しかしながら、上述した実装装置では、基板にそりなどが生じている場合や、部品の厚さにばらつきがある場合などには、比較的余裕を持たせたマージンを設ける必要があり、第2リニアモータで昇降させるストロークが長くなることがあった。
本発明は、このような課題に鑑みなされたものであり、採取部材が装着された昇降部材を昇降させ、且つ採取部材をも昇降させる構成において、採取部材の昇降ストロークをより短くすることができる実装処理ユニット、実装装置及び実装処理ユニットの制御方法を提供することを主目的とする。
本発明は、上述の主目的を達成するために以下の手段を採った。
本発明の実装処理ユニットは、
部品を基板上に配置する実装処理ユニットであって、
部品を採取する採取部材が装着された昇降部材を昇降させる第1昇降駆動部と、
前記昇降部材に対して前記採取部材を昇降させる第2昇降駆動部と、
前記基板の基板高さ及び前記部品の部品厚さの少なくとも一方を測定する測定部と、
前記測定部により測定された前記基板高さの情報及び前記部品厚さの情報のうち1以上を含む高さ情報に基づいて少なくとも前記第1昇降駆動部の昇降動作を制御する制御部と、
を備えたものである。
この実装処理ユニットは、部品を採取する採取部材が装着された昇降部材を昇降させる第1昇降駆動部と、昇降部材に対して採取部材を昇降させる第2昇降駆動部とを備えている。そして、このユニットは、測定部により測定された基板高さの情報及び部品厚さの情報のうち1以上を含む高さ情報に基づいて少なくとも第1昇降駆動部の昇降動作を制御する。このユニットでは、基板高さや部品厚さに応じて昇降部材を基板により近い位置まで移動することができる。したがって、このユニットでは、採取部材が装着された昇降部材を昇降させ、且つ採取部材をも昇降させる構成において、採取部材の昇降ストロークをより短くすることができる。このため、このユニットでは、ユニットのコンパクト化をより図ることができる。
本発明の実装処理ユニットにおいて、前記制御部は、前記高さ情報に含まれる前記基板高さ及び/又は前記部品厚さの情報を用いて、前記基板と前記昇降部材との距離が前記採取部材の昇降ストロークに応じた距離となる停止位置に前記昇降部材が位置するよう前記第1昇降駆動部の昇降動作を制御するものとしてもよい。
本発明の実装処理ユニットにおいて、前記制御部は、(a)設計上の前記基板高さに対する前記測定部により測定された前記基板高さの高さ差分値及び(b)設計上の前記部品厚さに対する前記高さ測定装置により測定された前記部品厚さの厚さ差分値との少なくとも一方の差分値を算出し、算出した前記高さ差分値及び/又は前記厚さ差分値に基づき設計上の停止位置に対する前記昇降部材の停止位置の補正値を設定し、前記補正値を用いて前記部品を前記基板上に配置する際の前記第1昇降駆動部の昇降動作を制御するものとしてもよい。
本発明の実装処理ユニットにおいて、前記制御部は、前記差分値の少なくとも一部を前記補正値として設定し、前記差分値の残りの部分を前記第2昇降駆動部による前記採取部材の昇降ストロークによりカバーするよう制御するものとしてもよい。
本発明の実装処理ユニットにおいて、前記制御部は、前記差分値に対し、前記第2昇降駆動部がカバーするストロークよりも前記補正値の方が大きくなるように前記補正値を設定するものとしてもよい。このユニットでは、差分値に対し、昇降部材の停止位置の補正値よりも第2昇降駆動部がカバーするストロークが小さくなるため、採取部材の昇降ストロークをより短くすることができる。
あるいは、本発明の実装処理ユニットにおいて、前記制御部は、前記高さ情報に基づき、前記昇降部材の停止位置における前記採取部材の基準高さで前記採取部材に保持されている部品と前記基板との離間距離が一定となるように、前記第1昇降駆動部の昇降動作を制御するものとしてもよい。このユニットでは、昇降部材の停止位置における採取部材の基準高さで採取部材に保持されている部品と基板との離間距離が一定となるように第1昇降駆動部が昇降動作を行うことにより、第2昇降駆動部は一定の昇降動作となり、採取部材の昇降ストロークをより短くすることができる。
