JP6718333B2 - 動電型試験装置 - Google Patents

Description

本発明は、動電型試験装置に関する。

従来、例えば自動車用部品、半導体部品などの各種の供試体の耐久性能や、安全性等の試験を行う試験装置がある。

また、例えば特許文献１に示されている加速度試験機は、供試体を保持した供試台に試験用の衝突加速度を与えることにより、当該供試台を所定の加速度で変位させるように構成している。

この加速度試験機は、固定子（フィールドヨーク）に装着されるフィールドコイルと、このフィールドコイルの内径側に非接触に配置される可動子（アーマチュアコイル）とを備え、前記アーマチュアコイルに前記供試台が連結されている。

試験を行うときには、前記フィールドコイルに界磁電流を流しておいて、前記アーマチュアコイルに加速度指令の包絡波形に相似した電流を供給する。これにより、前記供試台に一方向への推進力が作用することになって、当該供試台が所定の加速度で直線変位させられることになる。

この供試台を停止させるときには、前記加速度指令の包絡波形の積分値を求め、この積分値と等しくなる負極性の矩形波信号を作成し、この矩形波信号に基づいて作成した制動指令を前記アーマチュアコイルに供給する。これにより、前記供試台に制動力が作用することになって、当該供試台が停止させられるようになる。

実用新案登録第２５０４４６３号公報

上記特許文献１では、前記供試台を停止させるときの制動指令を生成するための信号処理が多く必要になっており、それに伴い当該信号処理を実行するための構成が複雑になっていることが指摘される。

このような事情に鑑み、本発明は、動電型試験装置において、比較的簡素な構成で各種試験を実行可能にすることを目的としている。

本発明に係る動電型試験装置は、基台と、この基台上にスライド可能に搭載されかつ上面に供試体が保持される供試台と、前記基台上において前記供試台の一端側に搭載されかつ前記供試台を少なくとも下記第２駆動部側へスライドさせるための第１駆動部と、前記基台上において前記供試台の他端側に搭載されかつ前記供試台を少なくとも第１駆動部側へスライドさせるための第２駆動部と、前記第１、第２駆動部を制御する制御部とを備え、
前記第１、第２駆動部は、共に、磁性材製の筒状のヨークと、このヨークの内周面に取り付けられる筒状の磁界発生器と、前記磁界発生器の内径側に磁気ギャップを介して対向するように挿入される筒状のドライブコイルとを含む構成とされ、前記供試台の一端側は前記第１駆動部のドライブコイルの内端側に、また、前記供試台の他端側は前記第２駆動部のドライブコイルの内端側にそれぞれ連結されており、前記第２駆動部のヨークおよび磁界発生器を前記第２駆動部のドライブコイルに対して前記供試台のスライド方向に変位可能に調整するための位置調整部をさらに備えている、ことを特徴としている。

このように、前記第１駆動部と前記第２駆動部とを向き合わせるように構成しているから、本発明に係る動電型試験装置の構成を簡素化することが可能になるとともに、前記制御部の指令値を変換することにより各種試験が可能になる。

例えば、前記供試台を前記第１、第２駆動部のいずれか一方側にスライドさせることにより当該供試台に保持される供試体に衝撃を与える衝撃試験を行うことができる他、前記供試台を前記第１駆動部側と前記第２駆動部側との間で交互にスライドさせることにより当該供試台に保持される供試体に振動を与える振動試験を行うことができる。また、前記位置調節部を備えているので、例えば前記第１駆動部により前記供試台を前記第２駆動部側へ押圧する力を発生させてから、前記第２駆動部により前記供試台を前記押圧する力と逆向きの力（制動力）を発生させるまでの間に、前記供試台が惰性走行する区間の調整が容易に行えるようになる。

ところで、前記制御部は、試験開始に伴い前記供試台を前記第２駆動部（または第１駆動部）側へ押圧する力を発生させるよう前記第１駆動部（または第２駆動部）を駆動する処理と、この処理を実行してから所定時間の経過後に、前記供試台を前記第１駆動部（または第２駆動部）側へ押圧する力を発生させるよう前記第２駆動部（または第１駆動部）を駆動する処理とを実行する、構成とすることが好ましい。

