JP6689985B2 - 磁気測定用途に最適化された窒素含有単結晶ダイヤモンド材料 - Google Patents
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Description
特定の欠陥は、これらが負電荷状態にあるとき、センシングおよび量子処理用途に特に有用であることが見出されている。例えば、合成ダイヤモンド材料中の負に帯電した窒素空孔欠陥(NV-)は、有用な量子スピン欠陥として大きな関心を引いており、その理由は、これが、
(i)その電子スピン状態は、高い忠実度でコヒーレントに操作することができ、極めて長いコヒーレンス時間(これは、横緩和時間T2および/またはT2 *を使用して定量化および比較することができる)を有し得る、
(ii)その電子構造により、欠陥が光学的にポンピングされてその電子基底状態になることが可能になり、このような欠陥を、非極低温度でも、特定の電子スピン状態に置くことが可能になる。これにより、小型化が望まれる特定の用途において、高価で嵩張る極低温冷却装置の必要性を無くすことができる。さらに欠陥は、全てが同じスピン状態を有する光子源として機能することができる、
(iii)その電子構造は、発光性および非発光性電子スピン状態を含み、これにより、欠陥の電子スピン状態を光子によって読み出すことが可能になる。これは、磁気測定、スピン共鳴分光法およびスピン共鳴イメージングなどのセンシング用途で使用する合成ダイヤモンド材料から情報を読み出すのに好都合である。さらに、これは、長距離量子通信およびスケーラブルな量子計算のための量子ビットとしてNV-欠陥を使用することに向けての重要な要因である。このような結果により、NV-欠陥は、固体状態量子情報処理(QIP)の競合候補になる
ということを含む、いくつかの望ましい特徴を有するためである。
合成ダイヤモンド材料中のNV-欠陥は、以下の方法、すなわち、
(i)合成ダイヤモンド材料の成長中に、窒素空孔対として窒素原子と空格子点を結晶格子に組み込む、合成ダイヤモンド材料の成長中に形成する方法、
(ii)ダイヤモンド材料を合成した後に、成長プロセス中に組み込まれた天然の窒素および空孔欠陥から、ある温度(約800℃)で材料をポスト成長アニーリングすることで結晶格子を通じて空孔欠陥を移動させ、天然の単一置換窒素欠陥と対にすることにより、形成する方法、
(iii)ダイヤモンド材料を合成した後に、成長プロセス中に組み込まれた天然の窒素欠陥から、合成ダイヤモンド材料を照射して空孔欠陥を導入し、次いで、ある温度で材料をアニーリングすることで結晶格子を通じて空孔欠陥を移動させ、天然の単一置換窒素欠陥と対にすることにより、形成する方法、
(iv)ダイヤモンド材料を合成した後に、窒素欠陥を合成ダイヤモンド材料に注入し、次いで、ある温度で材料をアニーリングすることで結晶格子を通じて天然の空孔欠陥を移動させ、注入した単一置換窒素欠陥と対にすることにより、ダイヤモンド材料の合成後に形成する方法、ならびに
(v)ダイヤモンド材料を合成した後に、合成ダイヤモンド材料を照射して空孔欠陥を導入し、照射前または後に窒素欠陥を合成ダイヤモンド材料に注入し、ある温度で材料をアニーリングすることで結晶格子を通じて空孔欠陥を移動させ、注入した単一置換窒素欠陥と対にすることにより、形成する方法
を含む、多くの異なる方法で形成することができる。
磁気測定用途のための高圧高温(HPHT)ダイヤモンド材料の特性について考察している、Acosta et al., Phys. Rev. B 80, 115202、
磁気測定などの用途のための、窒素含量が低い単結晶化学蒸着(CVD)ダイヤモンド材料を開示している、WO2010/010352およびWO2010/010344、ならびに
磁気測定などの用途のための、照射されアニーリングされた単結晶CVDダイヤモンド材料を開示している、WO2010/149775
を含む従来技術において開示されている。
中性窒素空孔欠陥(NV0)と、
負に帯電した窒素空孔欠陥(NV-)と、
中性窒素空孔欠陥(NV0)に電荷を移動させてそれらを負に帯電した窒素空孔欠陥(NV-)に変換する単一置換窒素欠陥(Ns)と
を含む、単結晶ダイヤモンド材料であって、
