JP6763586B2 - Dynamic balance tester - Google Patents
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- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 25
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 25
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 9
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims description 6
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 5
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 69
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 18
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 12
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 11
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 11
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 9
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 9
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 4
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 description 3
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 3
- 241001422033 Thestylus Species 0.000 description 2
- 229910052770 Uranium Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
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Description
本発明は、動釣合い試験機に関する。 The present invention relates to a dynamic balance tester.
架台に振動可能に支持された振動台に被試験体である回転体を回転可能に保持し、回転体を回転させ、その際に回転体の動的不釣合いによって振動台に発生する振動を計測することにより、被試験体の動的釣合い状態を測定する動釣合い試験機が知られている。 The rotating body, which is the test object, is rotatably held on the shaking table rotatably supported by the gantry, the rotating body is rotated, and the vibration generated on the shaking table due to the dynamic imbalance of the rotating body is measured. A dynamic equilibrium tester for measuring the dynamic equilibrium state of the test piece is known.
特許第5426991号公報(以下、「特許文献1」と記す。)に記載された動釣合い試験機は、振動台の略矩形の平板状のベースを、その上端の幅方向略中央において縦ばねに取り付けて吊下げ、略矩形の四つの角の近傍を横ばねに取り付けて支持することにより、架台に対して振動可能に連結した構成となっている。
The dynamic balance tester described in Japanese Patent No. 5426991 (hereinafter referred to as "
特許第5622171号公報(以下、「特許文献2」と記す。)に記載された動釣合い試験機は、被試験体を空気軸受により保持する構成となっている。 The dynamic balance tester described in Japanese Patent No. 5622171 (hereinafter referred to as "Patent Document 2") has a configuration in which an object to be tested is held by an air bearing.
実公平5−17636号公報(以下、「特許文献3」と記す。)に記載された動釣合い試験機は、回転体を回転駆動するための圧縮空気を吹き付けるノズルを備え、当該ノズルの回転体に対する吹付け高さや向きを調整可能にした構成となっている。 The dynamic balance tester described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-17636 (hereinafter referred to as "Patent Document 3") is provided with a nozzle for blowing compressed air for rotationally driving the rotating body, and the rotating body of the nozzle is provided. It has a structure that allows the spray height and direction to be adjusted.
動釣合い試験機は、回転体の上面側(下面側)の所定の不釣合い量によるベースの上面側(下面側)の変位から回転体の下面側(上面側)の所定の不釣合い量によるベースの上面側(下面側)の変位を引いた差分値が大きいほど測定感度が高くなる。しかし、特許文献1に記載の構成では、縦ばねがベースに取り付けられる位置が、回転体の重心をベースに投影した点から大きくずれているため、ベースの上面側(下面側)の変位は、回転体の上面側(下面側)の不釣合いに対してだけでなく、回転体の下面側(上面側)の不釣合いに対しても大きくなってしまう。その結果、回転体の上面側(下面側)の所定の不釣合い量によるベースの上面側(下面側)の変位から回転体の下面側(上面側)の所定の不釣合い量によるベースの上面側(下面側)の変位を引いた差分値が小さくなってしまうため、動釣合い試験機の測定感度を低下させる一因となっていた。
The dynamic balance tester is a base based on a predetermined disproportionate amount on the lower surface side (upper surface side) of the rotating body from the displacement of the upper surface side (lower surface side) of the base due to a predetermined disproportionate amount on the upper surface side (lower surface side) of the rotating body. The larger the difference value obtained by subtracting the displacement on the upper surface side (lower surface side) of the above, the higher the measurement sensitivity. However, in the configuration described in
以下に説明するように、本発明の一実施形態によれば、測定感度が高い動釣合い試験機が提供される。 As will be described below, according to one embodiment of the present invention, there is provided a dynamic balance tester having high measurement sensitivity.
本発明の一実施形態に係る動釣合い試験機は、被試験体である回転体を回転可能に保持する振動ユニットと、振動ユニットを弾性的に支持し、且つ回転体の回転軸と平行な方向における振動ユニットの変位を規制する、第一ばねと、振動ユニットを弾性的に支持し、且つ回転軸と直交する所定の方向における振動ユニットの変位を規制する、少なくとも三本の第二ばねと、を備え、少なくとも三本の第二ばねは、同一の所定平面上で振動ユニットに取り付けられており、振動ユニットは、回転体の重心の所定平面への投影が、第一ばねが振動ユニットに取り付けられる位置と略同じ位置になるよう、回転体を保持する。 The dynamic balance tester according to the embodiment of the present invention has a vibration unit that rotatably holds the rotating body to be tested, and a direction that elastically supports the vibration unit and is parallel to the rotation axis of the rotating body. The first spring, which regulates the displacement of the vibrating unit in, and at least three second springs, which elastically support the vibrating unit and regulate the displacement of the vibrating unit in a predetermined direction orthogonal to the rotation axis. At least three second springs are attached to the vibration unit on the same predetermined plane, and the vibration unit is projected on the predetermined plane of the center of gravity of the rotating body, and the first spring is attached to the vibration unit. Hold the rotating body so that it is in the same position as the one to be struck.
この構成によれば、回転体の重心の、少なくとも三本の第二ばねが振動ユニットに取り付けられる所定平面への投影が、第一ばねが振動ユニットに取り付けられる位置と略同じ位置になるよう回転体を保持することにより、回転体の上面側(下面側)の不釣合いによる振動ユニットの下側(上側)の変位を小さくすることができ、それによって回転体の上面側(下面側)の所定の不釣合い量による振動ユニットの上面側(下面側)の変位から回転体の下面側の所定の不釣合い量による振動ユニットの上面側(下面側)の変位を引いた差分値を大きくすることができるため、測定感度が上がり、測定精度の向上が可能になる。 According to this configuration, the projection of the center of gravity of the rotating body onto a predetermined plane in which at least three second springs are attached to the vibration unit is rotated so as to be substantially the same as the position where the first spring is attached to the vibration unit. By holding the body, the displacement of the lower side (upper side) of the vibrating unit due to the imbalance of the upper surface side (lower surface side) of the rotating body can be reduced, whereby the predetermined upper surface side (lower surface side) of the rotating body can be reduced. It is possible to increase the difference value obtained by subtracting the displacement of the upper surface side (lower surface side) of the vibration unit due to the predetermined disproportionate amount on the lower surface side of the rotating body from the displacement of the upper surface side (lower surface side) of the vibration unit due to the disproportionate amount of. Therefore, the measurement sensitivity is increased and the measurement accuracy can be improved.
また、本発明の一実施形態に係る動釣合い試験機は、少なくとも三本の第二ばねが振動ユニットに取り付けられる各位置からほぼ等距離となる位置において、第一ばねが振動ユニットに取り付けられる構成としても良い。 Further, the dynamic balance tester according to the embodiment of the present invention has a configuration in which the first spring is attached to the vibration unit at a position substantially equidistant from each position where at least three second springs are attached to the vibration unit. May be.
また、本発明の一実施形態において、少なくとも三本の第二ばねが振動ユニットに取り付けられる位置は、回転軸及び第一ばねが振動ユニットに取り付けられる位置を通る平面に関して対称に配置されている構成としても良い。 Further, in one embodiment of the present invention, the positions where at least three second springs are attached to the vibration unit are arranged symmetrically with respect to the plane passing through the rotation shaft and the position where the first spring is attached to the vibration unit. May be.
また、本発明の一実施形態に係る動釣合い試験機は、第二ばねを四本備え、第二ばねが振動ユニットに取り付けられる位置を頂点とした略矩形が所定平面上に形成されるよう四本の第二ばねが配置されている構成としても良い。 Further, the dynamic balance tester according to the embodiment of the present invention is provided with four second springs so that a substantially rectangle having the apex at the position where the second spring is attached to the vibration unit is formed on a predetermined plane. The second spring of the book may be arranged.
また、本発明の一実施形態において、振動ユニットに、第一ばねを通すための逃げ構造が形成されている構成としても良い。 Further, in one embodiment of the present invention, the vibration unit may be configured to have a relief structure for passing the first spring.
また、本発明の一実施形態において、逃げ構造は、穴、溝、又は切り欠きである構成としても良い。 Further, in one embodiment of the present invention, the relief structure may be configured to be a hole, a groove, or a notch.
また、本発明の一実施形態において、振動ユニットは、第一ばね及び少なくとも三本の第二ばねを取り付ける取付部が形成されるベースと、ベースに固定され、回転体を回転可能に保持する軸受ユニットと、を有する構成としても良い。 Further, in one embodiment of the present invention, the vibration unit is a base on which a first spring and a mounting portion for attaching at least three second springs are formed, and a bearing fixed to the base to hold the rotating body rotatably. It may be configured to have a unit.
また、本発明の一実施形態において、振動ユニットは、第一ばねが取り付けられる位置及び回転軸を含む平面に関して略対称な形状を有する構成としても良い。 Further, in one embodiment of the present invention, the vibration unit may have a shape substantially symmetrical with respect to the position where the first spring is attached and the plane including the rotation axis.
