JP6785649B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
<データ送信の基本構成>
まず、実施の形態1に係わる半導体装置に内蔵されるデータ送信の基本構成を説明する。ここで説明するデータ送信の基本構成を適用した半導体装置は、後で例を用いて説明する。
第2端部LN2のインピーダンスと入力端子IN1のインピーダンスが整合していれば、信号配線LLの第2端部LN2に到達した信号波形SOに基づいた反射波は発生せず、信号波形SOは入力回路IBF内へ伝播することになる。一方、第2端部LN2のインピーダンスと入力端子IN1のインピーダンスとが不整合の場合、信号配線LLにおいて第2端LN2から第1端部LN1へ向かう反射波が発生することになる。
この実施の形態1においては、出力回路OBFの出力端子ON1のインピーダンスが、第1端部LN1に比べて小さくなるように設定される。一方、入力回路IBFの入力端子IN1のインピーダンスは、第2端部LN2に比べて大きくなるように設定される。通常は、反射波および再反射波の発生を防ぐために、入力回路IBFおよび出力回路OBFに、インピーダンスの整合を図るための終端抵抗を設けることが行われる。これに対して、実施の形態1に係わる入力回路IBFおよび出力回路OBFは、終端抵抗を有していない。図3を参照にして、入力回路IBFおよび出力回路OBFの構成を説明する。図3は、実施の形態1に係わる入力回路および出力回路の構成を示す回路図である。ここで、図3(A)は出力回路OBFの構成を示し、図3(B)は入力回路IBFの構成を示している。
図2は、実施の形態1に係わるデータ送信を説明するための説明図である。ここで、図2(A)は、図1(A)に示した出力回路OBFの出力端子ON1から第1端部LN1に供給される信号波形を示している。図2(A)において、横軸は時間を示し、縦軸は電圧を示している。図1(B)に示すように、第1端部LN1には、連続した論理値に対応した信号波形SOが供給されるが、説明を容易にするために、図2(A)には、1つの論理値に対応した信号波形SOiのみが描かれている。
信号配線LLに隣接して配置された信号配線(第2信号配線)との間のクロストークを例にして説明したが、複数の信号配線が平行して、延在するように配置され、それぞれの信号配線に供給される信号が、実質的に同時に変化する場合(同時スイッチング出力)に、この実施の形態1は有効である。
図5は、クロストークによる影響を説明するための図である。図5(A)は、図4に示したバス配線LL1〜LL6のうち、バス配線LL1〜LL5を伝播する信号波形を示し、図5(B)は、注目バス配線LL3の第2端部LN2における信号波形を示している。図5(C)は、注目バス配線LL3の第2端部LN2(入力回路IBF2の入力端子)におけるアイパターンを示している。なお、図5(A)〜(C)において、横軸は時間を示し、縦軸は電圧を示している。
図2において説明したように、実施の形態1においては、多重反射を用いることにより、信号配線LL(注目バス配線LL3)の第2端部LN2における電圧が、期間P1においては電圧Vdを超えるようにされ、期間P3においては電圧Vsよりも低くなる。そのため、図2に示した期間P1が、図5に示した期間PP1と同じか長く、重なるようにすれば、クロストークノイズSL1E、SL2E、SL4EおよびSL5Eによりバス配線LL3の第2端部LN2の電圧が抑制されても、この第2端部LN2の電圧を電圧Vdに近づけることが可能となり、誤動作の発生を防ぐことが可能となる。同様に、クロストークノイズSL1E、SL2E、SL4EおよびSL5Eによって、バス配線LL3の第2端部LN2の電圧が電圧Vsへ変化するのを抑制している期間と、図2(C)に示した期間P3とが重なるようにすることで、バス配線LL3の第2端部LN2における電圧を電圧Vsに近づけることが可能となる。
次に、実施の形態1に係わる半導体装置の構造を説明する。ここでは、有機インターポーザに搭載された3−Dメモリ用チップと論理用チップとを備えた半導体装置を例として説明する。図7は実施の形態1に係わる半導体装置の構造を示す断面図である。図7には、プリント基板PRT−Bに搭載された状態の半導体装置SLSが描かれている。このような半導体装置は、所謂ネットワークメモリあるいはLPDDR5等の高速メモリを搭載したモジュールに使われる。
図9は、バス配線部の構造を示す断面図である。図9(A)は、インターポーザとして有機インターポーザを用いた場合の断面を示し、図9(B)は、シリコンインターポーザを用いた場合の断面を示している。図9(A)の断面は、図7に示したA−A’断面に相当する。より具体的なバス配線部BLLの断面構造は、後で図10を用いて説明する。ここでは、先ず図9を用いて、有機インターポーザに配置されるバス配線とシリコンインターポーザに配置されるバス配線との相違を主に説明する。
図12は、実施の形態1に係わるバス配線部BLLの構成を示すブロック図である。図7に示した3−Dメモリチップ3DMDと論理用チップ1LDとの間は、例えば1Kbitのバス幅のバス配線によって接続される。すなわち、バス配線部BLLには1024本のバス配線LLが、互いに隣接して、平行するように配置されている。
