JP6694629B2 - 感光マイクロアレイのマクロホットエンボス成形のリアルタイム制御装置及び方法 - Google Patents
感光マイクロアレイのマクロホットエンボス成形のリアルタイム制御装置及び方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6694629B2 JP6694629B2 JP2019548264A JP2019548264A JP6694629B2 JP 6694629 B2 JP6694629 B2 JP 6694629B2 JP 2019548264 A JP2019548264 A JP 2019548264A JP 2019548264 A JP2019548264 A JP 2019548264A JP 6694629 B2 JP6694629 B2 JP 6694629B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hot embossing
- real
- illuminance
- time
- molding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000004049 embossing Methods 0.000 title claims description 113
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 93
- 238000002493 microarray Methods 0.000 title claims description 29
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 58
- 238000000465 moulding Methods 0.000 claims description 55
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 32
- 238000010223 real-time analysis Methods 0.000 claims description 28
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 claims description 18
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 18
- 238000010586 diagram Methods 0.000 claims description 11
- 230000003044 adaptive effect Effects 0.000 claims description 6
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims description 5
- 238000013459 approach Methods 0.000 claims description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 6
- 238000001053 micromoulding Methods 0.000 description 5
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 229920000307 polymer substrate Polymers 0.000 description 3
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 2
- 238000003745 diagnosis Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 2
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 2
- 238000013041 optical simulation Methods 0.000 description 2
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 2
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 238000012512 characterization method Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 238000005305 interferometry Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 description 1
- 238000010248 power generation Methods 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 1
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Programme-control systems
- G05B19/02—Programme-control systems electric
- G05B19/04—Programme control other than numerical control, i.e. in sequence controllers or logic controllers
- G05B19/05—Programmable logic controllers, e.g. simulating logic interconnections of signals according to ladder diagrams or function charts
