JP6745697B2 - 移植可能圧力センサ装置 - Google Patents

Description

本発明は、移植可能な圧力センサ装置、特に動物または人の体に移植可能な小型の圧力センサ装置に関する。

微小な電気機械システム（ＭＥＭＳ）および関連チップシステムを含む圧力センサ装置が当業界で知られている。例えば、患者の心機能を改善するため、ＭＥＭＳを有する圧力センサ装置が電気インプラント用に使用されている。斯かる目的に使用できるチップシステムは十分正確な測定結果を提供しなければならないが、他方、困難を伴うことなく移植できるのと同時に器官の生理学的活動、例えば肺動脈の血圧測定を制限することのないほど十分小型サイズでなければならない。

血液などの反応性媒体内でＭＥＭＳチップを使用するには、該チップは保護されているのが一般的である。この目的のため、該チップは、通常、非圧縮性で非活性な液体に包埋されており、反応性媒体に対して密閉された状態で筐体内に収納されている。ここで、該液体（例えば油）は、外圧が筐体を通してＭＥＭＳチップに伝達できるように、圧力伝達媒体として機能する。長期安定性と高生体適合性のため、例えばチタンが筐体の材料として適している。

患者の血液循環において通常摂氏数度の温度変化が生じ、それが筐体内の圧力伝達媒体の容積変化として現れる。更なる問題は、酸化エチレン等の手段による滅菌中の温度変化であり、その場合、摂氏約３０度の温度変化が生じる。通常の圧力センサ筐体が使用される場合は、該温度変化の結果生じる体積および圧力上昇により、膜またはＭＥＭＳチップが損傷を被る可能性がある。筐体はふつう柔軟性または弾力性に乏しいので、上記圧力伝達媒体の容積変化により筐体内で大きい圧力変動が生じる。これは筐体の材質にも原因があるが、他方、筐体のサイズと比べて比較的厚い筐体壁にも原因がある。その結果、圧力測定値は温度がもたらす筐体内の圧力変動により増幅されるので、ＭＥＭＳチップの圧力測定値は事実とは異なるものとなる。

特許文献１において、ＭＥＭＳチップセンサ配列用に圧力伝達膜の使用が記載されており、その膜は、センサ配列の筐体の側壁に形成されるウインドウを覆っている。特許文献２において、筐体の末端面に配置される圧力伝達膜が記載されている。

ＭＥＭＳチップセンサシステムの温度依存性を減少させるための従来技術による解決法では、圧力測定値の間違いを十分減少させることはできない、つまり身体環境で測定される圧力値と比較してその差を無視できるほどに減少させることはできない。更なる問題として、比較的高い製造コスト、並びに圧力伝達媒体の容積変化により同様に筐体上に引き起こされる材料応力および体積力による該筐体の堅牢性の低下が挙げられる。従って、筐体の初期体積が拡大すると、該筐体のジョイントが引張応力により引き剥がされる可能性がある。例えば、個別の平らな圧力伝達膜がセンサシステムの筐体用に使用される場合、溶接線にかかる高圧力による体積変化ひいては高圧抵抗が生じると、筐体材料の長手方向の拡張が生じる。

米国特許第８，５７３，０６２号明細書 米国特許第８，１４２，３６２号明細書

従って、本発明の目的は、操作環境における温度変化およびそれに伴う材料応力に極めて鈍感な移植可能圧力センサ装置を提供することである。

上記目的は独立請求項記載の特徴により達成される。更なる請求項、明細書および図面に、本発明の好ましい実施態様が記載されている。

本発明によれば、筐体構成を有する移植可能圧力センサ装置が提案されており、上記筐体構成は外壁および内部体積を有する。ここで、上記筐体構成は、各々表面を有している少なくとも２つの圧力伝達膜を有しており、該表面は１つの平面には配列されていない。

