JP6719113B2 - 平坦基準面の測定方法及び平坦度測定装置 - Google Patents

Description

本発明は、主に複数の実装端子を有するＩＣチップなどの電子デバイス、電子部品又はコネクターなどの測定対象物の、該複数の実装端子（測定箇所）の平坦度を測定するのに適した平坦基準面の測定方法及び平坦度測定装置に関する。

従来、ガラス平面板の上面を平坦基準面とし、該平坦基準面上に載置した測定対象物の実装端子（測定箇所）の前記平坦基準面からの距離を、レーザ光線を投光部から照射してその反射光線を受光部で受光しその距離を測定するオートフォーカス光検出部によって測定するものが知られている。例えば特許文献１の発明。
その測定方法は、測定対象物の無い平坦基準面からの反射光線である基準面反射光線の受光によって該平坦基準面位置を特定して特定基準面とし、測定対象物の測定箇所からの反射光線である測定箇所反射光線の受光によって測定箇所の位置を特定して、前記特定基準面からの前記測定箇所の位置を算出することで基準面からの測定箇所の距離（浮き距離）を得るものである。
平坦基準面の測定は複数個所（例えば５箇所）を測定しその平均値を特定基準面としている。
そのためにガラスの透過度が、基準面反射光線を光検出部が受光できる基準面反射光受光量となるようにされ、かつ、測定箇所反射光線が前記基準面反射光受光量よりも強い測定箇所反射光受光量となるように設定され、反射光線が基準面反射光線と測定箇所反射光線との両方がある場合は、強い測定箇所反射光線に焦点が合わされるようになるものである。

ガラス平面板は具体的には、レーザフォーカスセンサー（フォーカス測距方式：分解能０．０１μｍ）で、照射されるレーザ光線は６７０ナノメートルであり、ガラス平面板はレーザ光線の透過率を９８パーセント以上になるように、ガラス平面板の両面にフッ化マグネシウムを主成分とする真空蒸着による透過膜が施されている。平坦基準面からの反射は２パーセント弱となる。平坦基準面は平坦度３μｍ以下程度に研磨された平坦精度に加工されている。

特許第4849709号公報

上述した従来技術は、平坦基準面を測定する基準面測定位置（基準面測定箇所箇所）に測定対象物の一部が位置していると、反射光量の大きい測定対象物の位置を基準面位置（以下「誤基準面位置」という。）と判定してしまい、誤基準面位置からの各測定箇所の距離（浮き距離ないし浮き量）の計算が行われて誤った浮き距離が算出されてしまう「基準面のズレ」という問題が発生するという欠点を有するものであった。

測定対象物には例えば、測定箇所である太さ０．１８ｍｍのピン（測定箇所）が０．３２ｍｍ間隔でパッケージの外側に９５本が０．５ｍｍ程突き出した形態で配列されたものや、１×２ｍｍのパッケージの一辺に４本のピンが外側に突き出したものなど微細なピン構成、小さく微重量なパッケージ構成のものがあり、さらにそれより微細なものが存在し今後さらに微細なものが出現されると予想される。
これらは、例えば上記９５本ピンのものでは、位置決めを四角形の治具の隅に当てた位置決め形態とした場合、基準面測定位置は治具側面壁とピント（測定箇所）との間にできる、例えば０．５ｍｍ×３ｍｍ程度、０．５ｍｍ×０．５ｍｍというような極めて狭い隙間に設定することになる。
このような狭い隙間に基準面測定位置が設定されている状態においては、測定対象物の置き方（置き位置・置き向き）のミス、風圧や振動等による移動、測定対象物のピンの曲がり、又は基準面測定位置の設定ミスなどによって、基準面位置の真上に測定対象物の一部が位置してしまうことが生じることがあるという問題がある。

平坦基準面は微細に平坦加工しているといっても反り、歪み、凸凹があるものであり、その測定範囲が広ければ広いほどそれらの差が大きくなり、平坦度の精密さ信頼性が劣ってくる可能性があるものである。
実施例１で示すように、平坦基準面の測定は測定対象物の測定開始前（以下「開始前基準面測定」又は「開始前基準面測定位置」という。）と測定終了後（以下「終了後基準面測定」又は「終了後基準面測定位置」という。）に行うが、平坦基準面の傾きによる測定誤差が生じないようにするために必要である。また、開始前基準面測定位置と終了後基準面測定位置の差が許容範囲を超える機会を少なくする、すなわち、当該許容範囲越えによる測定エラー・測定不可となる機会を少なくする、ないしなくすことが求められる。
そこで、測定範囲を可能な限り狭くするために、開始前基準面測定位置と終了後基準面測定位置は可能な限り近い位置ことが求められる。

本発明は以上のような従来技術の欠点に鑑み、平坦基準面を正確に測定することを可能とした平坦基準面の測定方法及び平坦度測定装置を提供することを目的としている。

上記目的を達成するために、本発明は次に述べるような構成としている。
＜請求項１記載の発明＞
上部面を平坦基準面としかつ該平坦基準面上に測定対象物を載置する透過性平面板、この透過性平面板の下方に位置されて前記平坦基準面および前記測定対象物に向けて光線を照射しその反射光線を受光する光検出部とを備え、かつ、前記測定対象物の測定開始前に前記測定対象物が無い箇所である基準面測定位置での測定を行う平坦度測定装置の平坦基準面の測定方法であって、
前記基準面測定位置での測定が、第１の受光除去レベル値Ｂ１が設定されての第１の除去レベル設定測定と、第２の受光除去レベル値Ｂ２が設定されての第２の除去レベル設定測定とを行うものであり、
前記第１の受光除去レベル値Ｂ１は、前記平坦基準面の反射光線を予め測定し確認済みである基準面確認済み受光データ値Ｅよりも小さい値（Ｂ１＜Ｅ）であり
前記第２の受光除去レベル値Ｂ２は、前記基準面確認済み受光データ値Ｅよりも大きく、前記測定対象物の反射光線を予め測定し確認済みである測定対象物確認済み受光データ値Ｇよりも小さい値（Ｅ＜Ｂ２＜Ｇ）であり、
前記第２の測定受光データ値Ｃ２が、前記第２の受光除去レベル値Ｂ２よりも小さい値（Ｃ２＜Ｂ２）であり、かつ、前記第１の除去レベル設定測定で得られた第１の測定受光データ値Ｃ１が前記第１の受光除去レベル値Ｂ１よりも大きい値（Ｃ１＞Ｂ１）である場合（Ｃ２＜Ｂ２andＣ１＞Ｂ１）は良基準面データ値であると判定することを特徴とする平坦基準面の測定方法である。

