JP6706181B2 - 研磨方法、研磨装置を有する基板処理装置、およびプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 - Google Patents
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Description
本発明の好ましい態様は、前記別の研磨テープが複数ある場合は、前記残量確認を全ての別の研磨テープに対して実行し、前記残量確認で、前記全ての別の研磨テープの残量が前記予想使用量よりも小さい場合は、前記複数の別の研磨テープの残量を合計し、前記複数の別の研磨テープの残量の合計値が前記予想使用量以上である場合は、前記基板を前記基板カセットから前記基板保持部に搬送して、前記複数の別の研磨テープで前記基板を研磨することを特徴とする。
本発明のさらに他の態様は、基板を収容する基板カセットから前記基板を基板保持部に搬送する前に、供給リールにセットされた研磨テープの残量と、前記基板を研磨するために必要な研磨テープの予想使用量とを比較する残量確認を実行し、前記残量確認で、前記研磨テープの残量が前記研磨テープの予想使用量以上である場合に限って、前記基板を前記基板カセットから前記基板保持部に搬送し、前記基板保持部に保持された前記基板を回転させ、前記研磨テープをテープ送り機構によって前記供給リールから研磨ヘッドに送りながら、該研磨ヘッドで前記研磨テープを前記基板に押し付けて、前記基板を研磨し、前記基板の研磨中に、テープエンドエラーが発生した場合には、テープエンドエラーが発生するまでの研磨時間を研磨終了時間から減算することにより、追加研磨時間を算出し、前記追加研磨時間に基づいて、前記基板を追加研磨するために必要な前記研磨テープの追加使用量を算出し、前記テープエンドエラーが発生した研磨テープがセットされた供給リールとは別の供給リールにセットされた別の研磨テープの残量と、前記追加使用量とを比較する追加残量確認を実行し、前記追加残量確認で、別の研磨テープの残量が前記追加使用量以上である場合には、前記別の研磨テープで前記基板を追加研磨することを特徴とする研磨方法である。
本発明の好ましい態様は、前記研磨テープの残量は、前記基板の研磨が終了したときの前記研磨テープの実使用量を、該基板の研磨が開始される前の研磨テープの残量から減算することにより算出されることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記制御部は、前記残量確認を全ての別の研磨テープに対して実行し、前記残量確認で、前記全ての別の研磨テープの残量が前記予想使用量よりも小さい場合は、前記複数の別の研磨テープの残量を合計し、前記複数の別の研磨テープの残量の合計値が前記予想使用量以上である場合は、前記基板を前記基板カセットから前記基板保持部に搬送して、前記複数の別の研磨テープで前記基板を研磨することを特徴とする。
本発明のさらに他の態様は、基板を研磨テープで研磨するための研磨装置と、前記基板が収容される基板カセットから前記研磨装置に前記基板を搬送する搬送ユニットと、前記研磨装置の動作および前記搬送ユニットの動作を制御する制御部と、を備え、前記研磨装置は、前記基板を保持し、回転させる基板保持部と、研磨テープを前記基板に押し付けて、該基板を研磨する研磨ヘッドを有する少なくとも1つの研磨ヘッド組立体と、前記研磨テープがセットされた供給リールと、前記研磨ヘッドに供給された研磨テープを回収する回収リールとを有するテープ供給回収機構と、を備え、前記研磨ヘッドは、前記研磨テープを前記供給リールから前記研磨ヘッドを経由して前記回収リールに送るテープ送り機構を有しており、前記制御部は、前記基板が前記搬送ユニットによって前記基板カセットから前記基板保持部に搬送される前に、前記供給リールにセットされた前記研磨テープの残量と、前記基板を研磨するために必要な前記研磨テープの予想使用量とを比較する残量確認を実行し、前記残量確認で、前記研磨テープの残量が前記研磨テープの予想使用量以上である場合に限って、前記基板を前記基板カセットから前記基板保持部に搬送し、前記基板保持部に保持された前記基板を回転させ、前記研磨テープを前記テープ送り機構によって前記供給リールから研磨ヘッドに送りながら、該研磨ヘッドで前記研磨テープを前記基板に押し付けて、前記基板を研磨し、前記少なくとも1つの研磨ヘッド組立体は、複数の研磨ヘッド組立体であり、前記研磨装置は、前記複数の研磨ヘッド組立体に前記