is positioned and supported by each support column portion 10c. The + Y side and −Y side clamp mechanisms 62, for example, press the lower surface of the adapter 55 against the upper surface of each support column portion 10c to fix the adapter 55. The adapter 55 and each support column 10c are securely fixed by the clamp mechanism 62. Each clamp mechanism 62 is driven by a drive unit (not shown) under the control of the control unit 3 (see FIG. 14) to fix the adapter 55 and each support column portion 10c. The coating device 1C drives the elevating drive unit 15 (see FIG. 14) under the control of the control unit 3, finely adjusts the distance between the substrate S and the nozzle NZ, and coats the substrate S. The operation of coating the substrate S by the coating device 1C is the same as that of the first embodiment.

次に、塗布装置１Ｃによる、各支柱部１０ｃに支持されたノズルＮＺを交換する動作を説明する。なお、以下の説明では、ノズル受け渡し機構７Ｂを用いてノズルを交換する例を説明するが、ノズル受け渡し機構７Ａについても同様である。 Next, the operation of exchanging the nozzles NZ supported by the support columns 10c by the coating device 1C will be described. In the following description, an example in which the nozzle is replaced by using the nozzle delivery mechanism 7B will be described, but the same applies to the nozzle delivery mechanism 7A.

塗布装置１Ｃは、各支柱部１０ｃに支持されたノズルＮＺを交換する際、まず、図１７（Ｂ）に示すように、制御部３（図１４参照）は、昇降駆動部１５を駆動し、支柱部１０ｃを鉛直上方に移動させる。制御部３は、各支柱部１０ｃを鉛直上方の所定位置に移動させる。この所定位置は、各支柱部１０ｃとノズル受け渡し機構７（７Ａ、７Ｂ）との間で、ノズルＮＺの受け渡しが可能な位置である。例えば、この所定位置は、アダプタ５５の被支持部５７の下方に、ノズル受け渡し機構７のノズル保持部２３Ｄが配置可能な位置に設定される。 When the coating device 1C replaces the nozzle NZ supported by each support column 10c, first, as shown in FIG. 17B, the control unit 3 (see FIG. 14) drives the elevating drive unit 15. The strut portion 10c is moved vertically upward. The control unit 3 moves each support column 10c to a predetermined position vertically above. This predetermined position is a position where the nozzle NZ can be delivered between each support column portion 10c and the nozzle delivery mechanism 7 (7A, 7B). For example, this predetermined position is set at a position where the nozzle holding portion 23D of the nozzle delivery mechanism 7 can be arranged below the supported portion 57 of the adapter 55.

続いて、図１８（Ａ）に示すように、制御部３は、旋回駆動部２２を駆動し、ノズル受け渡し機構７の旋回部１８を旋回させる。制御部３は、旋回部１８を、受け渡し位置Ｐ１Ｂに移動させる。この受け渡し位置Ｐ１Ｂにおいて、旋回部１８は、各支柱部１０ｃの鉛直上方の所定位置に配置される。例えば、受け渡し位置Ｐ１Ｂにおいて、ノズル受け渡し機構７のノズル保持部２３Ｄは、アダプタ５５の被支持部５７の下方（直下）の位置に設定される。 Subsequently, as shown in FIG. 18A, the control unit 3 drives the swivel drive unit 22 to swivel the swivel unit 18 of the nozzle delivery mechanism 7. The control unit 3 moves the swivel unit 18 to the delivery position P1B. In the delivery position P1B, the swivel portion 18 is arranged at a predetermined position vertically above each strut portion 10c. For example, at the delivery position P1B, the nozzle holding portion 23D of the nozzle delivery mechanism 7 is set at a position below (directly below) the supported portion 57 of the adapter 55.

