JP6759756B2 - 振動装置及び撮像装置 - Google Patents

振動装置及び撮像装置 Download PDF

Info

Publication number
JP6759756B2
JP6759756B2 JP2016125470A JP2016125470A JP6759756B2 JP 6759756 B2 JP6759756 B2 JP 6759756B2 JP 2016125470 A JP2016125470 A JP 2016125470A JP 2016125470 A JP2016125470 A JP 2016125470A JP 6759756 B2 JP6759756 B2 JP 6759756B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
plate
vibration
mode
central
vibrating device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2016125470A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2017229008A (ja
Inventor
藤本 克己
克己 藤本
西山 健次
健次 西山
倉谷 康浩
康浩 倉谷
真一郎 市口
真一郎 市口
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Priority to JP2016125470A priority Critical patent/JP6759756B2/ja
Publication of JP2017229008A publication Critical patent/JP2017229008A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6759756B2 publication Critical patent/JP6759756B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Structure And Mechanism Of Cameras (AREA)
  • Accessories Of Cameras (AREA)
  • Studio Devices (AREA)

Description

本発明は、圧電振動子を用いた振動装置に関し、より詳細には、カメラなどの水滴除去に好適に用いられる振動装置及び撮像装置に関する。
従来、雨滴などの水滴除去機能が設けられたカメラが種々提案されている。下記の特許文献1では、カメラ本体の前方に、ドーム型カバーが配置されている。ドーム型カバーに円筒部が連結されている。円筒部には、圧電振動子が固定されている。ドーム型カバーに水滴が付着した場合、圧電振動子を振動させる。それによって、ドーム型カバーを屈曲振動させ、水滴を除去する。また、振動モードを変更することが記載されている。
他方、下記の特許文献2では、カメラの前方に、超音波トランスデューザー、接着剤層部分及び外部レンズが配置されている。外部レンズに水滴が付着した場合、超音波トランスデューザーに交流信号電圧を印加する。それによって、外部レンズを振動させ、付着している水滴を除去する。
特開2012−138768号公報 特開2007−82062号公報
特許文献1や特許文献2に記載のような水滴除去装置では、ドーム型カバーや外部レンズに付着した雨滴を除去するには、ドーム型カバーや外部レンズを強く振動させねばならなかった。しかしながら、ドーム型カバーや外部レンズ等の材料や形状が様々であったため、付着した水滴を確実に除去するように設計することが困難であった。また、泥のような水と土との混合物が付着した場合、確実に除去し得ないことがあった。
本発明の目的は、透光性部分に付着した水滴等の移動及び霧化による除去を容易に行なうことを可能とする、振動装置を提供することにある。
また、本発明の他の目的は、本発明に係る振動装置が備えられている撮像装置を提供することにある。
本願発明者らは、上記課題を達成すべく鋭意検討した結果、例えばレンズの前方に配置されるカバーに付着した水滴を除去する場合、カバーの中央部に振動の腹を有する中心腹モードの振動を用いれば、付着した水滴の霧化による除去を容易に行なうことができること、他方、中央に振動のノードが位置する中心節モードの振動を用いれば、水滴の移動を容易に行ない得ることを見出した。もっとも、中心節モードの振動では、節の部分に付着した水滴が、移動し難く、液の残留が生じたり、小さな水滴の移動が困難なことがあることを見出した。
本発明に係る振動装置は、上記のような中心節モードと中心腹モードとを効果的に利用し得る振動装置である。
本発明に係る振動装置は、透光性部分を有する第1の板状体と、前記第1の板状体と対向するように設けられた第2の板状体と、前記第1の板状体と前記第2の板状体との間に配置されており、前記第1,第2の板状体の周縁部に接合されている板状の支持体と、前記第2の板状体の前記支持体が設けられている側とは反対側の面に設けられた複数の圧電振動子と、を備え、前記第1,第2の板状体及び前記支持体を有する積層体の平面形状が長軸を有する形状である。