研磨テープをそれぞれ供給する複数のテープ供給回収機構を備え、前記制御部は、前記基板の研磨中に、テープエンドエラーが発生した場合には、テープエンドエラーが発生するまでの研磨時間を、前記制御部に予め記憶された研磨終了時間から減算することにより、追加研磨時間を算出し、前記追加研磨時間に基づいて、前記基板を追加研磨するために必要な前記研磨テープの追加使用量を算出し、前記テープエンドエラーが発生した研磨テープがセットされた供給リールとは別の供給リールにセットされた別の研磨テープの残量と、前記追加使用量とを比較する追加残量確認を実行し、前記追加残量確認で、別の研磨テープの残量が前記追加使用量以上である場合には、前記別の研磨テープで前記基板を追加研磨することを特徴とする基板処理装置である。
本発明の好ましい態様は、前記制御部は、前記基板の研磨が終了したときの前記研磨テープの実使用量を、該基板の研磨が開始される前の研磨テープの残量から減算することにより、前記研磨テープの残量を算出することを特徴とする。
本発明のさらに他の態様は、基板を収容する基板カセットから前記基板を基板保持部に搬送する前に、残量確認部に指令を与えて、供給リールにセットされた研磨テープの残量と、前記基板を研磨するために必要な研磨テープの予想使用量とを比較する残量確認を実行するステップと、前記残量確認で、前記研磨テープの残量が前記研磨テープの予想使用量以上である場合に限って、搬送ユニットに指令を与えて、前記基板を前記基板カセットから基板保持部に搬送するステップと、前記基板保持部に指令を与えて、該基板保持部に保持された前記基板を回転させるステップと、テープ送り機構に指令を与えて、前記研磨テープを前記供給リールから研磨ヘッドに送るステップと、前記研磨ヘッドに指令を与えて、該研磨ヘッドで前記研磨テープを前記基板に押し付けて、該基板を研磨するステップと、前記残量確認で、前記研磨テープの残量が前記テープ使用量よりも小さい場合は、前記残量確認部に指令を与えて、前記供給リールとは別の供給リールにセットされた別の研磨テープに対して、前記残量確認を実行するステップと、前記別の研磨テープの残量が前記予想使用量以上である場合は、前記搬送ユニットに指令を与えて、前記基板を前記基板カセットから前記基板保持部に搬送するステップと、前記テープ送り機構とは別のテープ送り機構に指令を与えて、前記別の研磨テープを前記別の供給リールから、前記研磨ヘッドとは別の研磨ヘッドに送るステップと、前記別の研磨ヘッドに指令を与えて、該別の研磨ヘッドで前記別の研磨テープを前記基板に押し付けて、該基板を研磨するステップと、をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録した非一時的なコンピュータ読み取り可能な記録媒体である。
本発明のさらに他の態様は、基板を収容する基板カセットから前記基板を基板保持部に搬送する前に、残量確認部に指令を与えて、供給リールにセットされた研磨テープの残量と、前記基板を研磨するために必要な研磨テープの予想使用量とを比較する残量確認を実行するステップと、前記残量確認で、前記研磨テープの残量が前記研磨テープの予想使用量以上である場合に限って、搬送ユニットに指令を与えて、前記基板を前記基板カセットから基板保持部に搬送するステップと、前記基板保持部に指令を与えて、該基板保持部に保持された前記基板を回転させるステップと、テープ送り機構に指令を与えて、前記研磨テープを前記供給リールから研磨ヘッドに送るステップと、前記研磨ヘッドに指令を与えて、該研磨ヘッドで前記研磨テープを前記基板に押し付けて、該基板を研磨するステップと、前記基板の研磨中に、テープエンドエラーが発生した場合には、テープエンドエラーが発生するまでの研磨時間を研磨終了時間から減算することにより、追加研磨時間を算出するステップと、前記追加研磨時間に基づいて、前記基板を追加研磨するために必要な前記研磨テープの追加使用量を算出するステップと、前記残量確認部に指令を与えて、前記テープエンドエラーが発生した研磨テープがセットされた供給リールとは別の供給リールにセットされた別の研磨テープの残量と、前記追加使用量とを比較する追加残量確認を実行するステップと、前記追加残量確認で、別の研磨テープの残量が前記追加使用量以上である場合には、前記テープ送り機構とは別のテープ送り機構に指令を与えて、前記別の研磨テープを前記別の供給リールから、前記研磨ヘッドとは別の研磨ヘッドに送るステップと、前記別の研磨ヘッドに指令を与えて、該別の研磨ヘッドで前記別の研磨テープを前記基板に押し付けて、該基板を研磨するステップと、をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録した非一時的なコンピュータ読み取り可能な記録媒体である。
