JP6724704B2 - 圧電センサユニット及び圧電センサユニットの製造方法並びに燃焼圧センサ - Google Patents

Description

本発明は、圧電センサユニット及び圧電センサユニットの製造方法並びに燃焼圧センサに関する。

圧電素子を用いた圧電センサとしては、例えば特許文献１に開示されたものがある。特許文献１の圧電センサは、圧電素子、圧電素子に圧力を伝達する受圧板、圧電素子と受圧板との間に挟持された電極及び絶縁体（以下、センサ部品という）を積層したセンサ本体を備える。ここで、圧電センサには、圧電素子の耐荷重性能、圧電変換性能が求められる。そのため、受圧板から伝達される圧力が、圧電素子に対して垂直に加わるようにすることが必要である。そこで、特許文献１に記載の圧電センサにおいては、リベットを用いて、センサ部品同士の積層状態が確実に保持できるようにしている。

すなわち、センサ本体の中央部には、積層方向に貫通したリベット孔が設けられている。センサ本体の端面における、リベット孔の周囲に弾性部材を配置した後、リベット孔に、端部に径方向外方に突出した鍔部を有する筒状のリベットを挿通する。リベット孔にリベットを挿通した後、リベットにおける、鍔部を有する端部とは反対側の端部に塞ぎ止め部を形成して、各センサ部品を締結する。弾性部材は、センサ本体の端面とリベットの鍔部との間において、軸方向に弾性圧縮された状態で配される。これにより、弾性部材の弾性力が、積層されたセンサ部品に作用する。そして、リベットによるセンサ本体の積層状態の保持を、確実なものとしている。

特開２００３−１３０７４０号公報

しかしながら、特許文献１に記載の圧電センサにおいては、各センサ部品を締結するためのリベット及び弾性部材を用いているため、部品点数が多くなるという課題がある。また、センサ本体にリベット孔を設けていると共にそのリベット孔にリベットを挿通して、各センサ部品を締結している。そのため、センサ本体の構造が複雑になるという課題もある。したがって、圧電センサの製造コストが上昇しやすい。

本発明は、かかる課題に鑑みてなされたものであり、圧電センサの耐荷重性能及び圧電変換性能を十分に確保しつつ、構造の簡素化を図ると共に、部品点数を低減することができる圧電センサユニットと、その製造方法を提供しようとするものである。

本発明の一態様は、圧電効果によって電圧を発生させる圧電素子（２）と、
上記圧電素子に接合された電極板（３Ａ、３Ｂ）と、
上記電極板を介して上記圧電素子に荷重を伝達する絶縁性の荷重伝達部材（４Ａ、４Ｂ）と、を備え、
上記電極板は、上記圧電素子に発生した電圧を取り出すために延設するリード部（３１）と、上記圧電素子と反対側に向けて突出した保持部（３２）とを有し、
上記荷重伝達部材は、上記保持部に保持されている、圧電センサユニット（１）にある。

本発明の他の態様は、上記圧電センサユニットを製造する方法であって、
複数の上記電極板が連なった多連電極板（７）を形成する形成工程（Ｓ１）と、
上記多連電極板における上記電極板に、上記圧電素子を接合する接合工程（Ｓ２）と、
上記接合工程よりも後に、上記多連電極板を、個別の上記電極板ごとに切り離す切離工程（Ｓ３）と、を備える圧電センサユニットの製造方法にある。

上記圧電センサユニットにおいては、電極板が保持部を有する。そして、荷重伝達部材が、保持部に保持されている。すなわち、電極板が電極としての機能に加え、荷重伝達部材を保持する機能を兼ね備えている。それゆえ、圧電センサユニットの構造の簡素化を図ることができると共に、部品点数を低減することができる。また、電極板に当接する荷重伝達部材は、絶縁性を有する。そのため、荷重伝達部材が接触する電極板以外の部材の間は、荷重伝達部材自体にて電気的に絶縁される。かかる観点からも、圧電センサユニットの部品点数を低減することができる。

また、荷重伝達部材は、電極板に設けた保持部に保持されるため、電極板に対する荷重伝達部材の位置決めも容易かつ正確に行える。それゆえ、荷重伝達部材が受ける圧力は、荷重伝達部材と圧電素子との積層方向に沿って正確に伝達されるため、圧電センサの耐荷重性能及び圧電変換性能を十分に確保することができる。

また、上記圧電センサユニットの製造方法によれば、上記作用効果を有する圧電センサユニットを容易に製造することができる。そして、切離工程よりも前に接合工程を行うことにより、多連電極板における複数の電極板に効率よく複数の圧電素子を連続して接合することができる。これにより、圧電センサユニットの製造を容易に行うことができ、生産性を向上させることができる。

以上のごとく、上記態様によれば、圧電センサの耐荷重性能及び圧電変換性能を十分に確保しつつ、構造の簡素化を図ると共に、部品点数を低減することができる圧電センサユニットと、その製造方法を提供することができる。
なお、特許請求の範囲及び課題を解決する手段に記載した括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものであり、本発明の技術的範囲を限定するものではない。

