JP6716107B2

JP6716107B2 - 測定用プローブ

Info

Publication number: JP6716107B2
Application number: JP2017192433A
Authority: JP
Inventors: 隆二大澤; 鴫原　亮; 亮鴫原
Original assignee: Alps Electric Co Ltd; Seikoh Giken Co Ltd; Alps Alpine Co Ltd
Current assignee: Seikoh Giken Co Ltd; Alps Alpine Co Ltd
Priority date: 2017-10-02
Filing date: 2017-10-02
Publication date: 2020-07-01
Anticipated expiration: 2037-10-02
Also published as: JP2019066337A

Description

本発明は、放射用アンテナから電波を放射し小型アンテナでその電波を受信する測定装置において、小型アンテナの指向性や利得の正確な測定が可能な測定用プローブに関する。

近年、ＩｏＴ機器等に内蔵されるアンテナは、波長に対して非常に小型化されている。アンテナの指向性や利得の測定は、被測定アンテナに同軸ケーブルを接続して行われるのが一般的である。しかし、非特許文献１および非特許文献２に示すように、アンテナに同軸ケーブルを接続すると、同軸ケーブル外導体により到来電波の散乱や反射が発生し、場が乱される。また、同軸ケーブルの外導体の外側に不平衡電流が流れ、アンテナの入力インピーダンスおよび放射パターンに影響を及ぼしてしまう。つまり、本来のアンテナからの放射と同軸ケーブルからの放射の合成値が観測されることになってしまう。

アンテナの放射特性（指向性や利得）測定時の同軸ケーブルの悪影響を取り除く方法として、光プローブと呼ばれる測定用プローブを使用する方法がある。光プローブは、特許文献１および非特許文献１に示すように、反射型光電界センサの変調電極に同軸コネクタを接続した構成であり、同文献にあるとおり、各種アンテナの接続を可能にするものである。特許文献１は、各種アンテナを接続して電磁ノイズの測定をすることが目的であるが、接続したアンテナの放射特性そのものを測定することができることは、特許文献２および非特許文献１に記載されている。

図１に、従来の光プローブ１０１を示す。図示しない光変調手段（反射型光電界センサ）が筐体（金属部）１０２に収められ、保護用の筐体（樹脂部）１０３から光伝達手段（光ファイバ）１０４が出ている。また、筐体１０２には、被測定アンテナからの信号入力用のコネクタ（同軸レセプタクル）１０５が配置されている。光変調手段（反射型光電界センサ）の変調電極間のインピーダンスは、非特許文献３に記載のとおり数十〜数百ＭΩと非常に大きい。一方、被測定アンテナの入力インピーダンスは一般に５０Ωであることが多いため、信号入力用のコネクタ（同軸レセプタクル）１０５の特性インピーダンスも５０Ωが一般的である。

ここで、光変調手段（反射型光電界センサ）の変調電極間のインピーダンスと同軸レセプタクルの特性インピーダンス５０Ωとを広帯域でインピーダンスマッチングをとるために、図示しない５０Ω系の減衰回路（アッテネータ）を介して両者を接続している。ここで、通常、筐体１０２は金属製で、筐体１０３は樹脂製であるが、非特許文献４には、筐体１０２を樹脂で構成した例が開示されている。この光プローブ１０１は、金属部をほとんど持たないために被測定電界を乱さないこと、光ファイバで検出信号を伝送するので途中で誘導や電気的雑音の影響を受けないこと、結晶の電気光学効果を利用するので、高速応答が可能であり、かつその検出信号をそのまま少ない損失で伝送できること、センサ部に電源を必要としないこと等の特長がある。

特開１９９８−０９０３２７号公報特開２０１１−０３３５０１号公報

黒川，"光技術を用いたアンテナ測定"，信学論（Ｃ）,Vol. J91-C No.1,2008. 石井，"アンテナ基本測定法"，コロナ社大沢，"光電界センサの構造と適用領域"，月間ＥＭＣ 2008年2月号（No.238），科学情報出版 Tian Hong et al., "Interference Minimisation for Pattern Testing of Electrically Small Antennas", EuCAP2010.