本発明に係る振動装置のある特定の局面では、前記積層体が、前記長軸方向中心に対して、前記長軸方向において、一方側の部分と他方側の部分とが逆相で振動するように構成されている。
本発明に係る振動装置の他の特定の局面では、前記長軸方向中央に振動のノードが位置する中心節モードと、前記積層体の中心が振動の腹となる中心腹モードとで振動するように構成されている。中心節モードを利用することにより、付着した水滴等の移動を確実に行なうことができ、中心腹モードを利用することにより、付着した水滴の霧化による除去を容易に行なうことができる。また、これらの双方の振動モードで振動され得るため、水滴の残留が生じ難く、小さな水滴の移動も確実に行なわれ得る。泥のような水と土との混合物も除去することができる。
本発明に係る振動装置のさらに他の特定の局面では、前記積層体の平面形状が、矩形、ひし形、楕円形、長軸方向の端部が丸められた略ひし形形状及び長方形の両端にそれぞれ半円を連ねた形状の内の1種からなる。積層体の平面形状がこれらの形状の内の1種の場合、中心節モード及び中心腹モードを効果的に利用することができる。
より好ましくは、積層体の平面形状は、前記長軸方向の端部が丸められた略ひし形形状である。
本発明に係る振動装置の別の特定の局面では、前記第2の板状体の前記第1の板状体の前記透光性部分と対向している部分が透光性を有する。
本発明に係る振動装置のさらに他の特定の局面では、前記複数の圧電振動子に駆動信号を与える駆動回路と、前記駆動信号の周波数を変換させる周波数変換回路とがさらに備えられている。
本発明に係る撮像装置は、本発明に従って構成されている振動装置と、前記振動装置の前記第2の板状体の前記第1の板状体とは反対側に配置された撮像素子とを備える。
本発明に係る振動装置によれば、第1の板状体の透光性部分に付着した水滴等を、複数の圧電振動子の振動により容易に移動させ、かつ除去することができる。
本発明の第1の実施形態の振動装置が備えられている撮像装置を示す正面断面図である。 本発明の第1の実施形態に係る振動装置の分解斜視図である。 本発明の第1の実施形態に係る振動装置の外観を示す斜視図である。 本発明の第1の実施形態の振動装置の底面側からみた斜視図である。 本発明の第1の実施形態の振動装置の正面断面図である。 本発明の第1の実施形態で用いられている第1の圧電振動子を説明するための斜視図である。 本発明の第1の実施形態の振動装置の第1,第2の圧電振動子を説明するための部分切欠き正面断面図である。 中心腹モードの振動を説明するための略図的正面図である。 中心節モードの振動を説明するための略図的正面図である。 中心腹モードの振動で大きく変位する部分を説明するための略図的平面図である。 中心節モードで大きく変位する部分を説明するための略図的平面図である。 第1の実施形態の振動装置において生じる各振動モードを説明するためのインピーダンス−周波数特性を示す図である。 本発明の第2の実施形態に係る振動装置の斜視図である。 本発明の第2の実施形態に係る振動装置の斜視図である。 本発明の積層体の平面形状の第1の変形例を示す平面図である。 本発明の積層体の平面形状の第2の変形例を示す平面図である。 本発明の積層体の平面形状の第3の変形例を示す平面図である。 本発明の積層体の平面形状の第4の変形例を示す平面図である。
以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。
なお、本明細書に記載の各実施形態は、例示的なものであり、異なる実施形態間において、構成の部分的な置換または組み合わせが可能であることを指摘しておく。
図1は、本発明の第1の実施形態に係る振動装置が備えられた撮像装置の正面断面図である。
撮像装置1は、撮像素子2を有する。撮像素子2としては、従来より、画像を電気信号に変換するのに用いられている、一般的な撮像素子を広く用いることができる。撮像素子2の前方には、複数のレンズ3a〜3cが収納されたレンズ収納体4が設けられている。他方、撮像素子2は、支持部5により支持されている。支持部5の下端はベースプレート6に連結されている。
上記撮像素子2及びレンズ収納体4の前方に、第1の実施形態に係る振動装置11が設けられている。振動装置11に、筒状本体12が連結されている。振動装置11と筒状本体12とで構成されるケース内に、前記撮像素子2及びレンズ収納体4が収納されている。なお、レンズ収納体4の先端部分は、後述するように、振動装置11の一部に入り込んでいる。
振動装置11の外側面に付着した水滴が、後述するように、霧化により除去されたり、移動されたりする。この振動装置11の詳細を、図2〜図11を参照して説明する。
図2は、振動装置11の分解斜視図であり、図3は外観を示す斜視図であり、図4は底面側からみた斜視図であり、図5は正面断面図である。
振動装置11は、第1の板状体21と、第2の板状体22と、第1の板状体21及び第2の板状体22間に積層されている板状の支持体23を有する。板状の支持体23は、中央に開口23aを有する。板状の支持体23は、第1の板状体21及び第2の板状体22の周縁部に接合されている。
第1の板状体21、第2の板状体22及び支持体23は、矩形の平面形状を有する。従って、第1の板状体21、第2の板状体22及び板状の支持体23を有する積層体は、平面形状が矩形であり、長軸を有する形状である。長軸方向を矢印Lで示す。
