JP6698134B2 - クライオトランスファーホルダ及びワークステーション - Google Patents

クライオトランスファーホルダ及びワークステーション Download PDF

Info

Publication number
JP6698134B2
JP6698134B2 JP2018201511A JP2018201511A JP6698134B2 JP 6698134 B2 JP6698134 B2 JP 6698134B2 JP 2018201511 A JP2018201511 A JP 2018201511A JP 2018201511 A JP2018201511 A JP 2018201511A JP 6698134 B2 JP6698134 B2 JP 6698134B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
holder
sample
dewar
cryotransfer
shutter
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2018201511A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2019083191A (ja
Inventor
ヨゼフ グッベンス アレクサンダー
ヨゼフ グッベンス アレクサンダー
アンドリュー ハント ジョン
アンドリュー ハント ジョン
アジミ マスード
アジミ マスード
パンテリッチ ラドサヴ
パンテリッチ ラドサヴ
ゾルコウスキー ロン
ゾルコウスキー ロン
ブース クリス
ブース クリス
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Gatan Inc
Original Assignee
Gatan Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Gatan Inc filed Critical Gatan Inc
Publication of JP2019083191A publication Critical patent/JP2019083191A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6698134B2 publication Critical patent/JP6698134B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/20Means for supporting or positioning the objects or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/20Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by using diffraction of the radiation by the materials, e.g. for investigating crystal structure; by using scattering of the radiation by the materials, e.g. for investigating non-crystalline materials; by using reflection of the radiation by the materials
    • G01N23/20008Constructional details of analysers, e.g. characterised by X-ray source, detector or optical system; Accessories therefor; Preparing specimens therefor
    • G01N23/20025Sample holders or supports therefor
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N1/00Sampling; Preparing specimens for investigation
    • G01N1/28Preparing specimens for investigation including physical details of (bio-)chemical methods covered elsewhere, e.g. G01N33/50, C12Q
    • G01N1/42Low-temperature sample treatment, e.g. cryofixation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/02Details
    • H01J2237/0216Means for avoiding or correcting vibration effects
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/20Positioning, supporting, modifying or maintaining the physical state of objects being observed or treated
    • H01J2237/2001Maintaining constant desired temperature
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/20Positioning, supporting, modifying or maintaining the physical state of objects being observed or treated
    • H01J2237/2005Seal mechanisms
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/20Positioning, supporting, modifying or maintaining the physical state of objects being observed or treated
    • H01J2237/2007Holding mechanisms
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/20Positioning, supporting, modifying or maintaining the physical state of objects being observed or treated
    • H01J2237/202Movement
    • H01J2237/20207Tilt
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/20Positioning, supporting, modifying or maintaining the physical state of objects being observed or treated
    • H01J2237/204Means for introducing and/or outputting objects
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/26Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)