２つの圧力伝達膜が使用されるので、柔軟性または弾力性のより高い２つの隣接しない表面が移植可能圧力センサ装置の筐体に形成されるので、温度変動の際に筐体内の圧力が十分減少する。２つの圧力伝達膜は１つの平面上には配列されていないので、筐体内の体積変化により筐体材料に生じる応力および圧力は、少なくとも部分的に互いに相殺され、従って、筐体構成の堅牢性が増大する。

本発明の好ましい実施態様では、圧力伝達膜は、筐体構成の少なくとも２つの異なる外壁部分を形成する。ここで、上記２つの異なる外壁は、互いに反対側にあるのが好ましい。この場合、上記筐体構成は、少なくとも部分的に直方体、円筒、球または楕円体として形成されるのが好ましい。

一部が圧力伝達膜により形成される斯かる筐体構成の外壁が互いに反対側に配列されているので、筐体内の体積変化の際に、筐体上の圧力および応力がより均一に分配される。より正確に述べれば、結果として最大応力が削減される、つまり圧力および応力の大部分が補正され、その結果、このタイプの影響に敏感な筐体部分が解放される。この様にして、筐体の温度変動への堅牢性に関する特に好ましい構成が達成される。一般的に、筐体構成が平面かつ鏡像対称の構造であれば、筐体構成全体の応力を更に適度にする上でより好ましい。本応用の範囲内においては、鏡像対称構造と言うのは、少なくとも１つの切断面に対して筐体構成の外部の幾何学的形状が対称であることを意味しており、この点は理解されるべきである。従って、特に好ましい筐体構成の外部幾何学的形状は平らな直方体により提供される、つまり２つの平らな長方形の圧力伝達膜が２つの外壁上の互いに反対側に配列される。圧力伝達膜は、筐体内に形成される２つの対応するウインドウで統合できる。例えば、圧力伝達膜はウインドウを覆い、筐体の端で固定するかウインドウにクランプで留める。本発明の更なる実施態様は丸い圧力伝達膜の使用を提供する。圧力伝達膜は予め曲線に形成してもよいし、および／または波型を提供してもよい。波型の好ましい実施態様は、圧力伝達膜の波状内面によって提供される。この方法により、筐体の曲げ特性は改善できる。

本発明の更に好ましい実施態様によれば、筐体構成の少なくとも１つの外壁は可逆的に変形可能な領域を有している。

可逆的に変形可能な外壁領域により、筐体内の体積変化によって生じる応力および圧力が補正され、斯かる応力および圧力を弾力性のあまりない筐体構成の領域には伝達しなくなるので、筐体構成の柔軟性および弾力性が増大する。例えば、このタイプの可逆的に変形可能な領域を弾力性のある圧力伝達膜と弾力性のあまりない筐体構成の領域との間の部分に使用すれば、斯かる部分は応力下にあっても解放される。

筐体構成は少なくとも１つの凹部を有し、該凹部は熱膨張効果により引き起こされる内部体積および／または少なくとも１つの圧力伝達膜および／または少なくとも１つの外壁の変形を吸収するように設計されている。凹部は筐体構成の内部体積に配列されているのが好ましく、例えば、スリット、穴、スロット、ギャップ、ノッチ、溝または切込みとして形成され得る。

ＭＥＭＳチップと筐体構成とが直接接触しないようにして圧力測定への悪い影響からＭＥＭＳチップを効果的に保護するため、上記凹部はＭＥＭＳチップと筐体構成との間に配列されるのが好ましい。凹部は、圧力センサ装置の熱膨張効果によって大きい変形が予期される部分、例えば、筐体構成外壁の可逆的に変形可能な領域へ隣接する部分に配列するのが好ましい。

外壁の変形可能領域は、この領域が温度変化の際に自由に変形し元に戻ることができるように、凹部の適切な配列、例えば外壁の特定の領域に沿ってスリットを配置することにより提供してもよい。外壁の変形可能領域は、適切な材料を適切な部分で除去して外壁の厚さを減少させることにより提供してもよい。