続いて、図１８（Ｂ）に示すように、制御部３は、昇降駆動部１５を駆動し、各支柱部１０ｃを鉛直下方に移動させる。なお、制御部３は、この各支柱部１０ｃの鉛直下方の移動に先立ち、クランプ機構６２を駆動して、クランプ機構６２による支柱部１０ｃとアダプタ５５の固定を開放する。各支柱部１０ｃの鉛直下方の移動により、支柱部１０ｃとノズル受け渡し機構７Ｂとの間のノズルＮＺの受け渡しが行われる。各支柱部１０ｃを鉛直下方の移動により、ノズル保持部２３Ｄの凸部６０ｂが、アダプタ５５の被支持部５７の凹部６０ａにはまり込み、ノズルＮＺが位置決めされる。 Subsequently, as shown in FIG. 18B, the control unit 3 drives the elevating drive unit 15 to move each support column 10c vertically downward. The control unit 3 drives the clamp mechanism 62 to release the fixation of the support portion 10c and the adapter 55 by the clamp mechanism 62 prior to the vertical movement of each support support portion 10c. By moving each of the support columns 10c vertically downward, the nozzle NZ is transferred between the support column 10c and the nozzle transfer mechanism 7B. By moving each support column 10c vertically downward, the convex portion 60b of the nozzle holding portion 23D fits into the concave portion 60a of the supported portion 57 of the adapter 55, and the nozzle NZ is positioned.

続いて、図１９（Ａ）に示すように、制御部３は、昇降駆動部１５を駆動し、各支柱部１０ｃを、さらに鉛直下方に移動させる。これにより、ノズルＮＺは、ノズル受け渡し機構７Ｂのノズル保持部２３Ｄに位置決めされた状態で、各支柱部１０ｃからノズル受け渡し機構７に渡される。 Subsequently, as shown in FIG. 19A, the control unit 3 drives the elevating drive unit 15 to move each support column 10c further vertically downward. As a result, the nozzle NZ is passed from each support column portion 10c to the nozzle delivery mechanism 7 in a state of being positioned on the nozzle holding portion 23D of the nozzle delivery mechanism 7B.

続いて、図１９（Ｂ）に示すように、制御部３は、旋回駆動部２２を駆動し、ノズル受け渡し機構７Ａを待機位置Ｐ２Ａに移動させる。待機位置Ｐ２Ａ、Ｐ２Ｂにおいて、ノズルＮＺは、メンテナンスなどが行われる。 Subsequently, as shown in FIG. 19B, the control unit 3 drives the swivel drive unit 22 to move the nozzle delivery mechanism 7A to the standby position P2A. At the standby positions P2A and P2B, the nozzle NZ is maintained.

続いて、ノズル受け渡し機構７Ｂから支柱部１０ｃへノズルＮＺ１の受け渡しが行われることにより、ノズルＮＺの交換が行われる。ノズル受け渡し機構７Ｂから各支柱部１０ｃへの受け渡しの動作は、上記した各支柱部１０ｃからノズル受け渡し機構７Ａへのノズルの受け渡しの動作と反対の順番で行われる。 Subsequently, the nozzle NZ1 is delivered from the nozzle delivery mechanism 7B to the support column portion 10c, so that the nozzle NZ is replaced. The operation of delivering the nozzle from the nozzle delivery mechanism 7B to each support column 10c is performed in the reverse order of the operation of delivering the nozzle from each support column 10c to the nozzle delivery mechanism 7A.

以上のように、本実施形態の塗布装置１Ｃは、迅速かつ確実にノズルの交換を行うことができる。 As described above, the coating device 1C of the present embodiment can quickly and surely replace the nozzle.

なお、本発明の技術範囲は、上述の実施形態などで説明した態様に限定されるものではない。上述の実施形態などで説明した要件の１つ以上は、省略されることがある。また、上述の実施形態などで説明した要件は、適宜組み合わせることができる。また、法令で許容される限りにおいて、上述の実施形態などで引用した全ての文献の開示を援用して本文の記載の一部とする。 The technical scope of the present invention is not limited to the embodiments described in the above-described embodiments. One or more of the requirements described in the above embodiments and the like may be omitted. In addition, the requirements described in the above-described embodiments can be combined as appropriate. In addition, to the extent permitted by law, the disclosure of all documents cited in the above-mentioned embodiments and the like shall be incorporated as part of the description in the main text.