Description

凍結水和した生物試料や無機材料を含む、極低温度に保持されたサンプルの電子顕微鏡法(低温電子顕微鏡法)は、生物学的構造や無機構造について、タンパク質や高分子のレベルまで掘り下げたより深い理解を一層可能としている発展分野である。クライオトランスファーホルダは、低温電子顕微鏡法用の凍結水和試料の低温移送や観察を要する用途に用いられる。クライオトランスファーホルダは、材料科学の分野では、サンプルを1000℃の温度まで維持できる内部ヒーターによる加熱形態で使用されることもある。低温ワークステーションは、試料をホルダ内へと装填するために保護された環境を提供する。低温ワークステーションから透過型電子顕微鏡(TEM)への大気中移送の間、クライオシールドが凍結水和試料を密閉して汚染から保護する。
低温電子顕微鏡法は、典型的には凍結したサンプルを調製装置内のクライオトランスファーホルダに取り付けることで行われ、調製装置は、取り付け前及び取り付けられている間のサンプルを極低温度に保持する。クライオトランスファーホルダは、サンプルステージへと延在する熱導体を冷却する、典型的には窒素又はヘリウムである低温液体のデュワーを含む。このため、デュワーが十分な寒剤を有している間は、サンプルステージを極低温度に保持することができる。クライオトランスファーホルダは、ホルダをサンプル調製装置から電子顕微鏡カラムへと移動させる間サンプルを覆うシャッターも有する。シャッターは、サンプルが空気中の水分によって霜で覆われるのを防ぐ。顕微鏡カラムは真空に保持されているため、カラムから大気及び水分が実質的に取り除かれるとサンプルシャッターを開くことができるようになっている。クライオトランスファーホルダは、電子顕微鏡のゴニオメーターによって固定される。ゴニオメーターは、試料をx、y及びzに位置決めして、(ホルダを回転させることで)試料を±90度近い角度に回転させることができる。ホルダの回転は、典型的には、磁極片等のTEM内の機構に干渉する試料ホルダの大きさによって、更に制限される(±60度〜±85度)。
低温電子顕微鏡法の分解能の向上は、画像の処理や、凍結サンプルの振動や状態変化等の外乱に起因する画像の歪みの補正に必要とされる、画像センサーや演算力及び演算方法といった、電子顕微鏡自体の向上によって得られる。低温電子顕微鏡法全体のシステムの分解能が向上すると(例えば、現在では1秒間の露光に対して0.15nm未満が可能である)、試料ホルダの安定性が、到達可能な画像分解能に対する最初の制限となることが多い。例えば、図1、図2及び図3に示す先行技術のクライオトランスファーホルダ100は、垂直に配向された円筒形容器であるデュワー10を有し、デュワー10は、図2及び図3に示すように、ホルダ100及びデュワー10がサンプルホルダ軸線30周りに回転する際に、冷却液40をホルダ軸線30に対して均等に分配できない。このため、顕微鏡内で、サンプル20に伝導する振動や動きを検知できるようになってしまう。また、デュワーの底に気泡核が形成される可能性を減らすために、デュワー10の内面が極めて滑らか且つ欠陥の無い状態であることが重要である。そうでなければ、冷却剤の移動、沸騰及び熱循環によっても熱導体ロッド及びサンプルが振動することがあるため、デュワー10は、図5の冷却剤容器開口部423に直に接触するほど充填されるべきではない。デュワー内の冷却剤の量の制限によって、サンプルを極低温度に保持しながら撮像できる時間が制限される。
サンプルホルダの振動の他の原因としては、サンプルの撮像中は格納されているがサンプルホルダに近接しているシャッターに対する、機械的結合が有り得る。機械的結合は、デュワーを通して後方に延在し、例えばデュワー内の液体の沸騰又は冷却剤の噴出による様々な振動又は移動が、サンプルホルダへのシャッターの結合を通して音響的に後方に伝わることがある。
先行技術のクライオトランスファーホルダの側面図である。 図1のクライオトランスファーホルダにおける先行技術のデュワーの断面図である。 ホルダ軸線周りに回転する様子を示す、図2の先行技術のデュワーの断面図である。 本明細書に記載の実施例に係る、例示的なクライオトランスファーホルダである。 図4のクライオトランスファーホルダにおけるデュワーの切り取り等角図である。 図4のクライオトランスファーホルダにおけるデュワーの断面図である。 ホルダ軸線周りに回転する様子を示す、図4のクライオトランスファーホルダにおけるデュワーの断面図である。 本明細書に記載の更なる実施例に係る、ワークステーション内に設置された図4のクライオトランスファーホルダのホルダ軸線に対するサジタル断面図である。 本明細書に記載の更なる実施例に係る、図4のクライオトランスファーホルダの手動シャッター制御の詳細断面図である。 