また、本発明の一実施形態において、ベースは、回転軸に平行な辺を有する略矩形の板であり、ベースの四つの頂点のそれぞれの近傍に第二ばねが取り付けられている構成としても良い。 Further, in one embodiment of the present invention, the base is a substantially rectangular plate having sides parallel to the rotation axis, and a second spring may be attached in the vicinity of each of the four vertices of the base. ..
また、本発明の一実施形態において、軸受ユニットは、回転軸方向におけるベースの一方の端部の近傍に固定される構成としても良い。 Further, in one embodiment of the present invention, the bearing unit may be fixed in the vicinity of one end of the base in the rotation axis direction.
また、本発明の一実施形態において、振動ユニットは、所定平面に垂直な方向に貫通する開口を有する構成としても良い。 Further, in one embodiment of the present invention, the vibration unit may be configured to have an opening penetrating in a direction perpendicular to a predetermined plane.
被試験体を空気軸受により保持する特許文献2に記載の構成の動釣合い試験機では、被試験体との間で擦れが生じる軸受部が容易に交換可能な構造となっていないため、軸受部の交換が必要になった場合に多大な工数やコストがかかるだけでなく、交換に時間を要する場合は測定作業自体が停止してしまうため、ランニングコストの増加や生産性の低下の一因となっていた。 In the dynamic balance tester having the configuration described in Patent Document 2 in which the test piece is held by an air bearing, the bearing part that rubs against the test piece does not have a structure that can be easily replaced. Not only does it take a lot of man-hours and costs when the bearings need to be replaced, but the measurement work itself stops when the replacement takes time, which contributes to an increase in running costs and a decrease in productivity. It was.
以下に説明するように、本発明の一実施形態によれば、ランニングコストの削減及び生産性の向上が可能な動釣合い試験機が提供される。 As described below, according to one embodiment of the present invention, there is provided a dynamic balance tester capable of reducing running costs and improving productivity.
本発明の一実施形態に係る動釣合い試験機は、被試験体である回転体を回転可能に保持する空気軸受を形成する軸受ユニットを備え、軸受ユニットは、軸受ハウジングと、軸受ハウジングに着脱可能に固定されるスラスト軸受部材と、を有し、スラスト軸受部材は、軸体が通される開口を有する板状部材であり、回転体との間にスラスト空気軸受を形成する。 The dynamic balance tester according to the embodiment of the present invention includes a bearing unit that forms an air bearing that rotatably holds the rotating body to be tested, and the bearing unit is detachable from the bearing housing and the bearing housing. The thrust bearing member is a plate-shaped member having an opening through which the shaft body is passed, and forms a thrust air bearing between the thrust bearing member and the rotating body.
この構成によれば、摩耗しやすいスラスト軸受部材を交換可能な部品とし、且つ部品の両面をスラスト軸受として利用可能とすることにより、部品交換の工数、部品代、及び部品交換による測定作業の停止時間を削減することができ、ランニングコストの削減及び生産性の向上が可能になる。 According to this configuration, the easily worn thrust bearing member is made into a replaceable part, and both sides of the part can be used as the thrust bearing, so that the man-hours for parts replacement, the parts cost, and the measurement work due to the parts replacement are stopped. Time can be reduced, running costs can be reduced, and productivity can be improved.
また、本発明の一実施形態において、スラスト軸受部材は、平板状に形成されている構成としても良い。 Further, in one embodiment of the present invention, the thrust bearing member may be formed in a flat plate shape.
また、本発明の一実施形態において、軸受ユニットは、スラスト軸受部材を位置決めして軸受ハウジングに着脱可能に固定する位置決め固定部材を有する構成としても良い。 Further, in one embodiment of the present invention, the bearing unit may have a positioning fixing member that positions the thrust bearing member and detachably fixes it to the bearing housing.
また、本発明の一実施形態において、位置決め固定部材は、スラスト軸受部材を位置決めする位置決め部材と、位置決め部材を軸受ハウジングに対して着脱可能に固定する固定部材と、を含む構成としても良い。 Further, in one embodiment of the present invention, the positioning fixing member may include a positioning member for positioning the thrust bearing member and a fixing member for detachably fixing the positioning member to the bearing housing.
また、本発明の一実施形態において、軸受ユニットは、軸受ハウジングに着脱可能に保持され、回転体との間にラジアル空気軸受を形成するラジアル軸受部材を有する構成としても良い。 Further, in one embodiment of the present invention, the bearing unit may be configured to have a radial bearing member that is detachably held in the bearing housing and forms a radial air bearing with the rotating body.
また、本発明の一実施形態において、位置決め固定部材は、ラジアル軸受部材をスラスト軸受部材と共に軸受ハウジングに対して固定する構成としても良い。 Further, in one embodiment of the present invention, the positioning fixing member may be configured to fix the radial bearing member to the bearing housing together with the thrust bearing member.
また、本発明の一実施形態において、スラスト軸受部材は、開口が円形である構成としても良い。 Further, in one embodiment of the present invention, the thrust bearing member may have a structure in which the opening is circular.
また、本発明の一実施形態において、スラスト軸受部材は、略円板状の部材である構成としても良い。 Further, in one embodiment of the present invention, the thrust bearing member may be configured to be a substantially disk-shaped member.
また、本発明の一実施形態において、位置決め固定部材は、スラスト軸受部材の円形状の開口の中心がラジアル軸受部材の軸上に位置するよう位置決めする構成としても良い。 Further, in one embodiment of the present invention, the positioning fixing member may be configured so that the center of the circular opening of the thrust bearing member is positioned on the axis of the radial bearing member.
また、本発明の一実施形態において、ラジアル軸受部材は、スラスト軸受部材が配置される端面に、スラスト軸受部材の外径と略同径の、ラジアル軸受部材の軸と同軸の円柱状の突出部を有し、位置決め固定部材は、スラスト軸受部材の外径及び突出部と略同径であり且つスラスト軸受部材の厚みと突出部の高さを足し合わせた寸法と略同寸法の深さに形成された、円柱状の中空部を有する構成としても良い。 Further, in one embodiment of the present invention, the radial bearing member has a columnar protruding portion on the end surface on which the thrust bearing member is arranged, which has substantially the same diameter as the outer diameter of the thrust bearing member and is coaxial with the axis of the radial bearing member. The positioning fixing member is formed to have substantially the same diameter as the outer diameter of the thrust bearing member and the protruding portion, and to a depth of substantially the same dimension as the sum of the thickness of the thrust bearing member and the height of the protruding portion. It may be configured to have a cylindrical hollow portion.
回転体を回転駆動するための圧縮空気を吹き付けるノズルを備える特許文献3に記載の構成の動釣合い試験機では、様々な寸法や形状の被試験体を回転駆動させることができ、ノズルが被試験体の着脱の邪魔になる場合にはノズルを邪魔にならない位置に移動させることができるが、被試験体の着脱の度にノズルを移動させるのは手間であり、毎回同じ位置にノズルを戻すのも困難であることから、作業効率や測定精度を低下させる一因となっていた。 In the dynamic balance tester having the configuration described in Patent Document 3 provided with a nozzle for blowing compressed air for rotationally driving the rotating body, the object under test having various dimensions and shapes can be rotationally driven, and the nozzle is tested. The nozzle can be moved to a position where it does not get in the way when it gets in the way of putting on and taking off the body, but it is troublesome to move the nozzle every time the test piece is put on and taken off, and the nozzle is returned to the same position every time. This is also difficult, which has contributed to the deterioration of work efficiency and measurement accuracy.
以下に説明するように、本発明の一実施形態によれば、作業性及び測定精度の向上が可能な動釣合い試験機が提供される。 As described below, according to one embodiment of the present invention, there is provided a dynamic balance tester capable of improving workability and measurement accuracy.
本発明の一実施形態に係る動釣合い試験機は、回転自在に支持された回転体に風を吹き付けて回転体を回転駆動させる駆動ユニットと、回転体を駆動可能な駆動位置と、回転体の着脱が容易な待機位置との間で、駆動ユニットを回転体の回転軸方向に移動させる移動ユニットと、駆動位置を回転軸方向に変更する変更ユニットと、を備える。 The dynamic balance tester according to the embodiment of the present invention has a drive unit that blows wind onto a rotatably supported rotating body to rotate the rotating body, a drive position that can drive the rotating body, and a rotating body. A moving unit that moves the drive unit in the direction of the rotation axis of the rotating body and a change unit that changes the drive position in the direction of the rotation axis are provided between the standby position and the standby position that can be easily attached and detached.
この構成によれば、被試験体の着脱の邪魔にならない位置に駆動ユニットを移動させる機構と、被試験体の形状や寸法に合わせて駆動ユニットの位置を変更する機構とを別々の機構として設けることにより、被試験体の着脱を容易にし、且つ被試験体の着脱の度に駆動ユニットの位置を調整する手間を省いて駆動ユニットの位置のずれを防止することができ、作業性及び測定精度の向上が可能になる。 According to this configuration, a mechanism for moving the drive unit to a position that does not interfere with the attachment / detachment of the test object and a mechanism for changing the position of the drive unit according to the shape and dimensions of the test object are provided as separate mechanisms. As a result, the test piece can be easily attached and detached, and the time and effort for adjusting the position of the drive unit each time the test piece is attached and detached can be saved to prevent the drive unit from being displaced, and workability and measurement accuracy can be prevented. Can be improved.
