JP6717021B2 - Ｐｍセンサ - Google Patents

Description

本開示は、排気ガス中に含まれる粒子状物質を検出するＰＭセンサに関する。

従来、内燃機関の排気系に設けられ、内燃機関から排出される排気ガス中の粒子状物質（Particulate Matter：ＰＭ）を検出するセンサとして、静電容量型ＰＭセンサが知られている。静電容量型ＰＭセンサは、対向配置された一対の電極の間にフィルタ部材を配置し、フィルタ部材に堆積するＰＭによって電極間の静電容量値が変化することを利用してＰＭ量を測定している（例えば、特許文献１を参照）。

図８Ａ及び図８Ｂは、従来の積層タイプの静電容量型ＰＭセンサのセンサ部を示す模式的な斜視図である。センサ部７０は、複数のフィルタ層７１と、複数枚の第１及び第２電極板７２、７３とを備えている。

フィルタ層７１は、例えば多孔質セラミックスの隔壁で区画された格子状の排気流路をなす複数のセルの上流側と下流側とを交互に目封止し、これらセルを一方向に並べて配置した直方体状に形成されている。なお、以下の説明では、下流側を目封止されたセルをセルＣ１とし、上流側を目封止されたセルをセルＣ２とする。また、セル流路方向をセンサ部７０の長さ方向（図８Ａ中の矢印Ｌ）とし、セルが並べられた方向をセンサ部７０の幅方向（図８Ａ中の矢印Ｗ）とし、センサ部７０の長さ方向及び幅方向と直交する方向をセンサ部７０の厚さ方向とする。

セルＣ１及びセルＣ２の長手方向すなわち流路方向は、センサ部７０が収容されるケース部材の長手方向と一致している。図８Ｂに示す点線矢印のように、セルＣ１の手前方向から流入した排気ガスが、隔壁を通じてセルＣ１からセルＣ２に流れ込むと、セルＣ１の隔壁表面や多孔質セラミックスの孔（細孔）に排気ガスに含まれるＰＭが捕集される。

第１及び第２電極板７２、７３は、例えば平板状の導電性部材であり、第１及び第２電極板７２、７３は、フィルタ層７１を厚さ方向に挟んで交互に積層される。第１電極板７２と第２電極板７３とが対向配置され、第１電極板７２と第２電極板７３との間にフィルタ層７１が挟持されることで、コンデンサが形成される。このように、コンデンサが形成されることにより、電極表面積が好適に確保され、検出可能な静電容量が高められる。

特開２０１６−８８６１号公報

上記したように、特許文献１に開示されたような積層タイプの静電容量型ＰＭセンサでは、電極間のフィルタ部材の隔壁表面や細孔内に堆積するＰＭによる電極間の静電容量値の変化を利用してＰＭ量を測定している。ＰＭ量の測定精度を向上させるという観点からすれば、各セルにおいて、ＰＭが電極板とほぼ平行に一様な厚さで堆積することが望ましい。

本開示の目的は、ＰＭの測定精度を向上させたＰＭセンサを提供することである。

本開示のＰＭセンサは、多孔質性隔壁で区画されて排気ガス中の粒子状物質を捕集する複数のセルを有し、前記複数のセルの少なくとも一部の端部が目封止されているフィルタ部材と、前記フィルタ部材を挟んで対向配置された少なくとも一対の電極板とからなるＰＭセンサにおいて、前記少なくとも一対の電極板は、前記排気ガスを該少なくとも一対の電極板に垂直な方向へ通過させる穴、又はスリットを有し、前記フィルタ部材は、前記排気ガスが前記少なくとも一対の電極板に平行な方向よりも前記少なくとも一対の電極板に垂直な方向において流れやすくなるよう形成されており、前記少なくとも一対の電極板に垂直な方向において隣り合うセル間の前記フィルタ部材の厚さは、前記少なくとも一対の電極板に平行な方向において隣り合うセル間の前記フィルタ部材の厚さよりも薄い。

本開示によれば、ＰＭセンサのＰＭ測定精度を向上させることができる。

ディーゼルエンジンの排気系を例示した図 ＰＭセンサの構成を例示した部分断面図 センサ部の模式的な斜視図 センサ部の長さ方向に沿った断面図 穴部の位置及び形状について例示した図 センサ部の幅方向に沿った拡大断面図 本実施の形態のＰＭセンサによる効果を説明するための図 従来のセンサ部の模式的な斜視図 従来のセンサ部の模式的な分解斜視図