例えば、上述の実施形態では、塗布装置１、１Ａ、１Ｂ、１Ｃが、ノズル支持部６に対して、ステージ４が移動する構成を例に説明したが、塗布装置１、１Ａ、１Ｂ、１Ｃの構成はこれに限定されない。例えば、塗布装置１、１Ａ、１Ｂ、１Ｃは、ステージ４に対して、ノズル支持部６が移動する構成でもよい。 For example, in the above-described embodiment, the configuration in which the coating devices 1, 1A, 1B, and 1C move the stage 4 with respect to the nozzle support portion 6 has been described as an example, but the coating devices 1, 1A, 1B, and 1C have been described. The configuration is not limited to this. For example, the coating devices 1, 1A, 1B, and 1C may have a configuration in which the nozzle support portion 6 moves with respect to the stage 4.

例えば、ノズル受け渡し機構７は、上記の構成に限定されず、任意の構成を用いることができる。図２０は、ノズル受け渡し機構７の他の例を示す図である。例えば、図２０に示すように、ノズル受け渡し機構７は、駆動部５０の駆動により上下方向及び水平方向に移動可能に形成し、ノズル支持部６との間でノズルＮＺの受け渡しを行う構成にしてもよい。 For example, the nozzle delivery mechanism 7 is not limited to the above configuration, and any configuration can be used. FIG. 20 is a diagram showing another example of the nozzle delivery mechanism 7. For example, as shown in FIG. 20, the nozzle transfer mechanism 7 is formed so as to be movable in the vertical direction and the horizontal direction by driving the drive unit 50, and the nozzle NZ is transferred to and from the nozzle support unit 6. May be good.

１、１Ａ、１Ｂ、１Ｃ・・・塗布装置
４・・・ステージ
５・・・ステージ駆動部（駆動部）
６、６Ａ、６Ｂ、６Ｃ・・・ノズル支持部
７、７Ａ〜７Ｄ・・・ノズル受け渡し機構
Ｌ・・・液状体
Ｓ・・・基板
１５・・・昇降駆動部
１８・・・旋回部
１９・・・送液部
２０・・・軸部
２２・・・旋回駆動部
２５、２５Ａ・・・ワゴン
４６・・・メンテナンス部
ＮＺ、ＮＺ１〜ＮＺ４・・・ノズル
Ｐ１、Ｐ１Ａ、Ｐ１Ｂ・・・受け渡し位置
Ｐ２、Ｐ２Ａ、Ｐ２Ｂ・・・待機位置 1, 1A, 1B, 1C ... Coating device 4 ... Stage 5 ... Stage drive unit (drive unit)
6, 6A, 6B, 6C ... Nozzle support parts 7, 7A to 7D ... Nozzle delivery mechanism L ... Liquid material S ... Board 15 ... Lifting drive part 18 ... Swivel part 19 ... Liquid feeding unit 20 ... Shaft unit 22 ... Swivel drive unit 25, 25A ... Wagon 46 ... Maintenance unit NZ, NZ1 to NZ4 ... Nozzles P1, P1A, P1B ... Delivery position P2, P2A, P2B ... Standby position

Claims (12)