第1の板状体21は、ガラスや透明なプラスチックなどからなる。第1の板状体21は、本実施形態では、全体が透光性を有する。従って、本実施形態では、第1の板状体21の全体が透光性部分である。もっとも、後述するように、撮像装置の視野に相当する部分が少なくとも透光性部分であればよい。
第2の板状体22は、合成樹脂、金属またはガラスなどからなる。第2の板状体22は、開口部22aを有する。開口部22a内に、前述のように、レンズ収納体4の前方部分が入り込んでいる。開口部22aは、前述した撮像素子2により第1の板状体21の外部を撮影するために設けられている。
なお、レンズ収納体4は、第2の板状体22よりも撮像素子2側に位置させる場合には、開口部22aは設けられずともよい。すなわち、開口部22aに代えて、透光性部分が設けられていてもよい。また、第2の板状体22全体が透光性を有していてもよい。
第2の板状体22の下面には、図2〜図4では略図的に示す、第1,第2の圧電振動子24,25が貼り付けられている。
なお、振動装置11の支持体23は、第1,第2の板状体21,22よりも外側に拡がっている。この外側に拡がっている部分が、スペーサ7,7で挟持されている。一方のスペーサ7は、固定部材8と、支持体23とにより挟持されている。他方のスペーサ7は、支持体23と、筒状本体12の上端面との間で挟持されている。このようにして、振動装置11が支持されている。
図6は、第1の圧電振動子24を説明するための斜視図である。第1の圧電振動子24は、ストリップ状の圧電体31を有する。圧電体31の分極方向は圧電体31の上面と下面とを結ぶ方向である。圧電体31の上面の全面を覆うように、第1の励振電極32が設けられている。圧電体31の下面に、第2の励振電極33が設けられている。第1の励振電極32は、圧電体31を介して、第2の励振電極33と対向している。
圧電体31は、圧電セラミックスや圧電単結晶などの適宜の圧電材料からなる。第1,第2の励振電極32,33は、適宜の金属もしくは合金からなる。
第2の圧電振動子25も同様に構成されている。すなわち、図7に示すように、第2の圧電振動子25も、圧電体31、第1,第2の励振電極32,33を有する。
駆動に際しては、第1,第2の励振電極32,33間に交流電界を印加する。交流電界が印加されると、第1,第2の圧電振動子24,25は圧電効果により伸縮する。そのため、第1,第2の圧電振動子24,25が固定されている第2の板状体22が上下に屈曲振動することとなる。この場合、第1,第2の圧電振動子24,25において、交流電界の極性を同相にすることにより、第1の圧電振動子24側及び第2の圧電振動子25側における振動も同相とする。そのため、座屈音叉の中央腹モードの振動が励振される。他方、第1,第2の圧電振動子24,25を逆相で駆動した場合には、中央節モードの振動を励振することができる。図8及び図9を参照して、この中心腹モード及び中心節モードの振動を説明する。
図8は、中心腹モードの振動を説明するための略図的正面図である。
中心腹モードでは、振動装置11では、第1の板状体21と第2の板状体22とが、二点鎖線Aで示す振動姿態と、二点鎖線Bで示す振動姿態との間で変位を繰り返す。すなわち、振動装置11の中心部分が最も大きく変位する。この場合、振動の節は、振動装置11の長軸方向両端及び両端の各端部につながるフランジ部に位置し、振動が漏洩しない。
他方、図9は、中心節モードの振動を説明するための略図的正面図である。中心節モードでは、やはり、第1,第2の板状体21,22が二点鎖線Cで示す振動姿態と、二点鎖線Dで示す振動姿態との間で変位が繰り返される。従って、矢印E1で示すように、長軸方向中心が振動の節となる。また、矢印E2で示すように、長軸方向両端及びそれにつながるフランジ部も振動の節となり、振動が外部に漏洩し難い。振動の腹は、長軸方向において、端部と、中心との間の中央部分となる。同様に、中心と、長軸方向他方端部との間の中央も振動の腹となる。
図10は、上記中心腹モードの振動で大きく変位する部分を示す略図的平面図である。破線Fで囲まれた中央領域が最も大きく変位する部分となる。
図11は、中心節モードの振動で大きく変位する部分を示す略図的平面図である。破線G,Hで囲まれた部分が最も大きく変位する部分となる。
上記破線Fで囲まれた円は、本実施形態の撮像装置1において、撮像素子2の視野に相当する領域を含んでいる。第1の板状体21の外側面において、破線Fで囲まれた円内に水滴等が付着した場合、中心腹モードで振動させる。その結果、中心腹モードでは、破線Fで囲まれた中央領域が大きく変位するため、霧化により水滴を除去することができる。
他方、除去しきれなかった小さな液滴や泥等は、中心節モードにより、中央から外側に移動させる。この場合、中心節モードでは、図9及び図11に矢印E1や矢印Eで示す中心部分が節となるため、この節の部分に付着している小さな水滴や泥は移動し難いことがある。しかしながら、振動装置11では、上記中心腹モードと、中心節モードとを併用することにより、あるいは中心節モードと中心腹モードとを、交互に励振させることにより、矢印Eで示す中心部分に付着した小さな水滴や泥も、確実に、側方に移動させ、最終的に霧化により除去することができる。
中心節モードでは、図9に示すように、矢印E1で示す長軸方向中心に対して一方側部分と、他方側部分とが、逆相で変位する。従って、中心に付着した小さな水滴や泥を、側方に確実に移動させることができる。