本発明の更なる好ましい実施態様では、少なくとも１つの圧力伝達膜が凹部に境を接している、またはそれに連結されている。

本発明の更なる好ましい実施態様では、少なくとも１つの外壁が凹部に境を接している、またはそれに連結されている。

筐体構成の特に好ましい特徴は、圧力伝達膜が外壁の可逆的に変形可能な領域を通して筐体に連結されることにより達成される。凹部は、ＭＥＭＳチップと筐体構成が少なくとも部分的に直接接触しないようにするため、ＭＥＭＳチップが位置している筐体内部に配置される。

弾力性の高い要素の配列および接続並びに少なくとも１つの凹部の組み合わせにより、熱膨張や筐体に作用する応力および圧力によって筐体内で生じる圧力を効果的に補正する筐体構成が構築される。筐体構成用の斯かる要素の種々の配列および変形が、本発明の範囲内に含まれる。ここで、筐体構成の種々の要素および構成部品は、各応用に適した異なる材料を用いて製造できる。

本発明の更なる好ましい実施態様では、筐体構成は内部体積内に支持モジュールを有しており、該支持モジュールは凹部に境を接している、または連結されている。支持モジュールは少なくとも１つの外壁に連結されており、マイクロ電子圧力センサチップは筐体構成の内部体積に配列または連結されており、圧力センサチップは支持モジュールに接続されているのが好ましい。

支持モジュールはＭＥＭＳチップを支持するように機能するのが好ましい。凹部の手段により、支持モジュールと筐体構成の残りの部分、特に筐体の外壁との間で材料が直接接続する領域が減少する。支持モジュールのサイズは、それによって支持されるＭＥＭＳチップが同様に凹部によって筐体装置の残りの部分から少なくとも部分的に切り離されるような大きさである。本発明の構成により、ＭＥＭＳチップは筐体構成内の支持モジュール上、例えばリブ上に支持されており、筐体構成の残りの部分と出来得る限り接触しないようになっているのが好ましい。

筐体構成の内部体積は、油などの圧力伝達媒体で充填できるのが好ましい。本発明の更なる好ましい実施態様では、筺体構成の外壁は、筺体構成の内部体積に通じる少なくとも１つの開口を有している。

開口は、例えば、ＭＥＭＳチップと電池やアンテナなどの他の電子構成部品とを接触させるためのビアを構成する。開口は、筺体構成の内部を圧力伝達媒体で充填するための穴を構成してもよい。ここで、開口は選択的に閉鎖してもよい。

筺体構成は、少なくとも部分的にチタンを用いて製造するのが好ましい。しかし、本発明には、本目的に適した他の材料も含まれる。

筺体構成の好ましい実施態様である直方体の他に、三角形または楕円形の断面等を有する幾何学的形状も使用し得る。

筺体構成は、ＭＥＭＳチップで約２ミリバールの測定精度を達成できるように構成されるのが好ましい。

本発明の好ましい実施態様によれば、圧力伝達膜の厚さは３０μｍ以下、好ましくは１０μｍ以下である。この厚さは、圧力センサ装置の筐体に十分な柔軟性、およびそれと同時に安定性も提供する。

一般的に、本発明の筺体構成は、電子構成部品の機能性のために体積変化が補正されなければならない他の領域、例えば、リチウムイオン電池の化学プロセスにより引き起こされる体積変化の領域にも適用できる。