本発明の実装処理ユニットは、前記採取部材に加わる荷重を検出する検出部、を備え、前記制御部は、前記昇降部材及び/又は前記採取部材の昇降制御において、前記昇降部材に装着された部材への接触を前記検出部で検出することにより前記基板高さ及び部品厚さのうち1以上を測定するものとしてもよい。このユニットでは、採取部材に加わる荷重を検出する検出部を利用して基板の高さや部品の厚さを測定することができる。ここで、昇降部材に装着された部材は、例えば、採取部材としてもよいし、採取部材の代わりに昇降部材に装着された治具としてもよい。なお、前記検出部は、前記部品を前記基板に実装する際の前記採取部材に加わる荷重を検出するものとしてもよい。このとき、前記制御部は、前記部品を前記採取部材に採取させた状態で所定の基準面に該部品を当接させることにより該部品の厚さを測定するものとしてもよい。
本発明の実装処理ユニットは、
部品を基板上に配置する実装処理ユニットであって、
部品を採取する採取部材が装着された昇降部材を昇降させる第1昇降駆動部と、
前記昇降部材に対して前記採取部材を昇降させる第2昇降駆動部と、
前記基板の基板高さ及び前記採取部材に保持されている部品の下面の下面高さの少なくとも一方を測定する測定部と、
前記測定部により測定された前記基板高さの情報及び前記下面高さの情報のうち1以上を含む高さ情報に基づいて少なくとも前記第1昇降駆動部の昇降動作を制御する制御部と、
を備えたものである。
この装置では、基板高さや下面高さに応じて昇降部材を基板により近い位置まで移動することができる。したがって、この装置では、採取部材が装着された昇降部材を昇降させ、且つ採取部材をも昇降させる構成において、採取部材の昇降ストロークをより短くすることができる。このため、この装置では、装置のコンパクト化をより図ることができる。なお、この実装装置は、上述したいずれかの実装装置の構成を適宜採用することができる。例えば、上述したいずれかの実装装置において、「部品厚さ」を「下面高さ」と読み替えることもできる。
本発明の実装装置は、上述したいずれかに記載の実装処理ユニットを備えたものである。この実装装置は、上述したいずれかの実装処理ユニットを備えるため、採取部材の昇降ストロークをより短くすることができる。
本発明の実装処理ユニットの制御方法は、
部品を採取する採取部材が装着された昇降部材を昇降させる第1昇降駆動部と、前記昇降部材に対して前記採取部材を昇降させる第2昇降駆動部と、前記基板の基板高さ及び前記部品の部品厚さの少なくとも一方を測定する測定部とを備え、部品を基板上に配置する実装処理ユニットの制御方法であって、
測定部により測定された基板高さの情報及び部品厚さの情報のうち1以上を含む高さ情報に基づいて少なくとも前記第1昇降駆動部の昇降動作を制御するステップ、を含むものである。
この制御方法では、上述した実装処理ユニットと同様に、基板高さや部品厚さに応じて昇降部材を基板により近い位置まで移動することができる。したがって、この制御方法では、採取部材が装着された昇降部材を昇降させ、且つ採取部材をも昇降させる構成において、採取部材の昇降ストロークをより短くすることができる。なお、この実装処理ユニットの制御方法において、上述した実装処理ユニットの種々の態様を採用してもよいし、また、上述した実装処理ユニットの各機能を実現するようなステップを追加してもよい。
本発明の好適な実施形態を図面を参照しながら以下に説明する。図1は、実装システム10の一例を表す概略説明図である。図2は、実装ヘッド22の構成を表す説明図である。図3は、実装装置11の構成を表すブロック図である。実装システム10は、例えば、部品Pを基板Sに実装する処理を実行するシステムである。この実装システム10は、実装装置11と、管理コンピュータ50とを備えている。実装システム10は、部品Pを基板Sに実装する実装処理を実施する複数の実装装置11が上流から下流に配置されている。図1では、説明の便宜のため実装装置11を1台のみ示している。また、本実施形態において、左右方向(X軸)、前後方向(Y軸)及び上下方向(Z軸)は、図1に示した通りとする。
実装装置11は、図1〜3に示すように、基板搬送ユニット12と、実装ユニット13と、部品供給ユニット14と、撮像ユニット16と、制御装置40とを備えている。基板搬送ユニット12は、基板Sの搬入、搬送、実装位置での固定、搬出を行うユニットである。基板搬送ユニット12は、図1の前後に間隔を開けて設けられ左右方向に架け渡された1対のコンベアベルトを有している。基板Sはこのコンベアベルトにより搬送される。