また、本発明の一実施形態において、移動ユニットは駆動ユニットを支持し、変更ユニットは、移動ユニットを回転軸方向に移動させることにより、回転軸方向における駆動ユニットの位置を変更する構成としても良い。 Further, in one embodiment of the present invention, the moving unit may support the drive unit, and the changing unit may be configured to change the position of the driving unit in the rotation axis direction by moving the moving unit in the rotation axis direction. ..
また、本発明の一実施形態において、変更ユニットは駆動ユニットを支持し、移動ユニットは、変更ユニットを回転軸方向に移動させることにより、回転軸方向における駆動ユニットの位置を変更する構成としても良い。 Further, in one embodiment of the present invention, the changing unit may support the drive unit, and the moving unit may be configured to change the position of the drive unit in the rotation axis direction by moving the changing unit in the rotation axis direction. ..
また、本発明の一実施形態に係る動釣合い試験機は、駆動ユニットの移動を回転軸方向に規制するガイドを備える構成としても良い。 Further, the dynamic balance tester according to the embodiment of the present invention may be configured to include a guide for restricting the movement of the drive unit in the direction of the rotation axis.
また、本発明の一実施形態に係る動釣合い試験機は、駆動ユニットを支持する支持部材を備え、ガイドは、支持部材の回転軸方向の移動をガイドする構成としても良い。 Further, the dynamic balance tester according to the embodiment of the present invention may include a support member that supports the drive unit, and the guide may be configured to guide the movement of the support member in the rotation axis direction.
また、本発明の一実施形態において、変更ユニットは支持部材を支持し、移動ユニットは、変更ユニットを回転軸方向に移動させることにより、支持部材を介して駆動ユニットの位置を変更する構成としても良い。 Further, in one embodiment of the present invention, the changing unit supports the support member, and the moving unit may change the position of the drive unit via the supporting member by moving the changing unit in the rotation axis direction. good.
また、本発明の一実施形態において、移動ユニットは支持部材を支持し、変更ユニットは、移動ユニットを回転軸方向に移動させることにより、支持部材を介して駆動ユニットの位置を変更する構成としても良い。 Further, in one embodiment of the present invention, the moving unit supports the support member, and the changing unit may change the position of the drive unit via the supporting member by moving the moving unit in the rotation axis direction. good.
また、本発明の一実施形態において、移動ユニットは流体圧により駆動される構成としても良い。 Further, in one embodiment of the present invention, the moving unit may be configured to be driven by fluid pressure.
また、本発明の一実施形態において、駆動ユニットは、回転体に向けて空気を吹き付けるノズルを有する構成としても良い。 Further, in one embodiment of the present invention, the drive unit may have a nozzle for blowing air toward the rotating body.
また、本発明の一実施形態において、ノズルは、回転体を順方向に回転駆動する少なくとも一つの順方向噴射ノズルと、回転体を順方向と逆方向に回転駆動する少なくとも一つの逆方向噴射ノズルと、を含む構成としても良い。 Further, in one embodiment of the present invention, the nozzles are at least one forward injection nozzle that rotationally drives the rotating body in the forward direction and at least one reverse injection nozzle that rotationally drives the rotating body in the forward and reverse directions. And may be configured to include.
また、本発明の一実施形態において、駆動ユニットは、回転体の外周を囲う、回転軸方向に貫通する中空部を有し、中空部の内周にノズルが形成されている構成としても良い。 Further, in one embodiment of the present invention, the drive unit may have a hollow portion that surrounds the outer circumference of the rotating body and penetrates in the direction of the rotation axis, and a nozzle may be formed on the inner circumference of the hollow portion.
以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態について説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
図1、図2及び図3は、それぞれ動釣合い試験機1の主要部の正面図、右側面図及び平面図である。以下の説明において、図1における左右方向をX軸方向、紙面に垂直な方向をY軸方向、上下方向をZ軸方向とする。なお、Z軸方向は鉛直方向であり、X,Y軸方向は水平方向である。また、図1における手前側(紙面表側)を前、奥側(紙面裏側)を後ろとする。
1, FIG. 2 and FIG. 3 are a front view, a right side view, and a plan view of a main part of the
本実施形態の動釣合い試験機1は、過給機のタービンロータ等の羽根を有する回転体(被試験体W)の動釣合い試験に適したものである。動釣合い試験機1は、被試験体Wの羽根に風を吹き付けることにより被試験体Wを回転駆動し、そのときに発生する振動を測定して、この振動の測定結果に基づいて被試験体Wの動的釣合いを計測することができるように構成されている。
The dynamic
動釣合い試験機1は、被試験体Wをその回転軸をZ軸方向に向けた姿勢で回転可能に保持する振動ユニット200と、振動ユニット200に保持された被試験体Wの羽根に風を吹き付けることによって被試験体Wを回転駆動する駆動ユニット300と、振動ユニット200及び駆動ユニット300を支持する架台100を備えている。また、動釣合い試験機1は、更に、後述するガイドユニット400、変更ユニット500及び移動ユニット600を備えている。なお、図1−3においては、駆動ユニット300、ガイドユニット400、変更ユニット500及び移動ユニット600が図示省略されている。
The
図1−3に示されるように、振動ユニット200は、Z軸方向に伸びる一本の縦ばね(第一ばね)110とY軸方向に延びる四本の横ばね(第二ばね)120によって架台100に支持されている。縦ばね110及び横ばね120は、長手方向において実質剛体であり、実質曲げ変形のみを許容する、丸棒状の部材である。縦ばね110は、振動ユニット200を上方から吊下げて支持し、横ばね120は、振動ユニット200を後側から支持している。振動ユニット200は、縦ばね110によってZ軸方向の変位が規制され、横ばね120によってY軸方向の変位が規制されるため、実質的にX方向の並進運動(振動)及びY軸周りの回転運動(振動)のみが許容されている。
As shown in FIG. 1-3, the
架台100は、振動ユニット200のX軸方向の振動を測定する二つの振動センサユニット130と、被試験体Wの回転位相を検出する位相センサユニット140を備えている。一方の振動センサユニット130は、測定子132の先端が振動ユニット200の背面の上端付近に接続され、振動ユニット200の上面側の振動変位を測定する。また、他方の振動センサユニット130は、測定子132の先端が振動ユニット200の背面の下端付近に接続され、振動ユニット200の下面側の振動変位を測定する。また、位相センサユニット140は、被試験体Wの回転位相を光学的に非接触で検出する装置である。位相センサユニット140は、架台100の上部に取り付けられ、被試験体Wの回転位相を真上から検出する。
The
図4は、振動ユニット200の分解図である。振動ユニット200は、ベース210と、ボルトによってベース210の前面に着脱可能に固定された軸受ユニット220を備えている。軸受ユニット220は、空気軸受を形成して、被試験体Wを回転可能に保持する。
FIG. 4 is an exploded view of the
ベース210は、X軸及びZ軸のそれぞれと平行な辺を有する略矩形の金属板である。ベース210の上部には、Y方向に貫通する円形の開口214が形成されている。開口214を設けることにより、振動ユニット200が軽量化するため、測定感度が向上する。
The
ベース210の略中央には、Y方向に貫通する略矩形の縦ばね取付用開口211が形成されている。また、ベース210は、縦ばね110をベース210に取り付けるための縦ばね取付部材219を備えている。縦ばね取付部材219は、縦ばね取付用開口211に差し込まれて、ボルトによってベース210の本体に着脱可能に固定される。
A substantially rectangular vertical
また、ベース210には、Z軸方向に延びる二つの逃がし穴212a、212bが、開口214の中心を通る直線上に形成されている。上側の逃がし穴212aは、ベース210の上面から開口214まで貫通し、下側の逃がし穴212bは開口214の下端から縦ばね取付用開口211まで貫通している。縦ばね110は、逃がし穴212a、開口214及び逃がし穴212bに通される。縦ばね110の先端部は、縦ばね取付用開口211に差し込まれた縦ばね取付部材219の縦ばね取付部219aに差し込まれて取り付けられる。逃がし穴212a、212bは、縦ばね110と接触しないように、縦ばね110の外径よりも十分に大きな内径で形成されている。
Further, in the