光変調手段（反射型光電界センサ）の変調電極や減衰回路（アッテネータ）等は金属部を有するため、非特許文献３に記載されているとおり、わずかながら周囲の電界を拾ってしまう。別に言えば、光プローブ１０１自体が受信アンテナになってしまう恐れがある。これを防止するために、通常、筐体１０２は金属製とし、光プローブ１０１内部の部品を電磁シールドしている。この金属製の筐体１０２の寸法は、略２０ｍｍ×１０ｍｍ×１０ｍｍである。

一方、上述したＩｏＴ機器に用いられるアンテナの一例を図２に示す。ここで、アンテナ２０１は、Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈ（登録商標）やＢｌｕｅｔｏｏｔｈ（登録商標）ＬｏｗＥｎｅｒｇｙ等の通信規格に対応した通信モジュール２０２に一体化され、その大きさが、４．７ｍｍ×４．７ｍｍ×２ｍｍのように小型化されている。このアンテナ２０１の放射特性（指向性や利得）を正確に測定するためには、光プローブの金属部の大きさがアンテナ２０１よりも十分に小さいことが望まれる。

しかし、上述のように、金属部の大きさが略２０ｍｍ×１０ｍｍ×１０ｍｍと大きいため、アンテナ２０１と電磁結合してしまい、正確な測定が望めないという問題がある。更に、コネクタ（同軸レセプタクル）１０５は、比較的小型で堅牢なＳＭＡ型が使用されることが多いが、筐体１０２から外側に突出している寸法は略φ６ｍｍ×１０ｍｍと大きい。

また、アンテナ２０１の給電点と接続するためのＳＭＡプラグをコネクタ（同軸レセプタクル）１０５に接続すると、全体でΦ１０ｍｍ×４０ｍｍ程度の大きな金属物が存在してしまい、筐体１０２以上の問題が発生してしまう。従って、小型アンテナを正確に測定するためには、コネクタ（同軸レセプタクル）１０５を含む光プローブの金属部分を可能な限り少なくすることが望ましいが、単純にコネクタ１０５を小型化しただけでは、アンテナ２０１の測定回数が多くなると、コネクタが劣化（接触抵抗の増大等）し易く、高周波伝送特性も劣化してしまうという問題が発生し、小型のアンテナの正確な測定に影響を与えてしまう。

この課題を解決するために、本発明の測定用プローブは、測定対象からの電気信号を伝達するための電気信号伝達手段と、伝達された前記電気信号に対応した光信号を生成するための光変調手段と、前記光変調手段が生成した前記光信号を測定装置に伝達するための光信号伝達手段と、前記光変調手段を収容するための筐体と、を備えた測定用プローブであって、前記電気信号伝達手段は、信号入力用のコネクタと前記コネクタに接続された第１接点部とを含む第１伝達部と、前記第１接点部と接離可能な第２接点部と前記第２接点部を前記光変調手段に接続するための配線部とを含む第２伝達部と、を有し、前記筐体は、絶縁性樹脂部材からなり前記コネクタが露出するように前記第１伝達部を保持する第１筐体部と、絶縁性樹脂部材からなり前記光変調手段を収容し前記第２伝達部を保持する第２筐体部と、を有し、前記第１筐体部と前記第２筐体部とは着脱可能となっており、前記第１接点部と前記第２接点部とが接離するように、前記第１伝達部と前記第２伝達部とが保持されていることを特徴する。

この構成の測定用プローブは、筐体を絶縁性樹脂で構成すると共に、信号入力用のコネクタの寸法を小型化して、測定用プローブを構成する金属部分を最小化することができる。これにより、被測定アンテナと測定用プローブの金属部が電磁結合する問題を解決することができる。しかも、コネクタの小型化に伴いコネクタが劣化し易くなっても、コネクタ側の第１筐体部を第２筐体部と着脱可能とすることで、コネクタを容易に交換することができるようになる。その結果、小型アンテナの正確な測定が可能となる。

好適に、前記第１伝達部は、前記コネクタと前記第１筐体部とを保持し前記第１筐体部に着脱可能に取り付けられる第１基板と、前記第１基板に設けられて前記コネクタと前記第１接点部とを接続する第１配線電極と、を有し、前記第２伝達部は、前記第２接点部と前記配線部とを保持し前記第２筐体部に固定される第２基板と、前記第２基板に設けられて前記第２接点部と前記配線部とを接続する第２配線電極と、を有していても構わない。