第１の除去レベル設定測定と第２の除去レベ設定測定の順番はどちらが先でも後でもよく、どちらを先にやるか、後にやるかは任意である。
「受光データ値」について。光検出部およびその制御装置の製作企業が、任意で決めた値である場合、実際の受光量、受光強度等である場合の何れも含むものである。
良基準面データ値は、第２の測定受光データ値Ｃ２と第１の測定受光データ値Ｃ１との平均値である、又はＣ１、Ｃ２の何れか一方の測定受光データ値である。

＜請求項２記載の発明＞
上部面を平坦基準面としかつ該平坦基準面上に測定対象物を載置する透過性平面板と、
この透過性平面板の下方に位置されて、前記平坦基準面および前記測定対象物に対して光線を照射しその反射光線を受光する光検出部と、
前記測定対象物の測定開始前に、前記測定対象物の無い箇所での前記平坦基準面の測定位置である基準面測定位置を、設定する又は予め予め設定してある基準面測定位置設定部と、
前記基準面測定位置での測定データから前記平坦基準面の位置である基準面位置を特定する基準面位置特定部と、
前記測定対象物の測定箇所の測定データから該測定箇所の位置である測定箇所位置を特定する測定箇所位置特定部と、
前記基準面位置からの前記測定箇所位置の離れ距離である浮き距離を算出する浮き距離算出部と、
第１の受光除去レベル値Ｂ１を設定する又は予め予め設定してある第１の除去レベル設定部と、
第２の受光除去レベル値Ｂ２を設定する又は予め予め設定してある第２の除去レベル設定部と、を備えてなるとともに、
前記基準面測定位置での測定が、第１の受光除去レベル値Ｂ１が設定されての第１の除去レベル設定測定と、第２の受光除去レベル値Ｂ２が設定されての第２の除去レベル設定測定とを行うものであり、
前記第１の受光除去レベル値Ｂ１は、前記平坦基準面の反射光線を予め測定し確認済みである基準面確認済み受光データ値Ｅよりも小さい値（Ｂ１＜Ｅ）であり
前記第２の受光除去レベル値Ｂ２は、前記基準面確認済み受光データ値Ｅよりも大きく、前記測定対象物の反射光線を予め測定し確認済みである測定対象物確認済み受光データ値Ｇよりも小さい値（Ｅ＜Ｂ２＜Ｇ）であり、
前記第２の測定受光データ値Ｃ２が、前記第２の受光除去レベル値Ｂ２よりも小さい値（Ｃ２＜Ｂ２）であり、かつ、前記第１の除去レベル設定測定で得られた第１の測定受光データ値Ｃ１が前記第１の受光除去レベル値Ｂ１よりも大きい値（Ｃ１＞Ｂ１）である場合（Ｃ２＜Ｂ２andＣ１＞Ｂ１）は良基準面データ値であると判定することを特徴とする平坦度測定装置である。

＜請求項３記載の発明＞
前記透過性平面板上に位置決め治具が設けられ、この位置決め治具が前記透過性平面板上に固定された治具本体と、この治具本体に設けられた四角形の開口である複数の測定対象物セット部とを有していて、、前記測定対象物セット部の開口壁に前記測定対象物を当てセットすることを可能としてなるものであることを特徴とする請求項２記載の平坦度測定装置である。

＜請求項４記載の発明＞
前記治具本体に、前記測定対象物セット部以外の上下方向貫通形態の開口部又は上下方向貫通形態の凹部からなる前記基準面測定位置を設定できる測定位置設定可能部を設けてなることを特徴とする請求項３記載の平坦度測定装置である。

以上の説明から明らかなように、本発明にあっては次に列挙する効果が得られる。
＜請求項１記載の発明の効果＞
本発明は、測定対象物の測定開始前に行う基準面測定位置での基準面の測定において、第２の受光除去レベル値Ｂ２を設定しての第２の受光除去レベル値測定によって第２の測定受光データ値Ｃ２を取得し、かつ、第１の受光除去レベル値Ｂ１を設定しての第１の受光除去レベル値測定によって第１の測定受光データ値Ｃ１を取得する。
そして、Ｃ２＜Ｂ２andＣ１＞Ｂ１である場合は良基準面データ値であると判定するものである。
すなわち、測定対象物の測定開始前に基準面測定位置の基準面測定データが不良（誤り）であるか良（正しい）であるかを判定するものであるので、不良判定である場合は以後の測定対象物の測定を行わなくてよいものとできる。
すなわち、不良基準面データ値との判定である場合は、基準面測定位置以後の誤測定データとなる測定時間や回析等の無駄な時間を回避可能とするものであり、早々に測定動作を止め、原因を調べ、修正してから再測定を行うことを可能としているものであり、

＜請求項２記載の発明の効果＞
請求項１記載の発明と同様な効果を奏する。

＜請求項３記載の発明の効果＞
請求項２記載の発明と同様な効果を奏するとともに、測定対象物の位置決めを行うための位置決め治具に、四角形の開口形態の測定対象物セット部を複数設けた構成である。
よって、例えば測定対象物セット部を２箇所設けた形態にあっては、測定対象物の長さが測定対象物セット部の側壁長さより長く幅が短い場合（以下「長物対象物」ともいう。）は、測定対象物セット部にそれぞれ２個の計４個の測定対象物をセットし、その４個の測定対象物を一度に測定することを可能としている。例えば測定対象物セット部を２箇所設けた形態にあっては、測定対象物の長さが測定対象物セット部の側壁長さより短い場合は（以下「短物対象物」ともいう。）、測定対象物セット部にそれぞれ４個の計８個の測定対象物をセットし、その８個の測定対象物を一度に測定することを可能としている。
すなわち、の測定動作で、３個以上（長物対象物）ないし５個以上（短物対象物）の測定対象物の測定を可能とするものである。

＜請求項４記載の発明の効果＞
請求項３記載の発明と同様な効果を奏するとともに、測定対象物セット部以外の上下貫通形態の開口部又は上下貫通形態の小凹部からなる測定位置設定可能部内に、基準面測定位置を設定できるので、測定箇所がパッケージの外には突出していないパッケージ範囲内としている測定対象物の測定を行うことが可能である。

