JP6692103B2 - テラヘルツ画像の高コントラスト/準リアルタイム取得用のシステム及び方法 - Google Patents
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Description
本出願は、Vladimir G.Kozlov及びPatrick F.Tekavecの名義において2016年6月3日付けで出願された米国特許出願第15/173,504号明細書の優先権を主張する。前記出願は、すべてが本明細書に記載されている場合と同様に、参照により本明細書に援用される。
−Nuss(Lucent Technologies Inc.)に対して1997年4月22日付けで発行された「Method and apparatus for terahertz imaging」という名称の米国特許第5,623,145号明細書、
−Nuss(Lucent Technologies Inc.)に対して1998年1月20日付けで発行された「Method and apparatus for terahertz imaging」という名称の米国特許第5,710,430号明細書、
−Nuss(Lucent Technologies Inc.)に対して1998年8月4日付けで発行された「Optical system employing terahertz radiation」という名称の米国特許第5,789,750号明細書、
−Brenerら(Lucent Technologies Inc.)に対して1997年8月18日付けで発行された「Near field terahertz imaging」という名称の米国特許第5,894,125号明細書、
−Jacobsenら(Lucent Technologies Inc.)に対して1999年8月17日付けで発行された「Systems and methods for processing and analyzing terahertz waveforms」という名称の米国特許第5,939,721号明細書、
−Zhangら(Rensselaer Polytechnic Institute)に対して1999年9月14日付けで発行された「Electro−optical sensing apparatus and method for characterizing free−space electromagnetic radiation」という名称の米国特許第5,952,721号明細書、
−Mittlemanら(Lucent Technologies Inc.)に対して2000年6月20日付けで発行された「Method and apparatus for terahertz tomographic imaging」という名称の米国特許第6,078,047号明細書、
−Zhangら(Rensselaer Polytechnic Institute)に対して2002年7月2日付けで発行された「electro−optic/magneto−optic measurement of electromagnetic radiation using chirped optical pulse」という名称の米国特許第6,414,473号明細書、
−Fergusonら(Rensselaer Polytechnic Institute)の名義において2003年5月22日付けで公開された「Method and system for performing three−dimensional terahertz imaging on an object」という名称の国際特許出願公開第2003/042670号パンフレット、
−Hayesらに対して2007年9月18日付けで発行された「Highly efficient waveguide pulsed THz electromagnetic radiation source and group−matched waveguide THz electromagnetic radiation source」という名称の米国特許第7,272,158号明細書、
−Vodopyanovら(Microtech Instruments,Oregon State University,Stanford University)に対して2008年3月4日付けで発行された「Generation of terahertz radiation in orientation−patterned semiconductors」という名称の米国特許第7,339,718号明細書、
−Vodopyanovらに対して2008年3月25日付けで発行された「Terahertz radiation generation and methods therefor」という名称の米国特許第7,349,609号明細書、