図1乃至図18を参照して説明される研磨装置および研磨方法は、研磨テープの研磨面を基板の周縁部に摺接させることで基板の周縁部を研磨する。
2A〜2D 研磨テープ供給機構
3 基板保持部
4 保持ステージ
5 中空シャフト
6 ボールスプライン軸受
7 連通路
9 真空ライン
10 窒素ガス供給ライン
11 制御部
15 エアシリンダ
20 隔壁
24 供給リール
25 回収リール
30 研磨ヘッド
41 押圧機構
42 テープ送り機構
43〜49 ガイドローラ
50 押圧部材
51a,51b 突起部
52 エアシリンダ(駆動機構)
58a,58b ガイドローラ
64 押圧パッド
67 リニアアクチュエータ
242 搬送ユニット
247 基板カセット
255 研磨モジュール(研磨装置)
260 洗浄モジュール
265 乾燥モジュール
Claims (15)
- 基板を収容する基板カセットから前記基板を基板保持部に搬送する前に、供給リールにセットされた研磨テープの残量と、前記基板を研磨するために必要な研磨テープの予想使用量とを比較する残量確認を実行し、
前記残量確認で、前記研磨テープの残量が前記研磨テープの予想使用量以上である場合に限って、前記基板を前記基板カセットから前記基板保持部に搬送し、
前記基板保持部に保持された前記基板を回転させ、
前記研磨テープをテープ送り機構によって前記供給リールから研磨ヘッドに送りながら、該研磨ヘッドで前記研磨テープを前記基板に押し付けて、前記基板を研磨し、
前記基板が前記基板カセットから前記基板保持部に搬送される間に、前記残量確認を再度実行し、
再度実行された前記残量確認で、前記研磨テープの残量が前記研磨テープの予想使用量よりも小さい場合には、前記基板保持部への前記基板の搬送を中止することを特徴とする研磨方法。 - 基板を収容する基板カセットから前記基板を基板保持部に搬送する前に、供給リールにセットされた研磨テープの残量と、前記基板を研磨するために必要な研磨テープの予想使用量とを比較する残量確認を実行し、
前記残量確認で、前記研磨テープの残量が前記研磨テープの予想使用量以上である場合に限って、前記基板を前記基板カセットから前記基板保持部に搬送し、
前記基板保持部に保持された前記基板を回転させ、
前記研磨テープをテープ送り機構によって前記供給リールから研磨ヘッドに送りながら、該研磨ヘッドで前記研磨テープを前記基板に押し付けて、前記基板を研磨し、
前記残量確認で、前記研磨テープの残量が前記研磨テープの予想使用量よりも小さい場合は、前記供給リールとは別の供給リールにセットされた別の研磨テープに対して、前記残量確認を実行し、
前記残量確認で、前記別の研磨テープの残量が前記予想使用量以上である場合は、前記基板を前記基板カセットから前記基板保持部に搬送して、前記別の研磨テープで前記基板を研磨することを特徴とする研磨方法。 - 前記別の研磨テープが複数ある場合は、前記残量確認を全ての別の研磨テープに対して実行し、
前記残量確認で、前記全ての別の研磨テープの残量が前記予想使用量よりも小さい場合は、前記複数の別の研磨テープの残量を合計し、
前記複数の別の研磨テープの残量の合計値が前記予想使用量以上である場合は、前記基板を前記基板カセットから前記基板保持部に搬送して、前記複数の別の研磨テープで前記基板を研磨することを特徴とする請求項2に記載の研磨方法。 - 基板を収容する基板カセットから前記基板を基板保持部に搬送する前に、供給リールにセットされた研磨テープの残量と、前記基板を研磨するために必要な研磨テープの予想使用量とを比較する残量確認を実行し、
前記残量確認で、前記研磨テープの残量が前記研磨テープの予想使用量以上である場合に限って、前記基板を前記基板カセットから前記基板保持部に搬送し、
前記基板保持部に保持された前記基板を回転させ、
前記研磨テープをテープ送り機構によって前記供給リールから研磨ヘッドに送りながら、該研磨ヘッドで前記研磨テープを前記基板に押し付けて、前記基板を研磨し、
前記基板の研磨中に、テープエンドエラーが発生した場合には、テープエンドエラーが発生するまでの研磨時間を研磨終了時間から減算することにより、追加研磨時間を算出し、
前記追加研磨時間に基づいて、前記基板を追加研磨するために必要な前記研磨テープの追加使用量を算出し、
