JP6709010B2 - 被洗浄体の異物除去装置およびその異物除去方法 - Google Patents
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Description
真空排気系により吸引穴から洗浄液を真空吸引したことに対応して、噴出穴から噴出させた洗浄液を被洗浄体に噴出して被洗浄体上の異物を洗浄して吸引穴から吸引することにより、被洗浄体を洗浄するようにしている。また、表面張力を上手く利用することで、液切を行い、洗浄液残渣が被洗浄体に残らないようにしている。
2:洗浄ヘッド
3:吸引穴、洗浄液吸引穴
4:噴出穴、洗浄液噴出穴
5:覆い
6:支持手段
7:搬送系
11:真空ポンプ
12:フィルタ
13:配管
14:親水性
15:撥水性
16:第1のギャップ
17:第2のギャップ
18:レーザー光線
19:ピエゾジェット
20:超音波振動子
21:ガス噴出口
211:ガスソース
212:イオナイザー
22:ベルヌーイ搬送ロボット
23:ベルヌーイチャック
24:ベルヌーイリニア搬送ロボット
25:切換え弁
26:コンピュータ
27:ガス供給
28:パッド
31:液面
32:洗浄液あるいは蒸気
Claims (15)
- 被洗浄体上の異物を洗浄液で洗浄する異物除去装置において、
洗浄時に洗浄液を噴出する噴出穴と、前記噴出穴の周辺を真空に吸引する、該噴出穴を取り囲むように形成した吸引穴と、前記噴出穴および該噴出穴を取り囲む前記吸引穴と前記被洗浄体とで構成される閉空間を構成する、該洗浄液が該閉空間の外部に漏れない、あるいは外部から気体が流入しない、あるいは漏れや流入を低減するようにした狭いギャップを有する覆いと、を有する洗浄ヘッドと、
前記洗浄ヘッドを構成する前記吸引穴から洗浄時に前記閉空間内の洗浄液を真空に引いて吸引にすることにより、洗浄液を前記噴出穴から該閉空間内に噴出させる真空排気系と、
前記洗浄ヘッドと前記被洗浄体との間の距離を一定間隔に保持する間隔調整手段と、
前記噴出穴から、コンピュータが予め記憶した洗浄液の噴射量や噴射場所をもとに前記洗浄液を該噴射場所の局所部分のみに噴出する噴射手段と
を備え、
洗浄時に前記真空排気系により前記吸引穴から前記閉空間内を真空に引いて吸引することにより、該噴出穴から該負圧の閉空間内に、前記噴射手段により、前記予め記憶した噴射場所に洗浄液を噴射して当該被洗浄体上の異物を局所部分のみ液洗浄し、洗浄後の洗浄液を前記吸引穴から外部に排出し、被洗浄体を洗浄することを特徴とする被洗浄体の異物除去装置。 - 前記噴射手段はピエゾ圧電素子であることを特徴とする請求項1に記載の被洗浄体の異物除去装置。
- 前記吸引穴と前記被洗浄体との第1のギャップは、該吸引穴の内側に設けた前記噴出穴と前記被洗浄体との第2のギャップよりも小さくして気密性を高め、前記噴出穴から洗浄液を被洗浄体に向けて効率的に噴出させることを特徴とする請求項1から請求項2のいずれかに記載の被洗浄体の異物除去装置。
- 前記吸引穴から吸引した洗浄液中の異物を除去し、当該異物を除去した洗浄液を前記噴出穴から噴出させるフィルタを備えたことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の被洗浄体の異物除去装置。
- 前記間隔調整手段として、前記洗浄ヘッドと前記被洗浄体との間の距離を一定に調整するために、前記洗浄ヘッドを構成する覆いの外周部分から前記被洗浄体に向けて気体を噴出して覆いの外周部分と被洗浄体との距離を一定に調整することを特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに記載の被洗浄体の異物除去装置。
- 請求項5において、覆いの外周部分と被洗浄体との間の距離を一定に保持すると共に、併せて、噴出した気体により被洗浄体上の洗浄液を乾燥させることを特徴とする被洗浄体の異物除去装置。
- 前記被洗浄体の全体あるいは指定された範囲を洗浄することを特徴とする請求項1から請求項6のいずれかに記載の被洗浄体の異物除去装置。
- 前記洗浄液として、水、有機溶剤、無機溶剤を溶剤とした液体の洗浄液としたことを特徴とする請求項1から請求項7のいずれかに記載の被洗浄体の異物除去装置。
- 前記噴出穴を前記覆いの中心部分に設け、その外側を取り囲むように前記吸引穴を設けたことを特徴とする請求項1から請求項8のいずれかに記載の被洗浄体の異物除去装置。
- 前記噴出穴の先端部分を親水性とし、前記吸引穴と外部との間の部分を撥水性としたことを特徴とする請求項1から請求項9のいずれかに記載の被洗浄体の異物除去装置。
- 前記噴出穴を1つ以上、および前記吸引穴を前記噴出穴の周囲に1あるいは複数設けたことを特徴とする請求項1から請求項10のいずれかに記載の被洗浄体の異物除去装置。
- 前記噴出穴から前記吸引穴に向けて洗浄液が流れる部分にレーザー光線を照射あるいは超音波振動を印加し、洗浄作用を促進させたことを特徴とする請求項1から請求項11のいずれかに記載の被洗浄体の異物除去装置。
- 前記洗浄ヘッドを収納する覆いの外周部分あるいは覆に連結した部分にガス噴出口を設け、被洗浄体上の洗浄液を吹き飛ばすと共に乾燥させることを特徴とする請求項1から請求項12のいずれかに記載の被洗浄体の異物除去装置。
- 前記被洗浄体に向けて1あるいは複数のノズルから気体を噴出してベルヌーイの原理により当該被洗浄体を非接触で保持して搬送するための1あるいは複数のベルヌーイチャックを備えたことを特徴とする請求項1から請求項13のいずれかに記載の被洗浄体の異物除去装置。
- 被洗浄体上の異物を洗浄液で洗浄する異物除去方法において、
洗浄時に洗浄液を噴出する噴出穴と、前記噴出穴の周辺を真空に吸引する、該噴出穴を取り囲むように形成した吸引穴と、前記噴出穴および該噴出穴を取り囲む前記吸引穴と前記被洗浄体とで構成される閉空間を構成する、該洗浄液が該閉空間の外部に漏れない、あるいは外部から気体が流入しない、あるいは漏れや流入を低減するようにした狭いギャップを有する覆いと、を有する洗浄ヘッドと、
前記洗浄ヘッドを構成する前記吸引穴から洗浄時に前記閉空間内の洗浄液を真空に引いて吸引にすることにより、洗浄液を前記噴出穴から該閉空間内に噴出させる真空排気系と、
前記洗浄ヘッドと前記被洗浄体との間の距離を一定間隔に保持する間隔調整手段と、
前記噴出穴から、コンピュータが予め記憶した洗浄液の噴射量や噴射場所をもとに前記洗浄液を該噴射場所の局所部分のみに噴出する噴射手段と
を設け、
洗浄時に前記真空排気系により前記吸引穴から前記閉空間内を真空に引いて吸引することにより、該噴出穴から該負圧の閉空間内に、前記噴射手段により、前記予め記憶した噴射場所に洗浄液を噴射して当該被洗浄体上の異物を局所部分のみ液洗浄し、洗浄後の洗浄液を前記吸引穴から外部に排出し、被洗浄体を洗浄することを特徴とする被洗浄体の異物除去方法。
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