単結晶ダイヤモンド材料は、少なくとも2の磁気測定性能指数(FOM)を有し、磁気測定性能指数が、
本発明の第2の態様によれば、本発明の第1の態様の単結晶ダイヤモンド材料を含む磁力計が提供される。
本発明をよりよく理解し、どのように実施することができるかを示すために、本発明の実施形態を、添付の図面を参照しながら、単なる例として以下に説明する。
ダイヤモンドベースの磁力計の磁場感度は、以下の形式
の単位(通常、ナノテスラ(nT)またはピコテスラ(pT)で)が頻繁に使用される。
本発明は、ダイヤモンドベースの磁力計の材料関連態様を最適化することに関し、したがって、等式2の項に影響を及ぼす材料の特性を同定することが有用である。NV中心の一定の割合が励起される(およびその光学発光が検出される)ことが可能であると仮定すると、nNVは負に帯電したNV欠陥の濃度[NV-]に比例する。
試料中の中性NV中心([NV0])の存在は、2つの理由でデバイス感度に有害である。第1に、それは常磁性であり、したがって、T2 */T2の値を制限し得る。第2に、NV0の発光スペクトルは、NV-欠陥のフォノンサイドバンド(phonon sideband)と部分的に重なっている。これによりコントラスト(α)を減少させるバックグラウンドルミネッセンスを引き起こす。したがって、以後、Rと呼ぶ[NV-]/[NV0]の比率は、αの材料ベースの項である。これらの項を組み合わせて等式2を使用すると、ダイヤモンドベースの磁気測定用途の材料性能指数(FOM)が得られる。
本発明者らによって開発されたCVDダイヤモンド成長レシピおよび処理スキームは、材料設計におけるこの所望の柔軟性を提供し、後述するように、種々の窒素濃度に対して高いFOMを達成することができる。
下の表は、より低い[N]レシピ(約1ppm[N]solid)と比較して、いくつかの8ppmおよび25ppm[N]solidダイヤモンド製造プロセスを使用して製造した試料の結果を示す。表中、「bdl」は測定技術の検出限界未満の値を意味し、括弧内の値は最終有効数字の不確実性を意味し、εは開始[N]から[NV]totalへの変換%であり、Rは[NV0]に対する[NV-]の比率である。FOMDCは、先に定義した等式3を使用して計算する。本発明による例は、少なくとも2、より好ましくは少なくとも3であるFOMDC値を有する。他の試料は反例を示す。
上記の観点から、本発明の一態様は、
中性窒素空孔欠陥(NV0)と、
負に帯電した窒素空孔欠陥(NV-)と、
中性窒素空孔欠陥(NV0)に電荷を移動させてそれらを負に帯電した窒素空孔欠陥(NV-)に変換する単一置換窒素欠陥(Ns)と
を含む、単結晶ダイヤモンド材料であって、
単結晶ダイヤモンド材料が、少なくとも2、より好ましくは少なくとも3の磁気測定性能指数(FOM)を有し、磁気測定性能指数が、
(式中、Rは、負に帯電した窒素空孔欠陥の中性窒素空孔欠陥に対する濃度比([NV-]/[NV0])であり、[NV-]は、原子百万分率(ppm)で測定した、単結晶ダイヤモンド材料の負に帯電した窒素空孔欠陥の濃度であり、[NV0]は、原子百万分率(ppm)で測定した、単結晶ダイヤモンド材料の中性窒素空孔欠陥の濃度であり、T2’は、マイクロ秒(μ秒)単位のNV-欠陥のデコヒーレンス時間であり、T2’は、DC磁気測定の場合はT2 *、AC磁気測定の場合はT2である)
により定義されることを特徴とする、単結晶ダイヤモンド材料を提供する。濃度はppm単位であり、デコヒーレンス時間はμ秒単位であるため、FOMの単位はppm1/2ms1/2である。
高いFOMを達成することが望ましいが、本明細書に記載の方法を使用することによって達成可能なFOMの合理的な上限は、10、15、または20である。これは、1をはるかに下回るFOMを有する、従来技術の低窒素単結晶ダイヤモンド試料と対照的である。さらに、これは、最適に成長しておらず、最適に処理されていないため、高いFOM値を達成していない、他の高窒素単結晶ダイヤモンド試料とも対照的である。
前述のように高いFOM値を達成するためには、単結晶ダイヤモンド材料が以下の特徴、すなわち、
少なくとも3、4、5、6または7、任意に20、15または10以下である比率R([NV-]/[NV0])、
少なくとも1.3ppm、1.5ppm、または1.7ppm、任意に10ppm、5ppm、3ppm、または2ppm以下である濃度[NV-]、