上記のように、振動装置11では、長軸方向を有し、長軸方向中心に対して一方側部分と、他方側部分とが逆相で駆動する中心節モードが利用される。従って、中心に付着した微小な水滴や泥等も確実に移動させることができる。よって、微小な水滴だけでなく、移動させ難い、泥のような液滴も、確実に移動させることができる。そして、中心腹モードで大きく振動させ、水滴や泥を確実に除去することができる。
図1に戻り、撮像装置1は、上記第1,第2の圧電振動子24,25を駆動するための駆動回路14を備える。駆動回路14は、交流電圧信号を出力する。それによって、第1,第2の圧電振動子24,25が励振される。また、本実施形態では、駆動回路14に、周波数変換回路15が接続されている。周波数変換回路15は、駆動回路14から与えられた交流電圧信号の周波数を変換させる機能を有する。この周波数変換回路15が、第1,第2の圧電振動子24,25に接続されている。従って、第1,第2の圧電振動子24,25を駆動する信号の周波数を変更することにより、様々な振動モードの振動を効率よく励振させることができる。
図12は、振動装置11において、駆動信号の周波数を変化させた場合のインピーダンス−周波数特性を示す図である。すなわち、駆動信号の周波数を変化させた場合、矢印J1〜J5などの様々な振動を効率よく励振させ得ることがわかる。なお、矢印J2,J3が、前述した中心腹モード及び中心節モードの振動に相当する。
よって、好ましくは、上記周波数変換回路が備えられていることが望ましい。そして、駆動に際しては、上記のように、中心節モードと、中心腹モードとを交互に励振させてもよく、ランダムに、2つの振動モードを励振させてもよい。中心腹モードだけでなく、中心節モードをも利用することにより、前述したように、第1の板状体21の外側の面に付着した水滴等を確実に移動させ、除去することができる。
図13は、第2の実施形態に係る振動装置の底面側からみた斜視図である。振動装置41では、第1の板状体21と、第2の板状体22とが、板状の支持体23で接合されている。それによって、積層体が構成されている。第2の板状体22の外側面には、第1,第2の圧電振動子24,25に加えて、第3〜第6の圧電振動子26〜29が接合されている。第3,第4の圧電振動子26,27は、第1の圧電振動子24と第2の圧電振動子25の一端側端部同士を結ぶように設けられている。第5,第6の圧電振動子28,29は、第1,第2の圧電振動子24,25の他端側同士を連結するように設けられている。それによって、第1,第2の圧電振動子24,25と、第3,第4の圧電振動子26,27と、第5,第6の圧電振動子28,29とで、矩形枠状の形状が構成されている。
本実施形態の振動装置41では、第1〜第6の圧電振動子24〜29を同相で駆動することにより、中心腹モードを強く励振させることができる。すなわち、図13において、プラスの記号で示すように、第1〜第6の圧電振動子24〜29の一方面がプラスの電位となるように、全て同相で駆動することにより、中心腹モードを強く励振させることができる。
また、図14にプラス及びマイナスの記号で示すように、長軸方向中心の一方側と他方側において、逆極性とすることにより、中心節モードを効果的に励振させることができる。ここでは、第1,第3,第5の圧電振動子24,26,28がプラスの記号で示すように、同相で駆動される。他方、第2の圧電振動子25、第4の圧電振動子27及び第6の圧電振動子29が、マイナスの記号で示すように、第1の圧電振動子24と逆相で駆動される。このように、一方側と他方側を逆相で駆動することにより、前述した中心節モードを強く励振させることができる。
振動装置11では、前述した積層体の平面形状は矩形すなわち長方形であったが、本発明において、上記積層体の平面形状はこれに限定されるものではない。図15に示す第1の変形例では、積層体51Aは、略ひし形の形状を有している。すなわち、長軸方向Lを有する積層体51Aは、長軸方向両端の頂点が除去され、短軸方向に延びる端辺51a,51bが設けられている。なお、端辺51a,51bが設けられている部分においてコーナー部が丸められいてもよい。また図16に示す第2の変形例のように、ひし形の積層体51Bを用いてもよい。
さらに、図17に示す第3の変形例の積層体51Cのように、楕円形状を有していてもよい。図18に示す第4の変形例のように、積層体51Dは、長方形の長さ方向端部に、半円形の形状を連ねた形状を有していてもよい。
上記第1〜第4の変形例に示したように、本発明において、上記振動装置の積層体の平面形状は、長軸方向を有する限り特に限定されるものではない。好ましくは、図15に示した積層体51Aのように、略ひし形形状を有しており、長軸方向両端の頂点が除去された形状が望ましい。
1…撮像装置
2…撮像素子
3a〜3c…レンズ
4…レンズ収納体
5…支持部
6…ベースプレート
7…スペーサ
8…固定部材
11…振動装置
12…筒状本体
14…駆動回路
15…周波数変換回路
21,22…第1,第2の板状体
22a…開口部
23…支持体
23a…開口
24〜29…第1〜第6の圧電振動子
31…圧電体
32,33…第1,第2の励振電極
35,36…端子
41…振動装置
51A〜51D…積層体
51a,51b…端辺