実装ユニット13は、部品Pを部品供給ユニット14から採取し、基板搬送ユニット12に固定された基板Sへ配置するものである。実装ユニット13は、ヘッド移動部20と、実装ヘッド22と、吸着ノズル28とを備えている。ヘッド移動部20は、ガイドレールに導かれてXY方向へ移動するスライダと、スライダを駆動するモータとを備えている。実装ヘッド22は、スライダに取り外し可能に装着されており、ヘッド移動部20によりXY方向へ移動する。実装ヘッド22の下面には、1以上の吸着ノズル28が取り外し可能に装着されている。実装ヘッド22には、図2に示すように、長尺円筒状の1以上のシリンジ部材25が中心軸を中心に回転可能に且つ上下動可能に配設されている。このシリンジ部材25の下端に吸着ノズル28が取り外し可能に装着される。吸着ノズル28を装着したシリンジ部材25が昇降部材に相当する。また、シリンジ部材25の上端には、ギア26が配設されている。実装ヘッド22は、ギア24を有するQ軸モータ23が配設されている。Q軸モータ23は、ギア24がギア26と噛み合っており、ギア26を介してシリンジ部材25を軸回転させることにより、吸着ノズル28に吸着された部品Pの角度を調整する。
吸着ノズル28は、圧力を利用して、ノズル先端に部品Pを吸着し、ノズル先端に吸着している部品Pを吸着解除する採取部材である。この吸着ノズル28は、円板状のフランジ29と、先端側に形成された管状部19とを有している(図2参照)。管状部19は、Z軸方向(上下方向)に摺動可能に吸着ノズル28の本体に配設されている。実装ヘッド22では、実装ヘッド22のY軸方向の先端側に位置する1カ所の昇降位置において、シリンジ部材25及び吸着ノズル28をZ軸方向に昇降する。なお、部品Pを採取する採取部材は、ここでは吸着ノズル28として説明するが、部品Pを採取可能であれば特に限定されず、部品Pを挟持して採取するメカニカルチャックなどとしてもよい。
実装ヘッド22は、図2に示すように、第1昇降駆動部30と、第2昇降駆動部34とを備えており、この第1昇降駆動部30や第2昇降駆動部34によってZ軸に沿って吸着ノズル28の高さを調整する。第1昇降駆動部30は、部品Pを採取する吸着ノズル28が装着されたシリンジ部材25の全体を昇降させるものである。第1昇降駆動部30は、第1リニアモータ31と、第1支持部材32とを備えている。第1リニアモータ31は、比較的大きな移動範囲A(図2参照)で第1支持部材32を上下動させる。第1支持部材32は、上下方向に形成された部材であり、第1リニアモータ31に支持されている。この第1支持部材32の下端に第2昇降駆動部34が配設されている。第1支持部材32の上端側にはシリンジ部材25に形成された円板状の水平部27と係合する第1係合部33が形成されている。第2昇降駆動部34は、シリンジ部材25のうち吸着ノズル28を昇降させるものである。第2昇降駆動部34は、第2リニアモータ35と、第2支持部材36と、第2係合部37と、検出部38とを備えている。第2リニアモータ35は、移動範囲Aに比して短い移動範囲B(図2参照)で第2支持部材36を上下動させる。第2支持部材36は、上下方向に形成された部材であり、第2リニアモータ35に支持されている。この第2支持部材36の下端に第2係合部37が形成されている。第2係合部37は、吸着ノズル28のフランジ29に係合している。第2昇降駆動部34は、第2リニアモータ35の駆動力により、第2係合部37及びフランジ29を介して直接的に吸着ノズル28を上下動させる。この第2支持部材36には、ロードセルである検出部38が配設されており、第2係合部37にかかる荷重を検出可能となっている。実装ヘッド22は、第1昇降駆動部30により高速で吸着ノズル28を下降させ、第2昇降駆動部34により低速で吸着ノズル28を下降させ、検出部38での検出結果に基づき部品Pが基板Sに当接する際の駆動制御を行い、部品Pにかかる負荷を低減する。実装装置11は、高さの基準となる基準面が形成された基準部材17が配設されている。
部品供給ユニット14は、図1に示すように、複数のリールを備え、実装装置11の前側に着脱可能に取り付けられている。各リールには、テープが巻き付けられ、テープの表面には、複数の部品Pがテープの長手方向に沿って保持されている。このテープは、リールから後方に向かって巻きほどかれ、部品Pが露出した状態で、吸着ノズル28で吸着される採取位置にフィーダ部により送り出される。