本明細書に記載の更なる実施例に係る、図4のクライオトランスファーホルダの手動シャッター制御の更なる詳細断面図である。 本明細書に記載の更なる実施例に係る、図4のクライオトランスファーホルダの手動シャッター制御の更なる詳細断面図である。 本明細書に記載の更なる実施例に係る、サンプルホルダの詳細の等角図である。 本明細書に記載の更なる実施例に係る、サンプルホルダの詳細の切り取り等角図である。 本明細書に記載の更なる実施例に係る、サンプルホルダの詳細の等角図である。 本明細書に記載の更なる実施例に係る、サンプルホルダの詳細の切り取り等角図である。 本明細書に記載の更なる実施例に係る、ワークステーション内に設置されてワークステーション標準位置に回転する、図4のクライオトランスファーホルダの図である。 本明細書に記載の更なる実施例に係る、ワークステーション内に設置されてワークステーション試料装填位置に回転する、図4のクライオトランスファーホルダの図である。 本明細書に記載の更なる実施例に係る、ワークステーション内に設置されてワークステーション試料取外し位置に回転する、図4のクライオトランスファーホルダの図である。 本明細書に記載の更なる実施例に係る、図14のクライオトランスファーホルダ先端部及びワークステーションの拡大図である。 本明細書に記載の更なる実施例に係る、図15のクライオトランスファーホルダ先端部及びワークステーションの拡大図である。 本明細書に記載の更なる実施例に係る、図16のクライオトランスファーホルダ先端部及びワークステーションの拡大図である。
当業者には、本発明の教示を採用することで、他の詳細な設計や方法の発展が可能であることが理解されよう。本明細書に記載の例は例示的なものであり、添付の請求項によって定義される本発明の範囲を限定するものではない。以下の詳細な説明では添付の図面を参照する。異なる図面における同一の参照番号によって、同一又は同様の要素を識別できる。
図4は、本明細書に記載の1つ以上の態様に係るクライオトランスファーホルダ400の実施例の一例を示す。図示のように、クライオトランスファーホルダ400は、円筒状の低温導体筐体450の端に位置付けられたサンプルホルダ先端部440を含む。先端部440は、ホルダが顕微鏡ゴニオメーターに取り付けられる際に、低温導体筐体によって電子顕微鏡の内側の適切な位置に配置される。熱導体筐体450は、デュワー充填キャップ410を含んだデュワーに取り付けられる。この図面におけるデュワーの後方には、手動サンプルシャッター制御ノブ430がある。冷却剤はデュワー容器を冷却し、図5に示すように、デュワー容器はデュワー熱導体426と熱接触し、デュワー熱導体426は更に熱導体424と接触している。低温導体は、低温導体筐体450を通過して、サンプルホルダ先端部440の領域へと出る。低温導体筐体450と熱導体424との間の空間は真空であるため、熱導体424は大気温度から隔離される。
図5は、クライオトランスファーホルダ400のデュワー420及びシャッター制御部430の詳細断面図である。デュワー420は、デュワー外側筐体421と内側冷却剤容器422とを含む。冷却剤容器422は、熱導体424が通る封止開口部423を中央に有する。低温導体の内側にはシャッター制御ロッド425が存在する。図6及び図7はデュワー420の断面図を示し、図6では垂直な充填キャップ410、図7では回転したデュワー及び傾斜した充填キャップ410を示す。これら2つの図面では、軸線周りの回転の角度に関わらず、流体がクライオトランスファーホルダ400の中心軸線401に対してどのようにして均等に分配されるかを示す。水平に配向された円筒形デュワーは、ホルダが回転する中心軸線周りの角度に関わらず、ホルダの重心をホルダの中心軸線周りに維持する。これは、図2及び図3に示す先行技術のホルダと比較すると、垂直に配向されたデュワー10では、デュワー及びホルダが軸線周りに回転する際、流体40が中心軸線30に対して不均等に分配される。図3では、軸線30の右側よりも、軸線の左側により多くの流体がある。この、先行技術のホルダ及びデュワーが回転する間常に変化する不均等な分配によって、デュワーを支持する要素に応力がかかり、最終的にはサンプル先端部における振動又は移動として現れる。しかし、図4〜図7の水平に配向されたデュワー円筒では、冷却流体がホルダの中心軸線401の両側に常に等しく分配されるため、この力が取り除かれる。不均等な重量分配は、中心軸線401周りの円筒対称性から逸脱したデュワーの特徴によって生じうる。こうした特徴を防ぐか最小限に抑えることが重要であり、防止できない場合には、平衡にするための質量を加えることで不均等な重量分配を補正してもよい。
