JP6718939B2 - 3d金属印刷プロセスで使用するためのレーザ誘起プラズマチャネルを介した電気パルスの適用 - Google Patents

3d金属印刷プロセスで使用するためのレーザ誘起プラズマチャネルを介した電気パルスの適用 Download PDF

Info

Publication number
JP6718939B2
JP6718939B2 JP2018199809A JP2018199809A JP6718939B2 JP 6718939 B2 JP6718939 B2 JP 6718939B2 JP 2018199809 A JP2018199809 A JP 2018199809A JP 2018199809 A JP2018199809 A JP 2018199809A JP 6718939 B2 JP6718939 B2 JP 6718939B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
powder
laser
powder bed
electrical pulse
ion channel
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2018199809A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2019090105A (ja
Inventor
ネイダー・ダリアバッチ
ニコラス・ウィリアムス
マイケル・エンジェルハート
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
General Electric Co
Original Assignee
General Electric Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by General Electric Co filed Critical General Electric Co
Publication of JP2019090105A publication Critical patent/JP2019090105A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6718939B2 publication Critical patent/JP6718939B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22FWORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F3/00Manufacture of workpieces or articles from metallic powder characterised by the manner of compacting or sintering; Apparatus specially adapted therefor ; Presses and furnaces
    • B22F3/10Sintering only
    • B22F3/105Sintering only by using electric current other than for infrared radiant energy, laser radiation or plasma ; by ultrasonic bonding
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22FWORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F10/00Additive manufacturing of workpieces or articles from metallic powder
    • B22F10/20Direct sintering or melting
    • B22F10/28Powder bed fusion, e.g. selective laser melting [SLM] or electron beam melting [EBM]
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22FWORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F10/00Additive manufacturing of workpieces or articles from metallic powder
    • B22F10/50Treatment of workpieces or articles during build-up, e.g. treatments applied to fused layers during build-up
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22FWORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F12/00Apparatus or devices specially adapted for additive manufacturing; Auxiliary means for additive manufacturing; Combinations of additive manufacturing apparatus or devices with other processing apparatus or devices
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K10/00Welding or cutting by means of a plasma
    • B23K10/02Plasma welding
    • B23K10/027Welding for purposes other than joining, e.g. build-up welding
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/06Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
    • B23K26/062Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by direct control of the laser beam
    • B23K26/0626Energy control of the laser beam
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/06Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
    • B23K26/064Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms
    • B23K26/0643Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms comprising mirrors
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/06Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
    • B23K26/064Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms
    • B23K26/0648Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms comprising lenses
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/34Laser welding for purposes other than joining
    • B23K26/342Build-up welding
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/346Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring in combination with welding or cutting covered by groups B23K5/00 - B23K25/00, e.g. in combination with resistance welding
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C64/00Additive manufacturing, i.e. manufacturing of three-dimensional [3D] objects by additive deposition, additive agglomeration or additive layering, e.g. by 3D printing, stereolithography or selective laser sintering
    • B29C64/10Processes of additive manufacturing
    • B29C64/141Processes of additive manufacturing using only solid materials
    • B29C64/153Processes of additive manufacturing using only solid materials using layers of powder being selectively joined, e.g. by selective laser sintering or melting
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C64/00Additive manufacturing, i.e. manufacturing of three-dimensional [3D] objects by additive deposition, additive agglomeration or additive layering, e.g. by 3D printing, stereolithography or selective laser sintering
    • B29C64/20Apparatus for additive manufacturing; Details thereof or accessories therefor
    • B29C64/264Arrangements for irradiation
    • B29C64/268Arrangements for irradiation using laser beams; using electron beams [EB]
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B33ADDITIVE MANUFACTURING TECHNOLOGY
    • B33YADDITIVE MANUFACTURING, i.e. MANUFACTURING OF THREE-DIMENSIONAL [3-D] OBJECTS BY ADDITIVE DEPOSITION, ADDITIVE AGGLOMERATION OR ADDITIVE LAYERING, e.g. BY 3-D PRINTING, STEREOLITHOGRAPHY OR SELECTIVE LASER SINTERING
    • B33Y10/00Processes of additive manufacturing
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B33ADDITIVE MANUFACTURING TECHNOLOGY
    • B33YADDITIVE MANUFACTURING, i.e. MANUFACTURING OF THREE-DIMENSIONAL [3-D] OBJECTS BY ADDITIVE DEPOSITION, ADDITIVE AGGLOMERATION OR ADDITIVE LAYERING, e.g. BY 3-D PRINTING, STEREOLITHOGRAPHY OR SELECTIVE LASER SINTERING
    • B33Y30/00Apparatus for additive manufacturing; Details thereof or accessories therefor
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22FWORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F10/00Additive manufacturing of workpieces or articles from metallic powder
    • B22F10/10Formation of a green body
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22FWORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F3/00Manufacture of workpieces or articles from metallic powder characterised by the manner of compacting or sintering; Apparatus specially adapted therefor ; Presses and furnaces
    • B22F3/10Sintering only
    • B22F3/105Sintering only by using electric current other than for infrared radiant energy, laser radiation or plasma ; by ultrasonic bonding
    • B22F2003/1051Sintering only by using electric current other than for infrared radiant energy, laser radiation or plasma ; by ultrasonic bonding by electric discharge
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P10/00Technologies related to metal processing
    • Y02P10/25Process efficiency