ここで、前記第１駆動部（または第２駆動部）により前記供試台を前記第２駆動部（または第１駆動部）側へ押圧する力を発生させると、当該供試台が前記第２駆動部（または第１駆動部）側にスライドさせられることになり、それから所定時間の経過後（惰性走行させた後）に、前記第２駆動部（または第１駆動部）により前記供試台を前記第１駆動部（または第２駆動部）側に押圧する力［前記第１駆動部（または第２駆動部）により発生する押圧力と逆向きの力］つまり制動力を発生させると、当該供試台が急停止させられることになる。このようにして、前記供試台に保持される供試体に所定の衝撃を与えた衝撃試験が行われる。

この場合、前記第２駆動部（または第１駆動部）により発生させる押圧力（制動力）については前記第１駆動部（または第２駆動部）により発生させる押圧力を打ち消すように設定すればよいので、前記第２駆動部（または第１駆動部）に供給する制動電流は前記第１駆動部（または第２駆動部）に供給する駆動電流と同極性で相似する波形にすればよくなる。

そのため、前記制御部により前記第２駆動部（または第１駆動部）を制御するための処理ならびに構成については、前記制御部により前記第１駆動部（または第２駆動部）を制御するための処理ならびに構成と近似したものとすることができる。これにより、前記制御部により前記供試台を強制的に停止させるときの処理を比較的簡素な構成で実行することが可能になる。

なお、前記押圧力や前記制動力を大小変更したり、前記押圧力を発生させてから前記制動力を発生させるまでの時間（つまり惰性走行時間）を変更したりすることにより、いろいろな条件での衝撃試験が容易に行えるようになる。

また、前記制御部は、試験開始に伴い前記供試台を前記第２駆動部（または第１駆動部）側へ押圧する力を発生させるよう前記第１駆動部（または第２駆動部）を駆動する一方で、それと同時に前記供試台を前記第２駆動部（または第１駆動部）側に引っ張る力を発生させるよう前記第２駆動部（または第１駆動部）を駆動する処理を実行する、構成とすることが好ましい。

この構成では、前記第１駆動部（または第２駆動部）で発生する押圧力と前記第２駆動部（または第１駆動部）で発生する引っ張り力とを合算した力で前記供試台が前記第２駆動部（または第１駆動部）側にスライドされるようになる。

この場合、例えば前記第１駆動部（または前記第２駆動部）のみで前記供試台を前記第２駆動部（または前記第１駆動部）側へスライドさせる場合に比べると、スライド時の加速度ならびに速度が増大することになる。

この構成では、前記惰性走行区間の調整が容易に行えるようになる。

また、前記第１、第２駆動部は、前記各ドライブコイルを個別に支持するための支持部をさらに含み、この各支持部は、前記各ドライブコイルそれぞれの中心部に前記供試台のスライド方向に沿うとともに互いに離隔する向きに延出するように設けられる案内棒と、前記各ヨークそれぞれの内径側に配設されかつ前記各案内棒それぞれの外周面に転動接触させられるガイドローラとを含む、構成とすることが好ましい。

この構成では、前記各ドライブコイルに連結される供試台が抵抗少なくスライドするようになるとともに、前記磁気ギャップ内で前記ドライブコイルが前記磁界発生器および前記ヨークに干渉することなく移動できるようになる。

なお、前記ガイドローラを前記案内棒の円周数ヶ所に配置する場合には、前記供試台がスライドするときの振れが規制されるようになるので、当該供試台に保持される供試体に付与する衝撃や振動の損失をさらに低減できるようになる。

また、前記磁界発生器は、励磁コイルとされる構成とすることができる。

また、上記動電型試験装置には、前記供試台のスライド動作を案内するための直線案内部をさらに備える構成とすることが好ましい。

この構成では、前記供試台のスライド時の横揺れを規制できるようになるので、前記供試台に保持される供試体に付与する衝撃の損失を低減できるようになる他、前記供試体に付与する振動の振れを抑制できるようになる。その結果として、本発明に係る動電型試験装置による衝撃試験ならびに振動試験の信頼性向上に貢献できるようになる。