実施形態１における、圧電センサユニットを有する燃焼圧センサを示す断面図。 実施形態１における、圧電センサユニット周辺の断面拡大図。 実施形態１における、圧電センサユニットの斜視図 実施形態１における、圧電センサユニットの分解斜視図。 実施形態１における、圧電センサユニットの製造方法の流れを模式的に示した説明図。 実施形態２における、圧電センサユニットの分解斜視図。 実施形態３における、圧電センサユニットの斜視図。 実施形態４における、圧電センサユニット周辺の断面拡大図。 図８における、IX−IX線矢指断面図。 図８における、X−X線矢指断面図。 実施形態５における、他の圧電センサユニット周辺の断面拡大図。 図１１における、XII−XII線矢指断面図。 図１１における、XIII−XIII線矢指断面図。 実施形態６における、圧電センサユニット及びグローヒータを有する燃焼圧センサを示す断面図。 実施形態６における、圧電センサユニット周辺の断面拡大図。 図１５における、XVI−XVI線断面矢指図。

（実施形態１）
以下に、上述した圧電センサユニット及びその製造方法の実施形態につき、図面を参照して説明する。
本実施形態の圧電センサユニット１は、図１に示すように、圧電効果によって電圧を発生させる圧電素子２と、圧電素子２に接合された電極板３Ａ、３Ｂと、電極板３Ａ、３Ｂを介して圧電素子２に荷重を伝達する絶縁性の荷重伝達部材４Ａ、４Ｂとを備える。図２に示すように、電極板３Ａ、３Ｂは、圧電素子２に発生した電圧を取り出すために延設するリード部３１と、圧電素子２と反対側に向けて突出した保持部３２とを有する。荷重伝達部材４Ａ、４Ｂは、保持部３２に保持されている。

次に、本形態の圧電センサユニット１及びその製造方法につき、詳説する。
本形態の圧電センサユニット１は、図１に示すように、燃焼圧センサ１０に用いられる。燃焼圧センサ１０は、エンジンヘッド１１の燃焼室１２に隣接する有底孔１３に取り付けられて、燃焼室１２内における燃焼圧を測定する。
図１に示すように、本形態の燃焼圧センサ１０においては、有底孔１３への挿入方向を軸線方向Ｘという。また、軸線方向Ｘにおいて、有底孔１３の開口側に位置する側を基端側Ｘ１といい、その反対側を先端側Ｘ２という。

燃焼圧センサ１０は、図１に示すように、圧電センサユニット１の他に、ハウジング１４と、中継部材１５と、固定部材１６とを備える。ハウジング１４は、エンジンヘッド１１の有底孔１３に挿入される筒状の挿入部１４１と、圧電センサユニット１を収容する筒状のセンサ収容部１４２とを有する。挿入部１４１の内側には、円柱形状の中継部材１５が配されている。センサ収容部１４２の内側には、円盤形状の固定部材１６が固定されている。センサ収容部１４２に収容された圧電センサユニット１は、中継部材１５の基端側Ｘ１であって、固定部材１６の先端側Ｘ２に配されている。こうして、圧電センサユニット１は、センサ収容部１４２内において、中継部材１５と固定部材１６との間に挟持されている。

圧電センサユニット１は、図２に示すように、圧電素子２に電極板３Ａ、３Ｂ及び荷重伝達部材４Ａ、４Ｂを軸線方向Ｘに沿って積層して形成されている。圧電素子２は、電極板３Ａと、軸線方向Ｘにおいて、電極板３Ａに対向して配置された電極板３Ｂとの間に挟持されている。電極板３Ａにおける圧電素子２の反対側には、荷重伝達部材４Ａが配置されている。電極板３Ｂにおける圧電素子２の反対側には、荷重伝達部材４Ｂが配置されている。荷重伝達部材４Ａは、電極板３Ａの保持部３２に保持されている。そして、荷重伝達部材４Ａの先端面４１Ａが、中継部材１５の基端面１５２に当接している。また、荷重伝達部材４Ｂは、電極板３Ｂの保持部３２に保持されている。そして、荷重伝達部材４Ｂの基端面４２Ｂが、固定部材１６の先端面１６１に当接している。

圧電素子２は、直方体形状を有している。圧電素子２は、電極板３Ａ、３Ｂ及び荷重伝達部材４Ａ、４Ｂを介して、ハウジング１４に生じる歪みに応じて中継部材１５から伝達される圧力を受ける。中継部材１５から伝達される圧力に応じた電圧が、圧電素子２に発生する。圧電素子２は、例えば、水晶、ＰＺＴ（すなわちチタン酸ジルコン酸鉛）、ニオブ酸リチウム、ポリフッ化ビニリデン等の圧電材からなる。