本発明の実施例１の構成図である。 本発明の実施例１の設定画面図。 本発明の実施例１の設定画面図。 本発明の実施例１の設定画面図。 本発明の実施例１の設定画面図。 本発明の実施例１の位置決め治具の平面図。 本発明の実施例１の測定対象物をセットした状態の拡大平面図。 本発明の実施例１の測定状態を示す拡大図。 本発明の実施例１の測定状態を示す拡大図。 本発明の実施例１の測定結果グラフ。 本発明の実施例１のデータ解析の詳細図。 本発明の実施例１のデータ解析の詳細図。 本発明の実施例１のフローチャート図。 本発明の実施例２のフローチャート図。 本発明の実施例３の位置決め治具の平面図。 本発明の実施例３の測定状態を示す拡大図。

以下、本発明を実施するための最良の形態である実施例について説明する。但し、本発明をこれら実施例のみに限定する趣旨のものではない。また、後述する実施例の説明に当って、前述した実施例の同一構成部分には同一符号を付して重複する説明を省略する。

図１ないし図５に示す本発明の実施例１において、平坦度測定装置１は次に述べるような構成となっている。
上部面を平坦基準面２としかつ該平坦基準面２に測定対象物Ｔを載置する石英ガラス製部材からなる透過性平面板３と、
この透過性平面板３の下方に位置されて平坦基準面２に対して平行に移動させられる、平坦基準面２および該平坦基準面２に載置された測定対象物Ｔに対して光線を照射しその反射光線を受光する光検出部４と、
測定対象物Ｔの測定開始前に、測定対象物Ｔの無い箇所での平坦基準面２の測定を光検出部４が行う位置である基準面測定位置Ｋ１を、設定する又は予め予め設定してある基準面測定位置設定部５と、
測定対象物Ｔの測定終了後に、測定対象物Ｔの無い箇所での平坦基準面２の測定を光検出部４が行う位置である基準面測定位置Ｋ２を、設定する又は予め予め設定してある基準面測定位置設定部６と、
基準面測定位置Ｋ１と基準面測定位置Ｋ２とでの測定データから平坦基準面２の位置である基準面位置Ｋを特定する基準面位置特定部７と、
測定対象物Ｔの測定箇所ｔ１、ｔ２・・・ｔｎの測定データである測定箇所データｔｄ−１、ｔｄ−２・・・ｔｄ−ｎから測定箇所位置ｔｆ−１、ｔｆ−２・・・ｔｆ−ｎを特定する測定箇所位置特定部８と、
基準面位置Ｋからの測定箇所位置ｔｆ−１、ｔｆ−２・・・ｔｆ−ｎの離れ距離である浮き距離ｈ１、ｈ２・・・ｈｎを算出する浮き距離算出部９と、
第１の受光除去レベル値Ｂ１を設定する第１の除去レベル設定部１０と、
第２の受光除去レベル値Ｂ２を設定する第２の除去レベル設定部１１と、
測定箇所ｔ１、ｔ２・・・ｔｎの数である測定箇所数を登録する測定箇所数登録部１２と、
平坦基準面２からの反射光線の予め確認されている、光検出部４の確認済み受光データ値である基準面確認済み受光データ値Ｅを設定する基準面確認済み受光データ値設定部１３と、
測定対象物Ｔの反射光線の予め確認されている、光検出部４の確認済み受光データ値である測定対象物確認済み受光データ値Ｇを設定する測定対象物確認済み受光データ値設定部１４と、
平坦基準面２上に設けられた測定対象物Ｔの位置決めセットを行うための位置決め治具２０と、
光検出部４をＸ軸・Ｙ軸方向に水平動作させるための、ステッピングモータと精密ボールねじ軸等の組み合わせからなるセンサ可動手段１８と、
透過性平面板３の上部に設けられた観測室１９と、
この観測室１９に熱風を供給する熱風供給部２５と、
観測室１９内の温度を検出する温度センサ２６と、
各種の設定を行い各部位の動作を制御する制御部１５と、を備えている。

本実施例では、光検出部８は非接触変位計の一つであるレーザフォーカス式変位計である。
レーザ変位計には、三角測距方式、共焦点原理（コンフォーカル）、分光干渉方式が知られている。本発明の光検出部にあっては上記何れの方式でもよい。
光検出部の照射する光線には、赤色光線、紫外線、赤色レーザ光線、青色レーザ光線などがある。

観測室での測定は、常温での測定も可能である。
また、低温条件での測定を可能とする冷却装置を設けるのもよい。
また、常温で行うのみであるなら、カバーおよび密閉空間としての観測室を設けない構成とするのもよい。

第１の受光除去レベル値Ｂ１は、平坦基準面２からの反射光線の予め確認されている、光検出部４の確認済み受光データ値である基準面確認済み受光データ値Ｅ（ここでは、「Ｅ≒５００」である。）よりも小さい値（Ｂ１＜Ｅ）である。
第１の受光除去レベル値Ｂ１は、該値Ｂ１よりも受光データ値が大きい場合、小さい場合について判定をするための判定基準値となる閾値ということができる。

第２の受光除去レベル値Ｂ２は、基準面確認済み受光データ値Ｅよりも大きく、かつ、測定対象物Ｔの反射光線の予め確認されている、光検出部４の確認済み受光データ値である測定対象物確認済み受光データ値Ｇ（ここでは「Ｇ≒２０００」である。）よりも小さい値（Ｅ＜Ｂ２＜Ｇ）である。
第２の受光除去レベル値Ｂ２は、該値Ｂ２よりも受光データ値が大きい場合、小さい場合について判定をするための判定基準値となる閾値ということができる。

「受光データ値」について。
光検出部およびそのコントローラーの製作企業がプログラムによって任意で決めた値である場合と、実際の受光量や受光強度等である場合とがあり、何れの場合のものも本発明の技術的範疇に含むものである。
光の強さ（明るさ）を示す単位には、光量子束密度、放射照度、照度、光の単位の換算などいろいろなものがあるが、アナログ出力が必要でありそのための特別な装置等が必要であり、著しく高価なものとなる。
これに対して、製作企業がプログラムによって任意で決めた値としたものでは、実際の受光量や受光強度ではないので、アナログ出力に係る装置等を設けなくてもよく、装置を安価にできる（例えば、１００万円程度に安価という場合も有り。）。
本実施例における受光データ値および受光除去レベル値で示す数字表現は、プログラムの上での任意の表現数字であり、表現の仕方をこの表現に限定するものではない。あくまでの、光検出部４とそのコントローラーにおける装置メーカーが任意に決めた表現形式であるものである。
受光除去レベル値についても、第１の受光除去レベル値Ｂ１を、１００と表現するのか、５００と表現するのか、１０００と表現するか、又は１０ａと表現するのかは、その装置での定めによる任意の値である。
ただし、実際の受光量等との関係はその変化量は比例関係にある。