撮像ユニット16は、部品Pを吸着した吸着ノズル28を側方から撮像するユニットである。この撮像ユニット16は、撮像素子と、ミラーと、画像処理部とを備えている。制御装置40は、撮像ユニット16により撮像された画像を用いて、部品Pの吸着位置のずれや部品Pの変形、破損の有無などを検出する。
制御装置40は、図3に示すように、CPU41を中心とするマイクロプロセッサとして構成されており、処理プログラムを記憶するROM42、各種データを記憶するHDD43、作業領域として用いられるRAM44、外部装置と電気信号のやり取りを行うための入出力インタフェース45などを備えており、これらはバス46を介して接続されている。この制御装置40は、基板搬送ユニット12、実装ユニット13、部品供給ユニット14、撮像ユニット16へ制御信号を出力し、実装ユニット13や部品供給ユニット14、撮像ユニット16からの信号を入力する。
管理コンピュータ50は、実装システム10の各装置の情報を管理するコンピュータである。管理コンピュータ50は、作業者が各種指令を入力するキーボード及びマウス等の入力装置52と、各種情報を表示するディスプレイ54とを備えている。
次に、こうして構成された本実施形態の実装システム10の動作、具体的には、実装装置11の実装処理について説明する。図4は、制御装置40のCPU41により実行される実装処理ルーチンの一例を表すフローチャートである。このルーチンは、制御装置40のHDD43に記憶され、作業者による開始指示により実行される。ここでは、吸着ノズル28を用い、第1昇降駆動部30及び第2昇降駆動部34の2段制御により部品Pを基板Sに実装する場合について主として説明する。このルーチンを開始すると、制御装置40のCPU41は、まず、実装ジョブ情報を管理コンピュータ50から取得する(ステップS100)。実装ジョブ情報には、部品Pの実装順、実装する部品Pの種別及びその特徴、部品Pを吸着する吸着ノズル28の情報などが含まれている。次に、CPU41は、基板Sの搬送及び固定処理を行い(ステップS110)、吸着する部品Pを設定する(ステップS120)。次に、CPU41は、基板Sの高さの情報及び部品Pの厚さの情報のうち1以上を含む高さ情報を取得する処理を実行する(ステップS130)。
図5は、高さ情報取得処理ルーチンの一例を表すフローチャートである。このルーチンは、制御装置40のHDD43に記憶されている。ここでは、制御装置40は、シリンジ部材25の昇降制御において、吸着ノズル28への接触を検出部38で検出することにより基板Sの高さ及び部品Pの厚さを測定するものとする。まず、基板Sの高さを測定する処理について説明する。基板Sは、うねりやそりなど、変形していることがある。ここでは、制御装置40は、実装ヘッド22の検出部38を利用して基板Sの上面の高さを測定する処理を行うものとする。図6は、基板Sの高さを測定する一例を表す説明図であり、図6(a)が初期状態、図6(b)、(c)が第1昇降駆動部30を降下させたあとの測定状態の図である。なお、ここでは、先端の検出部材として吸着ノズル28を用いて基板Sの高さを求めるものとするが、吸着ノズル28に代えて測定治具をシリンジ部材25に装着して、この処理を行うものとしてもよい。
このルーチンを開始すると、CPU41は、第1昇降駆動部30により第1支持部材32を下降させて、シリンジ部材25及び吸着ノズル28の全体を下降する処理を行う(ステップS300)。第1昇降駆動部30は、所定の基準高さまで吸着ノズル28を下降させる。次に、実装ヘッド22を基板Sの測定点へ移動させる(ステップS310)。測定点は、例えば、基板Sの変形が把握できる程度、縦横に複数点、予め定められているものとする。また、最初の測定点は、基準部材17の上面(基準面)とする。CPU41は、例えば、第2リニアモータ35のエンコーダ値に基づいて、基準部材17の基準面の高さを基準値として取得する。続いて、CPU41は、第2昇降駆動部34によりゆっくりと第2支持部材36を下降させ(ステップS320)、検出部38が荷重を検出したか否かを検出部38の信号に基づいて判定する(ステップS330)。