Claims (7)

  1. 透光性部分を有する第1の板状体と、
    前記第1の板状体と対向するように設けられた第2の板状体と、
    前記第1の板状体と前記第2の板状体との間に配置されており、前記第1,第2の板状体の周縁部に接合されている板状の支持体と、
    前記第2の板状体の前記支持体が設けられている側とは反対側の面に設けられた複数の圧電振動子と、
    を備え、
    前記第1,第2の板状体及び前記支持体を有する積層体の平面形状が長軸を有する形状であり、前記長軸方向中央に振動のノードが位置する中心節モードと、前記積層体の中心が振動の腹となる中心腹モードとで振動するように構成されており、前記中心腹モードにより、霧化によって水滴等を除去し、前記中心腹モードと前記中心節モードとの併用により、あるいは前記中心節モードと前記中心腹モードとを交互に励振させることにより、水滴等を移動させる、振動装置。
  2. 前記積層体が、前記長軸方向中心に対して、前記長軸方向において、一方側の部分と他方側の部分とが逆相で振動するように構成されている、請求項1に記載の振動装置。
  3. 前記積層体の平面形状が、矩形、ひし形、楕円形、長軸方向の端部が丸められた略ひし形形状及び長方形の両端にそれぞれ半円を連ねた形状の内の1種からなる、請求項1または2に記載の振動装置。
  4. 前記積層体の平面形状が、前記長軸方向の端部が丸められた略ひし形形状である、請求項に記載の振動装置。
  5. 前記第2の板状体の前記第1の板状体の前記透光性部分と対向している部分が透光性を有する、請求項1〜のいずれか1項に記載の振動装置。
  6. 前記複数の圧電振動子に駆動信号を与える駆動回路と、前記駆動信号の周波数を変換させる周波数変換回路とをさらに備える、請求項1〜のいずれか1項に記載の振動装置。
  7. 請求項1〜のいずれか1項に記載の振動装置と、前記振動装置の前記第2の板状体の前記第1の板状体とは反対側に配置された撮像素子とを備える、撮像装置。
JP2016125470A 2016-06-24 2016-06-24 振動装置及び撮像装置 Active JP6759756B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016125470A JP6759756B2 (ja) 2016-06-24 2016-06-24 振動装置及び撮像装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016125470A JP6759756B2 (ja) 2016-06-24 2016-06-24 振動装置及び撮像装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2017229008A JP2017229008A (ja) 2017-12-28
JP6759756B2 true JP6759756B2 (ja) 2020-09-23