−Moeller(Alcatel−Lucent USA Inc.)に対して2011年4月19日付けで発行された「Inexpensive Terahertz Pulse Wave Generator」という名称の米国特許第7,929,580号明細書
−Kozlovら(Microtech Instruments Inc.)に対して2011年10月11日付けで発行された「Terahertz tunable sources,spectrometers,and imaging systems」という名称の米国特許第8,035,083号明細書、
−Khanら(Massachusetts Institute of Technology)の名義において2012年1月12日付けで公開された「Terahertz sensing system and method」という名称の米国特許出願公開第2012/0008140号明細書(現在の、2013年8月20日付けで発行された米国特許第8,514,393号明細書)、
−Kozlovら(Microtech Instruments)に対して2013年12月3日付けで発行された「Alignment and optimization of a synchronously pumped optical parametric oscillator for nonlinear optical generation」という名称の米国特許第8,599,474号明細書、
−Kozlovら(Microtech Instruments)に対して2013年12月3日付けで発行された「Alignment and optimization of a synchronously pumped optical parametric oscillator for nonlinear optical generation」という名称の米国特許第8,599,475号明細書、
−Kozlovら(Microtech Instruments)に対して2013年12月3日付けで発行された「Alignment and optimization of a synchronously pumped optical parametric oscillator for nonlinear optical generation」という名称の米国特許第8,599,476号明細書、
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−Tekavec et al;“Video Rate 3D THz tomography’:post−deadline paper,Conference on Lasers and Electro−optics(June 8−13,2014,San Jose,California)
Claims (34)
- 対象物のアップコンバージョン済みテラヘルツ画像を取得する方法において、
(a)約0.05THz〜約10THzのテラヘルツ周波数、テラヘルツ帯域幅、及びテラヘルツ平均パワーを特徴とする連続波テラヘルツ撮像ビームによって前記対象物を照明するステップと、
(b)前記対象物によって若しくはその周辺において透過された、又は、前記対象物から反射若しくは散乱された、前記テラヘルツ撮像ビームの少なくとも一部分を収集し、且つ、非線形光学媒体を通じてテラヘルツ画像ビームとして伝播するように、当該一部分を導くステップであって、前記テラヘルツ画像ビームは、前記非線形光学媒体におけるテラヘルツ画像ビームサイズを特徴としている、ステップと、
(c)前記非線形光学媒体を通じて伝播するように、連続波アップコンバージョンビームを導くステップであって、前記アップコンバージョンビームは、前記非線形光学媒体内において前記テラヘルツ画像ビームと少なくとも部分的に空間的にオーバーラップしており、且つ、アップコンバージョン波長、アップコンバージョン帯域幅、アップコンバージョン平均パワー、及び前記非線形光学媒体におけるアップコンバージョンビームサイズを特徴としている、ステップと、
(d)前記テラヘルツ画像ビームと前記アップコンバージョンビームとの間の和又は差周波数生成によって生成された一方又は両方の波長を特徴とするアップコンバージョン済み画像ビームを形成するべく、前記非線形光学媒体内の前記テラヘルツ画像ビーム及び前記アップコンバージョンビームの非線形光学相互作用により、前記テラヘルツ画像ビームの少なくとも一部分をアップコンバージョンするステップと、
(e)画像検出器を使用することにより、前記アップコンバージョン済み画像ビームの少なくとも一部分を受け取り、且つ、前記画像検出器により、前記アップコンバージョン済み画像ビームによって前記画像検出器において形成されたアップコンバージョン済み画像を検出するステップと、
(f)画像フィルタリング要素を使用することにより、前記アップコンバージョンビームの約106分の1未満が前記画像検出器に到達することを許容するステップと、