- G05B19/058—Safety, monitoring
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/10—Plc systems
- G05B2219/16—Plc to applications
- G05B2219/163—Domotique, domestic, home control, automation, smart, intelligent house
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Casting Or Compression Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
- Shaping Of Tube Ends By Bending Or Straightening (AREA)
- Micromachines (AREA)
- Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
Description
ホットエンボス過程に、オンライン光センサーがそれに入射した光線照度を感知し、照度データをリアルタイム分析及び制御システムにリアルタイムでフィードバックし、リアルタイム分析及び制御システムにリアルタイムでフィードバックにおいて加工深さと品質の判断分析用のホットエンボス過程における照度−時間曲線を作成するステップと、
前記リアルタイム分析及び制御システムが、ホットエンボス成形過程における保圧時間終了時刻に対応する照度である重要点照度を、反復実験で得られた経験データベースと参照して比較し、比較結果に応じて対応するホットエンボスプロセスパラメータを調整するステップと、
前記リアルタイム分析及び制御システムが調整したプロセスパラメータをホットエンボス装置PLCに伝送し、ホットエンボス装置が調整したプロセスパラメータに基づいて次の透明重合体板のホットエンボス加工を行うように制御するステップとを含み、
上記ステップを繰り返して、ホットエンボス成形の重要点照度に対応する成形高さが予め設定された高さに徐々に近づいて最終的にそれに等しくなるようにし、ホットエンボスプロセス過程のアダプティブ制御を達成する。
表面にマイクロトレンチアレイを有するホットエンボス金型コアによりホットエンボスすることで様々な成形高さのマイクロ構造を得るとともに、様々な成形高さに対応するホットエンボスプロセスパラメータを記録するステップと、
マイクロ構造の様々な成形高さと照度との対応関係を分析しフィッティングして、マイクロ構造の成形高さの経験式を取得するステップと、
測定した成形高さ、ホットエンボス成形過程における保圧時間終了時刻に対応する照度である重要点照度を対応する透明重合体板のホットエンボスプロセスパラメータと関連付け、データをキャラクタリゼーションし、経験データベースを作成するステップとを含む。
前記経験式は、H=−aL+bであり、
式中、Lは、照度を示し、単位がLuxであり、Hは、透明重合体板表面のマイクロ構造の成形高さを示し、単位がμmであり、0.03≦a≦0.12、200μm≦b≦600μmである。
現在のホットエンボス成形過程における照度−時間曲線図を取得するステップと、
照度−時間曲線図における保圧時間終了時刻に対応する重要点照度を抽出するステップと、
抽出した重要点照度を経験データベースと参照して比較し、直前に抽出した重要点照度に対応するマイクロ構造の成形高さ、ホットエンボスプロセスパラメータを得るステップと、
当該直前に抽出した重要点照度に対応するマイクロ構造の成形高さが予め設定された高さと一致しないと、ホットエンボスプロセスパラメータを調整し、次の加工を行うステップとを含む。
図1に示すように、感光マイクロアレイのマクロホットエンボス成形のリアルタイム制御装置は、ホットエンボス装置下型板12に設けられた感光システムと、リアルタイム分析及び制御システムとを備え、前記感光システムは、光源3と、オンライン光センサー1と、チャック2とを備え、前記チャック2が下型板12に固定され、前記光源3、オンライン光センサー1がチャック2に固定され、前記光源3が定格電圧12VのLEDストリップライトであり、透明重合体板5の厚み方向の入光面に対向して設置され、オンライン光センサーが、透明重合体板5の入光面の対向面と両側面のそれぞれに対向して設置され、リアルタイム分析及び制御システム回路に接続されている。本実施例において、前記リアルタイム分析及び制御システムは、回路を介してオンライン光センサー1及びホットエンボス装置PLCのそれぞれに接続され、オンライン光センサー1がリアルタイムで検出した照度に応じてホットエンボス装置のホットエンボスパラメータを調整するためのコンピュータを用いる。
前記リアルタイム制御装置を用いた感光マイクロアレイのマクロホットエンボス成形のリアルタイム制御方法は、
ホットエンボス過程に、オンライン光センサー1がそれに入射した光線照度を感知し、照度データをリアルタイム分析及び制御システムにリアルタイムでフィードバックし、リアルタイム分析及び制御システムにおいて加工深さと品質の判断分析用のホットエンボス過程中の照度−時間曲線を作成するステップと、
前記リアルタイム分析及び制御システムが、ホットエンボス成形過程における保圧時間終了時刻に対応する照度である重要点照度を反復実験で得られた経験データベースと参照して比較し、比較結果に応じて対応するホットエンボスプロセスパラメータを調整するステップと、
前記リアルタイム分析及び制御システムが調整したプロセスパラメータをホットエンボス装置PLCに伝送し、ホットエンボス装置が調整したプロセスパラメータに基づいて次の透明重合体板のホットエンボス加工を行うように制御するステップとを含み、
上記ステップを繰り返して、ホットエンボス成形の重要点照度に対応する成形高さが予め設定された高さに徐々に近づいて最終的にそれに等しくなるようにし、ホットエンボスプロセス過程のアダプティブ制御を達成する。