図8は、極低温度でサンプルをホルダに対して装填したり取り外したりするように構成されたワークステーション800内に設置された、例示的なクライオトランスファーホルダ400を示す。ワークステーション800は、サンプルがトランスファーホルダ400内に設置されていない場合にサンプルを極低温度で撮像し続けられるように、液体窒素等の冷却剤を部分的に充填できるサンプル移送空間810を含む。ワークステーションの更なる詳細及びトランスファーホルダとの使用を以下に説明する。また、図8は、熱導体424を通って延在するトランスファーホルダシャッター制御ロッド425も示す。デュワー筐体421の右側には、シャッター用の手動制御ノブ430を示す。
図9、図10及び図11は、シャッター制御機構の3つの異なる状態を詳細に示す。3つの図面全てにおいて部品は同一である。図示のように、シャッター制御ロッド425は、球状基端433を有するシャッター制御ヒッチ434に接続される。シャッター制御ノブ430は、開口端部ショートロッド431に接続される。Oリング432が、ショートロッド431の先端における溝に嵌合する。図9に示すように、Oリング432は、制御ノブ430が近付いたり遠ざかったりと摺動することで制御ロッド425を動かせるように、シャッター制御ヒッチ434を覆う。制御ロッド425のシャッター442に対する結合について以下に説明する。
本明細書に記載の実施例では、制御ロッド425がサンプルホルダの先端におけるストッパーに係合するように制御ノブを近くに引くことで、前述したシャッター制御結合を制御ロッド425及びヒッチ434から取り外すことができる(図12及び図13に示し且つ以下に更に説明される)。図10は、制御ヒッチ434の先端を過ぎるOリングを示し、図11は、制御ヒッチ434から完全に解放されたOリング432及びショートロッド431を示す。図11に示す解放された状態では、制御ロッド425は制御ノブから機械的に分離され、シャッターに伝わってシャッターを介してサンプルホルダ20に伝わりうる振動が軽減される。真空ベロー439が、制御ロッドを囲む真空の完全性を維持しながら先端制御ロッドの動きを可能にする。ここで、図12及び図13を参照してシャッター機構について説明する。
図11は、シャッター閉鎖位置における機構及びOリング432内へと係合するシャッター制御ヒッチ球状端部433を示す。この位置では、シャッターカバー442は、図12及び図13に示すTEMサンプルホルダ441を保護している(なお、図12及び図13は開口位置にあるカバー442を示す)。制御ノブ430が反時計回りに回転すると、ノブがデュワー筐体421から離間し、制御ロッド425が外方へ引っ張られて、シャッターカバー442(図12及び図13参照)がシャッター開口位置内へと引っ張られるが、端部ストッパー444(図12及び図13)によって、制御ロッドの更に外方への移動が防止される。一実施例では、制御ノブ430が反時計回りに継続的に回転すると、制御ヒッチ球状端部433及びOリング432が図11に示すように分離されて、接続が断たれる。制御ノブ430が時計回りに回転すると、ノブがデュワー筐体421の方へ移動して、図10に示すように、Oリング432がシャッター制御ヒッチ球状端部433に接触するように押される。制御ノブ430が更に時計回りに回転すると、制御ロッド425及びシャッターカバー442がシャッター閉鎖位置内へと内方に押される。端部ストッパー447によって、制御ロッドの更に内方への移動が防止されて、図9に示すように、Oリング432がシャッター制御ヒッチ球状端部433と再び接続する。
ここで、図12及び図13を参照してシャッター機構について説明する。図示のように、一実施例では、シャッター442は、制御ロッド先端部446を係合するねじ444によって制御ロッド425に接続する。ねじ425は、前述したように作動する制御ロッド425の動きと共に、スロット445内を近付いたり遠ざかったりして移動する。ねじ442が制御ロッドによって動かされるとサンプルカバー442も前進し、サンプル保持プラットフォーム441を覆うように引っ張られる。スロット445の先端447が制御ロッド425用の移動ストッパーとして機能して、この制御ロッド425の近付く動きが制限されることで、上述のように、シャッター制御ノブ430が制御ロッド425と再び係合できるようになる。端部ストッパー443は制御ロッド425の遠ざかる動きを止めて、上述のように、ユーザーが制御ロッド425から制御ノブ430を取り外すことができるようにする。端部ストッパー443はサンプル先端部440の一部である。サンプル先端部440の基端448は熱導体424の先端内へと嵌合するため、デュワー容器422へと戻る直接的な熱的接続が実現される。