を有し、
(g)前記テラヘルツ平均パワーは、約0.1W超であり、前記アップコンバージョン波長は、約400nm〜約3500nmであり、前記アップコンバージョン帯域幅は、約0.1nm未満であり、且つ、前記アップコンバージョン平均パワーは、約1W超であることを特徴とする方法。 - 請求項1に記載の方法において、前記アップコンバージョン波長は、約1000nm〜約1100nmであり、前記アップコンバージョン帯域幅は、約0.01nm未満であり、且つ、前記アップコンバージョン平均パワーは、約10W超であることを特徴とする方法。
- 請求項1に記載の方法において、前記アップコンバージョン波長は、約1500nm〜約1600nmであり、前記アップコンバージョン帯域幅は、約0.01nm未満であり、且つ、前記アップコンバージョン平均パワーは、約5W超であることを特徴とする方法。
- 請求項1に記載の方法において、前記アップコンバージョンビームの供給源は、固体レーザー、ファイバレーザー、又は半導体レーザーであることを特徴とする方法。
- 請求項1に記載の方法において、前記テラヘルツ周波数は、約3THz未満であり、且つ、前記テラヘルツ平均パワーは、約0.3W超であることを特徴とする方法。
- 請求項1に記載の方法において、前記テラヘルツ周波数は、約1.6THz未満であり、且つ、前記テラヘルツ平均パワーは、約0.5W超であることを特徴とする方法。
- 請求項1に記載の方法において、前記テラヘルツ撮像ビームの供給源は、後進波型発振器、1つ又は複数のテラヘルツ増幅器、又は1つ又は複数の高調波生成器を含むことを特徴とする方法。
- 請求項1に記載の方法において、前記画像フィルタリング要素は、1つ又は複数の波長依存性フィルタを含むことを特徴とする方法。
- 請求項8に記載の方法において、前記1つ又は複数の波長依存性フィルタのうちの少なくとも1つは、前記アップコンバージョン波長と前記アップコンバージョン済み画像波長のうちの1つとの間の公称カットオフ波長を有するショートパス又はロングパスフィルタを有することを特徴とする方法。
- 請求項8に記載の方法において、前記1つ又は複数の波長依存性フィルタのうちの少なくとも1つは、前記アップコンバージョン波長を含む拒絶帯域幅を有するノッチフィルタを有することを特徴とする方法。
- 請求項1に記載の方法において、前記アップコンバージョンビーム及び前記アップコンバージョン済み画像ビームは、相互の関係において実質的に直交するように偏光されており、且つ、前記画像フィルタリング要素は、前記アップコンバージョンビームを実質的に阻止するように構成された1つ又は複数の偏光器を含むことを特徴とする方法。
- 請求項1に記載の方法において、前記非線形光学媒体は、前記非線形光学相互作用が、準位相整合されたプロセスとなるように構成されていることを特徴とする方法。
- 請求項12に記載の方法において、前記非線形光学媒体は、非線形光学材料の2枚以上の光学的に接触したプレートの積層体を有することを特徴とする方法。
- 請求項1に記載の方法において、(i)第1合焦要素が、前記テラヘルツ撮像ビームの前記一部分を収集し、且つ、前記非線形光学媒体を通じて伝播するように、前記テラヘルツ画像ビームを導き、(ii)前記対象物及び前記非線形光学媒体は、前記テラヘルツ画像ビームが前記非線形光学媒体において前記対象物のテラヘルツ画像を形成するように、前記第1合焦要素の個々の共役面において位置決めされており、(iii)第2合焦要素が、前記アップコンバージョン済み画像ビームの前記一部分を収集し、且つ、前記画像検出器まで伝播するように、前記アップコンバージョン済み画像ビームを導き、且つ、(iv)前記非線形光学媒体及び前記画像検出器は、前記アップコンバージョン済み画像ビームが前記画像検出器において前記アップコンバージョン済み画像を形成するように、前記第2合焦要素の個々の共役面において位置決めされていることを特徴とする方法。
- 請求項1に記載の方法において、(i)有効焦点距離f1を特徴とする第1合焦要素が、前記テラヘルツ撮像ビームの前記一部分を収集し、且つ、前記非線形光学媒体を通じて伝播するように、前記テラヘルツ画像ビームを導き、(ii)前記対象物及び前記非線形光学媒体は、前記テラヘルツ画像ビームが前記非線形光学媒体において前記対象物のテラヘルツ画像の空間フーリエ変換を形成するように、それぞれ、前記第1合焦要素から約f1の距離において位置決めされており、(iii)有効焦点距離f2を特徴とする第2合焦要素が、前記アップコンバージョン済み画像ビームの前記一部分を収集し、且つ、前記画像検出器まで伝播するように、前記アップコンバージョン済み画像ビームを導き、且つ、(iv)前記非線形光学媒体及び前記画像検出器は、前記アップコンバージョン済み画像ビームが前記画像検出器において前記アップコンバージョン済み画像を形成するように、それぞれ、前記第2合焦要素から約f2の距離において位置決めされていることを特徴とする方法。