表面にマイクロトレンチアレイを有するホットエンボス金型コアをホットエンボスすることで様々な成形高さのマイクロ構造を得るとともに、TAYLOR HOBSONプロファイラーにより検出した様々な成形高さに対応するホットエンボスプロセスパラメータを記録するステップと、
マイクロ構造の様々な成形高さと照度との対応関係を分析しフィッティングして、マイクロ構造の成形高さの経験式を取得するステップと、
測定した成形高さ、ホットエンボス成形過程における保圧時間終了時刻に対応する照度である重要点照度を対応する透明重合体板5のホットエンボスプロセスパラメータと関連付け、データをキャラクタリゼーションし、経験データベースを作成するステップとを含む。
前記経験式は、H=−aL+bであり、
式中、Lは、照度を示し、単位がLuxであり、Hは、透明重合体板表面のマイクロ構造の成形高さを示し、単位がμmであり、0.03≦a≦0.12、200μm≦b≦600μmである。
現在のホットエンボス成形過程における照度−時間曲線図を取得するステップと、
照度−時間曲線図における保圧時間終了時刻に対応する重要点照度を抽出するステップと、
抽出した重要点照度を経験データベースと参照して比較し、直前に抽出した重要点照度に対応するマイクロ構造の成形高さ、ホットエンボスプロセスパラメータを得るステップと、
当該直前に抽出した重要点照度に対応するマイクロ構造の成形高さが予め設定された高さと一致しないと、ホットエンボスプロセスパラメータを調整し、次の加工を行うステップとを含む。
システムの感度及び精度を向上させるために、光源、および、オンライン光センサーが透明重合体板の四周における配置位置を合理的に選定してから実験を行う。
透明重合体板表面に寸法が正確で品質に優れたマイクロアレイを加工するために、及び、光照射と透明重合体板表面のマイクロ構造の成形高さとの連結規則を作成するために、精密研削技術によりホットエンボス金型コア表面にマイクロトレンチアレイを加工し、ホットエンボス成形技術で表面に様々な高さマイクロ構造を有する一連の透明重合体板を製造する必要がある。
プロセスパラメータをリアルタイムで分析して修正して最適な加工品質を実現するために、大量の反復実験を行って、照度、照度−時間変化曲線及びマイクロ構造の成形高さの関係を取得し、リアルタイム分析及び制御システムに対して元の経験データベースを作成して、後続加工においてデータ比較を行って適切なパラメータを選択するための根拠とする。
Claims (8)
- 感光マイクロアレイのマクロホットエンボス成形のリアルタイム制御装置であって、ホットエンボス装置下型板(12)に設けられた感光システムと、リアルタイム分析及び制御システムとを備え、前記感光システムは、光源(3)と、オンライン光センサー(1)と、チャック(2)とを備え、前記チャック(2)が下型板(12)に固定され、前記光源(3)、オンライン光センサー(1)がチャック(2)に固定され、前記光源(3)が透明重合体板(5)の厚み方向の入光面に対向して設置され、オンライン光センサーが、透明重合体板(5)の入光面の対向面と両側面のそれぞれに対向して設置され、リアルタイム分析及び制御システム回路に接続され、前記リアルタイム分析及び制御システムは、回路を介して光源(3)、オンライン光センサー(1)及びホットエンボス装置PLCのそれぞれに接続され、オンライン光センサー(1)がリアルタイムで検出した光照射に応じてホットエンボス装置のホットエンボスパラメータを調整することに用いられることを特徴とする感光マイクロアレイのマクロホットエンボス成形のリアルタイム制御装置。
- 前記光源(3)は、LEDストリップライトであることを特徴とする請求項1に記載の感光マイクロアレイのマクロホットエンボス成形のリアルタイム制御装置。
- 前記オンライン光センサー(1)は、透明重合体板(5)との距離が10〜30mmであり、照度Lが最大で400000Luxであり、最小解像度が0.01Luxであることを特徴とする請求項1に記載の感光マイクロアレイのマクロホットエンボス成形のリアルタイム制御装置。
- 前記オンライン光センサー(1)は、デジタル照度計であることを特徴とする請求項3に記載の感光マイクロアレイのマクロホットエンボス成形のリアルタイム制御装置。
- 請求項1〜4のいずれか1項に記載のリアルタイム制御装置を用いた感光マイクロアレイのマクロホットエンボス成形のリアルタイム制御方法であって、
ホットエンボス過程に、オンライン光センサー(1)がそれに入射した光線の照度を感知し、照度データをリアルタイム分析及び制御システムにリアルタイムでフィードバックし、リアルタイム分析及び制御システムにおいて加工深さと品質の判断分析用のホットエンボス過程における照度−時間曲線を作成するステップと、
前記リアルタイム分析及び制御システムが、ホットエンボス成形過程における保圧時間終了時刻に対応する照度である重要点照度を、反復実験で得られた経験データベースと参照して比較し、比較結果に応じて対応するホットエンボスプロセスパラメータを調整するステップと、
前記リアルタイム分析及び制御システムが調整したプロセスパラメータをホットエンボス装置PLCに伝送し、ホットエンボス装置が調整したプロセスパラメータに基づいて次の透明重合体板のホットエンボス加工を行うように制御するステップとを含み、
上記ステップを繰り返して、ホットエンボス成形の重要点照度に対応する成形高さが予め設定された高さに徐々に近づいて最終的にそれに等しくなるようにし、ホットエンボスプロセス過程のアダプティブ制御を達成することを特徴とする感光マイクロアレイのマクロホットエンボス成形のリアルタイム制御方法。 - 前記反復実験で得られた経験データベースの作成は、
表面にマイクロトレンチアレイを有するホットエンボス金型コアによりホットエンボスすることで様々の成形高さのマイクロ構造を得るとともに、様々な成形高さに対応するホットエンボスプロセスパラメータを記録するステップと、