好適に、前記第１接点部は、前記第１基板に保持された円筒状のソケットであり、前記第２接点部は、前記ソケットに抜き差し可能となるように前記第２基板に保持された円柱状の端子ピンであっても構わない。

好適に、前記ソケットは、前記第１基板に保持されて前記第２接点部側に延びる第１ソケットと、前記第１ソケットを挟むように前記第１ソケットの両側に配置された２つの第２ソケットと、を含み、前記端子ピンは、前記第１ソケットに抜き差し可能となるように前記第２基板に保持された第１端子ピンと、前記第２ソケットに抜き差し可能となるように前記第２基板にそれぞれ保持された２つの第２端子ピンと、を含んでいても構わない。

好適に、前記第１伝達部は、前記コネクタと前記第１接点部との間に設けられた第１減衰回路を有し、前記第２伝達部は、前記第２接点部と前記配線部との間に設けられた第２減衰回路を有していても構わない。

好適に、前記筐体は、少なくとも前記コネクタが露出するように前記第１筐体部の表面と前記第２筐体部の表面とを覆う磁性シートを有していても構わない。

本発明の測定用プローブは、筐体を絶縁性樹脂で構成すると共に、信号入力用のコネクタの寸法を小型化して、測定用プローブを構成する金属部分を最小化することができる。これにより、被測定アンテナと測定用プローブの金属部が電磁結合する問題を解決することができる。しかも、コネクタの小型化に伴いコネクタが劣化し易くなっても、コネクタ側の第１筐体部を第２筐体部と着脱可能とすることで、コネクタを容易に交換することができるようになる。その結果、小型アンテナの正確な測定が可能となる。

従来の測定用プローブの例を示す説明図。ＩｏＴ機器に用いられる小型アンテナの一例を示す説明図。本発明の第１実施形態に係る測定用プローブの外観図。本発明の第１実施形態に係る測定用プローブの組立図。本発明の第１実施形態に係る第１伝達部を示す説明図。本発明の第１実施形態に係る第２伝達部を示す説明図。本発明の第１実施形態に係る第１伝達部と第２伝達部の接続状態を示す説明図。本発明の第２実施形態に係る測定用プローブの外観図。本発明に係る小型アンテナの評価基板への実装状態を示す説明図。本発明に係る小型アンテナのシミュレーションと測定例を示す説明図。

以下、図面を参照して本発明光プローブを実施例により詳細に説明する。なお、図面の説明において同一の要素には同一符号を付し、その重複した説明を省略する。

図３は、本発明の第１実施形態に係る測定用プローブである光プローブ１の外観図である。光プローブ１の筐体は、第１筐体部２と第２筐体部３から成り、両者を合わせた場合に略直方体となるように構成する。ここで、第１筐体部２と第２筐体部３は、共にＡＢＳ等の絶縁性樹脂で形成する。４は光信号伝達手段（光ファイバ）、５は信号入力用のコネクタ（同軸レセプタクル）、６は第１伝達部、７は第２伝達部である。

まずは機械的な構成について説明する。図４は、図３に示す光プローブ１の組立図である。第２筐体部３には光変調手段（反射型光電界センサ）８が収容され、光変調手段（反射型光電界センサ）８には光伝達手段（光ファイバ）４が光学的に接続される。また、第２筐体部３には第２伝達部７も収容され、樹脂ネジ７９により第２筐体部３に固定される。第１筐体部２は、第２筐体部３へ、樹脂ネジ２１により固定される。また、第１伝達部６が、第１筐体部２の凹部２２により位置決めされ、樹脂ネジ６９により固定される。ここで、凹部２２の深さは、信号入力用のコネクタ（同軸レセプタクル）５のみが、第１筐体２の上面から露出するように設定する。このように構成すると、第１筐体部２と第２筐体部３を合わせた場合に略直方体となる。

次に電気的な接続について説明する。図５は、光プローブ１の第１伝達部６を示す説明図である。第１伝達部６は、第１基板６１に信号入力用のコネクタ（同軸レセプタクル）５、第１接点部６２、および、第１減衰回路（アッテネータ）６７が実装される。信号入力用のコネクタ（同軸レセプタクル）５は、従来のコネクタ（同軸レセプタクル）１０５と比較して、非常に小型化されている。たとえば、その寸法は略３×３×１．２ｍｍである。第１減衰回路（アッテネータ）６７は、第１配線電極（信号線路）６６と接地線路の間に挿入され、チップ抵抗によるπ型回路またはＴ型回路で構成するか、もしくは、機能部品としてのチップアッテネータで構成する。第１減衰回路（アッテネータ）６７を介した信号は、第１接点部６２に伝送される。ここで、第１接点部６２は３本の円筒状のソケットである。中央の第１ソケット６３は信号線路に接続され、その両側に配置された２つの第２ソケット６４は接地線路に接続される。