- 請求項1に記載の方法において、前記画像検出器は、撮像検出器アレイを有し、且つ、前記アップコンバージョン済み画像を検出するステップは、前記撮像検出器アレイの複数の対応する検出器要素上において前記アップコンバージョン済み画像ビームの異なる空間的部分を同時に受け取るステップを有することを特徴とする方法。
- 請求項1に記載の方法において、テラヘルツ基準ビームを形成するべく、前記テラヘルツ撮像ビームの一部分を分割するステップと、前記非線形光学媒体を通じて共伝播するように、前記テラヘルツ基準ビームと前記テラヘルツ画像ビームとを組み合わせるステップと、前記テラヘルツ画像ビーム及び前記テラヘルツ基準ビームの対応する異なる相対位相を有する複数のアップコンバージョン済みテラヘルツ画像を取得するステップと、を更に有し、それぞれのアップコンバージョン済み画像の位置依存性強度は、前記テラヘルツ画像ビーム及び前記テラヘルツ基準ビームの対応する位置依存性相対位相に少なくとも部分的に依存していることを特徴とする方法。
- 対象物のアップコンバージョン済みテラヘルツ画像を取得する装置において、
(a)約0.05THz〜約10THzのテラヘルツ周波数、テラヘルツ帯域幅、及びテラヘルツ平均パワーを特徴とする連続波テラヘルツ撮像ビームによって前記対象物を照明するように構成されたテラヘルツ供給源と、
(b)前記対象物によって若しくはその周辺において透過された、又は、前記対象物から反射若しくは散乱された、前記テラヘルツ撮像ビームの少なくとの一部分を収集し、且つ、非線形光学媒体を通じてテラヘルツ画像ビームとして伝播するように、前記一部分を導くように構成された1つ又は複数のテラヘルツ光学コンポーネントであって、前記テラヘルツ画像ビームは、前記非線形光学媒体におけるテラヘルツ画像ビームサイズを特徴としている、テラヘルツ光学コンポーネントと、
(c)連続波アップコンバージョンビームを放出するように構成された光源と、
(d)前記非線形光学媒体を通じて伝播するように、前記アップコンバージョンビームを導くように構成された1つ又は複数の光学コンポーネントであって、前記アップコンバージョンビームは、前記非線形光学媒体内において前記テラヘルツ画像ビームと少なくとも部分的に空間的にオーバーラップしており、且つ、アップコンバージョン波長、アップコンバージョン帯域幅、アップコンバージョン平均パワー、及び前記非線形光学媒体におけるアップコンバージョンビームサイズを特徴としている、光学コンポーネントと、
(e)前記非線形光学媒体であって、前記非線形光学媒体内における前記テラヘルツ画像ビームと前記アップコンバージョンビームの非線形光学相互作用により、前記テラヘルツ画像ビームと前記アップコンバージョンビームとの間の和又は差周波数生成によって生成された一方又は両方の波長を特徴とするアップコンバージョン画像ビームを形成するべく、前記テラヘルツ画像ビームの少なくとも一部分をアップコンバージョンするように構成された非線形光学媒体と、
(f)前記アップコンバージョン済み画像ビームの少なくとも一部分を受け取り、且つ、前記アップコンバージョン済み画像ビームによって画像検出器において形成されたアップコンバージョン済み画像を検出するように構成された画像検出器と、
(g)前記アップコンバージョンビームの約106分の1未満が前記画像検出器に到達することを許容するように構成された画像フィルタリング要素と、
を有し、
(h)前記アップコンバージョン波長は、約400nm〜約3500nmであり、前記アップコンバージョン帯域幅は、約0.1nm未満であり、且つ、前記アップコンバージョン平均パワーは、約1W超であることを特徴とする装置。 - 請求項18に記載の装置において、前記アップコンバージョン波長は、約1000nm〜約1100nmであり、前記アップコンバージョン帯域幅は、約0.01nm未満であり、且つ、前記アップコンバージョン平均パワーは、約10W超であることを特徴とする装置。
- 請求項18に記載の装置において、前記アップコンバージョン波長は、約1500nm〜約1600nmであり、前記アップコンバージョン帯域幅は、約0.01nm未満であり、且つ、前記アップコンバージョン平均パワーは、約5W超であることを特徴とする装置。
- 請求項18に記載の装置において、前記アップコンバージョンビームの供給源は、固体レーザー、ファイバレーザー、又は半導体レーザーであることを特徴とする装置。
- 請求項18に記載の装置において、前記テラヘルツ周波数は、約3THz未満であり、且つ、前記テラヘルツ平均パワーは、約0.3W超であることを特徴とする装置。
- 請求項18に記載の装置において、前記テラヘルツ周波数は、約1.6Thz未満であり、且つ、前記テラヘルツ平均パワーは、約0.5W超であることを特徴とする装置。
