JP6741407B2 - 欠陥検査装置 - Google Patents
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Description
3 出射部
4 受光部
5 スポット移動機構
6 雰囲気調整部
9 基板
61 チャンバ
62,62a ノズル
63 ガス供給部
64 減圧機構
91 主面
100 欠陥検出部
Claims (3)
- 欠陥検査装置であって、
レーザ光を出射して、基板の主面に前記レーザ光のスポットを形成する出射部と、
前記スポットからの散乱光を受光して、前記散乱光の強度を取得する受光部と、
前記主面上において前記スポットを移動するスポット移動機構と、
少なくとも前記スポット近傍における酸素濃度または酸素量を周囲の空気よりも低減する雰囲気調整部と、
を備え、
前記受光部が、
前記基板の前記主面に垂直、かつ、前記スポットに重なる中心軸を中心とする回転楕円体状のミラーを有し、前記スポットからの前記散乱光が反射する集光器と、
前記集光器からの光が集光する検出器と、
を備え、
前記雰囲気調整部が、前記集光器の下端と前記基板の前記主面との間に配置され、前記スポット近傍に向けて窒素ガスを噴出するノズルを備えることを特徴とする欠陥検査装置。 - 請求項1に記載の欠陥検査装置であって、
前記雰囲気調整部が、
少なくとも前記基板を収容するチャンバと、
前記チャンバ内を減圧する減圧機構と、
を備えることを特徴とする欠陥検査装置。 - 請求項1または2に記載の欠陥検査装置であって、
前記受光部にて取得される前記散乱光の強度に基づいて、前記主面の欠陥を検出する欠陥検出部をさらに備えることを特徴とする欠陥検査装置。
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