Family

ID=60892165

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2016125470A Active JP6759756B2 (ja) 2016-06-24 2016-06-24 振動装置及び撮像装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6759756B2 (ja)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE112016004551T5 (de) * 2015-12-24 2018-07-12 Murata Manufacturing Co., Ltd. Schwingvorrichtung, verfahren zum ansteuern derselben sowie kamera
EP3731513A4 (en) * 2018-05-22 2021-09-01 Murata Manufacturing Co., Ltd. OSCILLATING DEVICE AND DRIVE DEVICE
WO2021038942A1 (ja) * 2019-08-28 2021-03-04 株式会社村田製作所 振動装置及び光学検出装置
JP7111258B2 (ja) * 2020-03-27 2022-08-02 株式会社村田製作所 振動装置及び振動制御方法
JP7205622B2 (ja) * 2020-04-17 2023-01-17 株式会社村田製作所 振動装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2017229008A (ja) 2017-12-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6759756B2 (ja) 振動装置及び撮像装置
US10768507B2 (en) Vibration device and imaging device
JP6579200B2 (ja) 振動装置及びカメラ
CN108474998B (zh) 振动装置及其驱动方法、以及摄像头
JP6662391B2 (ja) 振動装置及びその駆動方法並びにカメラ
JP6977784B2 (ja) 振動装置及び光学検出装置
JP6418330B2 (ja) 振動装置及びカメラ
JP6601576B2 (ja) 振動装置、カメラ用水滴除去装置及びカメラ
JPWO2018100795A1 (ja) 振動装置、カメラ用水滴除去装置及びカメラ
JP6819844B1 (ja) 振動装置、および振動装置を備える撮像ユニット
JP2008067447A (ja) 振動制御装置、及び振動制御方法
WO2021038942A1 (ja) 振動装置及び光学検出装置
US11383274B2 (en) Vibration device and imaging unit including vibration device
JPWO2019225041A1 (ja) 振動装置及び駆動装置
WO2021100232A1 (ja) 振動装置、および振動装置を備える撮像ユニット
JP5192270B2 (ja) 超音波振動子の駆動方法及び装置
KR102471291B1 (ko) 물질 검출 소자
JP6263902B2 (ja) 超音波発生装置
JP2013150446A (ja) 駆動装置、レンズ鏡筒及びカメラ

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20190306

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20191112

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20200107

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20200212

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20200804

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20200817

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6759756

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150