ここで、図8及び図16〜図21を参照してワークステーション800機構について説明する。ワークステーション800によって、クライオトランスファーホルダ先端部440及びサンプルを囲むサンプル移送空間810を、好適には−140℃より低く、より好適には−170℃より低く維持しながら、サンプルをクライオトランスファーホルダ400に対して装填したり取り外したりできる。これは、サンプル移送空間810に液体窒素等の冷却剤(不図示)を実質的に充填し続け、且つサンプルを常に冷却剤内、冷却剤の表面から1センチメートル内、又は冷却されたクライオトランスファーホルダ内に浸し続けることで実現される。サンプルホルダ400が、ワークステーション800内に設置された状態でサンプルホルダ軸線401周りに回転するという性能によって、ユーザーは、最も人間工学的な任意の配向でサンプルを装填することができ、また、サンプルが試料支持プラットフォーム441から落ちるように重力によって促される位置に回転させることで、サンプルをホルダから取り外すことができる。この機能は、先行技術の低温ホルダ及びワークステーションでは存在しなかった。
図8を参照すると、例示的なワークステーション800は、サンプル移送空間810とサンプルホルダ受入ブッシュ830とを備える。サンプルホルダ受入ブッシュは、サンプルホルダ400をワークステーション800内に設置した状態で回転させるために用いられる。また、ワークステーションは、端部品812に取り付けられたサンプル先端受部814も含む。端部品は、サンプルホルダ熱導体外側筐体450の先端を覆うように嵌合する。端部品812は、ガスケット813内に嵌合して締まりばめを提供する。端部品812とガスケット813との嵌合は、端部品812がガスケット813内で回転できるように十分に緩いものである。
サンプルホルダへのサンプルの装填は、図16〜図19に示すように、ホルダを直立位置からワークステーション内へと挿入することから始まる。シャッター442が開き、デュワー420に寒剤が充填される。ワークステーションサンプル移送空間810に寒剤が充填され、クライオトランスファーホルダ内へと装填される、サンプルが入ったサンプルボックスが、サンプル移送空間の寒剤内へと入れられる。クランプ制御ねじ823を反時計回りに回すことで、図14及び図15に示す試料クランプ449が試料支持プラットフォーム441から離れるように上昇する。ここで、サンプルホルダを、図17及び図20に示す試料装填ワークステーション位置へと回転させる。図16〜図21に示すように、試料装填冶具820及びサンプルホルダ400が一致して回転し、サンプルをピンセットによって試料クランプ449と試料支持プラットフォーム441との間に人間工学的に好ましい垂直配向で装填できるようにする。試料クランプ449は、クランプ制御ねじ823を時計回りに回すことで、試料を試料支持プラットフォーム441にクランプするように下降する。シャッターカバー442が閉じて、サンプルホルダは安全にワークステーションから取り外される。
サンプルホルダからのサンプルの取り外しは、図16〜図19に示すように、ホルダを直立位置からワークステーション内へと挿入することから始まる。デュワー420及びワークステーションサンプル移送空間810に寒剤が充填され、クライオトランスファーホルダから取り外されるサンプル用のサンプルボックスが、サンプル移送空間の寒剤内へと入れられる。シャッターカバー442が開く。試料クランプ449は、クランプ制御ねじ823を反時計回りに回すことで、試料支持プラットフォーム441から離れるように上昇する。ここで、サンプルホルダを、図18及び図21に示す試料取外しワークステーション位置へと回転させる。試料装填冶具800及びサンプルホルダ400が一致して回転し、サンプルがホルダからワークステーションサンプル移送空間の寒剤内へと落ちるように重力によって促されることでサンプルを取り外すことを可能にする。サンプルはピンセットで回収されてサンプルボックス内に入れられる。
本発明を詳細に上述したが、関連技術分野の当業者にとっては、本発明が本発明の精神から逸脱することなく変更されてもよいことは明白であろうことが明確に理解されよう。本発明には、本発明の精神及び範囲から逸脱することなく、形態、設計又は構造について様々な変更を行うことができる。このため、上述の説明は限定よりも例示として考えられ、本発明の真の範囲は以下の請求項に定義されるものである。
本明細書の説明に用いられるいずれの要素、動作又は指示も、明確に記載されていない限りは本発明に対して不可欠又は必須なものとして考えられるべきではない。また、本明細書で使用されているように、「a」という冠詞は1つ以上のものを含むようになっている。また、「に基づいて」という表現は、明確に記載されていない限りは「に少なくとも部分的に基づいて」を意味するようになっている。