また、略矩形のベース210の四隅には、横ばね120の先端部を取り付ける横ばね取付部213が設けられている。縦ばね取付用開口211は、四つの横ばね取付部213の配列の中心位置C(すなわち、各横ばね取付部213との距離が等しくなる位置)が縦ばね取付用開口211の略中心に位置するように形成されている。そのため、本実施形態では、縦ばね取付部材219によって縦ばね110がベース210に取り付けられる位置(縦ばね取付位置P)は、中心位置Cと一致する。
Further, at the four corners of the substantially
軸受ユニット220が取り付けられるベース210の下部の前面には、軸受ユニット220を位置決めするためのZ軸方向に延びるキー217が設けられている。また、ベース210の下部には、軸受ユニット220に供給される圧縮空気が流れる空気供給穴215、216が、Y軸方向に貫通している。
A key 217 extending in the Z-axis direction for positioning the
本実施形態の振動ユニット200は、軸受ユニット220に保持された被試験体Wの重心のベース210上への投影が縦ばね取付位置Pと重なるように構成されている。言い換えれば、縦ばね取付位置PからY軸方向に延びる直線上又はその近傍に被試験体Wの重心が配置されるように構成されている。
The
動釣合い試験機は、被試験体の上面側(下面側)の所定の不釣合い量による振動ユニットの上面側(下面側)の変位から被試験体の下面側(上面側)の所定の不釣合い量による振動ユニットの上面側(下面側)の変位を引いた差分値が大きいほど測定感度が高くなる。図5及び図6を参照して以下に説明するように、本実施形態の振動ユニット200は、特許文献1に記載されているような従来構成と比較して上記の差分値が大きくなり、従って従来構成よりも測定感度が高くなっている。
In the dynamic balance tester, the displacement of the upper surface side (lower surface side) of the vibration unit due to the predetermined disproportionate amount on the upper surface side (lower surface side) of the test object causes the predetermined imbalance on the lower surface side (upper surface side) of the test object. The larger the difference value obtained by subtracting the displacement of the upper surface side (lower surface side) of the vibration unit due to the amount, the higher the measurement sensitivity. As will be described below with reference to FIGS. 5 and 6, the
図5は、比較例である振動ユニット200´において動釣合い試験時に発生する振動変位を説明する図である。また、図6は、本実施形態の振動ユニット200において動釣合い試験時に発生する振動変位を説明する図である。図5においては、本実施形態の振動ユニット200と対応する構成には、本実施形態と同じ符号を付してある。比較例の振動ユニット200´は、本実施形態の振動ユニット200と異なり、縦ばね取付位置P´がベースの上端部中央に位置する。
FIG. 5 is a diagram for explaining the vibration displacement generated during the dynamic balance test in the vibration unit 200', which is a comparative example. Further, FIG. 6 is a diagram for explaining the vibration displacement generated during the dynamic balance test in the
図5及び図6において、Oは縦ばね110が架台100に固定される縦ばね固定位置、Gは被試験体Wの重心位置、Moは不釣合いを与えるために被試験体Wに取り付けられる錘、Fは被試験体Wに取り付けられた錘Moの回転によって生じる遠心力、Uu(U´u)は錘Moを被試験体Wの上面側に取り付けた状態で測定される振動ユニット200(200´)の上面側のX方向変位、Ul(U´l)は錘Moを被試験体Wの下面側に取り付けた状態で測定される振動ユニット200(200´)の上面側のX方向変位、Lu(L´u)は錘Moを被試験体Wの上面側(下面側)に取り付けた状態で測定される振動ユニット200(200´)の下面側のX方向変位、Ll(L´l)は錘Moを被試験体Wの下面側に取り付けた状態で測定される振動ユニット200(200´)の下面側のX方向変位を示している。変位Uu(U´u)及びUl(U´l)は上側の振動センサユニット130によって測定され、変位Lu(L´u)及びLl(L´l)は下側の振動センサユニット130によって測定される。
In FIGS. 5 and 6, O is the vertical spring fixing position where the
なお、振動ユニット200(200´)の変位は、縦ばね固定位置Oを支点とした縦ばね110のY軸周りの曲げ振動による変位と、縦ばね取付位置P(P´)を支点とした縦ばね110のY軸周りの曲げ振動による変位の和となるが、縦ばね取付位置P(P´)の違いに起因する振動ユニット200(200´)のX方向変位の違いを説明するため、以下では、変位Uu、Ul、Lu、Ll(U´u、U´l、L´u、L´l)を、縦ばね取付位置P(P´)を支点とした縦ばね110のY軸周りの曲げ振動による変位として説明する。また、遠心力Fは被試験体Wの回転位相によって方向が変化するが、以下の説明においては、X軸正方向(図中右方向)に遠心力が働いている状態について説明する。
The displacement of the vibration unit 200 (200') is the displacement due to bending vibration around the Y axis of the
図5(a)及び図6(a)は、被試験体Wの上面側に錘Moを付加した場合を説明する図であり、図5(b)及び図6(b)は、被試験体Wの下面側に錘Moを付加した場合を説明する図である。図5(a)に示されるように、比較例の振動ユニット200´において上面側に錘Moを付加した場合、遠心力Fによって、縦ばね取付位置P´を軸に図中反時計回りに振動ユニット200´を回転させるモーメントが発生する。このため、変位U´u及び変位L´uは、双方ともX軸正方向(図中右方向)の変位となる(但し、変位U´uの大きさは非常に小さい)。また、図5(b)に示されるように、比較例の振動ユニット200´において被試験体Wの下面側に錘Moを付加した場合も、遠心力Fによって、縦ばね取付位置P´を軸に図中反時計回りに振動ユニット200´を回転させるモーメントが発生する。このため、変位U´l及び変位L´lは、双方ともX軸正方向の変位となる。すなわち、錘Moを被試験体Wの上面側に付加するか下面側に付加するかに拘わらず、振動ユニット200´の上面側と下面側は同じ方向に変位する。 5 (a) and 6 (a) are views for explaining the case where the weight Mo is added to the upper surface side of the test object W, and FIGS. 5 (b) and 6 (b) are the test body. It is a figure explaining the case where the weight Mo is added to the lower surface side of W. As shown in FIG. 5A, when a weight Mo is added to the upper surface side of the vibration unit 200'of the comparative example, it vibrates counterclockwise in the figure around the vertical spring mounting position P'by the centrifugal force F. A moment is generated to rotate the unit 200'. Therefore, the displacement U'u and the displacement L'u are both displacements in the positive direction of the X-axis (right direction in the figure) (however, the magnitude of the displacement U'u is very small). Further, as shown in FIG. 5 (b), even when the weight Mo is added to the lower surface side of the test object W in the vibration unit 200'of the comparative example, the vertical spring mounting position P'is shafted by the centrifugal force F. A moment is generated to rotate the vibration unit 200'counterclockwise in the figure. Therefore, both the displacement U'l and the displacement L'l are displacements in the positive direction of the X-axis. That is, regardless of whether the weight Mo is added to the upper surface side or the lower surface side of the test piece W, the upper surface side and the lower surface side of the vibration unit 200'displace in the same direction.
従って、比較例の振動ユニット200´においては、錘Moを被試験体Wの上面側に付加するか下面側に付加するかに拘わらず、縦ばね固定位置Oを支点とした遠心力FによるX軸正方向(図中右方向)の変位に、同じくX軸正方向の変位U´u、U´l、L´u、L´lが加算されて、振動ユニット200´のX軸正方向(図中右方向)の変位が大きくなる。 Therefore, in the vibration unit 200'of the comparative example, regardless of whether the weight Mo is added to the upper surface side or the lower surface side of the test object W, X due to the centrifugal force F with the vertical spring fixing position O as the fulcrum The displacements in the positive direction of the X-axis (right direction in the figure) are added to the displacements U'u, U'l, L'u, and L'l in the positive direction of the X-axis, and the displacement in the positive direction of the X-axis of the vibration unit 200'( The displacement in the right direction in the figure becomes large.