- 請求項18に記載の装置において、前記テラヘルツビームの供給源は、後進波型発振器、1つ又は複数のテラヘルツ増幅器、又は1つ又は複数の高調波生成器を含むことを特徴とする装置。
- 請求項18に記載の装置において、前記画像フィルタリング要素は、1つ又は複数の波長依存性フィルタを含むことを特徴とする装置。
- 請求項25に記載の装置において、前記1つ又は複数の波長依存性フィルタのうちの少なくとも1つは、前記アップコンバージョン波長と前記アップコンバージョン済み画像波長のうちの1つとの間の公称カットオフ波長を有するショートパス又はロングパスフィルタを有することを特徴とする装置。
- 請求項25に記載の装置において、前記1つ又は複数の波長依存性フィルタのうちの少なくとも1つは、前記アップコンバージョン波長を含む拒絶帯域幅を有するノッチフィルタを有することを特徴とする装置。
- 請求項18に記載の装置において、前記アップコンバージョンビーム及び前記アップコンバージョン済み画像ビームは、相互の関係において実質的に直交するように偏光されており、且つ、前記画像フィルタリング要素は、前記アップコンバージョンビームを実質的に阻止するように構成された1つ又は複数の偏光器を含むことを特徴とする装置。
- 請求項18に記載の装置において、前記非線形光学媒体は、前記非線形光学相互作用が、準位相整合されたプロセスとなるように、構成されていることを特徴とする装置。
- 請求項29に記載の装置において、前記非線形光学媒体は、非線形光学材料の2枚以上の光学的に接触したプレートの積層体を有することを特徴とする装置。
- 請求項18に記載の装置において、(i)前記1つ又は複数のテラヘルツ光学コンポーネントは、前記テラヘルツ撮像ビームの前記一部分を収集し、且つ、前記非線形光学媒体を通じて伝播するように、前記テラヘルツ画像ビームを導くように構成された第1合焦要素を含み、(ii)前記対象物及び前記非線形光学媒体は、前記テラヘルツ画像ビームが前記非線形光学媒体において前記対象物のテラヘルツ画像を形成するように、前記第1合焦要素の個々の共役面において位置決めされ、(iii)前記1つ又は複数の光学コンポーネントは、前記アップコンバージョン済み画像ビームの前記一部分を収集し、且つ、前記画像検出器まで伝播するように、前記アップコンバージョン済み画像ビームを導くように構成された第2合焦要素を含み、且つ、(iv)前記非線形光学媒体及び前記画像検出器は、前記アップコンバージョン済み画像ビームが前記画像検出器において前記アップコンバージョン済み画像を形成するように、前記第2合焦要素の個々の共役面において位置決めされていることを特徴とする装置。
- 請求項18に記載の装置において、(i)前記1つ又は複数のテラヘルツ光学コンポーネントは、前記テラヘルツ撮像ビームの前記一部分を収集し、且つ、前記非線形光学媒体を通じて伝播するように、前記テラヘルツ画像ビームを導くように構成された、有効焦点距離f1を特徴とする、第1合焦要素を含み、(ii)前記対象物及び前記非線形光学媒体は、前記テラヘルツ画像ビームが前記非線形光学媒体において前記対象物のテラヘルツ画像の空間フーリエ変換を形成するように、それぞれ、前記第1合焦要素から約f1の距離において位置決めされており、(iii)前記1つ又は複数の光学コンポーネントは、前記アップコンバージョン済み画像ビームの前記一部分を収集し、且つ、前記画像検出器まで伝播するように、前記アップコンバージョン済み画像ビームを導くように構成された、有効焦点距離f2を特徴とする、第2合焦要素を含み、且つ、(iv)前記非線形光学媒体及び前記画像検出器は、前記アップコンバージョン済み画像ビームが前記画像検出器において前記アップコンバージョン済み画像を形成するように、それぞれ、前記第2合焦要素から約f2の距離において位置決めされていることを特徴とする装置。
- 請求項18に記載の装置において、前記画像検出器は、撮像検出器アレイの複数の対応する検出器要素上において前記アップコンバージョン済み画像ビームの異なる空間的部分を同時に受け取るように位置決めし、構成された前記撮像検出器アレイを有することを特徴とする装置。
- 請求項18に記載の装置において、前記1つ又は複数のテラヘルツ光学コンポーネントは、テラヘルツ基準ビームを形成するべく、前記テラヘルツ撮像ビームの一部分を分割し、且つ、前記テラヘルツ画像ビーム及び前記テラヘルツ基準ビームの異なる相対位相を伴って、前記非線形光学媒体を通じて共伝播するように、前記テラヘルツ基準ビームと前記テラヘルツ画像ビームとを組み合わせるように構成されており、且つ、それぞれのアップコンバージョン済み画像の位置依存性強度は、前記テラヘルツ画像ビーム及び前記テラヘルツ基準ビームの対応する位置依存性相対位相に少なくとも部分的に依存していることを特徴とする装置。
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