以下、本開示の実施の形態に係るＰＭセンサについて、図面を参照して詳細に説明する。

図１は、ディーゼルエンジン（以下、単に「エンジン」と記載する）の排気系を例示した図である。排気管１１０には、排気上流側から順に、酸化触媒２１０、ＤＰＦ（Diesel particulate filter：ディーゼル微粒子捕集フィルタ）２２０、ＮＯｘ浄化触媒２３０等が設けられている。ＰＭセンサ１０は、例えば、ＤＰＦ２２０よりも上流側の排気管１１０、又は、ＤＰＦ２２０よりも下流側の排気管１１０に設けられる。図１においては、ＤＰＦ２２０の上流側と下流側の両方にＰＭセンサ１０が設けられているが、本開示では、いずれか片方だけに設けられていてもよい。

図２は、ＰＭセンサ１０の構成を例示した部分断面図である。ＰＭセンサ１０は、排気管１１０内に挿入されたケース部材１１と、ケース部材１１を排気管１１０に取り付ける台座部２０と、ケース部材１１に収容されたセンサ部３０とを備える。

ケース部材１１は、有底円筒状の内側ケース部１１Ａと、内側ケース部１１Ａの円筒外周面を囲む円筒状の外側ケース部１１Ｂとを備えている。内側ケース部１１Ａは、先端側が外側ケース部１１Ｂよりも突出するように、その軸方向長さが外側ケース部１１Ｂよりも長く形成されている。内側ケース部１１Ａの軸方向長さは、内側ケース部１１Ａの底部が排気管１１０の軸中心ＣＬ近傍まで突出するように、排気管１１０の半径とほぼ同一の長さとされている。また、本実施形態では内側ケース部１１Ａ及び外側ケース部１１Ｂの軸方向に垂直な断面の形状は円形状であるが、内側ケース部１１Ａ及び外側ケース部１１Ｂの軸方向に垂直な断面の形状は、排気管１１０の流路方向（図２における左右方向）を長軸とする楕円形状や、排気管１１０の流路方向に頂点を有するひし形形状、多角形形状等、様々な形状とすることができる。なお、以下の説明では、ケース部材１１の排気管１１０の軸中心ＣＬに近い端部を先端側、その反対側を基端側と称する。

内側ケース部１１Ａの基端側の筒壁部には、周方向に間隔を隔てて配置された複数の通過口１４が設けられている。この通過口１４は、内側ケース部１１Ａの外周面と外側ケース部１１Ｂの内周面とで区画された流路１５内の排気ガスを内側ケース部１１Ａ内に通過させる。流路１５の上流端には、内側ケース部１１Ａの先端側筒壁部と外側ケース部１１Ｂの先端部により区画された円環状の導入口１２が設けられている。これにより、排気管１１０を流れる排気ガスは、外側ケース部１１Ｂよりも突出した内側ケース部１１Ａの筒壁面に当たり、排気管１１０の軸中心ＣＬ近傍に配置された導入口１２から流路１５内に円滑に取り込まれる。流路１５内を流れる排気ガスは、通過口１４から内側ケース部１１Ａに取り込まれ、センサ部３０を通過する。

内側ケース部１１Ａの先端側の底部には、内側ケース部１１Ａ内の排気ガスを排気管１１０内に導出する導出口１３が設けられている。センサ部３０を通過した排気ガスは、排気管１１０の軸中心ＣＬ近傍に配置された導出口１３から排気管１１０内に円滑に導出される。

さらに、導入口１２の開口面積Ｓ１２は、導出口１３の開口面積Ｓ１３よりも小さく形成されている。こうすることで、導入口１２付近の排気流速Ｖ１２が導出口１３付近の排気流速Ｖ１３よりも遅くなり、導入口１２側の圧力Ｐ１２は導出口１３側の圧力Ｐ１３よりも高くなる。これにより、導入口１２からはケース部材１１内に排気ガスが円滑に取り込まれると共に、導出口１３からはケース部材１１内の排気ガスが排気管１１０内に円滑に導出される。

このように、導入口１２と導出口１３とを、排気管１１０内で排気流速が最も速くなる軸中心ＣＬ近傍に配置すると共に、導入口１２の開口面積Ｓ１２を、導出口１３の開口面積Ｓ１３よりも小さく形成したことで、センサ部３０を通過する排気流量を効果的に高めることが可能となる。

