JP6767028B2 - 赤外線焼成装置及びこれを用いた電子部品の焼成方法 - Google Patents
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Description
図1〜8に示すように、本発明に係る赤外線焼成装置1は、ガス供給系2、ガス排出系3、カメラ7,制御装置8、焼成炉20を備えている。焼成物載置部であるトレー34は、縁のある横長の方形の皿状であり、上部に焼成物であるMLCC(multi-layer ceramic capacitor、積層セラミックコンデンサ)を多数載せて焼成処理を行う。
上記実施形態ではMLCCにおいて銅のペーストを用いたが、銀のペーストを用いることも可能である。この場合、ガスとして窒素の他、酸素を用いても良い。
Claims (11)
- 開口部を開閉蓋により開閉可能で内部空間を密閉可能な炉室と、焼成物を載置し開口部から出し入れ可能な焼成物載置部と、赤外線により焼成物を加熱するヒーターランプと、前記炉室にガスを供給可能なガス供給口と、前記炉室からガスを排気可能なガス排気口とを備え、前記炉室の炉壁は前記ヒーターランプの赤外線光を集めて前記焼成物載置部に照射する赤外線焼成装置であって、
前記焼成物載置部は、トレーであり、
前記ガス供給口は、前記トレーの上部の複数個所から前記トレー上に向かってガスを流下させるものであり、各ガス供給口は、下に突出する管状体の周囲に複数の噴出口を設けてなり、
前記ガス排気口は、前記トレーの両横側に設けられて前記流下したガスを排気するものである赤外線焼成装置。 - 前記ヒーターランプが棒状に形成されて複数設けられ、前記炉壁はこのヒーターランプの長手方向に沿って略同一の断面形状を有すると共に同長手方向に直交する方向に赤外線光を集めて前記トレーに照射するものであり、前記トレーは同長手方向に沿って設けられ、前記ガス排気口は同長手方向の各端部に設けられている請求項1記載の赤外線焼成装置。
- 前記開閉蓋は、前記長手方向に直交する方向に設けられている請求項2記載の赤外線焼成装置。
- 前記管状体は、石英管である請求項1〜3のいずれかに記載の赤外線焼成装置。
- 前記各ガス供給口は、前記長手方向に沿って並べられると共に、前記長手方向に直交する方向に交互に変位させてある請求項2又は3記載の赤外線焼成装置。
- 前記炉室の上部中央には、観察窓が設けられ、前記各ガス供給口のうち少なくとも2つは前記観察窓の横側にそれぞれ配置されている請求項1〜5のいずれかに記載の赤外線焼成装置。
- 前記開閉蓋は、前記長手方向に直交する前記炉室前方及び後方にそれぞれ設けられている請求項2,3,5のいずれかに記載の赤外線焼成装置。
- 前記トレーは、上面が扁平であり、周囲に前記焼成物が零れ落ちることを防ぐ鍔を有し、前記長手方向に沿って横長に同一断面で形成されている請求項2,3,5,7のいずれかに記載の赤外線焼成装置。
- 請求項1〜8のいずれかに記載の赤外線焼成装置を用いたMLCCその他の電子部品の焼成方法であって、
前記トレーに焼成物である多数の電子部品を敷き詰め、前記ガス供給口よりガスを供給すると共に前記ガス排気口から適宜ガスを排気して均一な供給ガスの層を形成しながら前記ヒーターランプにより焼成を行う赤外線焼成装置を用いた電子部品の焼成方法。 - 前記トレー近傍に熱電対を備えると共に前記炉室の上部中央に観察窓が設けられ、前記観察窓から前記電子部品を撮影し、前記熱電対の温度プロファイルと共に撮影結果を保存し、前記トレー単位のロット記録として保存する請求項9記載の赤外線焼成装置を用いた電子部品の焼成方法。
- 前記ガス供給口より第一のガスを供給すると共に前記ガス排気口により第一のガスを完全排気し、前記ガス供給口より第二のガスを供給する請求項9又は10記載の赤外線焼成装置を用いた電子部品の焼成方法。
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