基板を載置するステージと、
液状体を吐出可能な複数のノズルから１つを選択して支持し、かつ、支持した前記ノズルを昇降させる昇降駆動部を備えるノズル支持部と、
前記ノズル支持部と前記ステージとを相対的に移動させる駆動部と、
前記ノズル支持部に対して前記ノズルの受け渡しを行う複数のノズル受け渡し機構と、を備える、塗布装置。 The stage on which the board is placed and
A nozzle support unit provided with an elevating drive unit that selects and supports one of a plurality of nozzles capable of discharging a liquid material and raises and lowers the supported nozzles.
A drive unit that relatively moves the nozzle support unit and the stage,
A coating device including a plurality of nozzle delivery mechanisms for delivering the nozzle to the nozzle support portion . 前記ノズルは、スリットノズルである、請求項１に記載の塗布装置。 The coating device according to claim 1, wherein the nozzle is a slit nozzle. 前記ノズル受け渡し機構は、前記ノズル支持部に対して前記ノズルの受け渡しを行う受け渡し位置と、前記ノズルが前記ステージの上方から外れた待機位置との間を移動可能である、請求項１又は請求項２に記載の塗布装置。 Claim 1 or claim , wherein the nozzle delivery mechanism can move between a delivery position where the nozzle is delivered to the nozzle support portion and a standby position where the nozzle is removed from above the stage. 2. The coating apparatus according to 2 . 前記ノズル受け渡し機構は、上下方向を軸として前記ノズルを旋回可能に保持する旋回部を備える、請求項３に記載の塗布装置。 The coating device according to claim 3 , wherein the nozzle delivery mechanism includes a swivel portion that rotatably holds the nozzle in a vertical direction. 前記ノズル受け渡し機構は、前記ノズルに液状体を供給する送液部を備える、請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の塗布装置。 It said nozzle delivery mechanism comprises a liquid feed portion for supplying the liquid material to the nozzle, coating apparatus according to any one of claims 1 to 4. 前記送液部は、前記ステージの側方に配置されて移動可能なワゴンに形成される、請求項５に記載の塗布装置。 The coating device according to claim 5 , wherein the liquid feeding unit is formed in a wagon which is arranged on the side of the stage and is movable. 前記ワゴンは、前記ノズルをメンテナンス可能なメンテナンス部を備える、請求項６に記載の塗布装置。 The coating device according to claim 6 , wherein the wagon includes a maintenance unit capable of maintaining the nozzle. 前記駆動部は、前記ノズル支持部に対して前記ステージを移動させる、請求項１から請求項７のいずれか一項に記載の塗布装置。 The coating device according to any one of claims 1 to 7 , wherein the drive unit moves the stage with respect to the nozzle support unit. 基板に液状体を塗布する方法であって、
前記基板をステージに載置することと、
液状体を吐出可能な複数のノズルをそれぞれ保持する複数の受け渡し機構により、前記ノズルを昇降させる昇降駆動部を備えるノズル支持部に対して前記ノズルの受け渡しを行うことで複数の前記ノズルから１つを選択して、前記ノズル支持部に支持することと、
前記ノズル支持部と前記ステージとを相対的に移動させながら、前記基板に前記ノズルにより液状体を塗布することと、を含む、塗布方法。 It is a method of applying a liquid material to the substrate.
Placing the board on the stage and
A plurality of delivery mechanisms for holding each a plurality of nozzles capable of ejecting the liquid material, one of a plurality of the nozzles by performing the transfer of the nozzle relative to the nozzle support part comprising a lifting drive unit for lifting the nozzle select, and be supported by the front Keno nozzle support,
A coating method comprising applying a liquid material to the substrate by the nozzle while relatively moving the nozzle support portion and the stage. 前記ノズル支持部に選択されない前記ノズルは、前記受け渡し機構により前記ステージの上方から退避することを含む、請求項９に記載の塗布方法。 The coating method according to claim 9 , wherein the nozzle not selected for the nozzle support portion is retracted from above the stage by the delivery mechanism. 前記ノズルは、前記受け渡し機構に備える送液部から液状体が供給されることを含む、請求項９または請求項１０に記載の塗布方法。 It said nozzle comprises the liquid material is supplied from the liquid supply portion provided in the delivery mechanism, The coating method according to claim 9 or claim 1 0. 前記ノズル支持部に対して前記ステージを移動させることにより、前記基板に液状体を塗布することを含む、請求項９から請求項１１のいずれか一項に記載の塗布方法。 Wherein by moving the stage with respect to nozzle support, comprising applying a liquid material to said substrate, The coating method according to any one of claims 1 1 to claim 9.
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