本発明は、上述の問題点および利点並びに他の問題点および利点と共に、限定されないが、以下の例示的実施態様の詳細な説明に基づいて最も良く理解できる。

図１は、本発明の一実施態様による移植可能圧力センサ装置の分解図を示す。 図１ａは、図１に示される本発明の一実施態様による移植可能圧力センサ装置の最終組立状態を示す。 図１ｂは、図１に示される本発明の一実施態様による移植可能圧力センサ装置の異なる平面図を示す。 図２は、本発明の更なる実施態様による移植可能圧力センサ装置の分解図を示す。 図２ａは、図２に示される本発明の更なる実施態様による移植可能圧力センサ装置を示す。 図２ｂは、図２に示される本発明の一実施態様による移植可能圧力センサ装置の種々の平面図を示す。 図３は、本発明の更なる実施態様による、開口を有する圧力センサ装置の筐体を示す。 図４は、従来の技術の筐体トポロジーおよび本発明の筐体構成に関する、ＰＶ（圧力／体積）曲線のグラフを示す。 図５は、接続された電池モジュールを有する、本発明の移植可能圧力センサの一実施態様を示す。 図６ａは、接続された電池モジュールおよび締結装置を有する、本発明の移植可能圧力センサの一実施態様を示す。 図６ｂは、接続された電池モジュールおよび更なる締結装置を有する、本発明の移植可能圧力センサの一実施態様を示す。

図面において、類似の要素は類似の符号で表される。図面は概略図に過ぎず、本発明の特定のパラメーターを構成するものではない。更に、図面は本発明の実施態様を図示するものに過ぎず、従って、本発明の範囲を制限するものと考えられるべきではない。説明で特定されたサイズおよび値は単なる一例に過ぎず、本発明の他の実施態様では異なるサイズおよび値であり得ることは理解されるべきである。

図１、１ａおよび１ｂは、移植可能圧力センサ装置１０００を種々の観点から示した本発明の例示的実施態様である。

図１は、圧力センサ装置１０００の一実施態様の分解図を示す。圧力センサ装置１０００の形状は細長い長方形で丸い末端を有する。このタイプの幾何学的形状は製造面で有利であり、移植の際の取り扱いも複雑ではない。ここで、圧力センサ装置１０００は、実質的に筺体枠体１１００、２つの圧力伝達膜１２０１および１２０２並びにＭＥＭＳチップ１３００から成る。筺体枠体は内部体積１１０３を有しており、その中にＭＥＭＳチップ１３００が支持モジュール１１０４に支持固定されている。加えて、筺体枠体は種々の外壁１１０１ａ−１１０１ｄを有しており、外壁１１０１ａはウインドウ１１０２を有している。筺体枠体の下側にある外壁１１０１ｄは１１０１ａと同等であり、同様にウインドウ１１０２’（図１では図示しない）を有している。更に、支持モジュール１１０４は、例えばＭＥＭＳチップを安定化するのに使用可能な突起１１０５を有していてもよい。スリット１１０６および１１０７の形態の凹部が支持モジュール１１０４の長手方向側に沿って延び、支持モジュール１１０４を外壁１１０１ｃからそこで引き離している。スリット１１０６および１１０７の２つの末端間にある接続点１１０８は、支持モジュール１１０４と筺体枠体との間の材料接続を構成する。

図１ａは、圧力センサ装置１０００の一実施態様の最終組立状態を示す。筺体１４００は筺体枠体１１００および圧力伝達膜１２０１および１２０２によって形成されている。ウインドウ１１０２および外壁１１０１ｄ（図１ａには図示しない）のウインドウ１１０２’は圧力伝達膜１２０１および１２０２によって覆われており、外壁１１０１ａおよび１１０１ｄに固定的に接続されているのが好ましい。従って、圧力伝達膜は筺体１４００の外壁の一部を形成する。外壁１１０１ａおよび１１０１ｄは同等であるのが好ましく、従って、筺体１４００の下側の図は図１ａの図に同様に対応している。ウインドウ１１０２および１１０２’が互いにオフセット状態にある実施態様、すなわち外壁１１０１ａおよび１１０１ｄがウインドウの位置の点で異なっている実施態様も本発明の範囲に含まれる。