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Powder Metallurgy (AREA)

Description

本発明は、一般に、付加製造プロセスを実行するための付加製造(AM)方法および装置に関する。より具体的には、本発明は、3D金属印刷プロセスで使用するための、レーザ誘起プラズマチャネルを介して電気パルスを適用するための方法および装置に関する。そのようなものとして、限定はしないが、航空機エンジンの構成要素などの大きな環状の物体または複数のより小さな物体を同時に付加製造する連続的なプロセスを実行することができる。
AMプロセスは、一般に、除去製造方法とは対照的に、ネットまたはニアネットシェイプ(NNS)物体を作製するために1つまたは複数の材料の積層を伴う。「付加製造」は業界標準用語(ASTM F2792)であるが、AMは、自由製造、3D印刷、急速プロトタイピング/ツーリングなどを含む、様々な名前により知られる様々な製造およびプロトタイピング技術を包含する。AM技術は、多種多様な材料から複雑な構成要素を製造することが可能である。一般に、自立物体は、コンピュータ支援設計(CAD)モデルから製造することができる。特定のタイプのAMプロセスは、エネルギービーム、例えば、電子ビームまたはレーザビームを誘導して粉末材料を焼結または溶融し、粉末材料の粒子が共に結合される固体三次元物体を形成する照射放射誘導デバイスを使用する。異なる材料系、例えば、エンジニアリングプラスチック、熱可塑性エラストマ、金属、および、セラミックが使用されている。レーザ焼結または溶融は、機能的なプロトタイプおよびツールの急速製造のための注目すべきAMプロセスである。用途としては、複雑なワークの直接製造、インベストメント鋳造のためのパターン、射出成形およびダイカストのための金属金型、ならびに砂型鋳造のための金型およびコアが挙げられる。設計サイクル中にコンセプトのコミュニケーションおよび試験を促すためのプロトタイプ物体の製造は、AMプロセスの他の一般的な用法である。
選択的レーザ焼結、直接レーザ焼結、選択的レーザ溶融、および直接レーザ溶融は、レーザビームを使用して微細粉末を焼結または溶融することによって三次元(3D)物体を生成することを示すために使用される共通の業界用語である。例えば、参照により本明細書に組み込まれる、米国特許第4,863,538号および米国特許第5,460,758号には、従来のレーザ焼結技術が記載されている。より正確には、焼結は、粉末材料の融点を下回る温度で粉末の粒子を融合させること(凝集すること)を伴い、一方、溶融は、固体の均質な塊を形成するために粉末の粒子を十分に溶融することを伴う。レーザ焼結またはレーザ溶融に関連する物理的プロセスは、粉末材料への熱伝達、およびその後の粉末材料の焼結または溶融を含む。レーザ焼結および溶融プロセスは広範囲の粉末材料に適用することができるが、製造経路の科学的および技術的態様、例えば、焼結または溶融速度や層製造プロセス中の微細構造発現に対する処理パラメータの影響は、十分に理解されてこなかった。この製造方法は、熱、質量および運動量移動の複数の態様、ならびにプロセスを非常に複雑にする化学反応によって達成される。
図1は、直接金属レーザ焼結(DMLS)または直接金属レーザ溶融(DMLM)のための例示的な従来のシステム100の断面図を示す図である。装置100は、源120によって生成されたエネルギービーム136を使用して粉末材料(図示せず)を焼結または溶融することによって、層ごとに物体、例えば、部品122を構築し、源120は、例えば、レーザビームを生成するためのレーザ、または電流が流れると電子を放射するフィラメントであってもよい。エネルギービームによって溶融される粉末は、リザーバ126によって供給され、方向134に移動するリコータアーム116を使用して粉末床112上に均一に分散し、粉末をレベル118に維持して、粉末レベル118より上にある余分な粉末材料を廃棄物容器128に除去する。エネルギービーム136は、ガルボスキャナ132などの照射放射誘導デバイスの制御下で構築される物体の断面層を焼結または溶融する。ガルボスキャナ132は、例えば、複数の可動ミラーまたは走査レンズを含むことができる。レーザが走査される速度は、重要な制御可能なプロセスパラメータであり、レーザ出力が特定のスポットに適用される長さに影響を与える。典型的なレーザ走査速度は、10〜100ミリメートル/秒のオーダーである。構築プラットフォーム114が下降して、別の粉末層が粉末床および構築される物体上に分散され、続いてレーザ120によって粉末が連続して溶融/焼結される。粉末層は、典型的には、例えば、10〜100ミクロンである。プロセスは、部品122が溶融/焼結した粉末材料から完全に構築されるまで繰り返される。
レーザ120は、プロセッサと、メモリとを含むコンピュータシステムによって制御することができる。コンピュータシステムは、各層の走査パターンを決定してレーザ120を制御し、走査パターンに従って粉末材料を照射することができる。部品122の製造が完了した後、様々な後処理手順を部品122に適用することができる。後処理手順は、例えば、吹き飛ばしまたは吸引による余分な粉末の除去を含む。他の後処理手順には、応力緩和プロセスが挙げられる。加えて、熱的および化学的後処理手順を使用して、部品122を仕上げることができる。
現在の選択的レーザ溶融3D印刷プロセスには、標準的な製造プロセスと比較して多くの欠点がある。これらの欠点には、例えば、金属粉末粒子の不完全な焼結(AM処理に共通)による強度の低下、および高濃度の局所的な熱適用による高レベルの残留応力が挙げられる。他の欠点は、SiC電子構成要素の熱管理を行う高出力の電力変換製品を冷却するために使用される冷却板の開発において最近観察された気孔の問題に関する。