台座部２０は、雄ネジ部２１と、ナット部２２とを備えている。雄ネジ部２１はケース部材１１の基端部に設けられており、ケース部材１１の基端側開口部を閉塞する。この雄ネジ部２１は、排気管１１０に形成されたボス部１１０Ａの雌ネジ部と螺合される。雄ネジ部２１がボス部１１０Ａの雌ネジ部と螺合されることで、ケース部材１１が排気管１１０に対して固定される。ナット部２２は、例えば六角ナットであって、雄ネジ部２１の上端部に設けられている。これら雄ネジ部２１及びナット部２２には、後述する第１及び第２電極板３２、３３に電力を供給するための導電線等を挿通させる貫通穴（不図示）が形成されている。なお、ケース部材１１を排気管１１０に対して固定する方法については上述のネジ係合には限定されず、例えば、ケース部材１１の基端側に排気管１１０の外形に沿った形状のフランジを形成し、該フランジを排気管１１０の外周面にボルト等を用いて固定することによってケース部材１１を排気管１１０に対して固定するようにしても良い。

次に、センサ部３０の詳細構成について説明する。図３はセンサ部３０の模式的な斜視図である。また、図４はセンサ部３０の長さ方向に沿った断面図である。図４の上下方向は、センサ部３０の厚さ方向に対応している。

図３及び図４に示すように、センサ部３０は、複数のセルＣ１及びＣ２を有するフィルタ層３１と、複数枚の第１及び第２電極板３２、３３と、コントロールユニット４０と、を備えている。

フィルタ層３１は、例えば多孔質セラミックスの隔壁で区画された格子状の排気流路をなす複数のセルの上流側と下流側とを交互に目封止し、これらセルを一方向に並べて配置することにより直方体状に形成されている。なお、以下の説明では、下流側を目封止されたセルをセルＣ１とし、上流側を目封止されたセルをセルＣ２とする。また、セル流路方向をセンサ部３０の長さ方向（図３中の矢印Ｌ）とし、セルが並べられた方向をセンサ部３０の幅方向（図３中の矢印Ｗ）とし、センサ部３０の長さ方向及び幅方向と直交する方向をセンサ部３０の厚さ方向とする。

第１及び第２電極板３２、３３は、例えば平板状の導電性部材であり、第１及び第２電極板３２、３３は、フィルタ層３１を厚さ方向に挟んで交互に積層される。第１電極板３２と第２電極板３３とが対向配置され、第１電極板３２と第２電極板３３との間にフィルタ層３１が挟持されることで、セルＣ１全体によってコンデンサが形成される。このように、セルＣ１全体によってコンデンサが形成されることにより、電極表面積Ｓが好適に確保され、検出可能な静電容量が高められる。

複数のセルＣ１は、それぞれが多孔質セラミックスの隔壁で区画された格子状の排気流路をなすものであり、図８Ｂに例示した従来のＰＭセンサのセンサ部と同様に、セルＣ１の下流側端部は目封止されている。セルＣ１の長手方向すなわち流路方向は、センサ部３０が収容される内側ケース部１１Ａの長手方向と一致しており、排気ガスが導入口１２から導出口１３に至る過程で、セルＣ１の隔壁表面や細孔に排気ガスに含まれるＰＭが捕集される。

第１及び第２電極板３２、３３は、例えば平板状の導電性部材であり、第１及び第２電極板３２、３３は、セルＣ１及びＣ２を厚さ方向に挟んで交互に積層される。第１電極板３２と第２電極板３３とを対向配置し、第１電極板３２と第２電極板３３との間にセルＣ１及びＣ２を挟持させることで、コンデンサを形成するように構成されている。

コントロールユニット４０は、フィルタ再生制御部４１と、ＰＭ量推定演算部４２とを各機能要素として備えており、配線３２Ａ、３３Ａによって第１及び第２電極板３２、３３と接続されている。

フィルタ再生制御部４１は、静電容量検出回路（不図示）によって検出される第１及び第２電極板３２、３３間の静電容量Ｃｐに応じて電気ヒータ（不図示）に通電するフィルタ再生制御を実行する。電気ヒータは、例えば電熱線であって、通電により発熱してセルＣ１を加熱することで、セルＣ１内に堆積したＰＭを燃焼除去する、いわゆるフィルタ再生を実行する。