図３、図４に示すように、電極板３Ａ、３Ｂは、圧電素子２の先端面２１及び基端面２２にそれぞれ接触配置される本体板部３０を有する。本体板部３０は、薄板状に形成されている。本形態において、本体板部３０は、軸線方向Ｘから見た平面視において長方形状、より具体的には正方形状に形成されている。電極板３Ａの本体板部３０は、圧電素子２と、軸線方向Ｘにおいて、圧電素子２に対向して配置された荷重伝達部材４Ａとの間に挟持されている。電極板３Ｂの本体板部３０は、圧電素子２と、軸線方向Ｘにおいて、圧電素子２に対向して配置された荷重伝達部材４Ｂとの間に挟持されている。本体板部３０の軸線方向Ｘに直交する断面の面積は、圧電素子２の先端面２１又は基端面２２の面積よりも大きい。また、本体板部３０の軸線方向Ｘに直交する断面の面積は、荷重伝達部材４Ａ、４Ｂの圧電素子２側の面の面積と略同一である。

本体板部３０の外縁には、リード部３１及び保持部３２が設けられている。リード部３１は、軸線方向Ｘに直交する横方向Ｙに延設する第１部分３１１と、第１部分３１１から軸線方向Ｘの基端側Ｘ１に延設する第２部分３１２とによって構成されている。電極板３Ａの第１部分３１１は、電極板３Ｂの第１部分３１１の延設方向とは反対側に延設している。図２に示すように、第２部分３１２は、固定部材１６の挿通孔１６３内に挿通された状態で、固定部材１６の基端側Ｘ１に引き出されている。なお、第１部分３１１は、軸線方向Ｘ及び横方向Ｙに直交する縦方向Ｚに延設してもよい。

図３、図４に示すように、保持部３２は、電極板３Ａ、３Ｂから突出した複数の爪部３３からなる。荷重伝達部材４Ａ、４Ｂは、複数の爪部３３によって挟持されている。爪部３３は、電極板３Ａ、３Ｂの本体板部３０の各辺からそれぞれ軸線方向Ｘに突出して形成されている。４本の爪部３３のうちの一対の爪部３３は、横方向Ｙに対向している。また、他の一対の爪部３３は、縦方向Ｚに対向している。電極板３Ａの爪部３３は、軸線方向Ｘの先端側Ｘ２に突出して形成されている。電極板３Ｂの爪部３３は、軸線方向Ｘの基端側Ｘ１に突出して形成されている。

横方向Ｙに対向して形成された一対の爪部３３は、軸線方向Ｘにおいて本体板部３０から爪部３３の突出端に向かうに従い、横方向Ｙ内側に傾くよう形成されている。同様に、縦方向Ｚに対向して形成された他の一対の爪部３３は、軸線方向Ｘにおいて本体板部３０から爪部３３の突出端に向かうに従い、縦方向Ｚ内側に傾くよう形成されている。なお、爪部３３の突出端に向かうに従い内側に傾くよう形成する以外にも、例えば、荷重伝達部材４Ａ、４Ｂに爪部３３が部分的に接触するように、爪部３３の一部が荷重伝達部材４Ａ、４Ｂに向けて突出するよう形成することもできる。

荷重伝達部材４Ａ、４Ｂは、基端面４２Ａ又は先端面４１Ｂを本体板部３０に当接させつつ、二対の爪部３３に挟持されることにより、電極板３Ａ、３Ｂに保持されている。ここで、電極板３Ａ、３Ｂが荷重伝達部材４Ａ、４Ｂを保持する際に、横方向Ｙに対向して形成された一対の爪部３３が、横方向Ｙ外側に弾性変形して撓む。すなわち、横方向Ｙ内側に傾くよう形成された一対の爪部３３が、荷重伝達部材４Ａ、４Ｂから横方向Ｙ外側に押し広げられるよう荷重を受けることにより、横方向Ｙ外側に弾性変形する。また、縦方向Ｚに対向して形成された他の一対の爪部３３が、上述した横方向Ｙにおける弾性変形と同様に、縦方向Ｚ外側に弾性変形して撓む。そして、二対の爪部３３から荷重伝達部材４Ａ、４Ｂに横方向Ｙ内側及び縦方向Ｚ内側への付勢力（弾性力）が作用する。こうして、二対の爪部３３は、横方向Ｙ及び縦方向Ｚから荷重伝達部材４Ａ、４Ｂを挟持している。

圧電素子２と電極板３Ａ、３Ｂとの間には、両者を接合する導電性接合材５Ａ、５Ｂが介在している。導電性接合材５Ａは、圧電素子２と、軸線方向Ｘにおいて、圧電素子２に対向して配置された電極板３Ａの本体板部３０との間に挟持されている。導電性接合材５Ｂは、圧電素子２と、軸線方向Ｘにおいて、圧電素子２に対向して配置された電極板３Ｂの本体板部３０との間に挟持されている。導電性接合材５Ａ、５Ｂは、圧電素子２の先端面２１及び基端面２２の全面に配されている。導電性接合材５Ａ、５Ｂは、Ａｇペースト、アルミニウムろう、銀ろう、りん銅ろう等からなる。