図2は、従来の付加製造方法および装置に従ってターゲットに適用されるレーザ出力を示す図である。例えば、図2のレーザ出力供給源のようなレーザ出力供給源は、約80ワットの出力を放射することができる。電気エネルギーをレーザに変換すると、典型的には、75パーセントの出力が損失される。すなわち、80ワットのレーザに供給される出力のうちの25パーセント(すなわち、20ワット)のみが、粉末床に到達するエネルギーに変換される。レーザを使用して粉末を溶融すると、さらに30パーセントの損失が生じる。すなわち、レーザの20ワットのうちの70パーセント(すなわち、14ワット)のみが、金属粉末を溶融するために利用される。
したがって、AMで使用される従来のレーザは、非効率的である。さらなる急速製造プロセスと共に、AMに使用されるレーザの加熱効率を高める必要性が依然として存在する。
米国特許出願公開2017/0119470号明細書
このような態様の基本的な理解を提供するために、以下に本開示の1つまたは複数の態様の簡略化した概要を提示する。本概要は、すべての熟考された態様の広範囲の概要ではなく、すべての態様の鍵となるまたは重要な要素を特定するものでもなく、また一部またはすべての態様の範囲を詳しく説明するものでもない。その目的は、後に提示されるより詳細な説明の前置きとして、簡略化された形で1つまたは複数の態様のうちのいくつかの概念を提示することである。
本発明の上記および/または他の態様は、付加製造によって物体を製造する方法によって達成することができる。一態様では、方法は、粉末床の粉末の一部を照射することを含み、照射は、粉末へと延びるイオンチャネルを形成する。方法はまた、電気エネルギーをイオンチャネルに適用することを含み、電気エネルギーは、イオンチャネルを介して粉末床の粉末に伝達され、照射からのエネルギーおよび電気エネルギーは各々、粉末床の粉末の一部を溶融または焼結することに寄与する。
本発明の上記および/または他の態様は、物体を付加製造するための装置によって達成することができる。装置は、粉末ディスペンサと、物体が粉末床に構築されるプラットフォームと、粉末床の粉末の一部を照射する照射源とを含み、照射は、粉末へと延びるイオンチャネルを形成する。装置はまた、電気エネルギーをイオンチャネルに適用する電源を含み、電気エネルギーは、イオンチャネルを介して粉末床の粉末に伝達される。照射からのエネルギーおよび電気エネルギーは各々、粉末床の粉末の一部を溶融または焼結することに寄与する。
本発明の上記および/または態様はまた、付加製造によって物体を製造する方法によって達成することができる。一態様では、方法は、(a)所与の粉末層を粉末床に堆積させることと、(b)粉末床の所与の粉末層を照射することであって、照射は、所与の層へと延びるイオンチャネルを形成することと、(c)電気エネルギーをイオンチャネルに適用することであって、電気エネルギーは、イオンチャネルを介して粉末床の所与の粉末層に伝達されることと、(d)次の粉末層を堆積させることと、(e)物体が粉末床に形成されるまでステップ(a)〜(d)を繰り返すこととを含む。
他の特徴および態様は、以下の詳細な説明、図面、および特許請求の範囲から明らかになるであろう。
添付の図面は、本明細書に組み込まれ、本明細書の一部を構成し、本開示の1つまたは複数の例示的な態様を示し、詳細な説明と併せて、それらの原理および実施態様を説明する。
粉末床を使用するDMLMのための従来の装置を示す図である。 従来の付加製造方法および装置に従ってターゲットに適用されるレーザ出力を示す図である。 本発明の一実施形態による、付加製造装置を示す図である。 本発明の一実施形態による、ターゲットに適用されるレーザおよび電力を示す図である。 本発明の別の実施形態による、ターゲットに適用されるレーザおよび電力を示す図である。
添付図面に関連して以下に記載する詳細な説明は、様々な構成の説明として意図されたものであって、本明細書で説明される概念を実施することができる唯一の構成を提示するものではない。詳細な説明は、様々な概念の徹底的な理解を提供する目的で特定の詳細を含んでいる。しかし、これらの具体的な詳細がなくてもこれらの概念を実施することができることは、当業者には明らかであろう。例えば、本発明は、金属構成要素または物体を付加製造するための好ましい方法を提供し、好ましくは、これらの構成要素または物体は、ジェット航空機エンジンの製造に使用される。特に、有利には、本発明によってジェット航空機エンジンの大きな環状の構成要素を製造することができる。しかし、航空機の他の構成要素および他の航空機以外の構成要素は、本明細書に記載の装置および方法を使用して準備することができる。
一態様によれば、本発明は、DMLSプロセス中の残留応力を低減することによって粉末金属の圧密化を改善するために、レーザ誘起プラズマチャネルを介して電気パルスを適用する方法を提供する。例えば、方法は、粉末床の粉末の一部を照射することを含むことができ、照射は、粉末へと延びるイオンチャネルを形成する。方法はまた、電気エネルギーをイオンチャネルに適用することを含むことができ、電気エネルギーは、イオンチャネルを介して粉末床の粉末に伝達され、照射からのエネルギーおよび電気エネルギーは各々、粉末床の粉末の一部を溶融または焼結することに寄与する。加えて、電磁スペクトルの紫外部分で動作するレーザの適用におけるようなレーザは、電気パルスが通過するプラズマチャネルを形成するためにのみ使用される。例示的な実施形態によれば、電気パルスは、焼結および溶融プロセスを補助するためのレーザの支援なしに、焼結および溶融プロセスのために使用される。