各設定は、手動によりその都度入力して設定する手動センシング設定と、予め登録領域を登録してある登録領域モードから選択して行うことができる。
手動センシング設定は、センシング設定画面２７のセンシング設定欄２８の設定桝をカーソルで指示し設定値等を入力して行う。

登録領域モードの作成は、手動センシング設定で行った後、領域モード登録ボタン２９をクリックすることで登録領域モードが作成される。領域モード登録ボタン２９をクリックすると、名称記入ボックスが表示され、任意の名称（例えば、測定対象物部品名など。）を入力する。
図５に示すように、登録領域選択部３０の選択ボタンをクリックすると、登録領域モードの名称が表示され、名称を指定するとその名称（図５では「領域モードＡ」）の登録モードが選択されセンシング設定欄２８にその設定値が表示される。この表示では設定値の変更はできない。
設定値を変更する場合は、設定変更ボタン３１をクリックすることで、センシング設定欄２８の設定値の変更が可能となる。

測定対象物はその表面材質によって受光データ値が異なり、該表面材質によって受光データ値を特定しておくことも可能である。表面材質を選択することにより測定箇所の受光データ値の設定が行えるように、測定箇所確認済受光データ値設定部（材質）３２を設けている。

設定形態は上記のものに限定されるものではない。
手動センシング設定のみ又は登録領域モード（予め登録済み）のみでもよい。
又は、手動センシング設定と登録領域モードの組み合わせ形態でもよい。
又は、一部設定を変更できない固定設定値等とした設定形態もよい。

測定対象物Ｔ、Ｔ１〜Ｔ４は、ピンである横幅（太さ）０．１８ｍｍの測定箇所ｔ１、ｔ２・・・ｔｎが０．３２ｍｍ間隔で９５本、パッケージ３５の外側に０．５ｍｍ程突き出した形態のものである。

本実施例１での測定対象物Ｔでの各設定ないし登録設定は以下のようである。
第１の受光除去レベル値Ｂ１＝１００
第１の受光除去レベル値Ｂ２＝６００
基準面確認済み受光データ値Ｅ＝５００
測定対象物確認済み受光データ値Ｇ＝２０００
測定箇所数＝９５箇所
基準面測定位置Ｋ１＝0.811：5.000
基準面測定位置Ｋ２＝0.811：−1.356

基準面確認済み受光データ値Ｅは、基本的には変化がないので、固定設定とすることもよい。
透過性平面板３にコーティングした透過被膜の劣化等による透過率の変化が考えられるので、その都度に基準面確認済み受光データ値Ｅを特定し設定するのがよい。

基準面測定位置Ｋ１での測定は、第２の受光除去レベル値Ｂ２が設定された状態での測定である第２の除去レベル設定測定が行われ、
第１の受光除去レベル値Ｂ１が設定された状態での測定である第１の除去レベ設定測定が行われ、
第２の除去レベル設定測定時に得られた第２の測定受光データ値Ｃ２が第２の受光除去レベル値Ｂ２よりも大きい（Ｃ２＞Ｂ２）受光データ値である場合は不良基準面データ値と判定し（図４のグラフ参照）、
第２の測定受光データ値Ｃ２が第２の受光除去レベル値Ｂ２よりも小さい（Ｃ２＜Ｂ２）受光データ値であり、かつ、第１の除去レベル設定測定時に得られた第１の測定受光データ値Ｃ１が第１の受光除去レベル値Ｂ１よりも大きい（Ｃ１＞Ｂ１）受光データ値である（Ｃ２＜Ｂ２andＣ１＞Ｂ１）場合は平坦基準面２の受光データ値であるとの良基準面データ値（図２、図３のグラフ参照）と基準面判定部１６において判定する。
不良基準面データ値との判定である場合は、測定動作が停止され警報が発せられる。
良基準面データ値との判定である場合は、測定箇所ｔ１、ｔ２・・・ｔｎの測定を行う。
また、受光データ値が第１の受光除去レベル値Ｂ１より小さい場合は、基準面測定不可と判定して、測定動作が停止され警報が発せられる。

測定箇所ｔ１、ｔ２・・・ｔｎの測定は第２の受光除去レベル値Ｂ２の設定状態で測定される。
測定箇所ｔ１、ｔ２・・・ｔｎの測定は、反射光線の強い方（（受光データ値≒２０００）である測定箇所ｔ１、ｔ２・・・ｔｎにフォーカスセンサーの焦点が合わされ、反射光線の弱い方（受光データ値≒５００）である平坦基準面には焦点は合わされず認識されないので、除去レベルを設定せずの測定もよい。
測定箇所ｔ１、ｔ２・・・ｔｎの測定は、受光除去レベル値の設定がない状態で測定されるようにするのもよい。

測定箇所ｔ１、ｔ２・・・ｔｎの測定完了後に、測定箇所ｔ１、ｔ２・・・ｔｎの数が所定の数（ここでは９５箇所）であるのか、ないのかの判定が測定箇所数判定部１７で行われる。
所定数である場合は測定箇所数一致判定がされ、所定数でない場合は測定箇所不一致判定がされる。
測定箇所不一致判定である場合は、測定動作が停止され警報が発せられる。
測定箇所一致判定である場合は、基準面測定位置Ｋ２の測定を行う。

基準面測定位置Ｋ２での測定は、第２の受光除去レベル値Ｂ２が設定された状態での測定である第２の除去レベル設定測定が行われ、第１の受光除去レベル値Ｂ１が設定された状態での測定である第１の除去レベ設定測定が行われ、第２の除去レベル設定測定時の第２の測定受光データ値Ｃ２が第２の受光除去レベル値Ｂ２よりも大きい値（Ｃ２＞Ｂ２）である場合は不良基準面データ値と判定し、第２の測定受光データ値Ｃ２が第２の受光除去レベル値Ｂ２よりも小さい値であり、かつ、第１の除去レベル設定測定時の第１の測定受光データ値Ｃ１が第１の受光除去レベル値Ｂ１よりも大きい値である場合（Ｃ２＜Ｂ２andＣ１＞Ｂ１）は平坦基準面２の受光データであるとの良基準面データ値と基準面判定部１６において判定する。