また、上記供試台には、その供試体の搭載領域を覆い囲むための防護カバーが設けられている、ことが好ましい。

この構成では、試験中に、前記供試台に保持される供試体が万一破損したとしてもそれが周囲に飛び散ることを防止できるようになる。

本発明に係る動電型試験装置によれば、比較的簡素な構成で各種試験を実行することが可能になる。

本発明に係る動電型試験装置の一実施形態の全体を示す側面図で、供試台を第１駆動部側に寄せた初期状態を示している。 図１の動電型試験装置の平面図である。 図１のＡ−Ａ断面図である。 図２のＢ−Ｂ断面図である。 図２のＣ−Ｃ断面図である。 図１のＤ−Ｄ断面図である。 図４および図５のＥ−Ｅ断面図である。 図１の動電型試験装置の動作説明に用いる図であり、(ａ)は供試台の加速度の変化を示しており、(ｂ)は供試台の速度の変化を示しており、（ｃ）は供試台のスライド量の変化を示している。 図３に対応する図で、供試台を第２駆動部側で停止させた状態を示している。 図３に対応する図で、供試台を振動させる場合の前準備状態を示している。

以下、本発明を実施するための最良の実施形態について添付図面を参照して詳細に説明する。

図１から図１０に、本発明の一実施形態を示している。図中、１は動電型試験装置の全体を示している。

動電型試験装置１は、基台２、直線案内部３、第１駆動部４、第２駆動部５、位置調整部６、制御部７などを備えている。

基台２は、長方体形状に形成されている。この基台２の上には、直線案内部３、第１駆動部４、第２駆動部５、位置調整部６などが搭載されている。

図１および図２に示すように、直線案内部３は基台２の上面において長手方向中間位置に搭載されており、また、第１駆動部４は基台２の上面において長手方向一端側（図１の右側）に搭載されており、さらに、第２駆動部５は基台２の上面において長手方向他端側（図１の左側）に搭載されている。

直線案内部３の上には、供試体９が保持される供試台８が搭載されている。この供試台８の一端側（図１の右側）が第１駆動部４の可動子４２の振動台４２ｃに固定されており、また、供試台８の他端側（図１の左側）が第２駆動部５の可動子５２の振動台５２ｃに固定されている。

直線案内部３は、供試台８を直線的にスライドさせるように案内するものであって、図６に示すように、テーブル３ａ、ガイドレール３ｂ、脚部３ｃなどを含む。

テーブル３ａは、基台２の上面において長手方向中間位置に固定されている。ガイドレール３ｂは、例えば角棒形状に形成されており、テーブル３ａ上において基台２の長手方向に沿うように固定されている。脚部３ｃは、供試台８の下面に固定されていて、ガイドレール３ｂにベアリング３ｄを介してスライド可能に嵌め合されている。

テーブル３ａには、防護カバー１０が取り付けられている。この防護カバー１０は、試験中にテーブル３ａ上の供試台８に保持される供試体９が万一破損したとしてもそれが周囲に飛び散ることを防止するものである。

第１、第２駆動部４，５は、共に、フレミングの左手の法則を利用して供試台８を基台２の長手方向にスライドさせる力を発生するものであって、固定子４１，５１と、可動子４２，５２と、支持部４３，５３とを含む構成とされている。

第１駆動部４の各構成要素（固定子４１、可動子４２、支持部４３）と第２駆動部５の各構成要素（固定子５１、可動子５２、支持部５３）とは、図４および図５に示すように、同一とされている。

固定子４１，５１は、ヨーク４１ａ，５１ａと、各２つの励磁コイル４１ｂ，４１ｃ，５１ｂ，５１ｃとを備えている。

ヨーク４１ａ，５１ａは、第１ヨーク部４１ｄ，５１ｄと、第２ヨーク部４１ｆ，５１ｆと、第３ヨーク部４１ｅ，５１ｅとを組み合わせた構成である。

第１ヨーク部４１ｄ，５１ｄ、第２ヨーク部４１ｆ，５１ｆならびに第３ヨーク部４１ｅ，５１ｅは、磁性材、好ましくは強磁性材で形成されている。

励磁コイル４１ｂ，４１ｃ，５１ｂ，５１ｃは、円筒形に巻回されており、第２ヨーク部４１ｆ，５１ｆの内周面にその中心軸線方向に離隔した状態で並んで取り付けられている。励磁コイル４１ｂ，４１ｃ，５１ｂ，５１ｃは、第３ヨーク部４１ｅ，５１ｅと第１ヨーク部４１ｄ，５１ｄの外鍔４１ｇ，５１ｇとで位置決めされている。