図６は、光プローブ１の第２伝達部７、および、光変調手段（反射型光電界センサ）８を示す説明図である。第２伝達部７は、第２基板７１に第２接点部７２、および、第２減衰回路（アッテネータ）７７が実装される。第２接点部７２は３本の円柱状の端子ピンである。中央の第１端子ピン７３は信号線路に接続され、その両側に配置された２つの第２端子ピン７４は接地線路に接続される。第２減衰回路（アッテネータ）７７は、第２配線電極（信号線路）７６と接地線路の間に挿入され、チップ抵抗によるπ型回路またはＴ型回路で構成するか、もしくは、機能部品としてのチップアッテネータで構成する。第２減衰回路（アッテネータ）７７を介した信号は、配線部７８で光変調手段（反射型光電界センサ）８の電極８１に伝送される。

光変調手段（反射型光電界センサ）８には、図示しない光導波路が形成されており、前述した電極には、光信号に高周波信号で変調をかけるための変調電極８２が含まれる。図７は、第１伝達部６と第２伝達部７を接続した様子を示している。第１接点部６２の第１ソケット６３および第２ソケット６４と第２接点部７２の第１端子ピン７３および第２端子ピン７４が勘合することにより、高周波信号が第１伝達部６から第２伝達部７へ伝送される。以下、第１ソケット６３および第２ソケット６４のことを、ソケット６３、６４と記載し、第１端子ピン７３および第２端子ピン７４のことを、端子ピン７３、７４と記載する場合がある。

第１接点部６２のソケット６３、６４と第２接点部７２の端子ピン７３、７４は、共に３連構成であり、電気的（高周波的）には平衡３線式伝送線路として機能する。平衡３線式伝送線路の特性インピーダンスＺ_０は、導体間の距離をＤ、導体の直径をｄとし、３線間がそれぞれ空気の場合、式（１）により表される。

第１接点部６２のソケット６３、６４と第２接点部７２の端子ピン７３、７４が勘合した状態では、第１接点部６２のソケット６３、６４のみが見えるため、その寸法により特性インピーダンスが概略計算できる。たとえば、Ｄ＝１．２７ｍｍ、ｄ＝１．０ｍｍの場合、Ｚ_０＝６３Ωとなる。また、第１接点部６２のソケット６３、６４と第２接点部７２の端子ピン７３、７４は、それぞれ絶縁性樹脂６５、７５に挿入されているため、平衡３線式伝送線路の特性インピーダンスＺ_０は、６３Ωよりも低下し、高周波で一般的な５０Ω系に近づく。上述した寸法の第１接点部６２のソケット６３、６４と第２接点部７２の端子ピン７３、７４は、１．２７ｍｍピッチの製品として市販されているため、安価に構成できる点で有利である。

従って、第１伝達部６と第２伝達部７においては、信号入力用のコネクタ（同軸レセプタクル）５から第２減衰回路（アッテネータ）７７までの部分は、５０Ω系での信号伝送が可能になる。以上のような、機械的な構成および電気的な接続にしたことにより、第１伝達部６は、第１筐体部２から着脱可能になる。このような構成にした理由について説明する。信号入力用のコネクタ（同軸レセプタクル）５は、先述したとおり、非常に小型化されている。この信号入力用のコネクタ（同軸レセプタクル）５は、通常、高周波機器の内部接続用として使用されるものであり、それ故、挿抜の保証回数は３０回程度が一般的である。

しかし、本光プローブ１の場合、信号入力用のコネクタ（同軸レセプタクル）５は、被測定アンテナを接続することが目的であるため、測定の度に挿抜が発生するため、挿抜回数が保証回数を超えてしまうことが予測される。挿抜回数が多くなると、次第に接触抵抗が大きくなり、また、高周波伝送特性も劣化してしまうという問題が発生し、アンテナの正確な測定に影響を与えてしまう。