Claims (8)

  1. 極低温度に保持されたサンプルを電子顕微鏡内に取り付けるためのクライオトランスファーホルダであって、
    サンプルホルダと、
    外側デュワー筐体及び、前記サンプルホルダに熱的に接続された内側デュワー容器を含む円筒形デュワーとを備え、
    前記円筒形デュワーが液体寒剤を保持するように構成され、
    前記サンプルホルダに熱的に接続された熱導体と、
    筐体中心軸線を有した熱導体筐体とを更に備え、
    前記円筒形デュワーが、
    直径と、
    長さと、
    円筒軸線と、
    前記熱導体筐体に取り付けられる外側デュワー筐体と、
    内側デュワー容器とを含み、
    前記デュワー円筒軸線が、前記熱導体筐体中心軸線と一直線であり、
    前記熱導体が、前記熱導体筐体を通過し、且つ前記熱導体筐体中心軸線と一直線であり、
    前記内側デュワー容器が中央開口部を有し、前記熱導体が前記中央開口部を前記内側デュワー容器に触れることなく通過して、前記内側デュワー容器内に収容された液体寒剤と接触するようになっている、クライオトランスファーホルダ。
  2. 前記デュワー直径が前記デュワー長さよりも大きい、請求項1に記載のクライオトランスファーホルダ。
  3. 前記クライオトランスファーホルダが、前記デュワーが空の際に、前記中心軸線周りに回転させている間、前記中心軸線に対する重心を維持する、請求項1に記載のクライオトランスファーホルダ。
  4. 前記クライオトランスファーホルダが、前記デュワーが液体寒剤を収容している際に、前記中心軸線周りに回転させている間、前記中心軸線に対する重心を維持する、請求項1に記載のクライオトランスファーホルダ。
  5. サンプルホルダシャッターと、
    シャッター制御ロッドと、
    シャッター制御ノブとを更に備え、
    前記シャッター制御ロッドが、前記サンプルホルダシャッターから前記デュワーを越える位置まで、前記筐体中心軸線に沿って前記熱導体を通過し、
    前記シャッター制御ノブが、前記シャッター制御ロッドに対して解放可能に接続される、請求項1に記載のクライオトランスファーホルダ。
  6. 摺動して前記サンプルホルダを覆うように構成されるシャッターと、
    前記熱導体内に配置されて、前記シャッターに接続され、且つ解放可能な接続によって手動シャッター制御ノブに接続されるシャッター制御ロッドとを更に備え、
    前記熱導体が、前記筐体を通過し且つ前記筐体中心軸線と一直線である、請求項1に記載のクライオトランスファーホルダ。
  7. 摺動して自身を覆うように構成されるシャッターと、
    前記シャッター、及び、解放可能な接続によって手動シャッター制御ノブに接続されるシャッター制御ロッドとを更に備え、
    前記手動シャッター制御ノブが、前記クライオトランスファーホルダが電子顕微鏡に取り付けられると、電子顕微鏡の外側に配置される、
    請求項1に記載のクライオトランスファーホルダ。
  8. 極低温度において、サンプル支持プラットフォーム及び中心軸線を有する、請求項1に記載のクライオトランスファーホルダ内へと試料を取り付けるためのワークステーションであって、
    前記クライオトランスファーホルダを受け入れるための受入冶具を備え、
    前記受入冶具が、
    固定サンプル輸送容器と、
    前記クライオトランスファーホルダを受け入れるための細長チャンバとを含み、
    前記細長チャンバが、前記クライオトランスファーホルダを前記受入冶具に取り付けた際にその中心軸線周りの回転を可能にするように構成される軸受表面を含み、
    前記クライオトランスファーホルダを前記受入冶具に取り付けると、前記サンプル支持プラットフォームが前記サンプル輸送容器内へと延在する、ワークステーション。
JP2018201511A 2017-10-30 2018-10-26 クライオトランスファーホルダ及びワークステーション Active JP6698134B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US201762579040P 2017-10-30 2017-10-30
US62/579,040 2017-10-30