可動子４２，５２は、筒体４２ａ，５２ａと、ドライブコイル４２ｂ，５２ｂとで構成されている。

筒体４２ａ，５２ａは、非磁性材で円錐筒形状に形成されており、その小径側には振動台４２ｃ，５２ｃが取り付けられている。振動台４２ｃ，５２ｃは、ヨーク４１ａ，５１ａの内側から外へ飛び出すような状態にされている。

ドライブコイル４２ｂ，５２ｂは、筒体４２ａ，５２ａの大径側円筒部分の外周面に巻回されている。このドライブコイル４２ｂ，５２ｂは、励磁コイル４１ｂ，４１ｃ，５１ｂ，５１ｃと第１ヨーク部４１ｄ，５１ｄ、第２ヨーク部４１ｆ，５１ｆとの対向間の磁気ギャップ内に、非接触となる状態で挿入されている。

支持部４３，５３は、可動子４２，５２が基台２の長手方向に沿ってスライドさせられるときに当該スライド動作を円滑にかつドライブコイル４２ｂ，５２ｂを励磁コイル４１ｂ，４１ｃ，５１ｂ，５１ｃとヨーク４１ａ，５１ａの第１ヨーク部４１ｄ，５１ｄ、第２ヨーク部４１ｆ，５１ｆとに対して干渉させないように案内するものであって、図７に示すように、案内棒４３ａ，５３ａと、３つのガイドローラ４３ｂ，５３ｂとを含んだ構成になっている。

案内棒４３ａ，５３ａは、筒体４２ａ，５２ａの内径側に中心軸線に沿うように配置されていて、その一端側が振動台４２ｃ，５２ｃに固定されている。

３つのガイドローラ４３ｂ，５３ｂは、固定子４１，５１の第１ヨーク部４１ｄ，５１ｄの内径側の円周３ヶ所に設置されており、案内棒４３ａ，５３ａの外周面の円周３ヶ所に転動接触させられるようになっている。

そして、上記した第１駆動部４の固定子４１は横置き姿勢とされた状態で基台２の上面に固定されているが、第２駆動部５の固定子５１は横置き姿勢とされた状態で基台２の上面に位置調整部６を介してスライド可能に配置されている。

位置調整部６は、第２駆動部５の固定子５１を基台２上において供試台８のスライド方向に変位させることによりドライブコイル５２ｂに対する固定子５１の位置を調整するものであって、油圧式または空気圧式のシリンダ６１と、ガイドレール６２とを含んだ構成になっている。

シリンダ６１のシリンダボディ６１ａは、基台２上に固定されるブラケット６３を介して横置き姿勢で取り付けられている。シリンダ６１のプッシュロッド６１ｂの先端は、第２ヨーク部５１ｆに固定されるガイドブロック６１ｃに連結されている。

ガイドレール６２は、基台２上に固定されていて、このガイドレール６２がガイドブロック６１ｃの下溝６１ｄ内に相対変位可能に挿入されている。

この位置調整部６の動作としては、プッシュロッド６１ｂをシリンダボディ６１ａから押し出すと、ガイドブロック６１ｃおよび第２駆動部５の固定子５１が基台２上において図３の左側に変位させられることになる。一方、プッシュロッド６１ｂをシリンダボディ６１ａ内に引き込むと、ガイドブロック６１ｃおよび第２駆動部５の固定子５１が基台２上において図３の右側に変位させられることになる。このように第２駆動部５のドライブコイル５２ｂに対する固定子５１の位置を調整することが可能になっている。