図１ｂは、圧力センサ装置１０００ａおよびその一部の実施態様の平面図Ａ、Ｂ、ＣおよびＤを示す。図１ｂのＡは、ＭＥＭＳ圧力チップと圧力伝達膜のない状態の筺体枠体１１００を示す。ウインドウ１１０２を有する筺体枠体の外壁１１０１ａ、突起１１０５および接続点１１０８を有する支持モジュール１１０４、並びにスリット１１０６および１１０７の形態の凹部が図示されている。図１ｂのＢは、挿入されたＭＥＭＳチップ１３００を有する筺体枠体１１００を示す。ここで、ＭＥＭＳチップ１３００は、２つの長手方向側でスリット１１０６および１１０７によって筺体枠体１１００から引き離された状態で、支持モジュール上に支持されている。突起１１０５はＭＥＭＳチップ１３００を安定化するのに使用できる。図１ｂのＣは、筺体枠体１１００および圧力伝達膜１２０１および１２０２（下側）によって形成される、圧力センサ装置の筺体１４００を示す。図１ｂのＤは、本発明の筺体枠体の更なる可能な実施態様を示しており、１１００と類似であるが、突起のない点で異なっており、従って、支持モジュール１５０１は平らであり、接続点１５０２に直接隣接している。

図２、２ａおよび２ｂは、移植可能圧力センサ装置２０００を種々の観点から示した本発明の更なる例示的実施態様である。

図２は、圧力センサ装置２０００の実施態様の分解図を示す。圧力センサ装置２０００の形状は細長い長方形で丸い末端を有する。圧力センサ装置１０００と同様に、圧力センサ装置２０００は、実質的に筺体枠体２１００、２つの圧力伝達膜２２０１および２２０２並びにＭＥＭＳチップ１３００から成る。筺体枠体は内部体積２１０３を有しており、その中にＭＥＭＳチップ１３００が支持モジュール２１０４に支持固定されている。加えて、筺体枠体は種々の外壁２１０１ａ−２１０１ｄを有しており、外壁２１０１ａはウインドウ２１０２を有している。筺体枠体の下側にある外壁２１０１ｄは２１０１ａと同等であり、同様にウインドウ２１０２’（図２では図示しない）を有している。スリット２１０６および２１０７の形態の凹部が支持モジュール２１０４の長手方向側に沿って延び、支持モジュール２１０４を外壁２１０１ｃから同じ場所で引き離している。スリット２１０６および２１０７の２つの末端間にある接続点２１０８は、支持モジュール２１０４と筺体枠体との間の材料接続を構成する。圧力センサ装置１０００と比較すると、圧力センサ装置２０００の内部体積２０１３は直方体であり、内部体積１０１３とは対照的に丸い末端を有していない。外壁２１０１ａおよび２１０１ｄに形成されるウインドウ２１０２および２１０２’並びに圧力伝達膜２２０１および２２０２は長方形で丸い末端を有していないので、対応する構成部分の製造コストの削減が可能である。

図２ａは、圧力センサ装置２０００の一実施態様の最終組立状態を示す。筺体２４００は筺体枠体２１００および圧力伝達膜２２０１および２２０２によって形成されている。ウインドウ２１０２および外壁２１０１ｄ（図２ａには図示しない）のウインドウ２１０２’は圧力伝達膜２２０１および２２０２によって覆われており、外壁２１０１ａおよび２１０１ｄに固定的に接続されているのが好ましい。従って、圧力伝達膜は筺体２４００の外壁の一部を形成する。外壁２１０１ａおよび２１０１ｄは同等であるのが好ましく、従って、筺体２４００の下側の図は図２ａの図に同様に対応している。ウインドウ２１０２および２１０２’が互いにオフセット状態にある実施態様、すなわち外壁２１０１ａおよび２１０１ｄがウインドウの位置の点で異なっている実施態様も本発明の範囲に含まれる。

図２ｂは、圧力センサ装置２０００およびその一部の実施態様の平面図Ａ、ＢおよびＣを示す。図２ｂのＡは、ＭＥＭＳ圧力チップと圧力伝達膜のない状態の筺体枠体２１００を示す。ウインドウ２１０２を有する筺体枠体の外壁２１０１ａ、突起２１０５および接続点２１０８を有する支持モジュール２１０４、並びにスリット２１０６および２１０７の形態の凹部が図示されている。図２ｂのＢは、挿入されたＭＥＭＳチップ１３００を有する筺体枠体２１００を示す。ここで、ＭＥＭＳチップ１３００は、２つの長手方向側でスリット２１０６および２１０７によって筺体枠体２１００から引き離された状態で、支持モジュール上に支持されている。図２ｂのＣは、筺体枠体２１００および圧力伝達膜２２０１および２２０２（下側）によって形成される、圧力センサ装置の筺体２４００を示す。