図3は、本発明の一実施形態による、付加製造装置を示す図である。図3では、層ごとに部品302を粉末床304に構築するための装置300を設けることができる。部品302は、レーザ出力供給源306を使用して構築することができる。レーザ出力供給源306は、ビームをミラー310に放射するレーザ308に出力を供給する。ビームは、ミラー310から導電性素子312へと反射する。導電性素子312は、例えば、レーザ308によって放射されたレーザビームのエネルギーを集束することが可能である光学レンズまたはミラーであってもよい。装置300はまた、電気パルスを導電性素子312に供給する出力供給源316を含む。出力供給源316は、電気パルスを導電性素子312に供給するために、導電性素子312に接続された一端に正の電圧源V+を有する。出力供給源316の他端は、GNDに接地され、粉末床304に接続される。レーザ出力供給源306および出力供給源316は、ファンクションジェネレータ320に接続され、プログラマブルコントローラ318によって制御され得る。コントローラ318は、例えば、デュアルレーザおよび電力パルス制御を提供するプログラマブル比例、積分、微分コントローラであってもよい。
一態様によれば、レーザ308は、レーザビームを粉末床304の上の空気空間の容積に放射する。レーザ308によって放射されたレーザビームは、周囲の気体、原子を急速に励起してイオン化し、出力供給源316によって供給される電気パルスを誘導するイオン化経路を形成する。イオン化された周囲の気体は、導電性の均一なプラズマチャネル314を形成するプラズマを形成する。次いで、出力供給源316によって供給された電気パルスは、プラズマチャネル314を介して適用され、粉末床304の金属粉末を加熱して結合し、部品302を構築する。したがって、例示的な実施形態によれば、任意のレーザ加熱によって変形する金属に電気パルスが適用されると、変形抵抗を可塑性の増加により著しく低減することができる。レーザビームおよび電気パルスは同時に適用されてもよいし、または少し遅れて、交互にずらされてもよいことが理解されよう。
図4は、本発明の一実施形態による、ターゲットに適用される120ワットのレーザおよび電力供給源を示す図である。図4に示すように、本発明の例示的な実施形態によれば、80ワットのレーザ出力供給源と40ワットの電力供給源とを組み合わせて、120ワットの出力をターゲットに適用することができる。電気エネルギーをレーザビームに変換することに関連する損失により、80ワットのレーザ出力供給源によって放射される出力のうちの約25パーセント(すなわち、20ワット)しか利用することができない。レーザ出力がターゲットに到達すると、粉末を溶融するためにレーザからの20ワットのうちの約70パーセント、すなわち、80ワットのレーザ出力供給源から適用される約14ワットの出力が利用される。一態様によれば、電力供給源は、40ワットの電気パルスを80ワットのレーザ出力供給源によって形成されたレーザ誘起プラズマチャネルに適用することができる。電力供給源から適用される40ワットのうちの約90%(すなわち、36ワット)が、粉末床で利用されてもよい。このように、本発明の例示的な実施形態によれば、電力供給源からの36ワットの出力とレーザ出力供給源からの14ワットの出力とが組み合わされることで、合計50ワットの出力が適用されてターゲットを溶融することを可能にする。したがって、レーザ誘起プラズマチャネルを介して電気パルスを使用する本例示的な実施形態による付加製造は、従来の付加製造方法よりも約4倍多くの熱をターゲットに適用することができる。
図5は、本発明の別の実施形態による、ターゲットに適用される80ワットのレーザおよび電力供給源を示す図である。図5に示すように、本発明の例示的な実施形態によれば、40ワットのレーザ出力供給源と40ワットの電力供給源とを組み合わせて、80ワットの出力をターゲットに適用することができる。電気エネルギーをレーザビームに変換することに関連する出力の損失により、40ワットのレーザ出力供給源によって放射される出力のうちの約25パーセント(すなわち、10ワット)しか粉末床で利用することができない。レーザ出力がターゲットに到達すると、ターゲットを溶融するために利用される10ワットのうちの約70パーセント、すなわち、40ワットのレーザ出力供給源からの約7ワットの出力が適用され得る。一態様によれば、電力供給源は、40ワットの電気パルスを40ワットのレーザ出力供給源によって形成されたレーザ誘起プラズマチャネルに適用することができる。電力供給源から適用される40ワットのうちの約90%(すなわち、36ワット)が利用されてもよい。このように、本発明の例示的な実施形態によれば、電力供給源からの36ワットの出力とレーザ出力供給源からの7ワットの出力とが組み合わされることで、合計43ワットの出力が適用されてターゲットを溶融することを可能にする。この例示的な実施形態では、従来の付加製造方法よりも約3倍多くの熱をターゲット領域に適用することができる。
上記のように、本発明は、製造された部品の信頼性を高め、印刷された金属部品の機械的特性を改善し、かつ選択的焼結プロセスの効率を改善することができる3D印刷プロセスを提供する。本発明は、限定はしないが、変形抵抗の低減、可塑性の改善、プロセスの簡略化、システムの電気エネルギー効率の向上、収率の改善による低コスト、ボイドを最小限に抑えることによる製品欠陥の低減、および影響を受ける金属特性の改善など、3D金属印刷のために付加製造を使用することによるいくつかの利点を提供することができる。