次に、本形態の圧電センサユニット１の製造方法について、図５を参照して説明する。
本形態においては、以下に述べる形成工程Ｓ１、接合工程Ｓ２、切離工程Ｓ３、屈曲工程Ｓ４及び組付工程Ｓ５を行って、圧電センサユニット１を製造する。
形成工程Ｓ１では、複数の電極板３Ａが連なった多連電極板７を形成する。
接合工程Ｓ２では、多連電極板７における電極板３Ａに、圧電素子２を接合する。
切離工程Ｓ３では、多連電極板７を、個別の電極板３Ａごとに切り離す。
屈曲工程Ｓ４では、電極板３Ａを屈曲させて保持部３２を形成する。
組付工程Ｓ５では、荷重伝達部材４Ａを、保持部３２に組み付ける。
切離工程Ｓ３は、接合工程Ｓ２よりも後に行われる。
組付工程Ｓ５は、屈曲工程Ｓ４よりも後に行われる。

形成工程Ｓ１においては、例えば、金属板をプレス打ち抜きする。これにより、複数の電極板３Ａがフレーム７０にて連なった状態の多連電極板７を得る。
接合工程Ｓ２においては、まず、圧電素子２の先端面２１に、導電性接合材５Ａを配置する。あるいは、多連電極板７における電極板３Ａのそれぞれの本体板部３０に、導電性接合材５Ａを配置する。次いで、各電極板３Ａの本体板部３０に、圧電素子２を接合する。その後、電極板３Ａと圧電素子２との間に介在した導電性接合材５Ａを硬化させる。
切離工程Ｓ３においては、例えば、タイバーカット等によって、電極板３Ａをフレーム７０から切り離す。これにより、圧電素子２が接合された電極板３Ａが複数得られる。

屈曲工程Ｓ４においては、電極板３Ａの一部を屈曲させてリード部３１及び複数の爪部３３を形成する。複数の爪部３３を形成することにより、保持部３２が形成される。
組付工程Ｓ５においては、荷重伝達部材４Ａを、電極板３Ａの複数の爪部３３の間に挟持させることにより、荷重伝達部材４Ａの組み付けが行われる。

その後、圧電素子２の基端面２２に、導電性接合材５Ｂを介して電極板３Ｂを接合する。また、電極板３Ｂの複数の爪部３３の間に、荷重伝達部材４Ｂを挟持させる。こうして、図１に示す圧電センサユニット１が製造される。なお、屈曲工程Ｓ４及び組付工程Ｓ５は、切離工程Ｓ３の前に行ってもよい。

次に、燃焼圧センサ１０による燃焼圧測定方法について説明する。
図１に示すように、燃焼圧センサ１０を有底孔１３に取り付ける際には、挿入部１４１の基端側Ｘ２に形成された雄螺子部１４３を、有底孔１３に形成された雌螺子部１３２に螺合させる。そして、ハウジング１４の挿入部１４１の先端部を有底孔１３の底部１３１に当接させる。こうして、エンジンヘッド１１に燃焼圧センサ１０が取り付けられる。

燃焼圧に応じてエンジンヘッド１１に生じる歪みは、荷重として底部１３１と雌螺子部１３２とを介してハウジング１４の挿入部１４１に加わる。そして、挿入部１４１にも歪みが生じ、挿入部１４１に生じた歪みが荷重として中継部材１５に加わる。この荷重が、中継部材１５から電極板３Ａ、荷重伝達部材４Ａを介して圧電素子２に加わる。圧電素子２は、電極板３Ｂ、荷重伝達部材４Ｂを介して固定部材１６によって移動が阻止されている。それゆえ、挿入部１４１に生じた歪みは、荷重として荷重伝達部材４Ａと荷重伝達部材４Ｂを介して圧電素子２に加わる。これにより、圧電素子２に作用した圧力が、電極板３Ａ、３Ｂを通じて電圧として測定される。
また、燃焼室１２内の燃焼圧と圧電素子２の圧力の出力との関係は、実際に測定を行って形成したマップ等によって求められている。そして、圧電素子２の圧力の出力に応じて燃焼室１２内の燃焼圧を算出することができる。

上述のように、圧電センサユニット１は、燃焼圧センサ１０の一部に組み込まれる。燃焼圧センサ１０は、より具体的には、図１、図２に示すように、回路基板１７と、コネクタ１８とを更に備える。回路基板１７は、固定部材１６の基端側Ｘ１において、ハウジング１４のセンサ収容部１４２内に配されている。回路基板１７は、圧電素子２の圧電効果によって発生した電圧を増幅するための増幅回路部品１７１を有する。回路基板１７には、電極板３Ａ、３Ｂのリード部３１が接続された電気接合部が設けられている。燃焼圧センサ１０の基端部には、ＥＣＵ等の制御部と接続するためのコネクタ１８が配されている。コネクタ１８は、回路基板１７に接続された複数のコネクタピン１８１を有する。