図３は、本発明の更なる実施態様による開口を有する筺体構成を示す。開口は筺体構成上に形成するのが好ましいので、例として、図２に対応する筺体構成２１００上に図示してある。しかし、本発明の開口は、別の形態の筺体枠体に提供してもよいし、または筺体構成の異なる場所に提供してもよい。筺体枠体３１００は、小穴３１０１の形態の開口を末端側に有している。筺体枠体３２００は、末端面に、長方形の開口３２０１を有している。開口は、例えば、筐体内部に位置するＭＥＭＳチップを他の電気構成部品に接続する場合に使用できる。開口は、組立後、筺体構成の内部体積を油などの圧力伝達媒体で充填するのにも使用できる。斯かる目的で使用される開口は、閉鎖可能な形態であるのが好ましい。

図４はＰＶ（圧力／体積）グラフ４０００であり、異なる筺体構成を有する圧力センサ装置のＰＶ曲線を示す。曲線４００１および４００２は、既知の筺体構成用の筺体（圧力伝達膜を筐体の一方側に取り付けている）内部の体積ΔＶの変化に対応する圧力状態Ｐを構成する。曲線４００３は、本発明の筺体構成のＰＶ特性を示す。既知の筺体構成の４００１および４００２曲線における圧力Ｐは、体積ΔＶの変化がごく僅かであっても急激かつ非線形的に拡大するが、本発明の筺体構成における圧力Ｐは、体積ΔＶの変化が大きい場合であっても線形的に上昇し、しかも僅かな上昇に過ぎないのが分かる。

図５は、本発明の移植可能圧力センサ装置５１００の一実施態様およびモジュール５２００から成る構造体５０００を示す。筺体５１０１を有する圧力センサ装置５１００が図示されており、この場合、筺体５１０１は末端面に開口５１０２を任意で有する。モジュール５２００は、両構成部品の平らな末端面において、圧力センサ装置５１００に固定的に接続されている。この場合、圧力センサ装置５１００もモジュール５２００も丸い末端を有している、すなわち構造体５０００は角を有していないので、移植プロセスおよび生体適合性の面で有利である。モジュール５２００は、例えば電池モジュールとして形成してもよいし、あるいはデータ記憶装置や無線通信用の処理装置などの他の電子構成部品を収納してもよい。圧力センサ装置５１００とモジュール５２００は、例えば、両モジュールの接触点における開口を通して電気的に接続できる。

図６ａおよび図６ｂは図５の構造体５０００の可能な構成を概略的に示しており、それにより、上記構造体は移植部位において安定化できる、または固定可能である。

図６ａは、ワイヤーループ６００１および６００２が末端面に固定されている構造体５０００を示す。ワイヤーループは移植部位で構造体５０００を保持し、肺動脈などに使用するため構造体５０００よりも大きい直径を有している。同時に、血液などの体液の流れは継続できる。更に、ワイヤーループ６００１および／または６００２は、圧力センサ装置と外部装置との間の無線通信用アンテナとして任意に使用できる。ワイヤーループ６００１および６００２は、移植部位への運搬を簡便化できるように移植プロセス前および移植プロセス中は折り曲げられた状態にあり、移植部位において広げることができるようになっているのが好ましい。構造体５０００は、図６ｂに示される解決法によって移植部位に固定してもよい。この解決法においては、ワイヤーアーム６００３が構造体５０００に固定されており、従って、移植装置を構造体５０００よりも大きい直径を有する移植部位に同じく確実に固定できる。この場合、ワイヤーアーム６００３は、圧力センサ装置の筺体に形成される開口部に固定できる。ワイヤーアームは弾力性を有しているのが好ましい。