バス配線束LLBD−1〜LLBD−16のそれぞれを構成するバス配線は、有機インターポーザOMI(図7)において図10に示したような断面配置になっている。この場合、各バス配線間には図8で示したように樹脂材料が介在している。この樹脂材料は、例えば比誘電率εrが例えば3.2であり、各バス配線間を電気的に分離する絶縁膜として機能する。各バス配線は、シールド用配線LLG(図10)に供給されている電圧を基準電圧Vref(図6)として基準電圧Vrefを中心に電圧が変化する信号を、伝送速度2Gbpsで伝送する。図10に示した5層のバス配線のうち、周囲のバス配線から最も逆相クロストークの影響を受けやすいのは3層目のバス配線(例えばLL11)である。そのため、この3層目のバス配線LL11を逆相クロストークノイズの低減を図る注目のバス配線として仮定する。
図14は、実施の形態1の変形例に係わるデータ送信を説明するための図である。図14は、図2と類似しているため、主に相違点を説明する。図2では、式(1)の整数変数nが2の場合を説明した。すなわち、図1(A)に示した信号配線(バス配線)LLの信号遅延時間(片道の信号遅延時間)τを、データの周期UIの4分の1に設定した場合を説明した。これに対して、この変形例においては、整数変数nとして3が設定される。そのため、信号配線LLの信号遅延時間τは、周期UIの6分の1に設定されることになる。
式(1)および式(5)において、整数変数nを整数に設定する理由を説明する。
実施の形態1において、信号配線(バス配線)は、有機インターポーザに配置されるが、有機インターポーザを形成するのに用いられる材料、データの周期UIおよび整数変数nなどによって、注目信号配線の配線長Lnは、式(5)によって定まる。また、信号遅延時間の最大値と最小値の差であるスキュー時間Δtに対応するスキュー長(Ln,max−Ln,min)も、式(6)によって定まる。次に、常用磁性帯のラミネート樹脂(比誘電率εr=3.2)によって形成された有機インターポーザに配置された信号配線の配線長の例と、プリント基板/BGA基板等で使用される常用磁性帯のFR4系の基板(比誘電率εr=4.2)によって形成された有機インターポーザに配置された信号配線の配線長の例を示す。
実施の形態1では、出力回路の出力端子ON1のインピーダンスが低くなるように、図3(A)に示したように直列終端抵抗RZ1を接続しない構成にし、入力回路の入力端子IN1のインピーダンスが高くなるように、図3(B)に示したように並列終端抵抗RZ2を接続しない構成にした。これにより、入力回路は、その入力端子IN1が接続された第2端部LN2において、第2端部LN2に到達した信号波形と同相の反射波が発生するようなインピーダンスを有するように構成された。また、出力回路は、その出力端子ON1が接続された第1端部LN1において、第1端部LN1に到達した反射波と逆相の再反射波が発生するようなインピーダンスを有するように構成された。これにより、第2端部LN2において反射波と再反射波が重畳され、第2端部LN2におけるアイパターンの開口が長方形となるようにしていた。しかしながら、図11等で示したように、第2端部LN2における信号波形の振幅が小さくなってしまう。
図17は、実施の形態2に係わる出力回路の構成を示す回路図である。図17は、図3(A)と類似しているので、主に相違点を説明する。
図18は、実施の形態2に係わる入力回路の構成を示す回路図である。図18は図3(B)に類似しているので、主に相違点を説明する。図3(B)においては、CMOS型のインバータ回路を構成するP型トランジスタTP1のソースは電圧Vdに接続され、N型トランジスタTN1のソースは電圧Vsに接続されていた。これに対して、図18においては、P型トランジスタTP1のソースには、電圧レギュレータ回路VRG(図17)によって形成された電圧VDDIOが供給され、N型トランジスタTN1のソースには、電圧レギュレータ回路VRGによって形成された電圧VSSIOが供給されている。
3DMD 3−Dメモリチップ
IBF、IBF1〜IBF6、IBF−D11〜IFB−D16 入力回路
n 整数変数
LN1 第1端部
LN2 第2端部
LL、LL1〜LL20 信号配線(バス配線)
LLC クロック用バス配線
LLG シールド配線
OBF、OBF1〜OBF6、OBF−D11〜OBF−D16 出力回路
OMI 有機インターポーザ
SIRi1 反射波
SIRi2 再反射波
SLS 半導体装置
UI 周期
Claims (13)
- 有機材料を誘電体としたインターポーザまたは配線基板に配置され、第1端部と第2端部とを備えた第1信号配線と、
前記インターポーザまたは前記配線基板に配置され、それぞれ第1端部と第2端部を備え、信号を伝達する複数の第2信号配線と、
前記第1信号配線の第1端部に接続された出力端子を有し、前記出力端子におけるインピーダンスが、前記第1端部に伝達された波形に対して逆相方向の反射波を発生するように設定され、前記出力端子に周期的にデータを出力する第1出力回路と、
前記第1信号配線の第2端部に接続された入力端子を有し、前記入力端子におけるインピーダンスが、前記第2端部に伝達された波形に対して同相方向の反射波を発生するように設定された第1入力回路と、