これに対し、図6(a)に示されるように、本実施形態の振動ユニット200において被試験体Wの上面側に錘Moを付加した場合、遠心力Fによって、縦ばね取付位置Pを軸に図中時計回りに振動ユニット200を回転させるモーメントが発生する。このため、変位Uuは比較例と同様にX軸正方向(図中右方向)の変位となるが、変位Luは比較例と異なりX軸負方向(図中左方向)の変位となる。また、図6(b)に示されるように、被試験体Wの下面側に錘Moを付加した場合は、縦ばね取付位置Pを軸に図中反時計回りに振動ユニット200を回転させるモーメントが発生する。このため、変位Llは比較例と同様にX軸正方向(図中右方向)の変位となるが、変位Ulは比較例と異なりX軸負方向(図中左方向)の変位となる。
On the other hand, as shown in FIG. 6A, when the weight Mo is added to the upper surface side of the test object W in the
従って、本実施形態の振動ユニット200においては、錘Moを被試験体Wの上面側に付加した場合は、振動ユニット200の上面側の変位は、縦ばね固定位置Oを支点とした遠心力FによるX軸正方向(図中右方向)の変位に同じくX軸正方向の変位Uuが加算されて変位が大きくなり、振動ユニット200の下面側の変位は、縦ばね固定位置Oを支点とした遠心力FによるX軸正方向(図中右方向)の変位からX軸負方向(図中左方向)の変位Luが減算されて変位が小さくなる。同様に、錘Moを被試験体Wの下面側に付加した場合は、振動ユニット200の下面側の変位は、縦ばね固定位置Oを支点とした遠心力FによるX軸正方向(図中右方向)の変位に同じくX軸正方向の変位Llが加算されて変位が大きくなり、振動ユニット200の上面側の変位は縦ばね固定位置Oを支点とした遠心力FによるX軸正方向(図中右方向)の変位からX軸負方向(図中左方向)の変位Ulが減算されて変位が小さくなる。
Therefore, in the
以上から、本実施形態の振動ユニット200は、比較例の振動ユニット200´と比較して、被試験体Wの上面側(下面側)の所定の不釣合い量に対する振動ユニット200の上面側(下面側)の変位から被試験体Wの下面側(上面側)の所定の不釣合い量に対する振動ユニット200の上面側(下面側)の変位を引いた差分値が大きくなる。上述したように、上記の差分値が大きいほど動釣合い試験機の感度が高くなるため、本実施形態の振動ユニット200は、比較例の振動ユニット200´と比較して感度が高いということができる。
From the above, the
また、本実施形態の振動ユニット200は、四つの横ばね取付部213の中心位置Cと縦ばね取付位置Pが一致しているため、錘Moを被試験体Wの上面側に付加した場合の振動ユニット200の図5−6における時計回りの回転角と、錘Moを被試験体Wの下面側に付加した場合の振動ユニット200の図中反時計回りの回転角とが実質等しくなる。そのため、被試験体Wの上面側の不釣合いに対する測定感度と、被試験体Wの下面側の不釣合いに対する測定感度を等しくすることができ、不釣り合いが上面側にあるか下面側にあるかに拘わらず高精度で不釣り合いを測定することができる。
Further, in the
なお、ベース210の形状や縦ばね110と横ばね120の配置は、本実施形態のものに限定されない。四つの横ばね取付部213が配列される平面が被試験体Wの回転軸に平行であり、また、四つの横ばね取付部213の配列の中心位置C、縦ばね取付位置P及び被試験体Wの重心の位置関係が上述のような関係(すなわち、中心位置C、縦ばね取付位置P及び被試験体Wの重心がY軸方向に並び、且つ、中心位置Cと縦ばね取付位置Pとが一致するという位置関係)となっていればよい。また、ベース210と軸受ユニット220は、一つの部材として一体に形成されていても良い。また、横ばね120の本数も、ベース210を安定して支持できる三本以上であれば良い。
The shape of the
図7及び図8は、それぞれ軸受ハウジング221の平面図及び軸受ユニット220の横断面図である。図4及び図8に示されるように、軸受ユニット220は、軸受ハウジング221、ラジアル軸受部材222、スラスト軸受部材223、位置決め部材224、固定部材225及び封止部材226を備えている。ラジアル軸受部材222、スラスト軸受部材223及び封止部材226は、それぞれ交換可能であり、被試験体Wのジャーナルの外径に適合したものが使用される。
7 and 8 are a plan view of the bearing
ラジアル軸受部材222は軸受ハウジング221内に収容され、スラスト軸受部材223はラジアル軸受部材222の上面に載置される。位置決め部材224は、スラスト軸受部材223をラジアル軸受部材222に対して位置決めする部材である。固定部材225は、ラジアル軸受部材222、スラスト軸受部材223及び位置決め部材224を軸受ハウジング221に対して位置決め固定する部材である。封止部材226は、後述する空間Srの下端を封止するOリング227Aを下側から押圧して固定する部材である。
The
軸受ハウジング221には、Z軸方向に貫通する略円柱状の中空部221Aが形成されている。中空部221Aは、主要部分である大径部221Aaと、下端部に形成された、大径部221Aaより小さい径の小径部221Abを有する段付き形状となっている。また、図7に示されるように、軸受ハウジング221には、ベース210に設けられたキー217と嵌合し、ベース210に対して軸受ハウジング221を位置決めする溝221Fが形成されている。
The bearing
軸受ハウジング221には、空気軸受を形成するための圧縮空気が流れる流路221B、221Cが形成されている。流路221Bを流れる圧縮空気はラジアル軸受部材222に供給され、流路221Cを流れる圧縮空気はスラスト軸受部材223に供給される。流路221B、221Cの一端(入口)は、それぞれ、Oリング218A、218Bを介して、ベース210の空気供給穴215、216に接続されている。
The bearing
中空部221Aの大径部221Aaには、流路221Bの他端(出口221Be)が開口している。また、図7に示されるように、軸受ハウジング221の上面には、中空部221Aと同心に、二つの環状の溝221D及び221Eが形成されている。流路221Cの出口221Ceは、外側の溝221Dの底面に開口している。また、内側の溝221Eには、Oリング227Bが収容される。
The other end (outlet 221Be) of the
ラジアル軸受部材222は、略筒状の部材であり、Z軸方向に貫通する略円柱状の中空部222Eが形成されている。中空部222Eには、被試験体Wのジャーナルが差し込まれる。ラジアル軸受部材222は、その外径により、下側から順に、筒状部222A、フランジ部222B及び突出部222Cに区分される。
The
筒状部222Aは、軸受ハウジング221の中空部221A内に収容される最も外径が細い略円筒状の部分であり、中空部221Aの小径部221Abの内径と略同じ外径を有する。
The
フランジ部222Bは、軸受ハウジング221の外側の溝221Dよりも大きい外径を有する、円板状の部分である。フランジ部222Bは、ラジアル軸受部材222が軸受ハウジング221に装着された状態において、軸受ハウジング221の上面に載置される。
The
突出部222Cは、フランジ部222Bの上面の中央部から上方に突出する、フランジ部222Bより小さい外径を有する略円筒状の部分である。
The protruding portion 222C is a substantially cylindrical portion having an outer diameter smaller than that of the
ラジアル軸受部材222のフランジ部222Bの下面には、Oリング227Cが収容される環状の溝222Dが同心に形成されている。溝222Dの内周は軸受ハウジング221の溝221Dの内周と略同径であり、溝222Dの幅は溝221Dより大きく形成されている。
An
ラジアル軸受部材222の中空部222Eは、Z軸方向中央部に位置する大径部222Eaと、上部に位置する小径部222Ebと、下部に位置する小径部222Ecを有する。小径部222Ebは突出部222Cに形成され、大径部222Eaは筒状部222Aの上部に形成され、小径部222Ecは筒状部222Aの下部に形成される。また、小径部222Eb、222Ecの周面と被試験体Wのジャーナルとの間には、ラジアル空気軸受が形成される。
The
筒状部222Aの下部には、筒状部222Aを径方向に貫通して小径部222Ecに開口する複数のラジアル軸受空気供給孔222Fが、周方向において等間隔に形成されている。また、ラジアル軸受部材222の上部(軸受ハウジング221の外部に配置されたフランジ部222B及び突出部222Cからなる部分)にも、ラジアル軸受部材222の外周と内周とを連絡する複数のラジアル軸受空気供給孔222Gが、周方向において等間隔に形成されている。ラジアル軸受空気供給孔222Gの一端(入口)はフランジ部222Bの付け根の下面(中空部221Aの周縁部に面する位置)に開口し、他端(出口)は小径部222Ebの内周面に開口する。また、ラジアル軸受部材222の上部には、溝222Dの内周の下端部と小径部222Ebの内周の上端部とを連絡する複数のスラスト軸受空気供給孔222Hが、周方向において等間隔に形成されている。
At the lower part of the
ラジアル軸受部材222が軸受ハウジング221に装着された状態において、ラジアル軸受部材222の筒状部222Aと軸受ハウジング221の中空部221A(大径部221Aa)の周面との間には、円筒状の空間Srが形成される。この空間Srは、流路221Bの出口221Beから供給される圧縮空気によって満たされる。
In a state where the
また、軸受ハウジング221の溝221Dと、ラジアル軸受部材222の溝222D内周の下端部と、Oリング227Cとで囲まれた空間Ssが形成される。この空間Ssは、流路221Cの出口221Ceから供給される圧縮空気によって満たされる。空間SrはOリング227A及び227Bによって封止され、空間SsはOリング227B及び227Cによって封止される。ラジアル軸受空気供給孔222F、222Gは、その一端(入口)において空間Srに連絡しており、空間Sr内の圧縮空気を小径部222Eb、222Ecに供給する。また、スラスト軸受空気供給孔222Hは、空間Ssに連絡しており、空間Ss内の圧縮空気をスラスト軸受部材223の内周に供給する。
Further, a space Ss surrounded by the
スラスト軸受部材223は、ラジアル軸受部材222の突出部222Cと略同じ内径及び外径を有する穴空き円板状(平座金状)の精密部材である。スラスト軸受部材223の開口223Aには、被試験体Wのジャーナルが通される。スラスト軸受空気供給孔222Hから圧縮空気が供給されていない状態において、被試験体Wのフランジ部Waが、スラスト軸受部材223の上面の内周部に載置される。
The