しかし、本光プローブ１においては、信号入力用のコネクタ（同軸レセプタクル）５の挿抜回数が保証回数を超えた場合に、第１伝達部６のみを交換できる構成にしているため、複数の第１伝達部６を用意しておけば、交換により常に良好な状態でアンテナ測定を行うことが可能になる。

第１伝達部６の交換に際し、第１接点部６２のソケット６３、６４と第２接点部７２の端子ピン７３、７４の部分で挿抜が発生するが、これらの挿抜保証回数は約１００回であり、信号入力用のコネクタ（同軸レセプタクル）５の挿抜保証回数よりも多いため、問題となることはない。また、挿抜時に劣化するのは主に第１接点部６２のソケット６３、６４であるが、第１伝達部６の交換時に一緒に交換されることになるため、問題は一層小さくなる。更に、第１接点部６２のソケット６３、６４と第２接点部７２の端子ピン７３、７４は、第１筐体部２および第２筐体部３から突出はしていないが、接続状況を目で確認可能なように露出しているため、第１接点部６１のソケット６３、６４を第２接点部７１の端子ピン７３、７４に挿入する操作が容易になると同時に確実に接続できるという利点を持つ。

尚、本実施形態では、コネクタ（同軸レセプタクル）５の交換を容易にする方法として、信号入力用のコネクタ（同軸レセプタクル）５と共に第１伝達部６を第１筐体部２から着脱可能な構成としたが、第１伝達部６と共に第１筐体部２を第２筐体部３から着脱することによって、コネクタ（同軸レセプタクル）５を交換しても構わない。第１筐体部２には、光変調手段（反射型光電界センサ）８や光伝達手段（光ファイバ）４のような高価な部材が取り付けられていないので、このような構成でもコネクタ（同軸レセプタクル）５の交換を容易にすることができる。

図８は、本発明に係る測定用プローブの第２実施形態であり、光プローブ１の第１筐体部２と第２筐体部３の外周を、磁性シート９で被覆した状態の光プローブ１０を示している。ここで、磁性シート９は、信号入力用のコネクタ（同軸レセプタクル）５、および、光伝達手段（光ファイバ）４のみが露出するように被覆している。先述したように、従来例と同様に反射型光電界センサの変調電極や減衰回路（アッテネータ）等は金属部を有する。更に、本発明の光プローブ１では、第１伝達部（基板）６、第２伝達部（基板）７、第１接点部６１のソケット、第２接点部７１等の金属部を有する。このため、非特許文献４に記載されているとおり、わずかながら周囲の電界を拾ってしまう。別に言えば、光プローブ１自体が受信アンテナになってしまう恐れがある。

磁性シート９は、軟磁性体と樹脂から成るシートで、到来電波から光プローブ１を磁気シールドすると共に、光プローブ１の金属部に高周波電流が流れることにより発生する磁界エネルギーを磁性シートの損失により吸収する作用があり、これにより光プローブ１自体が受信アンテナになる問題を解決する。磁性体の比透磁率は、式（２）で示されるが、上記目的で使用する磁性シート９においては、μ’ ≪ μ” の関係にあることが望ましい。

図９は、図２に示すアンテナ２０１を一体化したＢｌｕｅｔｏｏｔｈ（登録商標）やＢｌｕｅｔｏｏｔｈ（登録商標）ＬｏｗＥｎｅｒｇｙ等の通信規格に対応した通信モジュール２０２を評価用基板２０３にマウントした状態、および、座標系を示している。

図１０は、図９に示す評価用基板２０３にマウントしたアンテナ２０１のＸＹ面における放射パターン（指向性）を示している。（ａ）は電磁界シミュレーション結果、（ｂ）は図１に示す従来の光プローブ１０１を用いた測定結果、（ｃ）は図８に示す磁性シートを被覆した本発明の光プローブ１０を用いた測定結果である。各図中、赤線はＥφ成分、青線はＥθ成分を示している。図１０から、従来の光プローブ１０１を用いた場合は、電磁界シミュレーション結果と異なる放射パターン（指向性）が測定されてしまうのに対し、本発明の光プローブ１０を用いることにより、電磁界シミュレーション結果に極めて近い放射パターン（指向性）を測定できることがわかる。