検出部38が荷重を検出していないときには、CPU41は、ステップS320の処理を継続し、検出部38が荷重を検出したときには、吸着ノズル28が基板Sの表面に当接したものとして、基準面からの高さをRAM44に記憶させる(ステップS340)。基板Sの表面高さは、例えば、第1リニアモータ31のエンコーダ値及び第2リニアモータ35のエンコーダ値により求めることができる。ステップS340のあと、CPU41は、基板Sの表面高さをすべて取得(測定)したか否かを判定し(ステップS350)、すべて取得していないときには、CPU41は、第2昇降駆動部34により、吸着ノズル28を上昇させ(ステップS360)、ステップS310以降の処理を実行する。一方、ステップS350で基板Sの表面高さをすべて取得したときには、CPU41は、そのままこのルーチンを終了する。このように、基板Sの各測定点における高さを実測することができる。
次に、部品Pの厚さ(高さ)の測定について説明する。図7は、部品Pの厚さを測定する一例を表す説明図であり、図7(a)が基準面の測定、図7(b)が部品Pの厚さの測定図である。この処理では、部品Pを吸着ノズル28に吸着させた状態で基準部材17の基準面へこの部品Pを当接させる処理をステップS320で行う以外は、上述した基板Sの高さ測定と同じ処理を行う。部品Pの厚さは、基準面の測定値と、部品Pを吸着した状態での測定値との差により求めることができる(図7(b)の厚さC参照)。このようにして、部品Pの厚さCを実測することができる。
さて、図4の実装処理ルーチンに戻り、ステップS130で高さ情報を取得すると、CPU41は、取得した高さ情報に基づいて、部品Pを基板へ配置する際の第1昇降駆動部30の昇降補正値を設定する(ステップS140)。昇降補正値は、シリンジ部材25の基板S上での停止位置を補正する値とする。また、この昇降補正値は、基板Sとシリンジ部材25との距離が第2昇降駆動部34での吸着ノズル28の昇降ストローク(距離B)に応じた距離となる位置にシリンジ部材25が停止するような値に定められる。例えば、昇降補正値は、第2昇降駆動部34でのストロークを一定とし、基板Sの高さや部品Pの厚さに応じて第1昇降駆動部30でのシリンジ部材25の停止位置が基板Sにより近くなるような値に定められる。図8は、昇降補正値の設定に関する説明図であり図8(a)が設計値、図8(b)が補正値の説明図である。ここで、dHは設計上の基板Sの高さに対する実測された基板Sの高さの差分であり、dtは設計上の部品Pの厚さに対する実測された部品Pの厚さの差分である。これら差分dHおよびdtは、ステップS130で取得した高さ情報に基づき、CPU41により算出される。このように、設計上の基板高さに対して実際に測定した基板高さが異なっていた場合や、設計上の部品厚さに対して実際に測定した部品厚さが異なっていた場合には、シリンジ部材25の停止位置の補正値が、設計上の基板高さと実際に測定した基板高さとの差分及び設計上の部品厚さと実際に測定した部品厚さとの差分をキャンセルする値に設定される。すなわち、設計上の基板高さに対して実際に測定した基板高さがdH低く、設計上の部品厚さに対して実際に測定した部品厚さがdt薄い場合には、シリンジ部材25の停止位置が設計値よりもdH+dt低い位置になるように配置時昇降補正値が設定される。この昇降補正値は、基板Sの高さが低ければ、それに応じて第1昇降駆動部30でのシリンジ部材25の停止位置が低くなり、部品Pの厚さが薄ければ、それに応じて第1昇降駆動部30での停止位置が低くなるよう定められる。同様に、この昇降補正値は、基板Sの高さが高ければ、それに応じて第1昇降駆動部30でのシリンジ部材25の停止位置が高くなり、部品Pの厚さが厚ければ、それに応じて第1昇降駆動部30での停止位置が高くなるよう定められる。
ステップS140のあと、CPU41は、実装ヘッド22を部品Pの配置位置へ移動処理し(ステップS150)、設定した昇降補正値で第1昇降駆動部30(第1リニアモータ31)を制御する(ステップS160)。シリンジ部材25が停止すると、CPU41は、第2昇降駆動部34(第2リニアモータ35)を下降制御する(ステップS170)。なお、ここでは、CPU41は、シリンジ部材25が停止したのちに第2昇降駆動部34を下降制御するが、例えば、シリンジ部材25の停止前に第2昇降駆動部34を下降させてもよい。