前記テープエンドエラーが発生した研磨テープがセットされた供給リールとは別の供給リールにセットされた別の研磨テープの残量と、前記追加使用量とを比較する追加残量確認を実行し、
前記追加残量確認で、別の研磨テープの残量が前記追加使用量以上である場合には、前記別の研磨テープで前記基板を追加研磨することを特徴とする研磨方法。 - 前記予想使用量は、制御部に予め記憶された研磨時間に、テープ送り機構によって前記研磨ヘッドに送られる研磨テープの送り速度を乗算することにより算出されることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の研磨方法。
- 前記研磨テープの残量は、前記基板の研磨が終了したときの前記研磨テープの実使用量を、該基板の研磨が開始される前の研磨テープの残量から減算することにより算出されることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の研磨方法。
- 基板を研磨テープで研磨するための研磨装置と、
前記基板が収容される基板カセットから前記研磨装置に前記基板を搬送する搬送ユニットと、
前記研磨装置の動作および前記搬送ユニットの動作を制御する制御部と、を備え、
前記研磨装置は、
前記基板を保持し、回転させる基板保持部と、
研磨テープを前記基板に押し付けて、該基板を研磨する研磨ヘッドを有する少なくとも1つの研磨ヘッド組立体と、
前記研磨テープがセットされた供給リールと、前記研磨ヘッドに供給された研磨テープを回収する回収リールとを有するテープ供給回収機構と、を備え、
前記研磨ヘッドは、前記研磨テープを前記供給リールから前記研磨ヘッドを経由して前記回収リールに送るテープ送り機構を有しており、
前記制御部は、前記基板が前記搬送ユニットによって前記基板カセットから前記基板保持部に搬送される前に、前記供給リールにセットされた前記研磨テープの残量と、前記基板を研磨するために必要な前記研磨テープの予想使用量とを比較する残量確認を実行し、
前記残量確認で、前記研磨テープの残量が前記研磨テープの予想使用量以上である場合に限って、前記基板を前記基板カセットから前記基板保持部に搬送し、
前記基板保持部に保持された前記基板を回転させ、
前記研磨テープを前記テープ送り機構によって前記供給リールから研磨ヘッドに送りながら、該研磨ヘッドで前記研磨テープを前記基板に押し付けて、前記基板を研磨し、
前記制御部は、前記基板が前記基板カセットから前記基板保持部に搬送される間に、前記残量確認を再度実行し、
再度実行された前記残量確認で、前記研磨テープの残量が前記研磨テープの予想使用量よりも小さい場合には、前記基板保持部への前記基板の搬送を中止することを特徴とする基板処理装置。 - 基板を研磨テープで研磨するための研磨装置と、
前記基板が収容される基板カセットから前記研磨装置に前記基板を搬送する搬送ユニットと、
前記研磨装置の動作および前記搬送ユニットの動作を制御する制御部と、を備え、
前記研磨装置は、
前記基板を保持し、回転させる基板保持部と、
研磨テープを前記基板に押し付けて、該基板を研磨する研磨ヘッドを有する少なくとも1つの研磨ヘッド組立体と、
前記研磨テープがセットされた供給リールと、前記研磨ヘッドに供給された研磨テープを回収する回収リールとを有するテープ供給回収機構と、を備え、
前記研磨ヘッドは、前記研磨テープを前記供給リールから前記研磨ヘッドを経由して前記回収リールに送るテープ送り機構を有しており、
前記制御部は、前記基板が前記搬送ユニットによって前記基板カセットから前記基板保持部に搬送される前に、前記供給リールにセットされた前記研磨テープの残量と、前記基板を研磨するために必要な前記研磨テープの予想使用量とを比較する残量確認を実行し、
前記残量確認で、前記研磨テープの残量が前記研磨テープの予想使用量以上である場合に限って、前記基板を前記基板カセットから前記基板保持部に搬送し、
前記基板保持部に保持された前記基板を回転させ、
前記研磨テープを前記テープ送り機構によって前記供給リールから研磨ヘッドに送りながら、該研磨ヘッドで前記研磨テープを前記基板に押し付けて、前記基板を研磨し、
前記少なくとも1つの研磨ヘッド組立体は、複数の研磨ヘッド組立体であり、
前記研磨装置は、前記複数の研磨ヘッド組立体に前記研磨テープをそれぞれ供給する複数のテープ供給回収機構を備え、