少なくとも0.4μ秒、0.5μ秒、0.6μ秒、または0.7μ秒、任意に5μ秒、3μ秒、または1μ秒以下であるT2 *、および
少なくとも3ppm、5ppm、8ppm、12ppm、18ppm、または25ppm、任意に300ppm、100ppmまたは50ppm以下の全窒素濃度
のうちの1つまたは複数を含むことが有利である。
ダイヤモンド試料の厚さを増加させる1つの方法は、複数のダイヤモンド試料を一緒に融合して、使用することである。この方法では、磁力計において、単一のレーザーを使用して、組み合わせた試料の全深さにわたってNV-中心を励起することができる。このようなアプローチの1つの問題点は、ダイヤモンド試料に格子のずれがあると、NV-欠陥はダイヤモンド試料間でずれを生じ、このことは、外部磁場に対するNV-欠陥の配向に依存する磁力計のコントラストおよび感度に悪影響を及ぼし得る。しかし、このように2つ以上のダイヤモンド試料を組み合わせることには、以下に示すように、2つのダイヤモンド試料の角度の整列に関して不当な精度を置かずに感度を高める可能性があることが見出された。特に、積み重ねられた2つのダイヤモンドの間のわずかなずれは、磁気測定用途において許容され得ることが見出された。例えば、このずれは、5°、4°、3°、2°、または1°以下であってもよく、これは実験的に達成可能である。
本発明の窒素含有単結晶ダイヤモンド材料のファミリーは、自立型で提供してもよく、またはより大きな単結晶ダイヤモンドの一部として提供してもよいことにも留意すべきである。例えば、本発明による材料の層または領域を含む単結晶ダイヤモンドを製造することができる。結晶の残部は、異なる組成、例えば高純度のダイヤモンド格子を有してもよい。このような構成は、窒素含量が高い本材料の実施形態を利用する場合に有用である。これは、そのような材料は強い蛍光信号を生成することができる一方、信号の一部が高い窒素含量の材料内に吸収されて感度の損失を招くためである。より低い窒素含量のダイヤモンド材料中にこのような材料の領域または層を設けることにより、ダイヤモンド成分内の蛍光信号の吸収を低減することができる。本発明による材料と組み合わせた高純度の層または領域の使用は、実際に多くの利点を提供し得る。例えば、本発明による材料を(1つまたは複数の方向において)取り囲む高純度領域は、窒素空孔欠陥の発光波長において低い光学吸収を有するように設計することができ、これにより、窒素空孔発光収集の効率に関して、利点を提供し得る。さらに、窒素空孔欠陥共鳴線は、温度にも敏感である。したがって、取り囲むダイヤモンド塊は、熱抽出、温度制御において潜在的な利点を提供し、したがって、磁場測定の感度/精度において潜在的な利点を提供する。
マイクロ波出力=5kW
圧力=230Torr
水素流量=580標準立方センチメートル/分(sccm)
メタン流量=12sccm
窒素ドーパント=H2中1000ppm、30sccmのN2
窒素レベルなどのパラメータは、最終生成物中の所望の窒素濃度に応じて変えることができる。任意に、酸素を成長プロセスに添加することもできる。成長後、単結晶ダイヤモンド材料を、前述のように最適化された照射およびアニーリングプロセスを用いて処理する。窒素含有ダイヤモンド材料の成長とそれに続く照射およびアニーリングは、当該技術分野でこれまでに開示されているが、ここでの違いは、成長、照射およびアニーリングのステップを、磁気測定用途のために、本明細書で定義された性能指数に従って最適化することである。生成物の材料は、次のように特徴付けることができる。
材料固有のものではなく、すなわち欠陥(構造または点不純物)の存在を介して導入される吸収の場合、欠陥のゼロフォノン線(ZPL)にわたる積分吸収係数は、そのZPLをもたらす欠陥の密度に関連し得る。ダイヤモンドにおけるNVの場合、これらのZPLは、NV-については637nm(1.945eV)に、NV0については575nm(2.156eV)にそれぞれ現れる。したがって、ZPL下での積分吸収を欠陥密度に関連付ける、関連する較正定数が知られていれば、UV−VIS−NIR分光法(以後、UV−Visと称する)を定量技術として使用することができる。これらの定数の知識は、ダイヤモンドにおける欠陥分光法の基礎に関する以前の学術研究から得たものであり、例えば、G Davies, "Current problems in diamond: towards a quantitative understanding", Physica B 273-274 (1999) 15-23を参照のこと。