実装装置11において、高さ情報を用いないで第2昇降駆動部34を昇降させる場合は、基板Sに部品Pが当たらないよう、第1昇降駆動部30の停止位置は、比較的大きなマージンを要する。このため、第2昇降駆動部34のストロークは、より長くなる。また、高さ情報を用いない場合において、基板Sの高さが低い場合や部品Pの厚さが薄い場合は、基板Sに部品Pが当たらないよう第1昇降駆動部30の停止位置を比較的高い位置にしなければならず、更に基板Sの高さが低い分、あるいは部品Pの厚さが薄い分、第2昇降駆動部34のストロークは、更に長くなる。高さ情報を用いない場合、図8(b)において、設計上の停止位置でシリンジ部材25が停止するので、そこから先は第2昇降駆動部34のストロークとなり、シリンジ部材25の停止位置を補正しない場合に比べdH+dt第2昇降駆動部34のストロークが長くなる。この実装装置11では、高さ情報を用いることにより、基板Sの高さや部品Pの厚さに応じてシリンジ部材25の全体を基板Sにより近い位置まで移動することができ、上記マージンをより短くすることができる。
続いて、CPU41は、検出部38からの荷重が検出されたか否かを判定し(ステップS180)、荷重が検出されないときには、ステップS170の処理を継続する。一方、検出部38から荷重が検出されたときには、部品Pが基板Sに当接したものとみなし、CPU41は、所定の装着荷重となるように第2昇降駆動部34を制御するとともに部品Pの吸着解除を行う(ステップS190)。このように、検出部38の出力値を用いて部品Pの基板S上への配置を行うため、部品Pに加わる負荷をより低減することができる。
部品Pを吸着解除すると、CPU41は、現基板の実装処理が完了したか否かを判定し(ステップS200)、完了していないときには、第2昇降駆動部34により、吸着ノズル28を初期高さまで上昇させ(ステップS210)、ステップS120以降の処理を実行する。即ち、CPU41は、次に吸着する部品を設定し、高さ情報を取得し、高さ情報に基づいて設定した昇降補正値を用いて第1昇降駆動部30を制御しながら部品Pの基板Sへの配置を行う。一方、ステップS200で現基板の実装処理が完了したときには、CPU41は、実装完了した基板Sを排出させ(ステップS220)、生産完了したか否かを判定する(ステップS230)。生産完了していないときには、CPU41は、ステップS110以降の処理を実行する。即ち、CPU41は、新たな基板を搬送、固定し、ステップS120以降の処理を実行する。一方、ステップS230で生産完了したときには、CPU41は、そのままこのルーチンを終了する。
ここで、本実施形態の構成要素と本発明の構成要素との対応関係を明らかにする。本実施形態の第1昇降駆動部30が本発明の第1昇降駆動部に相当し、第2昇降駆動部34が第2昇降駆動部に相当し、吸着ノズル28が採取部材に相当し、吸着ノズル28を装着したシリンジ部材25が昇降部材に相当し、検出部38及び制御装置40が測定部に相当し、制御装置40が制御部に相当する。また、実装ユニット13及び制御装置40が本発明の実装処理ユニットに相当する。なお、本実施形態では、実装装置11の動作を説明することにより本発明の実装装置の制御方法の一例も明らかにしている。
以上説明した実施形態の実装装置11は、部品Pを採取する吸着ノズル28が装着されたシリンジ部材25(昇降部材)を昇降させる第1昇降駆動部30と、吸着ノズル28が装着されたシリンジ部材25に対して吸着ノズル28自体を昇降させる第2昇降駆動部34とを備えている。そして、実装装置11は、検出部38及び制御装置40により測定された基板Sの高さの情報及び部品Pの厚さの情報のうち1以上を含む高さ情報に基づいて、少なくとも第1昇降駆動部30の昇降動作を制御する。この実装装置11では、基板Sの高さや部品Pの厚さに応じて吸着ノズル28が装着されたシリンジ部材25の全体を基板Sに、より近い位置まで移動することができる。したがって、実装装置11は、吸着ノズル28が装着されたシリンジ部材25を昇降させ、且つ吸着ノズル28自体をも昇降させる構成において、吸着ノズル28の昇降ストロークをより短くすることができる。このため、実装装置11では、ユニットのコンパクト化をより図ることができる。