基準面判定部１６において、基準面測定位置Ｋ１の基準面データ値ｋｄ−１と基準面測定位置Ｋ２の基準面データ値ｋｄ−２の差（以下「基準面データ差」という。）が許容値以内（ここでは、５０μｍ以内）である場合は傾き良基準面と判定し、許容値以上である場合は傾き不良基準面と判定する。
傾き不良基準面との判定では、測定動作が停止され警報が発せられる。
傾き良基準面との判定では、浮き距離算出部９において浮き距離ｈ１、ｈ２・・・ｈｎが算出され、浮き距離データがモニター３３やプリンター（図示無し）等に出力される。

基準面測定位置Ｋ１では、第１の除去レベル設定測定時において５回の照射と測定が行われ、その平均値が第１の測定受光データ値Ｃ１とされ、かつ、第２の除去レベル設定測定時において５回の照射と測定が行われ、その平均値が第２の測定受光データ値Ｃ２とされ、Ｃ１とＣ２の平均値が基準面データ値ｋｄ−１とされる。
基準面測定位置Ｋ２では、第１の除去レベル設定測定時において５回の照射と測定が行われ、その平均値が第１の測定受光データ値Ｍ１とされ、かつ、第２の除去レベル設定測定時において５回の照射と測定が行われ、その平均値が第２の測定受光データ値Ｍ２とされ、Ｍ１とＭ２の平均値が基準面データ値ｋｄ−２とされる。
基準面位置Ｋは、基準面データ値ｋｄ−１と基準面データ値ｋｄ−２を結ぶ直線からなる基準直線であり、この基準直線が真水平よりも傾斜していても、浮き距離ｈ１、ｈ２・・・ｈｎは基準直線の位置からの浮き距離（浮き距離ｈ５０は測定箇所位置ｔｄ５０の真下の基準直線位置からの距離）とされる。

また、基準面測定位置が基準面測定位置Ｋ１、Ｋ２、Ｋ３の３か所である場合は、Ｋ１、Ｋ２、Ｋ３を直線で結ぶ三角形面が仮想真水平面基準位置とされ、この仮想真水平面基準位置の対応する箇所からの浮き距離が算出される。
基準面測定位置が基準面測定位置Ｋ１、Ｋ２、Ｋ３、Ｋ４の４か所である場合は、Ｋ１、Ｋ２、Ｋ３、Ｋ４を直線で結ぶ四角形面が仮想真水平面基準位置とされ、この仮想真水平面基準位置の対応する箇所からの浮き距離が算出される。

モニター３３に表示された測定結果のグラフ例を図１０に示している。
横線が基準面位置Ｋであり、縦棒が測定箇所データｔｄ−１、ｔｄ−２・・・ｔｄ−ｎである。
測定箇所データが平坦基準面Ｋに密着している場合は、Ｋデータ線より下のデータが出力され、浮き距離０とされる。

図１１、１２にデータ解析詳細を示している。
１．取得したデータから設定された最初の測定箇所の中央位置に移動する。（図１１・上図）
２．測定箇所の中央位置を中心とし、設定されている測定箇所間隔の範囲を検索し、その最大値を取得する。（図１１・下図）
３．最大値と平坦基準面の値の差分の５０％で識別ラインを作成する。測定箇所の中央から識別ラインを下回るポイントを検索する。（図１２・上図）
４．測定箇所の中央から求められた左右の位置（測定箇所の幅）の７０％を平均して測定箇所データｔｄ−１・・・を算出する。（図１２・下図）
５．上記測定を測定箇所ｔ１〜ｔ９５全てに行い、測定箇所ｔ１〜ｔ９５の測定箇所データｔｄ−１〜ｔｄ−９５を算出する。
測定箇所データｔｄ−１〜ｔｄ−９５が全て１（グラフ右数字）の場合は異常とし、異常通知を行う。
また、測定箇所データの左右のｔｄ−１、ｔｄ−９５（いずれか一方も含む）が無い場合は異常とし、異常通知を行う。

実施例１の処理フローについて図１３を参照して説明する。
（１）光検出４を基準面測定位置Ｋ１位置（真下）に停止させる。
（２）第２の除去レベルＢ２＝600に設定（予め設定済みも含む。）し測定して第２の測定受光データ値Ｃ２を取得する。
・Ｃ２がＢ２＝600より小さい（Ｃ２＜Ｂ２）場合は（３）にすすむ。
・Ｃ２がＢ２＝600より大きい（Ｃ２＞Ｂ２）場合は、測定を停止（異常終了）し異常通知（警報）を行う。
（３）第１の除去レベルＢ１＝100に設定（予め設定済みも含む。）し測定して第１の測定受光データ値Ｃ１を取得するする。
・Ｃ１がＢ１＝100より大きい（Ｃ１＞Ｂ１）場合は（４）にすすむ。
・Ｃ１がＢ１＝100より小さい（Ｃ１＜Ｂ１）場合は、測定を停止（異常終了）し異常通知（警報）を行う。
（４）基準面データ値ｋｄ−１を取得する。
（５）光検出４を基準面測定位置Ｋ２位置（真下）に停止させる。
（６）第２の除去レベルＢ２＝600に設定（予め設定済みも含む。）し測定して第２の測定受光データ値Ｍ２を取得するする。
・Ｍ２がＢ２＝600より小さい（Ｍ２＜Ｂ２）場合は（７）にすすむ。
・Ｍ２がＢ２＝600より大きい（Ｍ２＞Ｂ２）場合は、測定を停止（異常終了）し異常通知（警報）を行う。
（７）第２の除去レベルＢ２＝600に設定（予め設定済みも含む。）し測定して第１の測定受光データ値Ｍ１を取得するする。
・Ｍ１がＢ１＝100より大きい（Ｍ１＞Ｂ１）場合は（８）にすすむ。
・Ｍ１がＢ１＝100より小さい（Ｍ１＜Ｂ１）場合は、測定を停止（異常終了）し異常通知（警報）を行う。
（８）基準面データ値ｋｄ−２を取得する。
（９）基準面データ値ｋｄ−１と基準面データ値ｋｄ−２から基準面位置Ｋを取得する。
・基準面データ値ｋｄ−１と基準面データ値ｋｄ−２の差（以下「基準面データ差」という。）が５０μｍ以内の場合は（１０）にすすむ。
・基準面データ値ｋｄ−１と基準面データ値ｋｄ−２の基準面データ差が５０μｍ以上の場合は、測定を停止（異常終了）し異常通知（警報）を行う。
（１０）測定箇所位置ｔ１〜ｔ９５を測定する。
・測定箇所位置ｔ１〜ｔ９５が全て存在する場合は（１１）にすすむ。
・測定箇所位置ｔ１〜ｔ９５が一つでも存在しない場合は、測定を停止（異常終了）し異常通知（警報）を行う。
（１１）データ解析を行う。
（１２）浮き距離ｈ１、ｈ２・・・ｈｎを算出する。