UV−Vis吸収測定中の試料の温度は、吸収スペクトルの形態に大いに影響を与える。ダイヤモンド中における、欠陥とフォノンによる格子との相互作用に起因して、ダイヤモンドの各特性吸収ピーク(ZPL)は、関連する振電サイドバンド(vibronic sideband)を有する。さらに、ZPL線幅は、温度の上昇と共に増加し、次いで、欠陥の振電サイドバンド(または他の近接するフィーチャ(feature))と重なる可能性がある。温度を低下させるとZPLの線幅が減少するので、温度低下が測定されると、バックグラウンドノイズに対する吸収ピークの可視性も増加する。このため、欠陥濃度(および関連する較正係数)は、液体Nの温度、すなわち77Kであるかまたは77Kをちょうど超える温度で動作するクライオスタット内に試料を置くことによって決定する。
したがって、実験的に観察したFIDは、一般に、以下の数式
(式中、τは自由行列時間間隔(free procession time interval)であり、εはフィッッティングの当てはまり具合(quality of the fit)を改善するための要素であり(ε=1.0が理想である)、βmは各超微細寄与の重み付けであり(β1,2,3=1/3が理想的である)、δは、NVセンターライン位置からの離調である)。
比較可能な実験装置を使用して、当業者に周知のハーンエコー実験によってT2を決定した。
[NV]の関数としてのT2 *およびT2のプロットを、図1および図2に示す。図1は、先の表に由来する照合データを示しており、3つの異なるCVDレシピ(1ppm、8.5ppm、および25ppm)について、総[NV]の関数としてT2(ハーンエコー)を示している。3ppmレシピの予想される位置も図解している。図2も、先の表に由来する照合データを示しており、3つの異なるCVDレシピについて、総[NV]の関数としてT2 *を示している。ここでもまた、3ppmレシピについての予想される位置が示されている。
次に、本発明の好ましい態様を示す。
1. 中性窒素空孔欠陥(NV 0 )と、
負に帯電した窒素空孔欠陥(NV - )と、
中性窒素空孔欠陥(NV 0 )に電荷を移動させてそれらを負に帯電した窒素空孔欠陥(NV - )に変換する単一置換窒素欠陥(N s )と
を含む、単結晶ダイヤモンド材料であって、
単結晶ダイヤモンド材料が、少なくとも2の磁気測定性能指数(FOM)を有し、磁気測定性能指数が、
により定義されることを特徴とする、単結晶ダイヤモンド材料。
2. FOMが少なくとも3である、上記1に記載の単結晶ダイヤモンド材料。
3. FOMが少なくとも4である、上記1または2に記載の単結晶ダイヤモンド材料。
4. FOMが少なくとも5である、上記1から3までのいずれか1項に記載の単結晶ダイヤモンド材料。
5. FOMが少なくとも6である、上記1から4までのいずれか1項に記載の単結晶ダイヤモンド材料。
6. FOMが少なくとも7である、上記1から5までのいずれか1項に記載の単結晶ダイヤモンド材料。
7. Rが少なくとも4である、上記1から6までのいずれか1項に記載の単結晶ダイヤモンド材料。
8. Rが少なくとも5である、上記1から7までのいずれか1項に記載の単結晶ダイヤモンド材料。
9. Rが少なくとも6である、上記1から8までのいずれか1項に記載の単結晶ダイヤモンド材料。
10. Rが少なくとも7である、上記1から9までのいずれか1項に記載の単結晶ダイヤモンド材料。
11. [NV - ]が少なくとも1.3ppmである、上記1から10までのいずれか1項に記載の単結晶ダイヤモンド材料。
12. [NV - ]が少なくとも1.5ppmである、上記1から11までのいずれか1項に記載の単結晶ダイヤモンド材料。
13. [NV - ]が少なくとも1.7ppmである、上記1から12までのいずれか1項に記載の単結晶ダイヤモンド材料。
14. T 2 * が少なくとも0.4μである、上記1から13までのいずれか1項に記載の単結晶ダイヤモンド材料。