以上、述べてきたように、本発明の測定用プローブは、筐体を絶縁性樹脂で構成すると共に、信号入力用のコネクタの寸法を小型化して、測定用プローブを構成する金属部分を最小化することができる。これにより、被測定アンテナと測定用プローブの金属部が電磁結合する問題を解決することができる。しかも、コネクタの小型化に伴いコネクタが劣化し易くなっても、コネクタ側の第１筐体部を第２筐体部と着脱可能とすることで、コネクタを容易に交換することができるようになる。その結果、小型アンテナの正確な測定が可能となる。

なお、本発明は上記の実施例に限定されるものではないことは言うまでもなく、目的に応じて様々な変形が可能である。

１光プローブ
２第１筐体部
３第２筐体部
４光伝達手段
５コネクタ
６第１伝達部
７第２伝達部
８光変調手段
９磁性シート
１０光プローブ
２１樹脂ネジ
２２凹部
６１第１基板
６２第１接点部
６３第１ソケット
６４第２ソケット
６６第１配線電極
６７第１減衰回路
６９樹脂ネジ
７１第２基板
７２第２接点部
７３第１端子ピン
７４第２端子ピン
７６第２配線電極
７７第２減衰回路
７８配線部
７９樹脂ネジ
８１電極
８２変調電極
１０１従来の光プローブ
１０２筐体（金属部）
１０３筐体（樹脂部）
１０４光伝達手段
１０５コネクタ
２０１アンテナ
２０２スマート通信モジュール
２０３評価用基板

Claims

測定対象からの電気信号を伝達するための電気信号伝達手段と、
伝達された前記電気信号に対応した光信号を生成するための光変調手段と、
前記光変調手段が生成した前記光信号を測定装置に伝達するための光信号伝達手段と、
前記光変調手段を収容するための筐体と、を備えた測定用プローブであって、
前記電気信号伝達手段は、信号入力用のコネクタと前記コネクタに接続された第１接点
部とを含む第１伝達部と、前記第１接点部と接離可能な第２接点部と前記第２接点部を前
記光変調手段に接続するための配線部とを含む第２伝達部と、を有し、
前記筐体は、絶縁性樹脂部材からなり前記コネクタが露出するように前記第１伝達部を
保持する第１筐体部と、絶縁性樹脂部材からなり前記光変調手段を収容し前記第２伝達部を保持する第２筐体部と、を有し、
前記第１筐体部と前記第２筐体部とは着脱可能となっており、前記第１接点部と前記第
２接点部とが接離するように、前記第１伝達部と前記第２伝達部とが保持されていること
を特徴する測定用プローブ。
前記第１伝達部は、前記コネクタと前記第１筐体部とを保持し前記第１筐体部に着脱可
能に取り付けられる第１基板と、前記第１基板に設けられて前記コネクタと前記第１接点
部とを接続する第１配線電極と、を有し、
前記第２伝達部は、前記第２接点部と前記配線部とを保持し前記第２筐体部に固定され
る第２基板と、前記第２基板に設けられて前記第２接点部と前記配線部とを接続する第２
配線電極と、を有していることを特徴する請求項１に記載の測定用プローブ。
前記第１接点部は、前記第１基板に保持された円筒状のソケットであり、前記第２接点部は、前記ソケットに抜き差し可能となるように前記第２基板に保持された円柱状の端子ピンであることを特徴とする請求項２に記載の測定用プローブ。
前記ソケットは、前記第１基板に保持されて前記第２接点部側に延びる第１ソケットと、前記第１ソケットを挟むように前記第１ソケットの両側に配置された２つの第２ソケットと、を含み、
前記端子ピンは、前記第１ソケットに抜き差し可能となるように前記第２基板に保持された第１端子ピンと、前記第２ソケットに抜き差し可能となるように前記第２基板にそれぞれ保持された２つの第２端子ピンと、を含むことを特徴する請求項３に記載の測定用プローブ。
前記第１伝達部は、前記コネクタと前記第１接点部とのの間に設けられた第１減衰回路を有し、
前記第２伝達部は、前記第２接点部と前記配線部との間に設けられた第２減衰回路を有していることを特徴とする請求項１に記載の測定用プローブ。
前記筐体は、少なくとも前記コネクタが露出するように前記第１筐体部の表面と前記第２筐体部の表面とを覆う磁性シートを有していることを特徴する請求項１に記載の測定用プローブ。