また、CPU41は、高さ情報に含まれる基板高さ及び/又は部品厚さの情報を用いて、基板Sとシリンジ部材25との距離が吸着ノズル28の昇降ストロークに応じた距離となる停止位置にシリンジ部材25が位置するよう第1昇降駆動部30の昇降動作を制御する。このため、第2昇降駆動部34のストロークを変更せずに吸着ノズル28を基板Sへより近づけることができる。また、CPU41は、(a)設計上の基板Sの高さに対する検出部38及び制御装置40により測定された基板Sの高さの高さ差分値dH及び(b)設計上の部品Pの厚さに対する検出部38及び制御装置40により測定された部品Pの厚さの厚さ差分値dtとの少なくとも一方の差分値を算出し、算出した高さ差分値dH及び/又は厚さ差分値dtに基づき設計上の停止位置に対するシリンジ部材25の停止位置の配置時昇降補正値を設定し、配置時昇降補正値を用いて部品Pを基板Sに配置する際の第1昇降駆動部30の昇降動作を制御する。このように、高さ差分値に基づきシリンジ部材25の停止位置を補正するため、そのような補正をしない場合に比べて第2昇降駆動部34のストロークを短くすることができる。更に、CPU41は、検出部38の検出結果に基づいて、基板Sの高さ及び部品Pの厚さを測定するため、吸着ノズル28へ加わる荷重を検出する検出部38を利用して基板Sの高さや部品Pの厚さを測定することができる。
なお、本発明は上述した実施形態に何ら限定されることはなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の態様で実施し得ることはいうまでもない。
例えば、上述した実施形態では、CPU41は、高さ差分値dH及び厚さ差分値dtの全ての量を昇降補正値として設定したが、差分値の少なくとも一部の量を昇降補正値として設定し、差分値の残りの部分を第2昇降駆動部34による吸着ノズル28の昇降ストロークによりカバーするように制御してもよい。その際、CPU41は、差分値に対し、第2昇降駆動部34がカバーするストロークよりも補正値の方が大きくなるように昇降補正値を設定するのが好ましい。すなわち、差分値の半分よりも大きい値を補正値とすれば、第2昇降駆動部34の昇降ストロークによりカバーする量が少なくなり、第2昇降駆動部34のストロークを短くすることができる。
上述した実施形態において、CPU41が、高さ情報に基づき、シリンジ部材25の停止位置における吸着ノズル28の基準高さで吸着ノズル28に保持されている部品Pと基板Sとの離間距離が一定となるように、第1昇降駆動部30の昇降動作を制御するようにしてもよい。このようにすれば、シリンジ部材25に対して吸着ノズル28が一定の昇降動作となり、第2昇降駆動部34の昇降ストロークをより短くすることができる。吸着ノズル28の基準高さは、例えば、シリンジ部材25に対して吸着ノズル28が最も上昇した位置でもよいし、第2昇降駆動部34によって吸着ノズル28が所定量下降させられた位置でもよい。
上述した実施形態では、検出部38を用いて、基板Sの高さや部品Pの厚さを測定するものとしたが、特にこれに限定されない。例えば、撮像ユニット16により撮像された画像を用いて部品Pの厚さを求めてもよい。また、基板Sの各点での高さは、レーザー式の距離測定センサを用いて求められるものとしてもよい。あるいは、基板Sの各点での高さは、基板Sを上面側から撮像した画像に基づいて求められるものとしてもよい。また、基板Sの各点での高さは、基板Sを下方から支持する支持ピンにかかる圧力や押下ストロークにより求められるものとしてもよい。
上述した実施形態では、基板Sの高さと部品Pの厚さとの両方を高さ情報として用いたが、特にこれに限定されず、少なくとも一方を省略するものとしてもよい。こうしても、基板Sの高さと部品Pの厚さとのいずれかの高さ情報により、吸着ノズル28の昇降ストロークをより短くすることができる。
上述した実施形態では、部品Pの厚さの情報に基づいて第1昇降駆動部30の昇降動作を制御したが、検出部38や撮像ユニット16を用いて吸着ノズル28に保持されている部品Pの下面の下面高さを測定し、部品Pの下面高さの情報に基づいて第1昇降駆動部30の昇降動作を制御するようにしてもよい。
上述した実施形態では、本発明を実装装置11として説明したが、例えば、実装ユニット13及び制御装置40を備えた実装処理ユニットとしてもよいし、実装装置11の制御方法としてもよいし、上述した処理をコンピュータが実行するプログラムとしてもよい。