15. T 2 * が少なくとも0.5μ秒である、上記1から14までのいずれか1項に記載の単結晶ダイヤモンド材料。
16. T 2 * が少なくとも0.6μ秒である、上記1から15までのいずれか1項に記載の単結晶ダイヤモンド材料。
17. T 2 * が少なくとも0.7μ秒である、上記1から16までのいずれか1項に記載の単結晶ダイヤモンド材料。
18. 少なくとも3ppmの全窒素濃度を有する、上記1から17までのいずれか1項に記載の単結晶ダイヤモンド材料。
19. 少なくとも5ppmの全窒素濃度を有する、上記1から18までのいずれか1項に記載の単結晶ダイヤモンド材料。
20. 少なくとも8ppmの全窒素濃度を有する、上記1から19までのいずれか1項に記載の単結晶ダイヤモンド材料。
21. 少なくとも12ppmの全窒素濃度を有する、上記1から20までのいずれか1項に記載の単結晶ダイヤモンド材料。
22. 少なくとも18ppmの全窒素濃度を有する、上記1から21までのいずれか1項に記載の単結晶ダイヤモンド材料。
23. 少なくとも25ppmの全窒素濃度を有する、上記1から22までのいずれか1項に記載の単結晶ダイヤモンド材料。
24. 単結晶CVDダイヤモンドである、上記1から23までのいずれか1項に記載の単結晶ダイヤモンド材料。
25. 少なくとも0.5mmの3つの直交寸法を有する、上記1から24までのいずれか1項に記載の単結晶ダイヤモンド材料。
26. 単結晶ダイヤモンド材料中の全窒素濃度の0.4%よりも高い 15 N濃度、および/または 14 NV+ 15 NVにより与えられる全NV濃度の0.4%よりも高い 15 NV濃度を有する、上記1から25までのいずれか1項に記載の単結晶ダイヤモンド材料。
27. より低い窒素含量のダイヤモンド材料中に、上記1から26までのいずれか1項に記載の単結晶ダイヤモンド材料の領域または層を含む、ダイヤモンド成分。
28. 上記1から26のいずれか1項に記載の単結晶ダイヤモンド材料または上記27に記載のダイヤモンド成分を含む、磁力計。
Claims (9)
- 中性窒素空孔欠陥(NV0)と、
負に帯電した窒素空孔欠陥(NV-)と、
中性窒素空孔欠陥(NV0)に電荷を移動させてそれらを負に帯電した窒素空孔欠陥(NV-)に変換する単一置換窒素欠陥(Ns)と
を含む、単結晶ダイヤモンド材料であって、
単結晶ダイヤモンド材料が、少なくとも2の磁気測定性能指数(FOM)を有し、磁気測定性能指数が、
により定義され、[NV - ]が少なくとも1.3ppmであることを特徴とする、単結晶ダイヤモンド材料。 - FOMが少なくとも3、少なくとも4、少なくとも5、少なくとも6、および少なくとも7のいずれかから選択される、請求項1に記載の単結晶ダイヤモンド材料。
- Rが少なくとも4、少なくとも5、少なくとも6、および少なくとも7のいずれかから選択される、請求項1または2に記載の単結晶ダイヤモンド材料。
- [NV-]が少なくとも1.5ppm、および少なくとも1.7ppmのいずれかから選択される、請求項1から3までのいずれか1項に記載の単結晶ダイヤモンド材料。
- T2 *が少なくとも0.4μ秒、少なくとも0.5μ秒、少なくとも0.6μ秒、および少なくとも0.7μ秒のいずれかから選択される、請求項1から4までのいずれか1項に記載の単結晶ダイヤモンド材料。
- 少なくとも3ppm、少なくとも5ppm、少なくとも8ppm、少なくとも12ppm、少なくとも18ppm、および少なくとも25ppmのいずれかから選択される全窒素濃度を有する、請求項1から5までのいずれか1項に記載の単結晶ダイヤモンド材料。
- 単結晶CVDダイヤモンドである、請求項1から6までのいずれか1項に記載の単結晶ダイヤモンド材料。
- 少なくとも0.5mmの3つの直交寸法を有する、請求項1から7までのいずれか1項に記載の単結晶ダイヤモンド材料。
- 単結晶ダイヤモンド材料中の全窒素濃度の0.4%よりも高い15N濃度、および/または14NV+15NVにより与えられる全NV濃度の0.4%よりも高い15NV濃度を有する、請求項1から8までのいずれか1項に記載の単結晶ダイヤモンド材料。
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