本明細書は、本発明を開示するために実施例を用いており、好ましい実施形態を含んでいる。また、いかなる当業者も本発明を実施することができるように実施例を用いており、任意のデバイスまたはシステムを製作し使用し、任意の組み込まれた方法を実行することを含んでいる。本発明の特許可能な範囲は、特許請求の範囲によって定義され、当業者が想到する他の実施例を含むことができる。このような他の実施例は、特許請求の範囲の文言との差がない構造要素を有する場合、または特許請求の範囲の文言との実質的な差がない均等な構造要素を含む場合、特許請求の範囲内にある。記載された様々な実施形態からの態様、ならびにそのような各態様の他の公知の均等物は、本出願の原理に従って付加的な実施形態および技術を構築するために、当業者によって混合および適合され得る。
[実施態様1]
付加製造によって物体を製造する方法であって、
粉末床(304)の粉末の一部を照射することであって、前記照射は、前記粉末へと延びるイオンチャネルを形成することと、
電気エネルギーを前記イオンチャネルに適用することであって、前記電気エネルギーは、前記イオンチャネルを介して前記粉末床(304)の前記粉末に伝達され、前記照射からのエネルギーおよび前記電気エネルギーは各々、前記粉末床(304)の前記粉末の前記一部を溶融または焼結することに寄与することと
を含む、方法。
[実施態様2]
前記照射からの前記エネルギーが、レーザ出力供給源(306)によって放射される、実施態様1に記載の方法。
[実施態様3]
前記イオンチャネルが、レーザ誘起プラズマチャネル(314)である、実施態様1に記載の方法。
[実施態様4]
前記電気エネルギーが、電力供給源によって供給される、実施態様1に記載の方法。
[実施態様5]
前記電気エネルギーが、電気パルスである、実施態様1に記載の方法。
[実施態様6]
前記照射からの前記エネルギーおよび電気エネルギーが、同時に前記粉末床(304)の前記粉末の前記一部を前記溶融または焼結することに寄与するように制御される、実施態様1に記載の方法。
[実施態様7]
前記照射からの前記エネルギーおよび電気エネルギーが、連続的に前記粉末床(304)の前記粉末の前記一部を前記溶融または焼結することに寄与するように制御される、実施態様1に記載の方法。
[実施態様8]
物体を付加製造するための装置(300)であって、
粉末ディスペンサと、
前記物体が粉末床(304)に構築されるプラットフォームと、
前記粉末床(304)の粉末の一部を照射する照射源であって、前記照射は、前記粉末へと延びるイオンチャネルを形成する照射源と、
電気エネルギーを前記イオンチャネルに適用する電源であって、前記電気エネルギーは、前記イオンチャネルを介して前記粉末床(304)の前記粉末に伝達される電源と
を備え、
前記照射からのエネルギーおよび前記電気エネルギーは各々、前記粉末床(304)の前記粉末の前記一部を溶融または焼結することに寄与する、装置(300)。
[実施態様9]
前記照射源が、レーザ出力供給源(306)である、実施態様8に記載の装置(300)。
[実施態様10]
前記イオンチャネルが、レーザ誘起プラズマチャネル(314)である、実施態様8に記載の装置(300)。
[実施態様11]
前記電源が、電力供給源である、実施態様8に記載の装置(300)。
[実施態様12]
前記装置(300)が、導電性素子(312)をさらに備える、実施態様8に記載の装置(300)。
[実施態様13]
前記導電性素子(312)が、レンズまたはミラー(310)である、実施態様12に記載の装置(300)。
[実施態様14]
前記照射からの前記エネルギーおよび電気エネルギーが、同時にまたは連続的に前記粉末床(304)の前記粉末の前記一部を前記溶融または焼結することに寄与するように制御される、実施態様8に記載の装置(300)。
[実施態様15]
付加製造によって物体を製造する方法であって、
(a)所与の粉末層を粉末床(304)に堆積させることと、
(b)前記粉末床(304)の前記所与の粉末層を照射することであって、前記照射は、前記所与の層へと延びるイオンチャネルを形成することと、
(c)電気エネルギーを前記イオンチャネルに適用することであって、前記電気エネルギーは、前記イオンチャネルを介して前記粉末床(304)の前記所与の粉末層に伝達されることと、
(d)次の粉末層を堆積させることと、
(e)前記物体が前記粉末床(304)に形成されるまでステップ(a)〜(d)を繰り返すことと
を含む、方法。
[実施態様16]
前記照射からのエネルギーおよび前記電気エネルギーが各々、前記粉末床(304)の前記粉末の一部を溶融または焼結することに寄与する、実施態様15に記載の方法。
[実施態様17]
前記照射からの前記エネルギーが、レーザ出力供給源(306)によって放射される、実施態様15に記載の方法。
[実施態様18]
前記電気エネルギーが、電力供給源によって供給される、実施態様15に記載の方法。
[実施態様19]
前記照射からの前記エネルギーおよび電気エネルギーが、同時に前記粉末床(304)の前記粉末の前記一部を前記溶融または焼結することに寄与するように制御される、実施態様15に記載の方法。
[実施態様20]
前記照射からの前記エネルギーおよび電気エネルギーが、連続的に前記粉末床(304)の前記粉末の前記一部を前記溶融または焼結することに寄与するように制御される、実施態様15に記載の方法。
100 従来のシステム/装置
112 粉末床
114 構築プラットフォーム
116 リコータアーム
118 レベル、粉末レベル
120 レーザ、源
122 部品
126 リザーバ
128 廃棄物容器
132 ガルボスキャナ
134 リコータ方向
136 エネルギービーム
300 装置
302 部品
304 粉末床
306 レーザ出力供給源
308 レーザ
310 ミラー
312 導電性素子
314 プラズマチャネル
316 出力供給源
318 プログラマブルコントローラ
320 ファンクションジェネレータ