（Ｃ２＜Ｂ２）は、基準面測定位置Ｋ２において基準面からの反射光線である可能性があることを示している。
（Ｃ２＞Ｂ２）は、基準面測定位置Ｋ２において基準面よりも強い反射する箇所があることを示しているので、それは不良基準面データ値であることを示している。
（Ｃ１＞Ｂ１）は、基準面測定位置Ｋ２において基準面からの反射光線である可能性があることを示している。
（Ｃ１＜Ｂ１）は、基準面測定位置Ｋ２において基準面よりも弱い反射光線であることを示しているので、それは不良基準面データ値であることを示している。
よって、（Ｃ２＜Ｂ２）ａｎｄ（Ｃ１＞Ｂ１）は、良基準面データ値であることを示している。
また、（Ｍ２＜Ｂ２）、（Ｍ２＞Ｂ２）、（Ｍ１＞Ｂ１）、（Ｍ１＜Ｂ１）でも上記と同様であり、（Ｍ２＜Ｂ２ａｎｄＭ１＞Ｂ１）は良基準面データ値であることを示している。

Ｃ１とＣ２の基準面データ差が（本実施例１では５０μｍ）を超えている場合、Ｍ１とＭ２の差が定めた許容範囲（本実施例１では５０μｍ）を超えている場合、何れの場合においても基準面データ値差不良として測定し直しを行うか、測定を停止して警報を発する。
また、基準面データ値差良であるなら、Ｃ１、Ｃ２の何れか一方の測定受光データ値を基準面データ値ｋｄ−１とし、Ｍ１、Ｍ２の何れか一方の測定受光データ値を基準面データ値ｋｄ−２とするのもよい。

透過性平面板３の平坦基準面２上には測定対象物の位置決め用の平板形態の石英ガラス製部材からなる位置決め治具２０が設けられている。
位置決め治具２０は、透過性平面板３に固定されている平板形態の治具本体２１と、この治具本体２１に設けられた四角形の開口（上下方向貫通開口）からなる、測定対象物Ｔを角から延びる２開口壁に当てて位置決めセットするための測定対象物セット部２２ａ、２２ｂと、透過性平面板３に設けられたねじ孔に螺合して治具２０を固定するための固定ねじ２４ａ〜２４ｄとを備えた構成となっている。
測定対象物セット部は、２箇所に限定されず複数箇所設けることもよい。

第１の除去レベル設定部１０、第２の除去レベル設定部１１による、第１の受光除去レベル値Ｂ１、第２の受光除去レベル値Ｂ２の設定は、測定対象物Ｔの種類によってその都度設定を行う。
測定対象物Ｔが一種類のみのものを行う装置である場合は、第１の受光除去レベル値Ｂ１、第２の受光除去レベル値Ｂ２は予め固定化された設定（設定変更ができない）とするのもよい。

基準面測定位置Ｋ１、Ｋ２での測定は、第２の受光除去レベル値Ｂ２での測定が先で第１の受光除去レベル値Ｂ１での測定が後という測定形態、第１の受光除去レベル値Ｂ１での測定が先で第２の受光除去レベル値Ｂ２での測定が後という測定形態のいずれでもよい。

また、基準面測定位置Ｋ１、Ｋ２での測定を完了してから測定対象物Ｔの測定を行うようにするのもよい。
透過性平面板は、石英ガラスに限られるものではなくプラスチック製のものなども含まれる。
測定箇所判定部１３の判定を行いその後で基準面判定部１４の判定を行う判定形態、測定箇所判定部１４の判定を行いその後で基準面判定部１３の判定を行う判定形態のいずれでもよい。

以上述べたことから、以下に述べる平坦度測定装置の平坦基準面の測定方法を実現しているものである。
上部面を平坦基準面（２）としかつ該平坦基準面（２）上に測定対象物（Ｔ）を載置する透過性平面板（３）、この透過性平面板（３）の下方に位置されて前記平坦基準面（２）および前記測定対象物（Ｔ）に向けて光線を照射しその反射光線を受光する光検出部（４）とを備え、かつ、前記測定対象物（Ｔ）の測定開始前に前記測定対象物（Ｔ）が無い箇所である基準面測定位置（Ｋ１）での測定を行う平坦度測定装置の平坦基準面の測定方法であって、
前記基準面測定位置（Ｋ１）での測定が、第１の受光除去レベル値Ｂ１が設定されての第１の除去レベル設定測定と、第２の受光除去レベル値Ｂ２が設定されての第２の除去レベル設定測定とを行うものであり、
前記第１の受光除去レベル値Ｂ１は、前記平坦基準面（２）の反射光線を予め測定し確認済みである基準面確認済み受光データ値Ｅよりも小さい値（Ｂ１＜Ｅ）であり
前記第２の受光除去レベル値Ｂ２は、前記基準面確認済み受光データ値Ｅよりも大きく、前記測定対象物（Ｔ）の反射光線を予め測定し確認済みである測定対象物確認済み受光データ値Ｇよりも小さい値（Ｅ＜Ｂ２＜Ｇ）であり、
前記第２の除去レベル設定測定で得られた第２の測定受光データ値Ｃ２が、前記第２の受光除去レベル値Ｂ２よりも大きい値（Ｃ２＞Ｂ２）である場合は不良基準面データ値と判定し、
前記第２の測定受光データ値Ｃ２が、前記第２の受光除去レベル値Ｂ２よりも小さい値（Ｃ２＜Ｂ２）であり、かつ、前記第１の除去レベル設定測定で得られた第１の測定受光データ値Ｃ１が前記第１の受光除去レベル値Ｂ１よりも大きい値（Ｃ１＞Ｂ１）である場合（Ｃ２＜Ｂ２andＣ１＞Ｂ１）は良基準面データ値と判定することを特徴とする平坦基準面の測定方法。