次に、本実施形態の作用効果につき説明する。
本形態の圧電センサユニット１においては、電極板３Ａ、３Ｂが複数の爪部３３を有する。そして、荷重伝達部材４Ａ、４Ｂが、複数の爪部３３に挟持されている。すなわち、電極板３Ａ、３Ｂが電極としての機能に加え、荷重伝達部材４Ａ、４Ｂを挟持する機能を兼ね備えている。それゆえ、圧電センサユニット１の構造の簡素化を図ることができると共に、部品点数を低減することができる。また、電極板３Ａ、３Ｂに当接する荷重伝達部材４Ａ、４Ｂは、絶縁性を有する。そのため、荷重伝達部材４Ａ、４Ｂが接触する電極板３Ａ、３Ｂ以外の部材の間は、荷重伝達部材４Ａ、４Ｂ自体にて電気的に絶縁される。かかる観点からも、圧電センサユニット１の部品点数を低減することができる。

また、荷重伝達部材４Ａ、４Ｂは、電極板３Ａ、３Ｂに設けた複数の爪部３３によって挟持されるため、電極板３Ａ、３Ｂに対する荷重伝達部材４Ａ、４Ｂの位置決めも容易かつ正確に行える。それゆえ、荷重伝達部材４Ａ、４Ｂが受ける圧力は、荷重伝達部材４Ａ、４Ｂと圧電素子２との積層方向に沿って正確に伝達されるため、圧電センサユニット１を有する燃焼圧センサ１０の耐荷重性能及び圧電変換性能を十分に確保することができる。

また、圧電素子２と電極板３Ａ、３Ｂとは、導電性接合材５Ａ、５Ｂによって接合されるため、圧電素子２と電極板３Ａ、３Ｂとの導通を確保しつつ容易に圧電センサユニット１を組み立てることができる。それゆえ、圧電センサユニット１の構造の簡素化を図ることができる。

また、本形態の圧電センサユニット１の製造方法によれば、上記作用効果を有する圧電センサユニット１を容易に製造することができる。そして、切離工程Ｓ３よりも前に接合工程Ｓ２を行うことにより、多連電極板７における複数の電極板３Ａに効率よく複数の圧電素子２を連続して接合することができる。これにより、圧電センサユニット１の製造を容易に行うことができ、生産性を向上させることができる。

以上のごとく、本形態によれば、燃焼圧センサ１０の耐荷重性能及び圧電変換性能を十分に確保しつつ、構造の簡素化を図ると共に、部品点数を低減することができる圧電センサユニット１と、その製造方法を提供することができる。

（実施形態２）
本形態の圧電センサユニット１においては、図６に示すように、電極板３Ａ、３Ｂの複数の爪部３３は、荷重伝達部材４Ａ、４Ｂに向けて突出した鉤状部３３１を有する。横方向Ｙに対向して形成された一対の爪部３３における鉤状部３３１は、縦方向Ｚに沿って形成されている。また、縦方向Ｚに対向して形成された他の一対の爪部３３における鉤状部３３１は、横方向Ｙに沿って形成されている。鉤状部３３１は、荷重伝達部材４Ａ、４Ｂの側面に当接する。鉤状部３３１は、突出端が尖った形状を有する。鉤状部３３１は、軸線方向Ｘにおける電極板３Ａ、３Ｂを配した側とは反対側において、鉤状部３３１の突出端へ向かうほど、電極板３Ａ、３Ｂ側に向うように傾斜する傾斜面３３１ａを有する。

その他の構成は、実施形態１と同様である。なお、実施形態２以降において用いた符号のうち、既出の実施形態において用いた符号と同一のものは、特に示さない限り、既出の実施形態におけるものと同様の構成要素等を表す。

本形態の圧電センサユニット１においては、二対の爪部３３が荷重伝達部材４Ａ、４Ｂを挟持する際に、鉤状部３３１は、軸線方向Ｘに対して垂直な方向の線接触に近い状態にて荷重伝達部材４Ａ、４Ｂに接触する。そのため、軸線方向Ｘにおける、荷重伝達部材４Ａ、４Ｂの移動を阻止しやすい。それゆえ、保持部３２による電極板３Ａ、３Ｂへの荷重伝達部材４Ａ、４Ｂの保持を、より確実にすることができる。これにより、容易に圧電センサユニット１を組み立てることができ、圧電センサユニット１の構造の簡素化を図ることができる。

また、鉤状部３３１は、傾斜面３３１ａを有する。そして、二対の爪部３３が荷重伝達部材４Ａ、４Ｂを挟持する際に、荷重伝達部材４Ａ、４Ｂは、鉤状部３３１の傾斜面３３１ａに沿いながら保持部３２に組み付けられる。そのため、電極板３Ａ、３Ｂと荷重伝達部材４Ａ、４Ｂとの寸法公差等により、爪部３３と荷重伝達部材４Ａ、４Ｂとが引っかかることを抑制することができる。それゆえ、保持部３２による電極板３Ａ、３Ｂへの荷重伝達部材４Ａ、４Ｂの保持状態を、より容易かつ円滑に実現にすることができる。
その他、実施形態１と同様の効果を得ることができる。