Claims (13)

  1. 付加製造によって物体を製造する方法であって、
    粉末床(304)の粉末の一部にレーザビームを照射することであって、前記照射は、前記粉末へと延びるイオンチャネルを形成することと、
    電気パルスを前記イオンチャネルに適用することであって、前記電気パルスは、前記イオンチャネルを介して前記粉末床(304)の前記粉末に伝達され、前記レーザビームおよび前記電気パルスのそれぞれが、前記粉末床(304)の前記粉末の前記一部を溶融または焼結することに寄与することと
    を含む、方法。
  2. 前記レーザビームが、レーザ出力供給源(306)によって放射される、請求項1に記載の方法。
  3. 前記イオンチャネルが、レーザ誘起プラズマチャネル(314)である、請求項1または2に記載の方法。
  4. 前記電気パルスが、前記電気パルスを供給するための出力供給源によって供給される、請求項1乃至3のいずれか1項に記載の方法。
  5. 前記レーザビームおよび前記電気パルスが、同時に前記粉末床(304)の前記粉末の前記一部を前記溶融または焼結することに寄与するように制御される、請求項1乃至のいずれか1項に記載の方法。
  6. 前記レーザビームおよび前記電気パルスが、交互に前記粉末床(304)の前記粉末の前記一部を前記溶融または焼結することに寄与するように制御される、請求項1乃至のいずれか1項に記載の方法。
  7. 物体を付加製造するための装置(300)であって、
    粉末ディスペンサと、
    前記物体が粉末床(304)に構築されるプラットフォームと、
    前記粉末床(304)の粉末の一部にレーザビームを照射する照射源であって、前記照射は、前記粉末へと延びるイオンチャネルを形成する照射源と、
    電気パルスを前記イオンチャネルに適用する出力供給源であって、前記電気パルスは、前記イオンチャネルを介して前記粉末床(304)の前記粉末に伝達される電源と
    を備え、
    前記レーザビームおよび前記電気パルスは各々、前記粉末床(304)の前記粉末の前記一部を溶融または焼結することに寄与する、装置(300)。
  8. 前記照射源が、レーザ出力供給源(306)である、請求項に記載の装置(300)。
  9. 前記イオンチャネルが、レーザ誘起プラズマチャネル(314)である、請求項またはに記載の装置(300)。
  10. 前記装置(300)が、前記電気パルスが供給され、前記レーザビームを集束することが可能な導電性素子(312)をさらに備える、請求項乃至のいずれか1項に記載の装置(300)。
  11. 前記レーザビームおよび前記電気パルスが、同時にまたは交互に前記粉末床(304)の前記粉末の前記一部を前記溶融または焼結することに寄与するように制御される、請求項乃至10のいずれか1項に記載の装置(300)。
  12. 付加製造によって物体を製造する方法であって、
    (a)所与の粉末層を粉末床(304)に堆積させることと、
    (b)前記粉末床(304)の前記所与の粉末層にレーザビームを照射することであって、前記照射は、前記所与の粉末層へと延びるイオンチャネルを形成することと、
    (c)電気パルスを前記イオンチャネルに適用することであって、前記電気パルスは、前記イオンチャネルを介して前記粉末床(304)の前記所与の粉末層に伝達されることと、
    (d)次の粉末層を堆積させることと、
    (e)前記物体が前記粉末床(304)に形成されるまでステップ(a)〜(d)を繰り返すことと
    を含む、方法。
  13. 前記レーザビームおよび前記電気パルスそれぞれが、前記粉末床(304)の粉末の一部を溶融または焼結することに寄与する、請求項12に記載の方法。
JP2018199809A 2017-10-26 2018-10-24 3d金属印刷プロセスで使用するためのレーザ誘起プラズマチャネルを介した電気パルスの適用 Active JP6718939B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US15/794,854 US10639714B2 (en) 2017-10-26 2017-10-26 Applying electric pulses through a laser induced plasma channel for use in a 3-D metal printing process
US15/794,854 2017-10-26