スラスト軸受空気供給孔222Hから圧縮空気が供給されると、スラスト軸受部材223の上面の内周部と被試験体Wのフランジ部Waとの間にスラスト空気軸受が形成され、被試験体Wがスラスト軸受部材223から浮上する。また、圧縮空気の供給を停止すると、被試験体Wが降下して、フランジ部Waがスラスト軸受部材223の上に載置される。被試験体Wの回転が完全に止まる前に圧縮空気の供給が停止されると、フランジ部Waとスラスト軸受部材223とが擦れるため、スラスト軸受部材223の上面が徐々に摩耗する。スラスト軸受部材223の摩耗量が大きくなると、良好なスラスト空気軸受が得られなくなり、被試験体Wの浮上が不安定になる。そのため、スラスト軸受部材223は定期的に交換する必要がある。本実施形態のスラスト軸受部材223は、平板状に形成されているため、スラスト軸受部材223を裏返して、その両面をスラスト空気軸受の形成に使用することができる。これにより、スラスト軸受部材223の寿命が実質的に2倍に延びるため、スラスト軸受部材223の交換に要するコストの削減が可能になる。
When compressed air is supplied from the thrust bearing
位置決め部材224は、Z軸方向に貫通する略円柱状の中空部224Cが形成された環状の部材であり、フランジ部224Aと円筒部224Bを有する。円筒部224Bは、鉛直に延びる略円筒状の部分である。円筒部224Bの内径は、ラジアル軸受部材222の突出部222C及びスラスト軸受部材223の外径と略同径であり、円筒部224Bの中空部224Cにはラジアル軸受部材222の突出部222C及びスラスト軸受部材223が隙間なく収容される。
The positioning
フランジ部224Aは、円筒部224Bの下端部から外周に突出した略円板状の部分であり、ラジアル軸受部材222のフランジ部222Bと略同じ外径を有する。
The
また、円筒部224Bの上端部には、内周に突出する爪224hが全周に亘って形成されている。爪224hの内径は、突出部222Cやスラスト軸受部材223の外径より小さく、スラスト軸受部材223の開口223Aより大きい。
Further, at the upper end portion of the
また、位置決め部材224の中空部224Cの深さ(フランジ部224Aの下面から爪224hの下面までの距離)は、ラジアル軸受部材222の突出部222Cの高さとスラスト軸受部材223の高さを足し合わせた大きさになっている。そのため、位置決め部材224の中空部224Cには、ラジアル軸受部材222の突出部222C及びスラスト軸受部材223が上下方向においても隙間なく収容されるようになっている。すなわち、位置決め部材224によって、スラスト軸受部材223がラジアル軸受部材222に対して位置決めされる構造となっている。
Further, the depth of the
固定部材225は、環状の部材である。固定部材225は、底面から上面の手前まで形成された円柱状の中空部225Aと、中空部225Aの上端から固定部材225の上面まで貫通する円形の開口225Bを有する。中空部225Aは、ラジアル軸受部材222のフランジ部222Bや位置決め部材224の円筒部224Bと略同径である。開口225Bは、中空部225Aと同心に形成され、中空部225Aより小さく、位置決め部材224の円筒部224Bより大きい径を有する。また、固定部材225には、中空部225Aより外側に、固定用の螺子を通す穴が四か所形成されている。
The fixing
中空部225Aは、ラジアル軸受部材222のフランジ部222Bの高さと位置決め部材224のフランジ部224Aの高さを足し合わせた深さに形成されている。従って、固定部材225の下面が軸受ハウジング221の上面に接している状態において、フランジ部224Aの上面が中空部225Aの上端面に接し、フランジ部224Aの下面がフランジ部222Bの上面に接し、フランジ部222Bの下面が軸受ハウジング221の上面に接した状態となる。すなわち、固定部材225を軸受ハウジング221に対して固定することによって、位置決め部材224、スラスト軸受部材223及びラジアル軸受部材222が軸受ハウジング221に固定される構造となっている。
The
固定部材225の軸受ハウジング221に対する固定によって位置決め部材224、スラスト軸受部材223及びラジアル軸受部材222を軸受ハウジング221に固定する構成とすることにより、固定部材225を固定する螺子の脱着のみによるラジアル軸受部材222、スラスト軸受部材223及び位置決め部材224の交換が可能になる。そのため、被試験体Wの寸法に合わせた軸受用の部品の交換が容易になるだけでなく、摩耗し易いスラスト軸受部材223等の部品の保守交換も容易になる。また、スラスト軸受部材223は、その両面を、スラスト空気軸受を形成する面に使用することができるよう形成されているため、片面が摩耗した場合でも、もう一方の面を軸受面にして再利用でき、部品の交換頻度を少なくすることができる。更に、本実施形態のようにスラスト軸受部材223を成形し易い形状とすることにより、部品の単価も抑えることが可能になる。
The positioning
なお、スラスト軸受部材223の交換が容易且つその両面がスラスト軸受面として利用できるよう構成されていれば部品の交換頻度を少なくすることができるため、位置決め部材224と固定部材225は、一つの部品として形成されていても良い。また、スラスト軸受部材223の形状も、円板状ではなく、裏返しても使用可能な異なる形状を有していても良い。更に、軸受ハウジング221とラジアル軸受部材222が一つの部品として形成されていても良い。
The positioning
図9、図10及び図11は、それぞれ動釣合い試験機1の付加機構部(駆動ユニット300、ガイドユニット400、変更ユニット500及び移動ユニット600)の正面図、右側面図及び平面図である。
9, 10 and 11 are a front view, a right side view and a plan view of an additional mechanism unit (
図9−11に示されるように、駆動ユニット300は、噴射ノズル部材310と、中継部材320を備えている。噴射ノズル部材310は略矩形の金属部材であり、Z軸方向に貫通する円柱状の中空部311が形成されている。中空部311は、試験時に被試験体Wの羽根の周囲を囲う部分である。従って、中空部311の内周面が被試験体Wと接触しないように、被試験体Wの外径よりも十分に大きな径で形成されている。
As shown in FIG. 9-11, the
中空部311の内周面には、被試験体Wに向けて空気を噴射する三つのノズル312が形成されている。三つのノズル312のうち二つは、被試験体Wを順方向(上方から見て反時計回り)に回転駆動するよう配向された順方向噴射ノズル312Aであり、一つは被試験体Wを順方向と逆方向(上方から見て時計回り)に回転駆動するよう配向された逆方向噴射ノズル312Bである。
Three nozzles 312 for injecting air toward the test piece W are formed on the inner peripheral surface of the
噴射ノズル部材310には、流路313A、313Bが形成されている。流路313Aは、一端が噴射ノズル部材310の下面右側に開口し、他端が分岐して二つの順方向噴射ノズル312Aと連絡している。流路313Bは、一端が噴射ノズル部材310の下面左側に開口し、他端が逆方向噴射ノズル312Bと連絡している。
噴射ノズル部材310は、動釣合い試験時には、順方向噴射ノズル312Aによって被試験体Wを反時計回りに回転駆動し、測定終了後は逆方向噴射ノズル312Bによって時計回りの駆動力を発生させることにより被試験体Wの回転にブレーキをかける。逆方向噴射ノズル312Bによって回転にブレーキをかけるよう構成することによって、測定終了から被試験体Wの取り外しまでにかかる試験時間を短縮することができる。
During the dynamic balance test, the
中継部材320は、噴射ノズル部材310の下面右端に固定される中継部材320Aと、噴射ノズル部材310の下面左端に固定される中継部材320Bに分かれている。中継部材320A、320Bには、それぞれ流路322A、322Bが形成されている。流路322A、322Bの一端は、それぞれ噴射ノズル部材310の流路313A、313Bに接続される。また、流路322A、322Bの他端は、連結部321A、321Bを介して、対応する圧縮空気供給源(不図示)にそれぞれ連結されている。
The relay member 320 is divided into a
なお、駆動ユニット300は、被試験体Wに空気を吹付けて回転駆動するためのノズルを備えていれば、本実施形態の構成に限定されない。例えば、順方向噴射ノズル312Aが一つ以上あれば被試験体Wを回転駆動することが可能であるため、噴射ノズル部材310には一つ以上の順方向噴射ノズル312Aが設けられていれば良い。なお、逆方向噴射ノズル312Bの代わりに、被試験体Wのジャーナル等に接触して摩擦力によりブレーキをかける機構等の異なるブレーキ手段を設けても良い。
The
駆動ユニット300は、ガイドユニット400、変更ユニット500及び移動ユニット600を介して架台100に支持されている。ガイドユニット400は、四本の支持ロッド410と、四つのガイド420と、二つのガイド支持台430A、430Bを備えている。
The
支持ロッド410は円柱状の部材であり、二本はその上端が中継部材320Aに、残りの二本はその上端が中継部材320Bに固定されている。
The
ガイド420は、支持ロッド410をその軸方向に摺動可能に支持する中空部421が形成された円筒部材である。ガイド420の上端部には、ガイド420の下部より大きい径を有する大径部422が形成されている。
The
ガイド支持台430A、430Bは、Y軸方向から見てクランク状に形成された、Y軸方向に延びる金属部材であり、X軸方向において対向して配置されている。ガイド支持台430A、430Bは、それぞれ、固定部431A、431B、鉛直部432A、432B及びガイド支持部433A、433Bを有している。鉛直部432A、432Bは、X軸と垂直に配置された矩形平板状の部分である。鉛直部432A、432Bの下端からは、それぞれ、ガイド支持台430A、430Bを架台100にボルト固定するための固定部431A、431Bが、X軸方向外側に突出している。また、鉛直部432A、432Bの上端からは、それぞれ、ガイド420を支持するガイド支持部433A、433Bが、X軸方向内側に突出している。
The guide supports 430A and 430B are metal members formed in a crank shape when viewed from the Y-axis direction and extending in the Y-axis direction, and are arranged so as to face each other in the X-axis direction. The
固定部431A、431Bには、ガイド支持台430A、430Bを架台100に固定する固定用ボルトを通す複数の穴が形成されている。
The fixing
ガイド支持台430Aの鉛直部432Aの上部中央には、X軸方向に貫通する略矩形の開口432Aaが形成されている。