前記複数の第2信号配線の前記第1端部に接続され、前記複数の第2信号配線に、前記第1信号配線におけるデータと同方向に、信号を出力する複数の第2出力回路と、
前記複数の第2信号配線の前記第2端部に接続され、前記複数の第2信号配線における信号を入力する複数の第2入力回路と、
を備え、
前記第1信号配線における前記第1端部と前記第2端部との間の平均遅延が、前記データの周期の半分に対して2以上の整数分の1となるように、前記第1信号配線が設定され、
前記複数の第2信号配線において、信号の遅延が最大となる第2信号配線における信号の遅延の最大値と、信号の遅延が最小となる第2信号配線における信号の遅延の最小値との差が、前記平均遅延の2倍を超えないように設定されている、半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置において、
前記複数の第2信号配線は、前記第1信号配線と平行するように、前記インターポーザまたは前記配線基板に配置されている、半導体装置。 - 請求項2に記載の半導体装置において、
前記半導体装置は、前記第1信号配線および前記複数の第2信号配線と平行するように、前記インターポーザまたは前記配線基板に配置され、所定の電圧が供給された電圧配線を備える、半導体装置。 - 請求項3に記載の半導体装置において、
前記第1出力回路は、終端抵抗を介さずに前記出力端子に接続された出力回路部を備え、前記第1入力回路は、終端抵抗が接続されていない前記入力端子に接続された入力回路部を備える、半導体装置。 - 請求項3に記載の半導体装置において、
前記第1出力回路は、出力回路部と、前記出力回路部と前記出力端子との間に接続された選択部とを備え、
前記選択部は、前記出力回路部の出力端子と前記第1出力回路の前記出力端子との間を、終端抵抗および信号配線のうちのいずれか一つで接続する、半導体装置。 - 請求項4または5に記載の半導体装置において、
前記半導体装置は、前記出力回路部に供給する電源電圧を形成する電圧レギュレータ回路を備えている、半導体装置。 - 有機材料を誘電体としたインターポーザまたは配線基板に配置され、それぞれ、クロック信号を伝達するクロック信号配線と、前記クロック信号に同期して信号を伝達する複数の信号配線とを有する、複数の配線束と、
前記複数の配線束のうちの一の配線束は、
第1端部と第2端部とを備えた第1信号配線と、
前記第1信号配線と平行するように配置された第2信号配線および第3信号配線と、
を備え、
前記第1信号配線の第1端部に接続された出力端子を有し、前記出力端子におけるインピーダンスが、前記第1端部に伝達された波形に対して逆相方向の反射波を発生するように設定され、前記出力端子に周期的にデータを出力する出力回路と、
前記第1信号配線の第2端部に接続された入力端子を有し、前記入力端子におけるインピーダンスが、前記第2端部に伝達された波形に対して同相方向の反射波を発生するように設定された入力回路と、
を備え、
前記第1信号配線における前記第1端部と前記第2端部との間の平均遅延が、前記データの周期の半分に対して2以上の整数分の1となるように、前記第1信号配線が設定され、
前記第2信号配線における信号遅延と前記第3信号配線における信号遅延との差が、前記平均遅延の2倍を超えないように、前記第2信号配線および第3信号配線が設定されている、半導体装置。 - 請求項7に記載の半導体装置において、
前記一の配線束が有する前記複数の信号配線のうち、前記第1信号配線、前記第2信号配線および前記第3信号配線を除く信号配線は、前記第2信号配線の信号遅延と前記第3信号配線の信号遅延との間の信号遅延を有するように設定されている、半導体装置。 - 請求項8に記載の半導体装置において、
前記複数の配線束のそれぞれにおいて、前記複数の信号配線は、前記クロック信号配線と平行するように配置され、
前記複数の配線束のそれぞれは、前記クロック信号配線と平行に配置され、所定の電圧が供給された電圧配線を備える、半導体装置。 - 請求項9に記載の半導体装置において、
前記出力回路は、終端抵抗を介さずに前記出力端子に接続された出力回路部を備え、前記入力回路は、終端抵抗が接続されていない前記入力端子に接続された入力回路部を備える、半導体装置。 - 請求項9に記載の半導体装置において、
前記出力回路は、出力回路部と、前記出力回路部と前記出力端子との間に接続された選択部とを備え、
前記選択部は、前記出力回路部の出力端子と前記出力回路の前記出力端子との間を、終端抵抗および信号配線のうちのいずれか一つで接続する、半導体装置。 - 請求項10または11に記載の半導体装置において、
前記半導体装置は、前記出力回路部に供給する電源電圧を形成する電圧レギュレータ回路を備えている、半導体装置。 - 請求項8に記載の半導体装置において、
前記第2信号配線の信号遅延と前記第3信号配線の信号遅延との差が、前記平均遅延の半分を超えないように、前記第2信号配線および第3信号配線が設定されている、半導体装置。
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