制御部７は、第１、第２駆動部４，５を制御することにより、供試体９に衝撃を与える衝撃試験と、供試体９に振動を与える振動試験とを少なくとも行うように構成されている。

まず、前記衝撃試験について説明する。

制御部７は、試験開始に伴い供試台８を第２駆動部５側へ押圧する力を発生させるよう第１駆動部４を駆動する処理と、この処理を実行してから所定時間（ターンオフ時間）の経過後に、供試台８を第１駆動部４側へ押圧する力を発生させるよう第２駆動部５を駆動する処理とを実行する。

具体的に、制御部７は、試験開始要求に応答して、第１駆動部４の励磁コイル４１ｂ，４１ｃに直流電流を供給することによりヨーク４１ａに磁気回路（静磁場）を発生させておいてドライブコイル４２ｂに加速度指令（所定の駆動電流）を供給する。この駆動電流により供試台８の加速度（ｍ／ｓ²）は、図８（ａ）に示す正極性の正弦半波のような波形１００となる。

これにより、ドライブコイル４２ｂを径方向に通過する磁束の向きと、ドライブコイル４２ｂに流れる駆動電流の向きとに応じて、可動子４２に第２駆動部５側へ向けて押圧する力が付与されることになるので、当該可動子４２に連結された供試台８が第２駆動部５側へ向けて所定の加速度でスライドさせられることになる。このスライドにより、供試台８に保持している供試体９に所定の加速度の衝撃が付与されることになる。

続いて、制御部７は、前記のように供試台８をスライドさせてから所定時間（ターンオフ時間）の経過後に、第２駆動部５の励磁コイル５１ｂ，５１ｃに直流電流を供給することによりヨーク５１ａに磁気回路を発生させておいてドライブコイル５２ｂに制動指令（所定の制動電流）を供給する。この制動電流により供試台８の加速度（ｍ／ｓ²）は、図８（ａ）に示す負極性の正弦半波のような波形２００となる。

これにより、ドライブコイル５２ｂを径方向に通過する磁束の向きと、ドライブコイル５２ｂに流れる制動電流の向きとに応じて、第２駆動部５の可動子５２に第１駆動部４側へ向けて押圧する力（第１駆動部４により発生する押圧力と逆向きの力）つまり制動力が付与されることになるので、当該可動子５２に連結された供試台８が減速させられることになって例えば図９の位置で急停止させられることになる。この急停止により、供試台８に保持している供試体９に所定の加速度の衝撃が付与されることになる。

このように供試台８をスライドさせる過程において、供試台８のスライド速度を図８（ｂ）に、また、供試台８のスライド量を図８（ｃ）にそれぞれ示している。前記ターンオフ時間（惰性走行区間）は任意に変更することができる。

このように第２駆動部５により発生させる制動力については第１駆動部４により発生させる押圧力を打ち消すように設定すればよいので、第２駆動部５に供給する制動電流は第１駆動部４に供給する駆動電流と同極性で相似する波形にすればよくなる。

そのため、制御部７により第２駆動部５を制御するための処理ならびに構成については、制御部７により第１駆動部４を制御するための処理ならびに構成と近似したものとすることができるので、制御部７による前記処理ならびに構成を複雑にする必要がなくなる。言い換えれば、制御部７により供試台８を強制的に停止させるときの処理を比較的簡素な構成で実行することが可能になる。

上記衝撃試験では、供試台８を第２駆動部５側にスライドさせるようにしているが、供試台８を第１駆動部４側にスライドさせるようにしてもよい。

次に、前記振動試験について説明する。

この振動試験を行う場合には、その前準備として、第２駆動部５の固定子５１を図３に示す位置から図１０に示す位置へと位置調整部６でスライドさせることにより、２つの励磁コイル５１ｂ，５１ｃの間にドライブコイル５２ｂを配置させる。

この後、試験開始に伴い供試台８を第１駆動部４側と第２駆動部５側との間で往復スライドさせる。この往復スライド動作を１サイクルとして所定回数繰り返す。

具体的に、制御部７は、試験開始要求に応答して、第１駆動部４の励磁コイル４１ｂ，４１ｃに直流電流を供給することによりヨーク４１ａに磁気回路（静磁場）を発生させておいてドライブコイル４２ｂに振動指令（所定周波数の交流電流）を供給する。