A substantially rectangular opening 432Aa penetrating in the X-axis direction is formed in the upper center of the
ガイド支持部433A、433Bには、二つの円柱状の貫通穴430Aa、430BaがそれぞれZ軸方向に貫通している。貫通穴430Aa、430Baはガイド420の下部の外径と略同径であり、ガイド420の下部が収容される。ガイド420は、大径部422がガイド支持部433A、433Bの上面に載置された状態で、ガイド支持部433A、433Bに支持される。
Two columnar through holes 430Aa and 430Ba penetrate the
ガイド支持台430Aの貫通穴430Aaに収容されるガイド420の中空部421には、駆動ユニット300の中継部材320Aに固定された支持ロッド410が摺動可能に挿入される。また、ガイド支持台430Bの貫通穴430Baに収容されるガイド420には、中継部材320Bに固定された支持ロッド410が挿入される。ガイド支持台430A、430Bは、ガイド支持部433Aを左側、ガイド支持部433Bを右側に向けて、X軸方向に間隔を空けて架台100上に固定される。駆動ユニット300は、ガイドユニット400によって、架台100に対してZ軸方向にのみ移動可能にガイドされる。
A
駆動ユニット300は、上下方向に自由に移動しないよう、ガイドユニット400の支持ロッド410、変更ユニット500及び移動ユニット600を介して架台100上に支持されている。
The
変更ユニット500は、支持部材510と、螺子520と、連結部530と、ロック部材540を備えている。
The
支持部材510は、小径部511及び大径部512を有する、Z軸方向に延びる段付きの円柱状部材である。支持部材510は、小径部511を下側にした状態で移動ユニット600に支持されている。また、支持部材510の上面には、螺子520を回転可能に支持する、Z軸方向に延びる円柱状の穴513が形成されている。
The
螺子520は、雄螺子である螺子部521と、操作部522を備えている。また、螺子部521は、支持部材510に形成された穴513と略同径であり、その先端部を穴513に挿入することにより、支持部材510上に回転可能に支持される。操作部522は、螺子部521を軸周りで回転させる際に操作するためのノブである。
The
連結部530は、昇降部材531と、支持ロッド連結部材532を備えている。昇降部材531は、Y軸方向から見てクランク状に形成された金属部材である。昇降部材531は、X軸方向に延びる螺子嵌合部531Aと、螺子嵌合部531AのX軸負方向端から下方に延びる鉛直部531Bと、鉛直部531Bの下端からX軸負方向に延びる固定部531Cを備えている。固定部531Cは、その横断面がガイド支持台430Aの鉛直部432Aに形成された開口432Aaより小さく形成されていて、開口432Aaを貫通している。
The connecting
螺子嵌合部531Aには、そのX軸方向およびY軸方向における中央付近に、Z軸方向に貫通する雌螺子531Aaが形成されている。雌螺子531Aaには、螺子部521が嵌合する。また、螺子嵌合部531Aには、そのX軸正方向端付近に、Z軸方向に貫通する雌螺子531Abが形成されている。固定部531Cは、そのX軸負方向における端部が、固定部材(不図示)によって、支持ロッド連結部材532のX軸正方向における端部に固定されている。
A female screw 531Aa penetrating in the Z-axis direction is formed in the screw
支持ロッド連結部材532は、水平に配置された、略矩形の金属板である。支持ロッド連結部材532は、そのX軸方向寸法及びY軸方向寸法が、それぞれ噴射ノズル部材310のX方向寸法及びY軸方向寸法と略同寸法に形成されている。
The support
支持ロッド連結部材532の略矩形の四隅の近傍には、ガイドユニット400の支持ロッド410の下端部を通す開口532Aが形成されている。開口532Aに通された支持ロッド410は、固定部材532Bによって支持ロッド連結部材532に固定される。また、支持ロッド連結部材532には、振動ユニット200に支持されている被試験体Wのジャーナルと接触しないよう、被試験体Wの回転軸と略同軸にジャーナル逃げ開口(不図示)が形成されている。
Near the four corners of the substantially rectangular shape of the support
連結部530は、ガイドユニット400によって、移動可能な方向がZ軸方向に限定される。そのため、操作部522を操作して螺子520を回転させると、螺子部521と嵌合する雌螺子531Aaが形成された連結部530がZ軸方向に上下動する。連結部530の上下動に伴って、四本の支持ロッド410が同期して上下動し、支持ロッド410の上端に固定されている駆動ユニット300も上下動する。すなわち、変更ユニット500の操作部522を操作することにより、駆動ユニット300の高さ方向の位置が調整可能となっている。
The movable direction of the connecting
また、螺子嵌合部531Aには、雌螺子531AaからY軸方向に外部まで延びる雌螺子531Acが形成されている。雌螺子531Acには、ロック部材540の螺子部541(雄螺子)が嵌合する。螺子部541は、その先端を雌螺子531Aaに到達させることが可能な長さを有している。螺子部541の先端が雌螺子531Aaに到達するまで、ロック部材540の操作部542を回転させて螺子部541を捩じ込むことにより、螺子520の回転を防止することができる。
Further, the screw
すなわち、変更ユニット500を設けることにより、螺子520の操作部522やロック部材540の操作部542を回転させるという簡単な操作により、形状や寸法が異なる被試験体Wに合わせて駆動ユニット300のZ軸方向の位置を変更し固定することを可能にしている。
That is, by providing the changing
移動ユニット600は、アクチュエータ610とストッパ部620を備えている。アクチュエータ610は、変更ユニット500を昇降可能に支持する直動アクチュエータである。本実施形態では、アクチュエータ610としてエアシリンダが使用されている。アクチュエータ610の上面には、変更ユニット500の支持部材510の小径部511と略同径の、Z方向に延びる円柱状の中空部611が形成されている。中空部611は、アクチュエータ610に流体圧を供給する流体圧装置に接続されている。中空部611に挿入された小径部511を流体圧によって上下させることにより、変更ユニット500を介して駆動ユニット300を昇降させることが可能となっている。
The moving
ストッパ部620は、ストッパ621及び螺子部622(雄螺子)を備えている。螺子部622は、変更ユニット500の螺子嵌合部531Aに形成された雌螺子531Abと嵌合している。ストッパ部620は、アクチュエータ610の作動によって駆動ユニット300が降下した位置にあるときに、螺子部622の下端がストッパ621に突き当たるように構成されている。
The
移動ユニット600は、駆動ユニット300のZ軸方向位置を、被試験体Wに空気を吹き付けて被試験体Wを回転駆動する駆動位置と、駆動位置より低い待機位置との間で昇降させるよう構成されている。駆動ユニット300を駆動位置より低い待機位置に下げられるように構成することにより、被試験体Wの交換作業を容易にすることが可能となる。また、変更ユニット500も駆動ユニット300と共に昇降される構成となっているため、被試験体Wの交換の度に駆動ユニット300のZ方向位置を調整する手間を省くことができ、作業性も駆動ユニット300の位置精度も向上させることが可能となる。
The moving
待機位置の高さは、変更ユニット500の螺子嵌合部531Aの下面から突出している螺子部622の長さによって変更することができる。従って、雌螺子531Abに対する螺子部622の捩じ込み深さを調整することにより、例えば駆動位置を高い位置に変更しても、待機位置の高さを低い位置に維持することが可能である。このように構成することにより、駆動位置の変更による作業性の悪化を防止することが可能となる。また、図1及び図2に示されるように、動釣合い試験機1は、被試験体Wの着脱をより容易にするために、被試験体Wのジャーナルを下部から突上げて被試験体WのZ軸方向位置を上昇させる突上ユニット150も備えている。
The height of the standby position can be changed by the length of the
なお、ガイドユニット400、変更ユニット500及び移動ユニット600の位置関係は、上述の実施形態のような位置関係でなくとも、移動ユニット600による駆動ユニット300の昇降動作が、駆動位置と待機位置との間で行われる構成であれば、本実施形態のものに限定されない。例えば、変更ユニット500と移動ユニット600の位置を入れ替えた構成としても良い。また、変更ユニット500(移動ユニット600)が駆動ユニット300のZ軸方向位置を変更(移動)可能に直接支持し、移動ユニット600(変更ユニット500)がガイドユニット400を介して変更ユニット500(移動ユニット600)及び駆動ユニット300のZ軸方向位置を移動(変更)する構成としても良い。更に、ガイドユニット400を設けずに、駆動ユニット300を最上段にして駆動ユニット300、変更ユニット500及び移動ユニット600を重ねた構成としても良い。
Even if the positional relationship between the
以上が本発明の実施形態の一例の説明である。本発明の実施形態は、上記に説明したものに限定されず、特許請求の範囲の記載により表現された技術的思想の範囲内において様々な変形が可能である。例えば明細書中に例示的に明示された実施形態等又は自明な実施形態等を適宜組み合わせた内容も本願の実施形態に含まれる。 The above is the description of an example of the embodiment of the present invention. The embodiment of the present invention is not limited to that described above, and various modifications can be made within the scope of the technical idea expressed by the description of the scope of claims. For example, the embodiment of the present application also includes a content obtained by appropriately combining an embodiment or the like or a self-evident embodiment or the like exemplified in the specification.