マイクロ構造の様々な成形高さと照度Lとの対応関係を分析しフィッティングして、マイクロ構造の成形高さの経験式を取得するステップと、
測定した成形高さ、ホットエンボス成形過程における保圧時間終了時刻に対応する照度である重要点照度を対応する透明重合体板のホットエンボスプロセスパラメータと関連付けて、データの特徴量を抽出し、経験データベースを作成するステップとを含み、
前記経験式は、H=−aL+bであり、
式中、Lは、照度を示し、単位がLuxであり、Hは、透明重合体板表面のマイクロ構造の成形高さを示し、単位がμmであり、0.03≦a≦0.12、200μm≦b≦600μmである、ことを特徴とする請求項5に記載の感光マイクロアレイのマクロホットエンボス成形のリアルタイム制御方法。 - 前記リアルタイム分析及び制御システムがホットエンボス過程における重要点照度を反復実験で得られた経験データベースと参照して比較し、比較結果に応じて対応するホットエンボスプロセスパラメータを調整するステップは、具体的には、
現在のホットエンボス成形過程における照度−時間曲線図を取得するステップと、
照度−時間曲線図における保圧時間終了時刻に対応する重要点照度を抽出するステップと、
抽出した重要点照度を経験データベースと参照して比較し、直前に抽出した重要点照度に対応するマイクロ構造の成形高さ、ホットエンボスプロセスパラメータを得るステップと、
当該直前に抽出した重要点照度に対応するマイクロ構造の成形高さが予め設定された高さと一致しないと、ホットエンボスプロセスパラメータを調整し、次の加工を行うステップとを含むことを特徴とする請求項5に記載の感光マイクロアレイのマクロホットエンボス成形のリアルタイム制御方法。 - 前記ホットエンボスプロセスパラメータは、温度、圧力及び保圧時間を含むことを特徴とする請求項5に記載の感光マイクロアレイのマクロホットエンボス成形のリアルタイム制御方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201710226928.5 | 2017-04-06 | ||
CN201710226928.5A CN106950911B (zh) | 2017-04-06 | 2017-04-06 | 一种宏观光感应微阵列热压成型的实时控制装置及方法 |
PCT/CN2017/115398 WO2018184401A1 (zh) | 2017-04-06 | 2017-12-11 | 一种宏观光感应微阵列热压成型的实时控制装置及方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020509950A JP2020509950A (ja) | 2020-04-02 |
JP6694629B2 true JP6694629B2 (ja) | 2020-05-20 |
Family
ID=59474241
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019548264A Expired - Fee Related JP6694629B2 (ja) | 2017-04-06 | 2017-12-11 | 感光マイクロアレイのマクロホットエンボス成形のリアルタイム制御装置及び方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6694629B2 (ja) |
CN (1) | CN106950911B (ja) |
WO (1) | WO2018184401A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106950911B (zh) * | 2017-04-06 | 2023-05-23 | 华南理工大学 | 一种宏观光感应微阵列热压成型的实时控制装置及方法 |
CN110262380B (zh) * | 2019-07-05 | 2021-11-23 | 华南理工大学 | 基于经验工艺概率的微阵列热压成型精度控制系统及方法 |
CN110849845A (zh) * | 2019-11-19 | 2020-02-28 | 佛山科学技术学院 | 一种在线检测控制复合微结构阵列微成型的装置及方法 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TW571087B (en) * | 2003-06-02 | 2004-01-11 | Chen-Hung He | Method and system for monitoring the mold strain in nanoimprint lithography technique |
JP2005191387A (ja) * | 2003-12-26 | 2005-07-14 | Fujitsu Ltd | 撮像素子試験方法及び装置 |
JP2008008889A (ja) * | 2006-05-31 | 2008-01-17 | Canon Inc | ギャップ測定方法、インプリント方法、及びインプリント装置 |
CN102506996B (zh) * | 2011-11-11 | 2014-06-11 | 中航华东光电有限公司 | 一种用于较宽亮度范围的侧背光亮度采样装置 |
CN104113946B (zh) * | 2013-04-17 | 2017-02-22 | 宝山钢铁股份有限公司 | 光源照度自适应控制装置及方法 |
JP6361970B2 (ja) * | 2014-09-19 | 2018-07-25 | 大日本印刷株式会社 | ナノインプリント用構造体の検査方法およびその製造方法 |
CN105300514A (zh) * | 2014-10-20 | 2016-02-03 | 苏州大学 | 基于无线传感器的照度分析系统 |
CN105120550B (zh) * | 2015-05-22 | 2017-10-20 | 许敏 | 一种基于超声定位的led无影灯智能调光系统 |