図１４に示す本発明の実施例２において前記実施例１と主に異なる点は、処理工程を以下のようにしたことである。
かかる処理工程を図１３の処理フローを参照して説明する。
（１）光検出４を基準面測定位置Ｋ１位置（真下）に停止させる。
（２）第１の除去レベルＢ１＝100に設定（予め設定済みも含む。）して第１の測定受光データ値Ｃ１を取得する。
・Ｃ１がＢ１＝100より大きい（Ｃ１＞Ｂ１）場合は（３）にすすむ。
・Ｃ１がＢ１＝100より小さい（Ｃ１＜Ｂ１）場合は、測定を停止（異常終了）し異常通知（警報）を行う。
（３）第２の除去レベルＢ２＝600に設定（予め設定済みも含む。）し測定して第２の測定受光データ値Ｃ２を取得する。
・Ｃ２がＢ２＝600より小さい（Ｃ２＜Ｂ２）場合は（４）にすすむ。
・Ｃ２がＢ２＝600より大きい（Ｃ２＞Ｂ２）場合は、測定を停止（異常終了）し異常通知（警報）を行う。
（４）基準面データ値ｋｄ−１を取得する。
（５）測定箇所位置ｔ１〜ｔ９５を測定する。
・測定箇所位置ｔ１〜ｔ９５が全て存在する場合は（１１）にすすむ。
・測定箇所位置ｔ１〜ｔ９５が一つでも存在しない場合は、測定を停止（異常終了）し異常通知（警報）を行う。
（６）光検出４を基準面測定位置Ｋ２位置（真下）に停止させる。
（７）第１の除去レベルＢ１＝100に設定（予め設定済みも含む。）し測定して第１の測定受光データ値Ｍ１を取得するする。
・Ｍ１がＢ１＝100より大きい（Ｍ１＞Ｂ１）場合は（８）にすすむ。
・Ｍ１がＢ１＝100より小さい（Ｍ１＜Ｂ１）場合は、測定を停止（異常終了）し異常通知（警報）を行う。
（８）基準面データ値ｋｄ−２を取得する。
（９）基準面データ値ｋｄ−１と基準面データ値ｋｄ−２から基準面位置Ｋを取得する。
・基準面データ値ｋｄ−１と基準面データ値ｋｄ−２の基準面データ差が５０μｍ以内の場合は（１０）にすすむ。
・基準面データ値ｋｄ−１と基準面データ値ｋｄ−２の基準面データ差が５０μｍ以上である場合は、測定を停止（異常終了）し異常通知（警報）を行う。
基準面データ値の差の許容範囲である基準面データ差（本実施例１では５０μｍ）の設定は基準面データ値差設定部３４で任意で設定（変更も可能）する。又は固定値として予め設定された変えられない設定値とするのもよい。
（１０）データ解析を行う。
（１１）浮き距離ｈ１、ｈ２・・・ｈｎを算出する。

図１５、１６に示す本発明の実施例３において前記実施例１と主に異なる点は、位置決め治具２０に、治具本体２１に上下貫通形態で設けられた測定対象物セット部２２ａ、２２ｂよりも小孔形態（小凹形態でもよい）の基準面測定位置Ｋ１を設定可能とした、基準面設定可能箇所２３を複数個所設けた点にある。
測定対象物セット部２２ａ、２２ｂ以外の上下貫通形態の開口部又は上下貫通形態の小凹部からなる基準面設定可能箇所２３内に基準面測定位置Ｋ１を設定できるので、測定箇所がパッケージの外には突出していないパッケージ範囲内としている測定対象物の測定を行うことが可能である。

セットする複数の測定対象物Ｔ１〜Ｔｎは、同一のもの、異なるものの混合などがある。測定対象物セット部の隅外にそれぞれ隅位置を識別するための個別標識３６を表記するのがよい。
測定対象物複数セット測定の場合、最初に全ての基準面測定位置の２の受光除去レベル値測定と第２の受光除去レベル値測定を行い、（以下「基準面一斉測定」という。）全ての基準面測定位置の受光データ値（測定データ）が良基準面データ値と判定されたら、全ての測定対象物の測定（基準面測定位置の測定から開始して）を行うようにするのがよい。
又は、基準面一斉測定で得た各基準面位置データを記憶しておき、基準面一斉測定後はただちに測定対象物の測定を行うようにするのもよい。

測定対象物Ｔを所定位置にセットする方法として、化粧用筆（頬をなでる）のような細毛の柔らかい筆状部を有するものを使用するのがよい。
多数本の毛状部材ないし毛からなる筆状部が設けられ、前記筆状部を可動させる可動部が設けられ、前記測定対象物セット部の前記平坦基準面上に置かれた前記測定対象物に前記筆状部を当てた筆当て状態にして、前記測定対象物セット部の角から延びる２開口壁に向けて前記測定体操物を前記筆当て状態で前記筆状部の動作によって移動させることで、前記筆当て状態にある前記測定対象物を前記２開口壁に当接した状態にセットすることができる。
例えばパッケージが２ｍｍ×１ｍｍという様な軽く小さい測定対象物は、指で移動させて２開口壁に当接状態とならない離れた状態になってしまうことが起きやすいという問題がある。
多数本の毛状部材ないし毛からなる筆状部によって、指よりははるかに弱い当て押さえた状態と筆先の接触面積の小さい筆当て状態で、２開口壁に向けて測定体操物を移動させるものであり、この弱い当て押さえと接触面積の小さい筆当て状態によって測定対象物を２開口壁に当てた状態から、筆状部の離し動作をしても測定対象物は２開口壁に当接した状態のまま動くことなく確実にセット状態とできることを実現している。

本発明は、主に電子部品、弟子部品用コネクターを使用する産業で利用される。

Ｔ、Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３、Ｔ４：測定対象物、
ｔ１、ｔ２・・・ｔｎ：測定箇所、
ｔｄ−１、ｔｄ−２・・・ｔｄ−ｎ：測定箇所データ、
ｔｆ−１、ｔｆ−２・・・ｔｆ−ｎ：測定箇所位置、
Ｋ：基準面位置、
Ｋ１：基準面測定位置、
ｋｄ−１：基準面データ値、
Ｋ２：基準面測定位置、
ｋｄ−２：基準面データ値、
ｈ１、ｈ２・・・ｈｎ：浮き距離、
Ｂ１：第１の受光除去レベル値Ｂ１、
Ｂ２：第２の受光除去レベル値Ｂ２、
Ｃ１、Ｍ１：第１の測定受光データ値、
Ｃ２、Ｍ２：第２の測定受光データ値、
Ｅ：基準面確認済み受光データ値、
Ｇ：測定対象物確認済み受光データ値、