前記制御部は、前記残量確認で、前記研磨テープの残量が前記研磨テープの予想使用量よりも小さい場合は、前記供給リールとは別の供給リールにセットされた別の研磨テープに対して、前記残量確認を実行し、
前記残量確認で、前記別の研磨テープの残量が前記予想使用量以上である場合は、前記基板を前記基板カセットから前記基板保持部に搬送して、前記別の研磨テープで前記基板を研磨することを特徴とする基板処理装置。 - 前記制御部は、前記残量確認を全ての別の研磨テープに対して実行し、
前記残量確認で、前記全ての別の研磨テープの残量が前記予想使用量よりも小さい場合は、前記複数の別の研磨テープの残量を合計し、
前記複数の別の研磨テープの残量の合計値が前記予想使用量以上である場合は、前記基板を前記基板カセットから前記基板保持部に搬送して、前記複数の別の研磨テープで前記基板を研磨することを特徴とする請求項8に記載の基板処理装置。 - 基板を研磨テープで研磨するための研磨装置と、
前記基板が収容される基板カセットから前記研磨装置に前記基板を搬送する搬送ユニットと、
前記研磨装置の動作および前記搬送ユニットの動作を制御する制御部と、を備え、
前記研磨装置は、
前記基板を保持し、回転させる基板保持部と、
研磨テープを前記基板に押し付けて、該基板を研磨する研磨ヘッドを有する少なくとも1つの研磨ヘッド組立体と、
前記研磨テープがセットされた供給リールと、前記研磨ヘッドに供給された研磨テープを回収する回収リールとを有するテープ供給回収機構と、を備え、
前記研磨ヘッドは、前記研磨テープを前記供給リールから前記研磨ヘッドを経由して前記回収リールに送るテープ送り機構を有しており、
前記制御部は、前記基板が前記搬送ユニットによって前記基板カセットから前記基板保持部に搬送される前に、前記供給リールにセットされた前記研磨テープの残量と、前記基板を研磨するために必要な前記研磨テープの予想使用量とを比較する残量確認を実行し、
前記残量確認で、前記研磨テープの残量が前記研磨テープの予想使用量以上である場合に限って、前記基板を前記基板カセットから前記基板保持部に搬送し、
前記基板保持部に保持された前記基板を回転させ、
前記研磨テープを前記テープ送り機構によって前記供給リールから研磨ヘッドに送りながら、該研磨ヘッドで前記研磨テープを前記基板に押し付けて、前記基板を研磨し、
前記少なくとも1つの研磨ヘッド組立体は、複数の研磨ヘッド組立体であり、
前記研磨装置は、前記複数の研磨ヘッド組立体に前記研磨テープをそれぞれ供給する複数のテープ供給回収機構を備え、
前記制御部は、前記基板の研磨中に、テープエンドエラーが発生した場合には、テープエンドエラーが発生するまでの研磨時間を、前記制御部に予め記憶された研磨終了時間から減算することにより、追加研磨時間を算出し、
前記追加研磨時間に基づいて、前記基板を追加研磨するために必要な前記研磨テープの追加使用量を算出し、
前記テープエンドエラーが発生した研磨テープがセットされた供給リールとは別の供給リールにセットされた別の研磨テープの残量と、前記追加使用量とを比較する追加残量確認を実行し、
前記追加残量確認で、別の研磨テープの残量が前記追加使用量以上である場合には、前記別の研磨テープで前記基板を追加研磨することを特徴とする基板処理装置。 - 前記制御部は、該制御部に予め記憶された研磨終了時間に、前記テープ送り機構によって前記研磨ヘッドに送られる前記研磨テープの送り速度を乗算することにより、前記予想使用量を算出することを特徴とする請求項7乃至10のいずれか一項に記載の基板処理装置。
- 前記制御部は、前記基板の研磨が終了したときの前記研磨テープの実使用量を、該基板の研磨が開始される前の研磨テープの残量から減算することにより、前記研磨テープの残量を算出することを特徴とする請求項7乃至11のいずれか一項に記載の基板処理装置。
- 基板を収容する基板カセットから前記基板を基板保持部に搬送する前に、残量確認部に指令を与えて、供給リールにセットされた研磨テープの残量と、前記基板を研磨するために必要な研磨テープの予想使用量とを比較する残量確認を実行するステップと、
前記残量確認で、前記研磨テープの残量が前記研磨テープの予想使用量以上である場合に限って、搬送ユニットに指令を与えて、前記基板を前記基板カセットから基板保持部に搬送するステップと、
前記基板保持部に指令を与えて、該基板保持部に保持された前記基板を回転させるステップと、
テープ送り機構に指令を与えて、前記研磨テープを前記供給リールから研磨ヘッドに送るステップと、
前記研磨ヘッドに指令を与えて、該研磨ヘッドで前記研磨テープを前記基板に押し付けて、該基板を研磨するステップと、