第１及び第２電極板３２、３３間の静電容量Ｃｐは、第１及び第２電極板３２、３３間の媒体の誘電率をε、第１及び第２電極板３２、３３の表面積をＳ、第１及び第２電極板３２、３３間の距離をｄとした場合、以下の数式１で表される。

数式１において、第１及び第２電極板３２、３３の表面積Ｓは一定であり、セルＣ１に捕集されたＰＭによって誘電率ε及び距離ｄが変化すると、それに伴い静電容量Ｃｐも変化する。第１及び第２電極板３２、３３間の静電容量Ｃｐとフィルタ層３１のＰＭ堆積量との間にはほぼ比例関係が成立することが知られている。

セルＣ１に捕集されたＰＭの堆積量が上限値を超えると、第１及び第２電極板３２、３３間の静電容量ＣｐとＰＭ堆積量との比例関係が崩れ、第１及び第２電極板３２、３３間の静電容量Ｃｐの推定精度が低下する。そこで、フィルタ再生制御部４１は、第１及び第２電極板３２、３３の静電容量ＣｐがＰＭ上限堆積量を示す所定の静電容量上限閾値Ｃｐ_ＭＡＸに達すると、電気ヒータに通電するフィルタ再生制御を開始する。このフィルタ再生制御は、静電容量ＣｐがＰＭの完全除去を示す所定の静電容量下限閾値Ｃｐ_ｍｉｎに低下するまで継続される。

ＰＭ量推定演算部４２は、再生インターバルＴ_ｎ間（フィルタ再生制御終了から次のフィルタ再生制御開始まで）における静電容量変化量ΔＣｐに基づいて、エンジン１００から排出される排気ガス中の総ＰＭ量ｍ_{ＰＭＳＵＭ}を推定する。再生インターバルＴ_ｎ間にフィルタ層３１で捕集されるＰＭ量ｍ_ＰＭｎは、静電容量変化量ΔＣｐに一次の係数βを乗算した以下の数式２で得られる。

ＰＭ量推定演算部４２は、数式２から算出される各再生インターバルＴ_ｎ間のＰＭ量ｍ_ＰＭｎを順次積算する以下の数式３に基づいて、エンジン１００から排出される排気ガス中の総ＰＭ量ｍ_{ＰＭＳＵＭ}をリアルタイムで演算する。

なお、ＰＭ量の推定は、上記の手法に限られず、様々な手法を採用することができる。例えば、予め実験等により静電容量ＣｐとＰＭ量ｍ_ＰＭとの関係を求めてマップを作成しておき、このマップを参照することで総ＰＭ量や瞬時のＰＭ量を推定することができる。

なお、ＰＭ量の推定は、上記の手法に限られず、様々な手法を採用することができる。例えば、予め実験等により静電容量ＣｐとＰＭ量ｍ_ＰＭとの関係を求めてマップを作成しておき、このマップを参照することで総ＰＭ量や瞬時のＰＭ量を推定することができる。

なお、本実施の形態のＰＭセンサ１０においては、フィルタ層３１及び、第１及び第２電極板３２、３３は、例えば１つのセルＣ１から、排気ガスがセンサ部３０の幅方向よりも、厚さ方向において流れやすくなるよう形成される。流れやすさは、多孔質媒体の浸透率の大小や、流路長の大小により変化する。なお、本実施の形態における、センサ部３０の幅方向は、本開示における、第１及び第２電極板３２、３３に平行な方向に対応する。また、本実施の形態における、センサ部３０の厚さ方向は、本開示における、第１及び第２電極板３２、３３に垂直な方向に対応する。

以下具体例を挙げて説明する。図４に示すように、第１及び第２電極板３２及び３３は、穴部Ｈを有する。この穴部Ｈは、図４に示すように、セルＣ１から、第１及び第２電極板３２、３３に垂直な方向に隣接するセルＣ２へ排気ガスが流れる際の流路となるように設けられた穴、又はスリットである。図４において、点線矢印Ｆは、セルＣ１に流入した排気ガスの流路を例示している。

上記したように、本実施の形態のＰＭセンサ１０は、排気ガスが、センサ部３０の幅方向よりも、厚さ方向において流れやすくなるように構成されている。その理由の１つが、図４に示す第１及び第２電極板３２、３３の穴部Ｈである。

