JP6720650B2 - 薄膜製造方法および薄膜製造装置 - Google Patents
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Description
本発明の第1実施形態について説明する。本実施形態では、図1に示す薄膜製造装置100を用いて、熱交換器200の内部に腐食を抑制するための薄膜を製造する方法について説明する。熱交換器200は、車両の内燃機関に環流させる排気ガスを冷却するEGR(Exhaust Gas Recirculation:排気再循環)用の熱交換器であり、熱交換対象物と、熱交換器200の内部を流れる冷媒との熱交換により、熱交換対象物が冷却される。
本発明の第2実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対して温度制御部80の構成を変更したものであり、その他については第1実施形態と同様であるため、第1実施形態と異なる部分についてのみ説明する。
なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。
10 第1供給部
20 第2供給部
30 第3供給部
80 温度制御部
202 フィン
Claims (4)
- 原子層堆積法による薄膜製造方法であって、
基材(202)を用意すること(S101)と、
前記基材の表面を所定の範囲に含まれる温度とすること(S102)と、
前記基材が配置された空間に、前記所定の範囲に含まれる温度における成膜速度が所定の値よりも小さい原料を含む第1ガスを供給すること(S105)と、
前記第1ガスを供給することの後、前記空間に、前記所定の範囲に含まれる温度における成膜速度が前記所定の値以上である原料を含む第2ガスを供給すること(S107)と、
前記第2ガスを供給することの後、前記空間に酸化剤を供給すること(S109)と、を備え、
前記第1ガスを供給することでは、前記基材の表面に未結合手が残るように前記第1ガスを供給し、
前記第2ガスを供給することでは、前記第2ガスの原料が残った該未結合手と結合するように、前記第1ガスに含まれる原料と同一の官能基を持つ原料を含む前記第2ガスを供給する薄膜製造方法。 - 前記所定の範囲に含まれる温度とすることでは、前記基材の表面に、前記所定の範囲に含まれる温度であって、互いに異なる温度とされた複数の領域(R1、R2、R3)を形成する請求項1に記載の薄膜製造方法。
- 前記基材を用意することでは、前記基材として熱伝導率が27W/(m・K)以下のものを用いる請求項1または2に記載の薄膜製造方法。
- 原子層堆積法により薄膜を製造する薄膜製造装置(100)であって、
基材(202)の表面を所定の範囲に含まれる温度とする温度制御部(80)と、
前記基材が配置された空間に、前記所定の範囲に含まれる温度における成膜速度が所定の値よりも小さい原料を含む第1ガスを供給する第1供給部(10)と、
前記空間に、前記所定の範囲に含まれる温度における成膜速度が前記所定の値以上である原料を含む第2ガスを供給する第2供給部(20)と、
前記空間に酸化剤を供給する第3供給部(30)と、を備え、
前記第1供給部は、前記温度制御部が前記基材の表面を前記所定の範囲に含まれる温度とした後、前記基材の表面に未結合手が残るように前記空間に前記第1ガスを供給し、
前記第2供給部は、前記第1供給部が前記空間に前記第1ガスを供給した後、前記第2ガスの原料が残った該未結合手と結合するように前記空間に前記第2ガスを供給し、
前記第3供給部は、前記第2供給部が前記空間に前記第2ガスを供給した後、前記空間に前記酸化剤を供給する薄膜製造装置。
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