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2019083191A JP2019083191A (ja) 2019-05-30
JP6698134B2 true JP6698134B2 (ja) 2020-05-27

Family

ID=64082878

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2018201511A Active JP6698134B2 (ja) 2017-10-30 2018-10-26 クライオトランスファーホルダ及びワークステーション

Country Status (4)

Country Link
US (2) US10832887B2 (ja)
EP (2) EP3477680B1 (ja)
JP (1) JP6698134B2 (ja)
CN (1) CN109720737B (ja)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6995099B2 (ja) * 2019-09-30 2022-01-14 日本電子株式会社 試料取付装置
CN111048385A (zh) * 2019-12-24 2020-04-21 中国科学院合肥物质科学研究院 一种透射电镜低温样品杆
EP4167013A1 (en) * 2021-10-15 2023-04-19 Leica Mikrosysteme GmbH Sample holder transfer device

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1983003707A1 (en) * 1982-04-20 1983-10-27 Nicholson, Walter, Anthony, Patrick Low temperature stage for microanalysis
JPH04135153U (ja) * 1991-06-07 1992-12-16 株式会社日立製作所 電子線応用装置の試料冷却ステージ
JP2965186B2 (ja) * 1993-01-18 1999-10-18 日本電子株式会社 電子顕微鏡等の試料装置
US5753924A (en) 1997-03-12 1998-05-19 Gatan, Inc. Ultra-high tilt specimen cryotransfer holder for electron microscope
US6410925B1 (en) 2000-07-31 2002-06-25 Gatan, Inc. Single tilt rotation cryotransfer holder for electron microscopes
US7132673B2 (en) * 2004-07-30 2006-11-07 E.A. Fischione Instruments, Inc. Device and method for milling of material using ions
US7659510B2 (en) * 2008-03-28 2010-02-09 Chih-Yu Chao Cryo-charging specimen holder for electron microscope
WO2009145377A1 (en) * 2008-05-30 2009-12-03 Korea Basic Science Institute Workstation for cryo transmission electron microscope
JP5250470B2 (ja) * 2009-04-22 2013-07-31 株式会社日立ハイテクノロジーズ 試料ホールダ,該試料ホールダの使用法、及び荷電粒子装置
US8336405B2 (en) * 2010-07-28 2012-12-25 E.A. Fischione Instruments, Inc. Cryogenic specimen holder
JP6008965B2 (ja) * 2011-08-05 2016-10-19 イー エイ フィシオネ インストルメンツ インコーポレーテッドE.A.Fischione Instruments, Inc. 改良型低温試料ホルダ
JP5732006B2 (ja) 2012-06-28 2015-06-10 株式会社日立ハイテクノロジーズ 試料冷却ホルダー及び冷却源容器
DE102014110722B4 (de) 2014-07-29 2016-06-09 Leica Mikrosysteme Gmbh Ladestation zum Umladen von gefrorenen Proben bei tiefen Temperaturen
DE102015100727A1 (de) 2015-01-20 2016-07-21 Leica Mikrosysteme Gmbh Probentransfereinrichtung
JP6127191B1 (ja) * 2016-10-03 2017-05-10 株式会社メルビル 試料ホルダー
NL2019247B1 (en) * 2017-07-14 2019-01-28 Hennyz B V Cryotransfer system

Also Published As

Publication number Publication date
US20210110991A1 (en) 2021-04-15
CN109720737A (zh) 2019-05-07
US10832887B2 (en) 2020-11-10
EP3477680A1 (en) 2019-05-01
EP4174903A1 (en) 2023-05-03
CN109720737B (zh) 2020-10-16
US20190131106A1 (en) 2019-05-02
US11908655B2 (en) 2024-02-20
EP3477680B1 (en) 2022-12-28
JP2019083191A (ja) 2019-05-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6698134B2 (ja) クライオトランスファーホルダ及びワークステーション
JP6008965B2 (ja) 改良型低温試料ホルダ
US8336405B2 (en) Cryogenic specimen holder
CN106537112A (zh) 用于在低温情况下转装冷冻样本的装载站
US11041788B2 (en) Cryotransfer system
US9784962B2 (en) Cooling systems and methods for cryo super-resolution fluorescence light microscopy and other applications
CN111684564B (zh) 真空转移组件
CN113196441B (zh) 深冷超高真空手提箱
US20110027876A1 (en) Cryopreparation chamber for manipulating a sample for electron microscopy
JP2022172382A (ja) 低温球
JP6764902B2 (ja) 試料ホルダー
Valdrè et al. A combined freeze chamber and low temperature stage for an electron microscope
JP2014125257A (ja) 搬送補助具

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20181221

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20191025

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20200127

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20200219

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20200306

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20200324

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20200407

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20200427

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6698134

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250