図５は、穴部Ｈの位置及び形状について例示した図である。図５は、第１及び第２電極板３２、３３の平面図であって、図５の上下方向がセンサ部３０の長さ方向に対応している。図５に示すように、第１及び第２電極板３２、３３には、穴部Ｈが設けられている。なお、図５においては、穴部Ｈとして、断面形状が円状の穴を例示しているが、本開示はこれに限定されるものではない。穴部Ｈの断面形状は、例えば楕円状、正方形状、長方形状、菱形状等、他の形状であってもよい。また、穴部Ｈは、直線状、任意の曲線状あるいは直線と曲線を組み合わせた形状のスリットであってもよい。また、図５においては、穴部Ｈは、セルＣ１、Ｃ２の幅に対応した位置に配置されている。しかしながら、本開示はこれに限定されず、穴部Ｈは第１及び第２電極板３２、３３一面に均一に設けられてもよい。

図６は、センサ部３０の幅方向に沿った拡大断面図である。図６に示すように、１つのセルＣ１からセンサ部３０の厚さ方向に隣接するセルＣ２までのフィルタ層３１の厚さＴ１は、セルＣ１からセンサ部３０の幅方向に隣接するセルＣ２までのフィルタ層３１の厚さＴ２よりも小さくなるように構成される。このようなフィルタ層３１の厚さが、本実施の形態のＰＭセンサ１０において、排気ガスがセンサ部３０の幅方向よりも厚さ方向において流れやすくなっている理由の２つ目である。

なお、セルＣ１からセンサ部３０の厚さ方向に隣接するセルＣ２までのフィルタ層３１の厚さＴ１は、図６に示すように、センサ部３０の厚さ方向における、セルＣ１の内壁面から第１及び第２電極板３２、３３までのフィルタ層３１の厚さと、第１及び第２電極板３２、３３からセルＣ２の内壁面までのフィルタ層３１の厚さと、を合計したものに相当する。一方、セルＣ１からセンサ部３０の幅方向に隣接するセルＣ２までのフィルタ層３１の厚さＴ２は、セルＣ１の内壁面から、センサ部３０の幅方向における、セルＣ１の内壁面から隣接するセルＣ２の内壁面までのフィルタ層３１の厚さに相当する。

＜効果等＞
図７は、本実施の形態のＰＭセンサ１０による効果を説明するための図である。図７は、１つのセル１及びその周囲の構造を含む、センサ部３０の幅方向に沿った拡大断面図である。図７に示す矢印は、セルＣ１からの排気ガスの流れを例示したものである。図５及び図６に示すように、第１及び第２電極板３２、３３には穴部Ｈが設けられ、また１つのセルＣ１からセンサ部３０の厚さ方向（第１及び第２電極板３２、３３に垂直な方向）に隣接するセルＣ２までのフィルタ層３１の厚さＴ１の方が、セルＣ１からセンサ部３０の幅方向（第１及び第２電極板３２、３３に平行な方向）に隣接するセルＣ２までのフィルタ層３１の厚さＴ２よりも小さくなるように構成される。これらの２つの理由により、センサ部３０の上流側からセルＣ１に流入した排気ガスの流入量は、図７に示すように、センサ部３０の幅方向に隣接するセルＣ２への流入量よりも、センサ部３０の厚さ方向に隣接するセルＣ２への流入量の方が多くなる。

排気ガスに含まれるＰＭは、排気ガスの流れに沿ってフィルタ層３１の表面あるいは細孔に捕集される。このため、本実施の形態のＰＭセンサ１０によれば、セルＣ１を構成するフィルタ層３１の壁面（隔壁）（図７に示すＷ１〜Ｗ４）のうち、センサ部３０の幅方向の壁面Ｗ３及びＷ４よりも、厚さ方向の壁面Ｗ１あるいはＷ２に、多くＰＭが捕集されることになる。

上述したように、第１及び第２電極板３２、３３間の媒体の誘電率εは、セルＣ１に捕集されたＰＭの量によって変化する。このため、第１及び第２電極板３２、３３間において、ＰＭの量がセンサ部３０の厚さ方向において均一である方が、誘電率εの変化も均一となり、第１及び第２電極板３２、３３間の静電容量Ｃｐを精度よく測定する上では望ましい。本実施の形態のＰＭセンサ１０によれば、セルＣ１を構成するフィルタ層３１の壁面のうち、センサ部３０の幅方向の壁面よりも、厚さ方向の壁面に、多くのＰＭが捕集されるため、捕集できるＰＭの量はセンサ部３０の厚さ方向に均一となり、ＰＭセンサ１０のＰＭ測定精度を向上させることができる。