１：平坦度測定装置、
２：平坦基準面、
３：透過性平面板、
４：光検出部、
５：基準面測定位置設定部、
６：基準面測定位置設定部、
７：基準面位置特定部、
８：測定箇所位置特定部、
９：浮き距離算出部、
１０：第１の除去レベル設定部、
１１：第２の除去レベル設定部、
１２：測定箇所数登録部、
１３：基準面確認済み受光データ値設定部、
１４：測定対象物確認済み受光データ値設定部、
１５：制御部、
１６：基準面判定部、
１７：測定箇所数判定部、
１８：センサ可動手段、
１９：観測室、
２０：位置決め治具、
２１：治具本体、
２２ａ、２２ｂ：測定対象物セット部、
２３：基準面設定可能箇所、
２４ａ〜２４ｄ：固定ねじ、
２５：熱風供給部、
２６：温度センサ、
２７：センシング設定部、
２８：センシング設定欄、
２９：領域モード登録ボタン、
３０：登録領域選択部、
３１：設定変更ボタン、
３２：測定箇所確認済受光データ値設定部（材質）、
３３：モニター、
３４：基準面データ値差設定部、
３５：パッケージ、

Claims (4)

1. 上部面を平坦基準面としかつ該平坦基準面上に測定対象物を載置する透過性平面板、この透過性平面板の下方に位置されて前記平坦基準面および前記測定対象物に向けて光線を照射しその反射光線を受光する光検出部とを備え、かつ、前記測定対象物の測定開始前に前記測定対象物が無い箇所である基準面測定位置での測定を行う平坦度測定装置の平坦基準面の測定方法であって、
   前記基準面測定位置での測定が、第１の受光除去レベル値Ｂ１が設定されての第１の除去レベル設定測定と、第２の受光除去レベル値Ｂ２が設定されての第２の除去レベル設定測定とを行うものであり、
   前記第１の受光除去レベル値Ｂ１は、前記平坦基準面の反射光線を予め測定し確認済みである基準面確認済み受光データ値Ｅよりも小さい値（Ｂ１＜Ｅ）であり
   前記第２の受光除去レベル値Ｂ２は、前記基準面確認済み受光データ値Ｅよりも大きく、前記測定対象物の反射光線を予め測定し確認済みである測定対象物確認済み受光データ値Ｇよりも小さい値（Ｅ＜Ｂ２＜Ｇ）であり、
   前記第２の測定受光データ値Ｃ２が、前記第２の受光除去レベル値Ｂ２よりも小さい値（Ｃ２＜Ｂ２）であり、かつ、前記第１の除去レベル設定測定で得られた第１の測定受光データ値Ｃ１が前記第１の受光除去レベル値Ｂ１よりも大きい値（Ｃ１＞Ｂ１）である場合（Ｃ２＜Ｂ２andＣ１＞Ｂ１）は良基準面データ値であると判定することを特徴とする平坦基準面の測定方法。
2. 上部面を平坦基準面としかつ該平坦基準面上に測定対象物を載置する透過性平面板と、
   この透過性平面板の下方に位置されて、前記平坦基準面および前記測定対象物に対して光線を照射しその反射光線を受光する光検出部と、
   前記測定対象物の測定開始前に、前記測定対象物の無い箇所での前記平坦基準面の測定位置である基準面測定位置を、設定する又は予め予め設定してある基準面測定位置設定部と、
   前記基準面測定位置での測定データから前記平坦基準面の位置である基準面位置を特定する基準面位置特定部と、
   前記測定対象物の測定箇所の測定データから該測定箇所の位置である測定箇所位置を特定する測定箇所位置特定部と、
   前記基準面位置からの前記測定箇所位置の離れ距離である浮き距離を算出する浮き距離算出部と、
   第１の受光除去レベル値Ｂ１を設定する又は予め予め設定してある第１の除去レベル設定部と、
   第２の受光除去レベル値Ｂ２を設定する又は予め予め設定してある第２の除去レベル設定部と、を備えてなるとともに、
   前記基準面測定位置での測定が、第１の受光除去レベル値Ｂ１が設定されての第１の除去レベル設定測定と、第２の受光除去レベル値Ｂ２が設定されての第２の除去レベル設定測定とを行うものであり、
   前記第１の受光除去レベル値Ｂ１は、前記平坦基準面の反射光線を予め測定し確認済みである基準面確認済み受光データ値Ｅよりも小さい値（Ｂ１＜Ｅ）であり
   前記第２の受光除去レベル値Ｂ２は、前記基準面確認済み受光データ値Ｅよりも大きく、前記測定対象物の反射光線を予め測定し確認済みである測定対象物確認済み受光データ値Ｇよりも小さい値（Ｅ＜Ｂ２＜Ｇ）であり、
   前記第２の測定受光データ値Ｃ２が、前記第２の受光除去レベル値Ｂ２よりも小さい値（Ｃ２＜Ｂ２）であり、かつ、前記第１の除去レベル設定測定で得られた第１の測定受光データ値Ｃ１が前記第１の受光除去レベル値Ｂ１よりも大きい値（Ｃ１＞Ｂ１）である場合（Ｃ２＜Ｂ２andＣ１＞Ｂ１）は良基準面データ値であると判定することを特徴とする平坦度測定装置。
3. 前記透過性平面板上に位置決め治具が設けられ、この位置決め治具が前記透過性平面板上に固定された治具本体と、この治具本体に設けられた四角形の開口である複数の測定対象物セット部とを有していて、、前記測定対象物セット部の開口壁に前記測定対象物を当てセットすることを可能としてなるものであることを特徴とする請求項２記載の平坦度測定装置。
4. 前記治具本体に、前記測定対象物セット部以外の上下方向貫通形態の開口部又は上下方向貫通形態の凹部からなる前記基準面測定位置を設定できる測定位置設定可能部を設けてなることを特徴とする請求項３記載の平坦度測定装置。

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