前記基板が前記基板カセットから前記基板保持部に搬送される間に、前記残量確認部に指令を与えて、前記残量確認を再度実行するステップと、
再度実行された前記残量確認で、前記研磨テープの残量が前記研磨テープの予想使用量よりも小さい場合には、前記搬送ユニットに指令を与えて、前記基板保持部への前記基板の搬送を中止するステップと、をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録した非一時的なコンピュータ読み取り可能な記録媒体。 - 基板を収容する基板カセットから前記基板を基板保持部に搬送する前に、残量確認部に指令を与えて、供給リールにセットされた研磨テープの残量と、前記基板を研磨するために必要な研磨テープの予想使用量とを比較する残量確認を実行するステップと、
前記残量確認で、前記研磨テープの残量が前記研磨テープの予想使用量以上である場合に限って、搬送ユニットに指令を与えて、前記基板を前記基板カセットから基板保持部に搬送するステップと、
前記基板保持部に指令を与えて、該基板保持部に保持された前記基板を回転させるステップと、
テープ送り機構に指令を与えて、前記研磨テープを前記供給リールから研磨ヘッドに送るステップと、
前記研磨ヘッドに指令を与えて、該研磨ヘッドで前記研磨テープを前記基板に押し付けて、該基板を研磨するステップと、
前記残量確認で、前記研磨テープの残量が前記テープ使用量よりも小さい場合は、前記残量確認部に指令を与えて、前記供給リールとは別の供給リールにセットされた別の研磨テープに対して、前記残量確認を実行するステップと、
前記別の研磨テープの残量が前記予想使用量以上である場合は、前記搬送ユニットに指令を与えて、前記基板を前記基板カセットから前記基板保持部に搬送するステップと、
前記テープ送り機構とは別のテープ送り機構に指令を与えて、前記別の研磨テープを前記別の供給リールから、前記研磨ヘッドとは別の研磨ヘッドに送るステップと、
前記別の研磨ヘッドに指令を与えて、該別の研磨ヘッドで前記別の研磨テープを前記基板に押し付けて、該基板を研磨するステップと、をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録した非一時的なコンピュータ読み取り可能な記録媒体。 - 基板を収容する基板カセットから前記基板を基板保持部に搬送する前に、残量確認部に指令を与えて、供給リールにセットされた研磨テープの残量と、前記基板を研磨するために必要な研磨テープの予想使用量とを比較する残量確認を実行するステップと、
前記残量確認で、前記研磨テープの残量が前記研磨テープの予想使用量以上である場合に限って、搬送ユニットに指令を与えて、前記基板を前記基板カセットから基板保持部に搬送するステップと、
前記基板保持部に指令を与えて、該基板保持部に保持された前記基板を回転させるステップと、
テープ送り機構に指令を与えて、前記研磨テープを前記供給リールから研磨ヘッドに送るステップと、
前記研磨ヘッドに指令を与えて、該研磨ヘッドで前記研磨テープを前記基板に押し付けて、該基板を研磨するステップと、
前記基板の研磨中に、テープエンドエラーが発生した場合には、テープエンドエラーが発生するまでの研磨時間を研磨終了時間から減算することにより、追加研磨時間を算出するステップと、
前記追加研磨時間に基づいて、前記基板を追加研磨するために必要な前記研磨テープの追加使用量を算出するステップと、
前記残量確認部に指令を与えて、前記テープエンドエラーが発生した研磨テープがセットされた供給リールとは別の供給リールにセットされた別の研磨テープの残量と、前記追加使用量とを比較する追加残量確認を実行するステップと、
前記追加残量確認で、別の研磨テープの残量が前記追加使用量以上である場合には、前記テープ送り機構とは別のテープ送り機構に指令を与えて、前記別の研磨テープを前記別の供給リールから、前記研磨ヘッドとは別の研磨ヘッドに送るステップと、
前記別の研磨ヘッドに指令を与えて、該別の研磨ヘッドで前記別の研磨テープを前記基板に押し付けて、該基板を研磨するステップと、をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録した非一時的なコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
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