＜変形例＞
上述した実施の形態では、排気ガス中のＰＭは、センサ部３０のフィルタ層３１に捕集されるとしていた。しかしながら、セルＣ１及びＣ２を構成するフィルタ層３１の内壁面（隔壁面）にメンブレン層を設け、メンブレン層表面でＰＭを捕集するようにしてもよい。このような構成では、フィルタ層３１の内部の細孔にまでＰＭが入り込むことがないため、センサ部３０の厚さ方向のメンブレン層表面に、より均一にＰＭを捕集することができる。これにより、ＰＭセンサ１０のＰＭ測定精度をより向上させることが期待できる。

また、上述した実施の形態では、センサ部３０は、図３に示すように、複数のセル及び、第１及び第２電極板３２、３３が積層される構成としていた。しかしながら、図３に示すように複数層に積層されたセンサ部３０において、全ての層において必ずしも電極板が設けられていなくてもよい。このような場合、例えばいくつかの層毎に電極板が設けられていてもよいし、あるいは、センサ部の最も外側の層にのみ一対の電極板が設けられていてもよい。このように電極板が全ての層に設けられていない場合でも、セルＣ１からセンサ部３０の厚さ方向に隣接するセルＣ２までのフィルタ層３１の厚さＴ１は、セルＣ１からセンサ部３０の幅方向に隣接するセルＣ２までのフィルタ層３１の厚さＴ２よりも小さくなるように構成されているので、上述した実施の形態と同様に、排気ガスはセルＣ１からセンサ部の厚さ方向（電極板に垂直な方向）に流れやすくなる。

また、例えば１対の第１電極板３２及び第２電極板３３によって１つのみのセルが挟まれた単層のＰＭセンサに対しても本開示は適用が可能である。単層のＰＭセンサの場合、セルＣ１の内壁面から第１及び第２電極板３２、３３までのフィルタ層３１の厚さが、図６に示すフィルタ層３１の厚さＴ１に対応する。

本開示は、排気ガス中のＰＭを精度よく測定することができるＰＭセンサとして有用である。

１０ ＰＭセンサ
１１ ケース部材
１１Ａ 内側ケース部
１１Ｂ 外側ケース部
１２ 導入口
１３ 導出口
１４ 通過口
１５ 流路
２０ 台座部
２１ 雄ネジ部
２２ ナット部
３０ センサ部
３１ フィルタ層
３２ 第１電極板
３３ 第２電極板
３２Ａ，３３Ａ 配線
４０ コントロールユニット
４１ フィルタ再生制御部
４２ ＰＭ量推定演算部
７０ センサ部
７１ フィルタ層
７２ 第１電極板
７３ 第２電極板
１００ エンジン
１１０ 排気管
１１０Ａ ボス部
２１０ 酸化触媒
２２０ ＤＰＦ
２３０ ＮＯｘ浄化触媒

Claims (3)

1. 多孔質性隔壁で区画されて排気ガス中の粒子状物質を捕集する複数のセルを有し、前記複数のセルの少なくとも一部の端部が目封止されているフィルタ部材と、前記フィルタ部材を挟んで対向配置された少なくとも一対の電極板とからなるＰＭセンサにおいて、
   前記少なくとも一対の電極板は、前記排気ガスを該少なくとも一対の電極板に垂直な方向へ通過させる穴、又はスリットを有し、
   前記フィルタ部材は、前記排気ガスが前記少なくとも一対の電極板に平行な方向よりも前記少なくとも一対の電極板に垂直な方向において流れやすくなるよう形成されており、
   前記少なくとも一対の電極板に垂直な方向において隣り合うセル間の前記フィルタ部材の厚さは、前記少なくとも一対の電極板に平行な方向において隣り合うセル間の前記フィルタ部材の厚さよりも薄い、
   ＰＭセンサ。
2. 前記少なくとも一対の電極板のうち最も端にある電極板と、前記少なくとも一対の電極板に垂直な方向において前記最も端にある電極板と隣り合うセルとの間の前記フィルタ部材の厚さは、前記少なくとも一対の電極板に平行な方向において隣接するセル間の前記フィルタ部材の厚さよりも薄い、
   請求項１に記載のＰＭセンサ。
3. 前記セルの隔壁面にメンブレン層を設けた、
   請求項１または２に記載のＰＭセンサ。

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