上記の実施形態では、軸受ユニット220がベース210の下端に固定され、被試験体Wが軸受ユニット220の上面側で支持されているが、被試験体Wの重心の、横ばね120を振動ユニット200に取り付ける位置により規定される平面への投影が、縦ばね110を振動ユニット200に取り付ける位置の近傍に位置するよう構成されていれば、軸受ユニット220をベース210の上側に固定し、被試験体Wを軸受ユニット220の下面側に吊下げる構成としても良い。
In the above embodiment, the
上記の実施形態では、被試験体である被試験体Wの回転軸が鉛直になるよう振動ユニット200に支持されているが、上記の実施形態における座標軸を、X軸を中心に回転させた、被試験体Wの回転軸を傾けた構成としても良い。
In the above embodiment, the
上記の実施形態では、被試験体としてジャーナルを有する回転体を想定しているが、ラジアル軸受部材222を、中空部222Eではなく、スラスト軸受部材223の開口223Aを通って上方に突出する略円柱状の突出部を有する形状とし、当該突出部の外周面をラジアル空気軸受を形成する面とすることにより、回転軸が略円柱状の空洞となっている回転体に対応した動釣合い試験機とすることも可能である。
In the above embodiment, a rotating body having a journal is assumed as the test object, but the
Claims (11)
前記回転体を回転駆動可能な所定の駆動位置と、該回転体の着脱が容易な所定の待機位置との間で、前記駆動ユニットを該回転体の回転軸方向に移動可能な移動ユニットと、
前記駆動位置を前記回転軸方向に変更可能な変更ユニットと、
を備える、動釣合い試験機。 A drive unit capable of rotatably driving the rotating body by blowing air onto the rotatably supported rotating body,
A moving unit capable of moving the drive unit in the rotation axis direction of the rotating body between a predetermined driving position capable of rotationally driving the rotating body and a predetermined standby position where the rotating body can be easily attached and detached.
A change unit that can change the drive position in the direction of the rotation axis,
A dynamic balance tester equipped with.
前記駆動ユニットに固定され、該駆動ユニットと一体に移動可能な連結部材と、
前記移動ユニットによって前記回転軸方向に移動可能に支持された支持部材と、
前記支持部材と前記連結部材との間に介在し、前記回転軸方向における前記支持部材に対する前記連結部材の位置を調整可能な機構と、を備え、
前記移動ユニットが、前記支持部材を前記回転軸方向に移動させることにより、前記変更ユニットを介して前記駆動ユニットを移動可能であり、
前記変更ユニットが、前記回転軸方向における前記支持部材に対する前記連結部材の位置を調整することにより、前記駆動位置を前記回転軸方向に変更可能である、
請求項1に記載の動釣合い試験機。 The change unit
A connecting member fixed to the drive unit and movable integrally with the drive unit,
A support member movably supported in the direction of the rotation axis by the moving unit,
A mechanism that is interposed between the support member and the connecting member and can adjust the position of the connecting member with respect to the supporting member in the rotation axis direction is provided.
The moving unit can move the driving unit via the changing unit by moving the support member in the rotation axis direction.
The change unit can change the drive position in the rotation axis direction by adjusting the position of the connecting member with respect to the support member in the rotation axis direction.
The dynamic balance tester according to claim 1 .
前記回転軸方向に進退可能な第1の螺子機構を備え、
前記第1の螺子機構によって前記回転軸方向における前記支持部材に対する前記連結部材の位置を調整することにより、前記駆動位置を前記回転軸方向に変更可能である、
請求項2に記載の動釣合い試験機。 The change unit
A first screw mechanism capable of advancing and retreating in the direction of the rotation axis is provided.
By adjusting the position of the connecting member with respect to the support member in the direction of the rotation axis by the first screw mechanism, the drive position can be changed in the direction of the rotation axis.
The dynamic balance tester according to claim 2 .
前記連結部材の前記支持部材と対向する位置に形成された、前記回転軸方向に延びる第1の雌螺子と、
前記第1の雌螺子に嵌められると共に、一端部において前記支持部材に支持される第1の雄螺子と、を有し、
前記第1の雄螺子を回して前記回転軸方向に移動させることにより、該回転軸方向における前記支持部材に対する前記連結部材の位置を調整可能である、
請求項3に記載の動釣合い試験機。 The first screw mechanism
A first female screw extending in the direction of the rotation axis formed at a position of the connecting member facing the support member, and a first female screw.
It has a first male screw that is fitted to the first female screw and is supported by the support member at one end.
By turning the first male screw and moving it in the direction of the rotation axis, the position of the connecting member with respect to the support member in the direction of the rotation axis can be adjusted.
The dynamic balance tester according to claim 3 .
所定位置に固定されたストッパと、
前記連結部材の前記ストッパと対向する位置に形成された、前記回転軸方向に延びる第2の雌螺子と、
前記第2の雌螺子に嵌められ、一端が前記連結部材から前記ストッパに向かって突出した第2の雄螺子と、を有し、
前記待機位置において、前記第2の雄螺子の一端が前記ストッパに突き当たることにより、前記連結部材が固定された前記駆動ユニットの前記回転軸方向への移動を停止させ、
前記第2の雄螺子を回して前記回転軸方向に移動させることにより、前記待機位置を前記回転軸方向に調整可能である、
請求項2から請求項4のいずれか一項に記載の動釣合い試験機。 The change unit
With a stopper fixed in place,
A second female screw extending in the rotation axis direction formed at a position facing the stopper of the connecting member, and
It has a second male screw that is fitted into the second female screw and one end of which protrudes from the connecting member toward the stopper.
At the standby position, one end of the second male screw abuts on the stopper to stop the movement of the drive unit to which the connecting member is fixed in the direction of the rotation axis.
By turning the second male screw to move it in the direction of the rotation axis, the standby position can be adjusted in the direction of the rotation axis.
The dynamic balance tester according to any one of claims 2 to 4 .
前記ガイドユニットが、
前記駆動ユニットに固定された支持ロッドと、
前記支持ロッドを前記回転軸方向に移動可能に支持するガイドと、を備えた、
請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の動釣合い試験機。 A guide unit that regulates the movement of the drive unit in the direction of the rotation axis is provided.
The guide unit
A support rod fixed to the drive unit and
A guide that movably supports the support rod in the direction of the rotation axis is provided.
Dynamic balancing machine according to any one of claims 1 to 5.
前記連結部材により、前記複数の支持ロッドが連結された、
請求項2を直接又は間接的に引用する請求項6に記載の動釣合い試験機。 The guide unit includes a plurality of the support rods.
The plurality of support rods are connected by the connecting member.
The dynamic balance tester according to claim 6 , which directly or indirectly cites claim 2 .
請求項1から請求項7のいずれか一項に記載の動釣合い試験機。 The moving unit is driven by fluid pressure.
Dynamic balancing machine as claimed in any one of claims 1 to 7.
請求項1から請求項8のいずれか一項に記載の動釣合い試験機。 The drive unit has a nozzle that blows air toward the rotating body.
Dynamic balancing machine according to any one of claims 1 to 8.
前記回転体を順方向に回転駆動する少なくとも一つの順方向噴射ノズルと、
前記回転体を前記順方向と逆方向に回転駆動する少なくとも一つの逆方向噴射ノズルと、
を含む、
請求項9に記載の動釣合い試験機。 The nozzle
At least one forward injection nozzle that rotationally drives the rotating body in the forward direction, and
At least one reverse injection nozzle that rotationally drives the rotating body in the direction opposite to the forward direction,
including,
The dynamic balance tester according to claim 9 .
前記中空部の内周に前記ノズルが形成されている、
請求項9又は請求項10に記載の動釣合い試験機。 The drive unit has a hollow portion that surrounds the outer circumference of the rotating body and penetrates in the direction of the rotation axis.
The nozzle is formed on the inner circumference of the hollow portion.
The dynamic balance tester according to claim 9 or 10 .
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019158960A JP6763586B2 (en) | 2019-08-30 | 2019-08-30 | Dynamic balance tester |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019158960A JP6763586B2 (en) | 2019-08-30 | 2019-08-30 | Dynamic balance tester |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018533349A Division JP6830263B2 (en) | 2016-08-10 | 2016-08-10 | Dynamic balance tester |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019200219A JP2019200219A (en) | 2019-11-21 |
JP6763586B2 true JP6763586B2 (en) | 2020-09-30 |
Family
ID=68612540
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019158960A Active JP6763586B2 (en) | 2019-08-30 | 2019-08-30 | Dynamic balance tester |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6763586B2 (en) |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0517636Y2 (en) * | 1986-03-25 | 1993-05-12 | ||
JPH0743630Y2 (en) * | 1988-02-09 | 1995-10-09 | 三菱重工業株式会社 | Balancing machine |
US4976147A (en) * | 1989-06-07 | 1990-12-11 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Device for measuring dynamic balance of a rotor |
JPH11295178A (en) * | 1998-04-13 | 1999-10-29 | Shimadzu Corp | Dynamic balance testing machine |
JP5327696B2 (en) * | 2008-03-31 | 2013-10-30 | 株式会社Ihi | Balance correction device |
JP5666321B2 (en) * | 2011-01-13 | 2015-02-12 | 株式会社神戸製鋼所 | Spindle structure and tire testing machine equipped with the same |
KR102698442B1 (en) * | 2016-08-10 | 2024-08-26 | 고쿠사이 게이소쿠키 가부시키가이샤 | Dynamic Balance Tester |
-
2019
- 2019-08-30 JP JP2019158960A patent/JP6763586B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2019200219A (en) | 2019-11-21 |
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