１０００ 移植可能圧力センサ装置
１１００ 筐体枠体
１１０１ａ−１１０１ｄ 外壁
１１０２ 外壁１１０１ａのウインドウ
１１０２’ 外壁１１０１ｄのウインドウ
１１０３ 内部体積
１１０４ 支持モジュール
１１０５ 突起
１１０６、１１０７ スリット
１１０８ 接続点
１２０１、１２０２ 圧力伝達膜
１３００ ＭＥＭＳ圧力チップ
１４００ 筐体
１５００ 突起のない更なる筺体枠体
１５０１ 更なる筺体枠体用の指示モジュール
１５０２ 更なる筺体枠体用の接続点
２０００ 更なる移植可能圧力センサ装置
２１００ 更なる移植可能圧力センサ装置の筐体枠体
２１０１ａ−２１０１ｄ 更なる移植可能圧力センサ装置の外壁
２１０２ ２１０１ａのウインドウ
２１０２’ ２１０１ｄのウインドウ
２１０３ 更なる移植可能圧力センサ装置の内部体積
２１０４ 更なる移植可能圧力センサ装置の支持モジュール
２１０６、２１０７ 更なる移植可能圧力センサ装置のスリット
２１０８ 更なる移植可能圧力センサ装置の接続点
２２０１、２２０２ 更なる移植可能圧力センサ装置の圧力伝達膜
２４００ 更なる移植可能圧力センサ装置の筐体
３１００ 開口を有する筐体枠体
３２００ 開口を有する更なる筐体枠体
４０００ ＰＶグラフ
４００１、４００２ 既知の筐体構成におけるＰＶ曲線
４００３ 本発明の筐体構成におけるＰＶ曲線
５０００ 構造体：接続されたモジュールを有する圧力センサ装置
５１００ 本発明の圧力センサ装置
５１０１ 筺体
５１０２ 開口
５２００ モジュール
６００１、６００２ ワイヤーループ
６００３ ワイヤーアーム

Claims (8)

1. 筐体構成およびマイクロ電子圧力センサチップを有する移植可能圧力センサ装置であって、前記筐体構成が外壁および内部体積を有する装置において、
   前記筐体構成は少なくとも２つの圧力伝達膜を有し、前記圧力伝達膜は各々表面を有しているが、１つの平面に複数の表面は配列されておらず、
   前記マイクロ電子圧力センサチップは、前記内部体積に配列されている支持モジュールに支持固定されており、
   貫通部が、前記支持モジュールが前記外壁から切り離されるように、前記支持モジュールの長手方向側に沿って延びており、
   前記貫通部の２つの末端間にある接続点が、前記支持モジュールと筺体構成との間の材料接続を構成していることを特徴とする、装置。
2. 請求項１に記載の装置において、前記圧力伝達膜は少なくとも２つの外壁の一部を形成することを特徴とする、装置。
3. 請求項２に記載の装置において、前記２つの異なる外壁は互いに反対側にあることを特徴とする、装置。
4. 請求項１〜３のいずれか一項に記載の装置において、前記筐体構成の少なくとも１つの外壁は、可逆的に変形可能な領域を有していることを特徴とする、装置。
5. 請求項１〜４のいずれか一項に記載の装置において、前記貫通部は、スロット、ギャップ、または切込みとして形成されていることを特徴とする、装置。
6. 請求項１〜５のいずれか一項に記載の装置において、前記筐体構成は少なくとも部分的に直方体、円筒、球または楕円体として形成されることを特徴とする、装置。
7. 請求項１〜６のいずれか一項に記載の装置において、前記筺体の内部体積は圧力伝達媒体で充填できることを特徴とする、装置。
8. 請求項１〜７のいずれか一項に記載の装置において、前記筺体構成の外壁は、前記筺体構成の内部体積に通じる少なくとも１つの開口を有していることを特徴とする、装置。