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2019090105A JP2019090105A (ja) 2019-06-13
JP6718939B2 true JP6718939B2 (ja) 2020-07-08

Family

ID=63862057

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2018199809A Active JP6718939B2 (ja) 2017-10-26 2018-10-24 3d金属印刷プロセスで使用するためのレーザ誘起プラズマチャネルを介した電気パルスの適用

Country Status (5)

Country Link
US (2) US10639714B2 (ja)
EP (1) EP3476504B1 (ja)
JP (1) JP6718939B2 (ja)
CN (1) CN109702193B (ja)
CA (1) CA3020421C (ja)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114850495A (zh) * 2018-12-06 2022-08-05 通用电气航空系统有限责任公司 用于增材制造的设备和方法
JP6719691B1 (ja) * 2019-07-08 2020-07-08 三菱電機株式会社 付加製造装置
CN111504980B (zh) * 2020-04-26 2021-04-16 长春工业大学 一种金属增材制造过程的libs在线监测装置及方法
CN112318216B (zh) * 2020-11-05 2021-10-15 浙江工业大学 一种基于振镜的激光维持等离子体抛光钛合金的方法
CN113249668B (zh) * 2021-04-30 2022-05-20 哈尔滨工程大学 一种利用脉冲电流改善增材制造钛合金各向异性的方法
CN113579251A (zh) * 2021-07-26 2021-11-02 南京工业大学 基于电脉冲辅助增材制造铝及铝锂合金的在线改善组织性能的处理方法
CN114505497A (zh) * 2022-03-02 2022-05-17 哈尔滨工程大学 一种利用电脉冲调控激光增材制造TiNi基合金析出相和性能的方法
CN116460441A (zh) * 2023-05-15 2023-07-21 广东省科学院中乌焊接研究所 一种铝钛合金复合热源增材制造方法