（実施形態３）
本形態の圧電センサユニット１においては、図７に示すように、荷重伝達部材４Ａの先端面４１Ａを球面状としている。すなわち、荷重伝達部材４Ａは、圧電素子２と反対側に荷重を受ける当接部４３を有する。この当接部４３が、球面状に形成されている。当接部４３は、中継部材１５の基端面１５２に当接する。これにより、荷重伝達部材４Ａは、中継部材１５からの荷重を受けることができるよう構成されている。

また、電極板３Ａ、３Ｂのリード部３１には、リード部３１の延設方向の外力を吸収する弾性変形部３１３が形成されている。弾性変形部３１３は、リード部３１の第２部分３１２に形成されている。弾性変形部３１３は、横方向Ｙに凸となるように湾曲して形成されている。電極板３Ａの弾性変形部３１３は、電極板３Ｂの弾性変形部３１３の湾曲方向とは反対側に湾曲して形成されている。なお、弾性変形部３１３は、縦方向Ｚに凸となるように湾曲して形成されてもよい。本形態の荷重伝達部材４Ａは、円柱形状を有している。
その他の構成は、実施形態１と同様である。

本形態の圧電センサユニット１において、荷重伝達部材４Ａの当接部４３は、球面状に形成されている。そのため、当接部４３は、点接触の状態で中継部材１５に当接させることができる。したがって、圧電センサユニット１と中継部材１５との積層方向が軸線方向Ｘに対して若干ずれた場合であっても、中継部材１５から圧電センサユニット１への荷重を正確に伝達させることができる。それゆえ、燃焼圧センサ１０における、中継部材１５及び圧電センサユニット１の組付公差を緩和させることができる。これにより、圧電センサユニット１の製造を容易に行うことができ、生産性を向上させることができる。

また、電極板３Ａ、３Ｂのリード部３１には、弾性変形部３１３が形成されている。これにより、電極板３Ａ、３Ｂの本体板部３０が中継部材１５から荷重を伝達された際に、弾性変形部３１３が延設方向に沿って縮み、リード部３１の破損を防止することができる。

また、電極板３Ａ、３Ｂのリード部３１における、弾性変形部３１３が延設方向に沿って縮む。それゆえ、第２部分３１２における弾性変形部３１３よりも軸線方向Ｘの基端側Ｘ１の部分が軸線方向Ｘに振動することを抑制して、回路基板１７の電気接合部に上記振動に伴うストレスが発生することを防止することができる。これにより、電気接合部の耐久性を向上させることができる。
その他、実施形態１と同様の効果を得ることができる。
なお、当接部４３の球面形状は、完全な球面に限らず、上述の作用効果が得られる範囲で、球面から多少ずれた略球面の状態であってもよい。

（実施形態４）
本形態の圧電センサユニット１においては、図８〜図１０に示すように、電極板３Ａ、３Ｂに位置決め孔３４が形成されている。すなわち、電極板３Ａ、３Ｂは、電極板３Ａ、３Ｂの厚み方向に貫通した複数の位置決め孔３４と、複数の位置決め孔３４に囲まれた素子搭載部３５とを備える。位置決め孔３４の内側端縁は、素子搭載部３５に搭載された圧電素子２の外形に沿っている。

本形態の電極板３Ａ、３Ｂの本体板部３０は、円盤状に形成されている。この円盤状の本体板部３０に、４つの位置決め孔３４が形成されている。位置決め孔３４は、本体板部３０の一部を切り曲げすることによって形成される。位置決め孔３４は、軸線方向Ｘから見た平面視において長方形状に形成されている。位置決め孔３４の外側端縁から、爪部３３が軸線方向Ｘに立設している。４個の位置決め孔３４のうちの一対の位置決め孔３４は、素子搭載部３５に対して横方向Ｙにおける両側に配設されている。また、他の一対の位置決め孔３４は、素子搭載部３５に対して縦方向Ｚにおける両側に配設されている。電極板３Ａ、３Ｂの複数の爪部３３は、位置決め孔３４の切り曲げ加工に伴って、圧電素子２と反対側に向けて形成されている。これにより、位置決め孔３４の周囲に発生したバリが、圧電素子２に接触することを防止することができる。

素子搭載部３５は、本体板部３０における４つの位置決め孔３４の内側に形成されている。素子搭載部３５は、略正方形状を有している。電極板３Ａの素子搭載部３５には、導電性接合材５Ａを介して圧電素子２が搭載されている。電極板３Ｂの素子搭載部３５には、導電性接合材５Ｂを介して圧電素子２が搭載されている。素子搭載部３５の軸線方向Ｘから見たときの形状は、圧電素子２の先端面２１又は基端面２２の形状と略同一である。
その他の構成は、実施形態１と同様である。