CN206061205U (zh) * | 2016-07-15 | 2017-03-29 | 深圳市博适通照明有限公司 | 智能照明系统 |
CN106061030A (zh) * | 2016-07-15 | 2016-10-26 | 深圳市博适通照明有限公司 | 智能照明系统 |
CN206696685U (zh) * | 2017-04-06 | 2017-12-01 | 华南理工大学 | 一种宏观光感应微阵列热压成型的实时控制装置 |
CN106950911B (zh) * | 2017-04-06 | 2023-05-23 | 华南理工大学 | 一种宏观光感应微阵列热压成型的实时控制装置及方法 |
-
2017
- 2017-04-06 CN CN201710226928.5A patent/CN106950911B/zh active Active
- 2017-12-11 JP JP2019548264A patent/JP6694629B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2017-12-11 WO PCT/CN2017/115398 patent/WO2018184401A1/zh active Application Filing
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2020509950A (ja) | 2020-04-02 |
WO2018184401A1 (zh) | 2018-10-11 |
CN106950911A (zh) | 2017-07-14 |
CN106950911B (zh) | 2023-05-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6694629B2 (ja) | 感光マイクロアレイのマクロホットエンボス成形のリアルタイム制御装置及び方法 | |
JP7032018B2 (ja) | 積層造形部品をトポグラフィに基づいて検査し、プロセス制御するための方法およびシステム | |
US10753955B2 (en) | Systems and method for advanced additive manufacturing | |
CN106584800B (zh) | 一种成型产品在线质量检测方法 | |
US10747202B2 (en) | Systems and method for advanced additive manufacturing | |
CN111929309B (zh) | 一种基于机器视觉的铸造件外观缺陷检测方法及系统 | |
US11027535B2 (en) | Systems and method for advanced additive manufacturing | |
US20190001658A1 (en) | Systems and method for advanced additive manufacturing | |
CN102128600B (zh) | 一种利用激光测量透镜曲率半径的方法及其装置 | |
KR102236148B1 (ko) | 3d 프린팅 공정 중 형성되는 용융풀 크기를 제어할 수 있는 3d 프린팅 시스템 및 방법 | |
WO2018000974A1 (zh) | 一种去除薄膜或涂层的激光加工方法及设备 | |
CN104626530A (zh) | 一种导光板的加工工艺 | |
Chen et al. | Research on in situ monitoring of selective laser melting: a state of the art review | |
CN108763704A (zh) | 基于激光立体成形自愈合效应的宏观热应力场有限元建模方法 | |
CN205333535U (zh) | 一种金属应变计缺陷自动检测系统 | |
CN101750711A (zh) | 聚焦方法与自动聚焦装置及其侦测模块 | |
CN206696685U (zh) | 一种宏观光感应微阵列热压成型的实时控制装置 | |
CN116593137B (zh) | 一种基于干涉仪的光学镜片质量测试方法及系统 | |
KR20130008187A (ko) | 솔더링을 위한 플럭스 검사 장치 및 그 검사 방법 | |
CN110849845A (zh) | 一种在线检测控制复合微结构阵列微成型的装置及方法 | |
CN101706655B (zh) | 快速成形系统 | |
CN203437815U (zh) | 带探测系统的激光预处理装置 | |
CN211718158U (zh) | 一种基于中子成像的增材制造气孔裂纹检测装置 | |
CN105984089A (zh) | 偏心调整装置、镜片注塑模具和偏心调整系统及其方法 | |
CN105372265A (zh) | 测量图案化蓝宝石基板的光学测量装置及方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190903 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20190903 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200108 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20200124 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200310 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200406 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6694629 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |