JP6705946B2 - 荷電粒子線装置 - Google Patents
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Description
Claims (15)
- 荷電粒子線を発生させる荷電粒子線源と、
前記荷電粒子線を試料に収束する対物レンズと、
前記荷電粒子線源と前記対物レンズとの間に配置され、前記荷電粒子線と前記試料との相互作用により生じる荷電粒子を検出する第1荷電粒子検出素子とを有し、
前記第1荷電粒子検出素子の検出面が前記対物レンズの中心軸上に配置される荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
前記荷電粒子線の光軸上に配置され、開口部を有する第1荷電粒子線絞りを有し、
前記第1荷電粒子検出素子は、前記第1荷電粒子線絞りの開口部の中心位置に配置される荷電粒子線装置。 - 請求項2において、
前記第1荷電粒子線絞りは前記開口部の中心位置に前記荷電粒子線を遮蔽する遮蔽部を有する円環絞りであり、
前記第1荷電粒子検出素子は、前記円環絞りの前記遮蔽部に配置される荷電粒子線装置。 - 請求項2において、
前記第1荷電粒子線絞りの前記開口部の周辺に配置される第2荷電粒子検出素子を有し、
前記第1荷電粒子検出素子の信号出力と前記第2荷電粒子検出素子の信号出力とは分離して出力可能とされる荷電粒子線装置。
- 請求項2において、
開口部に荷電粒子検出素子が配置されない第2荷電粒子線絞りと、
前記第1荷電粒子線絞りと前記第2荷電粒子線絞りとを選択可能に支持する荷電粒子線絞りユニットとを有する荷電粒子線装置。 - 請求項2において、
前記第1荷電粒子検出素子は、前記荷電粒子線と前記試料との相互作用により生じる荷電粒子をシンチレータ光に変換するシンチレータと、前記シンチレータ光を検出する光検出素子とを有する荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
前記第1荷電粒子検出素子の検出面の位置、または前記第1荷電粒子検出素子の検出面と前記対物レンズの中心軸のなす角を調整する駆動機構とを有する荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
前記荷電粒子線を偏向する偏向器群を有し、
前記偏向器群により、前記荷電粒子線源から発生された荷電粒子線を、前記第1荷電粒子検出素子の検出面を避けて、前記対物レンズに入射させる荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
前記荷電粒子線と前記試料との相互作用により生じる荷電粒子を加速させる加速機構を有し、
前記第1荷電粒子検出素子は前記加速機構により加速された荷電粒子を検出する荷電粒子線装置。 - 荷電粒子線を発生させる荷電粒子線源と、
前記荷電粒子線を試料に収束する対物レンズと、
前記荷電粒子線源と前記対物レンズとの間の前記対物レンズの中心軸上に配置されるシンチレータと、
光検出素子とを有し、
前記シンチレータは、前記荷電粒子線と前記試料との相互作用により生じる荷電粒子をシンチレータ光に変換し、前記光検出素子は前記シンチレータ光を検出する荷電粒子線装置。 - 請求項10において、
前記シンチレータ光の進行方向を変えるミラーまたはプリズムまたは光ファイバーを有し、
前記光検出素子は、前記荷電粒子線の光軸外に配置される荷電粒子線装置。 - 荷電粒子線を発生させる荷電粒子線源と、
前記荷電粒子線を試料に収束する対物レンズと、
前記荷電粒子線源と前記対物レンズとの間に配置され、前記荷電粒子線と前記試料との相互作用により生じる荷電粒子を検出する第1荷電粒子検出素子と、
前記第1荷電粒子検出素子の検出面の位置、または前記第1荷電粒子検出素子の検出面と前記対物レンズの中心軸のなす角を調整する駆動機構とを有し、
前記第1荷電粒子検出素子の検出面は前記対物レンズの中心軸上に配置され、前記荷電粒子線と前記試料との相互作用により生じる荷電粒子間の干渉を検出する荷電粒子線装置。 - 請求項12において、
前記駆動機構は電動駆動機構を有する荷電粒子線装置。 - 請求項12において、
第2荷電粒子検出素子を有し、
前記第2荷電粒子検出素子の検出面は、前記第1荷電粒子検出素子と前記試料との間の、前記対物レンズの中心軸上に配置される荷電粒子線装置。 - 請求項12において、
開口部の中心位置に遮蔽部を有する円環絞りを有し、
前記円環絞りの遮蔽部は、前記第1荷電粒子検出素子と前記試料との間の、前記対物レンズの中心軸上に配置される荷電粒子線装置。
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