本形態の圧電センサユニット１において、位置決め孔３４の内側端縁は、素子搭載部３５に搭載された圧電素子２の外形に沿っている。そのため、素子搭載部３５に圧電素子２を搭載する際に、位置決め孔３４を基準として圧電素子２の位置決めを行うことができる。これにより、圧電素子２、電極板３Ａ、３Ｂ、荷重伝達部材４Ａ、４Ｂ及び導電性接合材５Ａ、５Ｂの中心軸線を一致させて、燃焼圧センサ１０の耐荷重性能及び圧電変換性能を向上させることができる。
その他、実施形態１と同様の効果を得ることができる。

（実施形態５）
本形態の圧電センサユニット１においては、図１１〜図１３に示すように、電極板３Ａ、３Ｂにおける位置決め孔３４の形状が、実施形態４の場合と異なる。本形態において、位置決め孔３４は、圧電素子２の外形に沿って伸びる一対の伸長孔３４１を有している。横方向Ｙに対向して形成された一対の位置決め孔３４のそれぞれにおける一対の伸長孔３４１は、縦方向Ｚに伸長している。また、縦方向Ｚに対向して形成された他の一対の位置決め孔３４のそれぞれにおける一対の伸長孔３４１は、横方向Ｙに伸長している。電極板３Ａ、３Ｂの本体板部３０に、４つの位置決め孔３４のそれぞれから伸びた一対の伸長孔３４１が形成されることにより、位置決め孔３４の内側端縁は、素子搭載部３５の外形に沿って長くなる。

これに伴い、本形態の爪部３３も、圧電素子２の外形に沿って突出した一対の突出部３３２を有している。横方向Ｙに対向して形成された一対の爪部３３における一対の突出部３３２は、縦方向Ｚに対向している。また、縦方向Ｚに対向して形成された他の一対の爪部３３における一対の突出部３３２は、横方向Ｙに対向している。
その他の構成は、実施形態４と同様である。

本形態の圧電センサユニット１においては、電極板３Ａ、３Ｂの素子搭載部３５に導電性接合材５Ａ、５Ｂを介して圧電素子２を搭載する際に、セルフアライメント効果によって圧電素子２を容易かつ正確に位置決めすることができる。すなわち、流動性のある状態の導電性接合材５Ａ、５Ｂは、その表面張力によって、素子搭載部３５の全体に収まりつつ、自然に圧電素子２を素子搭載部３５の外形に沿った位置、姿勢に誘導する。

また、実施形態４の圧電センサユニット１と比較して、位置決め孔３４は、一対の伸長孔３４１を有することにより、圧電素子２の外周における、電極板３Ａ、３Ｂの本体板部３０と荷重伝達部材４Ａ、４Ｂとが接触する面積が減少する。そのため、圧電素子２の外周に伝達される荷重が減少し、圧電素子２に対する曲げ応力を減少させることができる。それゆえ、圧電センサユニット１を有する燃焼圧センサ１０の耐荷重性能及び圧電変換性能を向上させることができる。
その他、実施形態４と同様の効果を得ることができる。

（実施形態６）
本形態の圧電センサユニット１は、図１４に示すように、グローヒータ６を一体化してなる燃焼圧センサ１０に用いられる。燃焼圧センサ１０は、エンジンヘッド１１の燃焼室１２に挿通する取付孔１９に取り付けられて、燃焼室１２内における燃焼圧を測定すると共に、グローヒータ６に通電を行って、燃焼室１２内における燃料混合気を予熱する。

図１５に示すように、圧電センサユニット１は、互いに並列配置された複数の圧電素子２を備える。本形態においては、図１６に示すように、４つの圧電素子２が並列配置されている。また、各圧電素子２の先端側Ｘ２には、それぞれ荷重伝達部材４Ａが配されている。複数の圧電素子２及び複数の荷重伝達部材４Ａは、軸線方向Ｘから見た平面視において、電極板３Ａの中心部に形成された中空穴３６の周囲に配されている。図１５に示すように、複数の圧電素子２は、電極板３Ａと、軸線方向Ｘにおいて、電極板３Ａに対向して配置された電極板３Ｂとの間に挟持されている。電極板３Ａは、複数の圧電素子２と反対側に向けて突出した複数の保持部３２を有する。複数の荷重伝達部材４Ａは、複数の保持部３２に保持されている。保持部３２は、電極板３Ａから突出した複数の爪部３３からなる。

実施形態１と異なり、電極板３Ｂは、保持部３２を有していない。電極板３Ｂの基端側Ｘ１には、荷重伝達部材４Ｂが配置されていない。電極板３Ｂは、固定部材１６に隣接して配置されているため、電極板３Ｂは、ハウジング１４及び固定部材１６を介してエンジンのグラウンド電位と同じ電位にある。