ここで、前記交流電流における正極性の正弦半波により可動子４２に第２駆動部５側へ向けて押圧する力が付与されることになるので、当該可動子４２に連結された供試台８が第２駆動部５側へ向けてスライドさせられることになる。一方、前記交流電流における負極性の正弦半波により可動子４２に第１駆動部４側へ向けて押圧する力が付与されることになるので、当該可動子４２に連結された供試台８が第２駆動部５側へ向けてスライドさせられることになる。

これにより、供試台８に保持させてある供試体９に所定周波数の振動が付与されることになる。

なお、この振動試験では、第１駆動部４のみを駆動するようにしているが、第１、第２駆動部４，５の両方を駆動する形態にすることが可能である。その場合の動作について以下で説明する。

つまり、上記振動試験を行う場合、第１駆動部４により供試台８を第２駆動部５側へ押圧する力を発生させる一方で、それと同時に第２駆動部５により供試台８を第２駆動部５側に引っ張る力を発生させることにより、第１駆動部４で発生する押圧力と第２駆動部５で発生する引っ張り力とを合算した力で供試台８を第２駆動部５側にスライドさせるようにする。

この後、前記とは逆に、第１駆動部４により供試台８を第１駆動部４側に引っ張る力を発生させる一方で、それと同時に第２駆動部５により供試台８を第１駆動部４側へ押圧する力を発生させることにより、第１駆動部４で発生する引っ張り力と第２駆動部５で発生する押圧力とを合算した力で供試台８を第１駆動部４側にスライドさせるようにする。

この場合には、例えば第１駆動部４（あるいは第２駆動部５）のみで供試台８をスライドさせる場合に比べると、スライド時の加速度ならびに速度が倍増することになる。

しかも、第１駆動部４に供給する駆動電流と第２駆動部５に供給する駆動電流とを互いに逆の波形に設定すればよくなるので、制御部７により第１、第２駆動部４，５を制御するための処理ならびに構成を複雑にする必要がなくなる。言い換えれば、制御部７により供試台８のスライド時の加速度ならびに速度を倍増させるための処理を比較的簡素な構成で実行することが可能になる。

以上説明したように本発明を適用した実施形態によれば、比較的簡素な構成で各種試験を実行することが可能になる。また、前記衝撃試験を行うときには、比較的簡素な構成でかつ他の弊害をもたらすことなく、供試台８を安定的に停止させることが可能になる。

なお、本発明は、上記実施形態のみに限定されるものではなく、特許請求の範囲内および当該範囲と均等の範囲内で適宜に変更することが可能である。

（１）上記実施形態に示す各構成要素の具体構成については特に限定されるものではなく、いろいろな変形が可能である。

（２）上記実施形態において、直線案内部３は、例えば特許第５７６６８４４号公報に示されるような流体軸受とすることが可能である。

（３）上記実施形態では、支持部４３，５３について３つのガイドローラ４３ｂ，５３ｂを用いる場合を例に挙げているが、本発明はこれのみに限定されるものではない。

例えばガイドローラ４３ｂ，５３ｂは、３つ未満あるいは４つ以上とすることが可能であるなど、使用数は任意である。例えば１つのガイドローラ４３ｂ，５３ｂを用いる場合には、図示していないが、当該ガイドローラ４３ｂ，５３ｂは案内棒４３ａ，５３ａの真下に配置するのが好ましい。

（４）上記実施形態では、可動子４２，５２を筒体４２ａ，５２ａとドライブコイル４２ｂ，５２ｂとを含んだ構成にした例を挙げているが、本発明はこれのみに限定されるものではない。例えば可動子４２，５２をドライブコイル４２ｂ，５２ｂのみで構成することが可能である。

（５）上記実施形態では、２つの励磁コイル４１ｂ，４１ｃを用いた例を挙げているが、本発明はこれのみに限定されるものではなく、その数は１つ、あるいは３つでもよいなど、任意である。

（６）上記実施形態では、磁界発生器として励磁コイル４１ｂ，４１ｃ，５１ｂ，５１ｃを用いた例を挙げているが、本発明はこれのみに限定されるものではなく、励磁コイル４１ｂ，４１ｃ，５１ｂ，５１ｃは永久磁石としてもよい。

