JP6705670B2 - 炭化珪素半導体素子および炭化珪素半導体素子の製造方法 - Google Patents
炭化珪素半導体素子および炭化珪素半導体素子の製造方法 Download PDFInfo
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Description
本発明の実施の形態1にかかる炭化珪素半導体素子の製造方法について説明する。図1は、本発明の実施の形態1にかかる炭化珪素半導体素子の状態を示す平面図である。図1にはアライメントマーク10の平面形状を示す。
次に、実施の形態2にかかる炭化珪素半導体素子の製造方法について説明する。実施の形態2では、実施の形態1と同じ手順でアライメントマーク10の各種断面形状について説明する。
次に、本発明の実施の形態にかかる炭化珪素半導体素子の製造方法によって製造された炭化珪素半導体素子のセルピッチについて検証した。まず、実施の形態1にしたがいアライメントマークを形成し、当該アライメントマークを複数枚のフォトマスクの位置合わせに使用する位置認識用ターゲットとしてMOSFETを作製した(以下、実施例1とする)。また、比較として、従来のアライメントマークを位置認識用ターゲットとしてMOSFETを作製した(以下、従来例とする)。
2 酸化膜
4 凹部
10 アライメントマーク
11 (比較用)アライメントマーク
111 {0001}面テラス部
112 {0001}面ステップ部
Claims (6)
- 炭化珪素基板の<0001>c軸が当該炭化珪素基板の主面の法線方向から<11−20>方向に角度θ傾いている面を主面とし、前記炭化珪素基板の所定の主表面層に形成したアライメントマークと、
前記炭化珪素基板の主表面に、前記アライメントマークを覆い形成されるエピタキシャル層と、を有し、
前記アライメントマークは、前記炭化珪素基板の主表面に対し回転対称であり、<11−20>方向に対し垂直および平行な方向に沿った辺を有さない形状であり、
前記アライメントマークは、ひし形、正十二角形のいずれかであり、最長部の寸法が1μmより大きく、アスペクト比(深さ/開口の最長部)が0.05以上0.8以下であることを特徴とする炭化珪素半導体素子。 - 前記アライメントマークは、前記<11−20>方向に垂直な方向と異なる方向に辺を有することを特徴とする請求項1に記載の炭化珪素半導体素子。
- 前記アライメントマークは、前記炭化珪素基板に凹部または凸部を形成してなることを特徴とする請求項1または2に記載の炭化珪素半導体素子。
- 前記アライメントマークは、中央に段差をもつ形状または、中央の周囲の壁部と底部のなす角度が鋭角であることを特徴とする請求項3に記載の炭化珪素半導体素子。
- 前記角度θは、8°以下であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一つに記載の炭化珪素半導体素子。
- 炭化珪素基板の<0001>c軸が当該炭化珪素基板の主面の法線方向から<11−20>方向に角度θ傾いている面を主面とし、前記炭化珪素基板の所定の主表面層にアライメントマークを形成する工程と、
前記炭化珪素基板の主表面に、前記アライメントマークを覆いエピタキシャル層を形成する工程と、を含み、
前記アライメントマークは、前記炭化珪素基板の主表面に対し回転対称であり、<11−20>方向に対し垂直および平行な方向に沿った辺を有さないひし形、正十二角形のいずれかの形状に形成し、
前記アライメントマークは、最長部の寸法が1μmより大きく、アスペクト比(深さ/開口の最長部)が0.05以上0.8以下に形成したことを特徴とする炭化珪素半導体素子の製造方法。
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