図１４に示すように、グローヒータ６は、ハウジング１４の挿入部１４１の内側に保持されていると共に、先端側Ｘ２へ突出している。グローヒータ６は、セラミックから構成されている。グローヒータ６は、燃焼室１２内の燃焼混合気を加熱するよう構成されている。グローヒータ６の基端部からは、通電線６１がハウジング１４の基端側Ｘ１へ延設されている。図１５に示すように、通電線６１は、電極板３Ａ、３Ｂの中空穴３６内と、中継部材１５、固定部材１６及び回路基板１７のそれぞれの中心部に形成された中空穴内とに挿通された状態で、回路基板１７の基端側Ｘ１に引き出されている。通電線６１の基端部は、接続端子６２を介してコネクタ１８のコネクタピン１８１に接続されている。

燃焼圧センサ１０を取付孔１９に取り付ける際には、図１４に示すように、挿入部１４１の基端側Ｘ２に形成された雄螺子部１４３を、取付孔１９に形成された雌螺子部１９２に螺合させる。そして、エンジンヘッド１１の燃焼室１２内にグローヒータ６の先端部を突出させつつ、ハウジング１４の挿入部１４１の先端部を取付孔１９に当接させる。こうして、エンジンヘッド１１に燃焼圧センサ１０が取り付けられる。
その他の構成は、実施形態１と同様である。

本形態の燃焼圧センサ１０は、グローヒータ６を一体化してなる。それゆえ、エンジン付属部品の部品点数を低減することができる。また、燃焼室１２に隣接する有底孔１３を、エンジンヘッド１１に別途設ける必要がない。これにより、エンジンヘッド１１の強度信頼性を向上させることができるとともに、エンジンヘッド１１の製造コストを低減することができる。
その他、実施形態１と同様の効果を得ることができる。

本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の実施形態を構成することが可能である。例えば、電極板３Ａ、３Ｂの保持部３２の形状は、適宜変更することができる。

１ 圧電センサユニット
１０ 燃焼圧センサ
２ 圧電素子
３Ａ、３Ｂ 電極板
４Ａ、４Ｂ 荷重伝達部材
５Ａ、５Ｂ 導電性接合材
６ グローヒータ
７ 多連電極板

Claims (12)

1. 圧電効果によって電圧を発生させる圧電素子（２）と、
   上記圧電素子に接合された電極板（３Ａ、３Ｂ）と、
   上記電極板を介して上記圧電素子に荷重を伝達する絶縁性の荷重伝達部材（４Ａ、４Ｂ）と、を備え、
   上記電極板は、上記圧電素子に発生した電圧を取り出すために延設するリード部（３１）と、上記圧電素子と反対側に向けて突出した保持部（３２）とを有し、
   上記荷重伝達部材は、上記保持部に保持されている、圧電センサユニット（１）。
2. 上記保持部は、上記電極板から突出した複数の爪部（３３）からなり、上記荷重伝達部材は、上記複数の爪部によって挟持されている、請求項１に記載の圧電センサユニット。
3. 上記複数の爪部は、上記荷重伝達部材に向けて突出した鉤状部（３３１）を有する、請求項２に記載の圧電センサユニット。
4. 上記電極板は、上記電極板の厚み方向に貫通した複数の位置決め孔（３４）と、上記複数の位置決め孔に囲まれた素子搭載部（３５）とを備え、上記位置決め孔の内側端縁は、上記素子搭載部に搭載された圧電素子の外形に沿っている、請求項１〜３のいずれか１項に記載の圧電センサユニット。
5. 上記荷重伝達部材は、上記圧電素子と反対側に荷重を受ける当接部（４３）を有し、上記当接部は、球面状に形成されている、請求項１〜４のいずれか１項に記載の圧電センサユニット。
6. 上記圧電素子と上記電極板との間には、両者を接合する導電性接合材（５Ａ、５Ｂ）が介在している、請求項１〜５のいずれか１項に記載の圧電センサユニット。
7. 上記リード部には、上記リード部の延設方向の外力を吸収する弾性変形部（３１３）が形成されている、請求項１〜６のいずれか１項に記載の圧電センサユニット。
8. 請求項１〜７のいずれか一項に記載の圧電センサユニットを有する、燃焼圧センサ（１０）。
9. グローヒータ（６）を一体化してなる、請求項８に記載の燃焼圧センサ。
10. 請求項１〜７のいずれか一項に記載の圧電センサユニットを製造する方法であって、
    複数の上記電極板が連なった多連電極板（７）を形成する形成工程（Ｓ１）と、
    上記多連電極板における上記電極板に、上記圧電素子を接合する接合工程（Ｓ２）と、
    上記接合工程よりも後に、上記多連電極板を、個別の上記電極板ごとに切り離す切離工程（Ｓ３）と、を備える圧電センサユニットの製造方法。
11. 上記電極板を屈曲させて上記保持部を形成する屈曲工程（Ｓ４）と、
    上記屈曲工程の後に、上記荷重伝達部材を、上記保持部に組み付ける組付工程（Ｓ５）と、をさらに備える、請求項１０に記載の圧電センサユニットの製造方法。
12. 上記切離工程は、上記組付工程よりも後に行われる、請求項１１に記載の圧電センサユニットの製造方法。

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