本発明は、供試体の衝撃試験や振動試験などを行う動電型試験装置に好適に利用することが可能である。

１ 動電型試験装置
２ 基台
３ 直線案内部
４ 第１駆動部
４１ 固定子
４１ａ ヨーク
４１ｂ，４１ｃ 励磁コイル
４２ 可動子
４２ｂ ドライブコイル
４２ｃ 振動台
４３ 支持部
５ 第２駆動部
５１ 固定子
５１ａ ヨーク
５１ｂ，５１ｃ 励磁コイル
５２ 可動子
５２ｂ ドライブコイル
５２ｃ 振動台
５３ 支持部
６ 位置調整部
７ 制御部
８ 供試台
９ 供試体
１０ 防護カバー

Claims (7)

1. 基台と、この基台上にスライド可能に搭載されかつ上面に供試体が保持される供試台と、前記基台上において前記供試台の一端側に搭載されかつ前記供試台を少なくとも下記第２駆動部側へスライドさせるための第１駆動部と、前記基台上において前記供試台の他端側に搭載されかつ前記供試台を少なくとも第１駆動部側へスライドさせるための第２駆動部と、前記第１、第２駆動部を制御する制御部とを備え、
   前記第１、第２駆動部は、共に、磁性材製の筒状のヨークと、このヨークの内周面に取り付けられる筒状の磁界発生器と、前記磁界発生器の内径側に磁気ギャップを介して対向するように挿入される筒状のドライブコイルとを含む構成とされ、
   前記供試台の一端側は前記第１駆動部のドライブコイルの内端側に、また、前記供試台の他端側は前記第２駆動部のドライブコイルの内端側にそれぞれ連結されており、
   前記第２駆動部のヨークおよび磁界発生器を前記第２駆動部のドライブコイルに対して前記供試台のスライド方向に変位可能に調整するための位置調整部をさらに備えている、ことを特徴とする動電型試験装置。
2. 請求項１に記載の動電型試験装置において、
   前記制御部は、試験開始に伴い前記供試台を前記第２駆動部（または第１駆動部）側へ押圧する力を発生させるよう前記第１駆動部（または第２駆動部）を駆動する処理と、
   この処理を実行してから所定時間の経過後に、前記供試台を前記第１駆動部（または第２駆動部）側へ押圧する力を発生させるよう前記第２駆動部（または第１駆動部）を駆動する処理とを実行する、ことを特徴とする動電型試験装置。
3. 請求項１または２に記載の動電型試験装置において、
   前記制御部は、試験開始に伴い前記供試台を前記第２駆動部（または第１駆動部）側へ押圧する力を発生させるよう前記第１駆動部（または第２駆動部）を駆動する一方で、それと同時に前記供試台を前記第２駆動部（または第１駆動部）側に引っ張る力を発生させるよう前記第２駆動部（または第１駆動部）を駆動する処理を実行する、ことを特徴とする動電型試験装置。
4. 請求項１から３のいずれか１項に記載の動電型試験装置において、
   前記第１、第２駆動部は、前記各ドライブコイルを個別に支持するための支持部をさらに含み、
   この各支持部は、前記各ドライブコイルそれぞれの中心部に前記供試台のスライド方向に沿うとともに互いに離隔する向きに延出するように設けられる案内棒と、前記各ヨークそれぞれの内径側に配設されかつ前記各案内棒それぞれの外周面に転動接触させられるガイドローラとを含む、ことを特徴とする動電型試験装置。
5. 請求項１から４のいずれか１項に記載の動電型試験装置において、
   前記磁界発生器は、励磁コイルとされる、ことを特徴とする動電型試験装置。
6. 請求項１から５のいずれか１項に記載の動電型試験装置において、
   前記供試台のスライド動作を案内するための直線案内部をさらに備える、ことを特徴とする動電型試験装置。
7. 請求項１から６のいずれか１項に記載の動電型試験装置において、
   前記供試台には、その供試体の搭載領域を覆い囲むための防護カバーが設けられている、ことを特徴とする動電型試験装置。

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