Family Cites Families (32)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60234782A (ja) 1984-05-07 1985-11-21 Mitsubishi Electric Corp レ−ザビ−ム加工装置
US4863538A (en) 1986-10-17 1989-09-05 Board Of Regents, The University Of Texas System Method and apparatus for producing parts by selective sintering
US5006688A (en) 1988-10-24 1991-04-09 Westinghouse Electric Corp. Laser-arc apparatus and method for controlling plasma cloud
US5460758A (en) 1990-12-21 1995-10-24 Eos Gmbh Electro Optical Systems Method and apparatus for production of a three-dimensional object
JPH0822483B2 (ja) 1993-08-05 1996-03-06 工業技術院長 レーザ放電誘導式放電加工装置
IL122654A0 (en) 1997-12-18 1998-08-16 Exsight Electro Optical System Method and apparatus for guiding electric current
US6388227B1 (en) 1999-07-15 2002-05-14 Plasma Laser Technologies Ltd. Combined laser and plasma-arc processing torch and method
FR2809648B1 (fr) 2000-05-31 2002-08-30 Air Liquide Procede et installation de soudage hybride par laser et arc electrique, notamment de pieces automobiles ou de tubes
FR2809646B1 (fr) 2000-05-31 2002-09-27 Air Liquide Procede et dispositif de soudage hybride laser-arc avec controle du positionnement des prises de masse
FR2832337B1 (fr) 2001-11-22 2004-01-23 Commissariat Energie Atomique Dispositif et procede de soudage hybride
US20060235564A1 (en) 2005-04-18 2006-10-19 Igor Troitski Method and multifunctional system for producing laser-induced images on the surfaces of various materials and inside transparent materials
WO2011029462A1 (de) 2009-09-14 2011-03-17 Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh + Co. Kg Verfahren und vorrichtung zum bearbeiten von werkstücken mit einer lasereinrichtung und einer lichtbogeneinrichtung
CA2805003C (en) 2010-07-12 2017-05-30 S. Abbas Hosseini Method of material processing by laser filamentation
WO2012127456A1 (en) 2011-03-24 2012-09-27 Ramot At Tel-Aviv University Ltd. Method and devices for solid structure formation by localized microwaves
FR2980992B1 (fr) 2011-10-05 2013-11-29 Centre Nat Rech Scient Systeme de transfert d'energie electrique en energie thermique
US9088123B2 (en) 2011-12-13 2015-07-21 The United States Of America, As Represented By The Secretary Of The Navy Two-laser generation of extended underwater plasma
DE102012207201B3 (de) 2012-04-30 2013-04-11 Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh + Co. Kg Verfahren zum laserunterstützten Plasmaschneiden oder Plasmaschweißen und Vorrichtung dafür
US8842358B2 (en) 2012-08-01 2014-09-23 Gentex Corporation Apparatus, method, and process with laser induced channel edge
CN103246064A (zh) * 2013-05-16 2013-08-14 湖南大学 基于渐变折射率等离子体透镜产生空心光束的装置及方法
JP2015202597A (ja) 2014-04-11 2015-11-16 セイコーエプソン株式会社 造形装置、及び造形方法
US20170203363A1 (en) 2014-07-09 2017-07-20 Applied Materials ,Inc. Layerwise heating, linewise heating, plasma heating and multiple feed materials in additive manufacturing
US20170203364A1 (en) 2014-07-18 2017-07-20 Applied Materials, Inc. Additive manufacturing with laser and plasma
CN104108184B (zh) * 2014-07-22 2016-08-24 西安交通大学 一种基于快速成形技术的复杂结构智能材料器件的制造方法
CN104148636B (zh) * 2014-08-29 2017-10-31 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 一种控制金属零件增材制造热变形的扫描路径生成方法
US20170119470A1 (en) 2014-08-31 2017-05-04 Lithotech Medical Ltd. Device and method for fragmenting organo-mineral concretions
EP3034225B1 (en) 2014-12-17 2018-10-17 Airbus Defence and Space GmbH Method and apparatus for distortion control on additively manufactured parts using wire and magnetic pulses
CN204584274U (zh) 2015-04-22 2015-08-26 华南理工大学 一种激光与微束等离子复合3d打印设备
US20170082124A1 (en) 2015-06-18 2017-03-23 Kevin Kremeyer Directed Energy Deposition to Facilitate High Speed Applications
EP3310559A4 (en) 2015-06-19 2019-03-13 Applied Materials, Inc. SURFACE PROCESSING IN GENERATIVE MANUFACTURING WITH LASER AND GASSTROM
CN105618753A (zh) * 2016-03-03 2016-06-01 中研智能装备有限公司 一种轧辊等离子3d打印再制造设备及再制造方法
CN106563804A (zh) * 2016-10-12 2017-04-19 机械科学研究总院先进制造技术研究中心 激光引导多金属熔融沉积增材制造工艺及设备
CN114850495A (zh) * 2018-12-06 2022-08-05 通用电气航空系统有限责任公司 用于增材制造的设备和方法

Also Published As

Publication number Publication date
EP3476504B1 (en) 2023-11-29
CA3020421C (en) 2023-10-03
US20200222983A1 (en) 2020-07-16
US20190126348A1 (en) 2019-05-02
US11638955B2 (en) 2023-05-02
CA3020421A1 (en) 2019-04-26
EP3476504A1 (en) 2019-05-01
US10639714B2 (en) 2020-05-05
JP2019090105A (ja) 2019-06-13
CN109702193A (zh) 2019-05-03
CN109702193B (zh) 2021-04-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6718939B2 (ja) 3d金属印刷プロセスで使用するためのレーザ誘起プラズマチャネルを介した電気パルスの適用
JP6717573B2 (ja) 繊維強化を用いた付加製造方法
Fang et al. Study on metal deposit in the fused-coating based additive manufacturing
US10723071B2 (en) Device and method for generatively producing a three-dimensional object
US10981322B2 (en) Process for the accelerated production of objects by means of generative manufacturing
US11135653B2 (en) DMLM build release layer and method of use thereof
JP2020504036A (ja) 付加製造におけるリコーターブレードを連続的に新たに供給するための方法及び装置
JP5546247B2 (ja) 部分的にコーティングされた製品の製造方法および装置
JP6711868B2 (ja) 高圧タービンの連続的付加製造
WO2018194481A1 (en) Additive manufacturing technique including direct resistive heating of a workpiece
EP3315227A1 (en) Method of manufacturing metal articles
JP6878364B2 (ja) 追加の粉末床用可動壁
EP3587004A1 (en) Device and method for cooling a build chamber for additive manufacturing using metal powders
EP3984669A1 (en) Method of regenerating a build plate
GB2556661A (en) Improved additive layer manufacturing
EP4137254A1 (en) Method and apparatus for in situ debinding and sintering of filament or paste extrusion additive manufactured metal or ceramic parts
EP3299098A1 (en) Improved additive layer manufacturing
WO2022248069A1 (en) Heat transfer device for additive manufacturing
WO2018055345A1 (en) Improved additive layer manufacturing
JP2020158839A (ja) 金属部材の作製方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20190215

RD03 Notification of appointment of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423

Effective date: 20190326

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20200122

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20200128

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20200401

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20200526

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20200615

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6718939

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250