JP7438114B2 - スピン不純物を含む合成エンジニアリングダイヤモンド材料及びその製造方法 - Google Patents
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Description
本発明は、全米科学財団から授与された認可番号DMR-1420541および1640959の下で政府の支援を受けて行われた。政府は本発明に一定の権利を有する。
この出願は、2017年9月18日に出願された米国仮出願第62/559,918号に対する優先権を主張し、それはその全体が参照により本明細書に組み込まれる。
これは、一般に合成ダイヤモンド材料に関し、より詳細には、改善されたスピンコヒーレンスおよび発光特性を有するスピン欠陥を生成するためにダイヤモンドを合成することおよび処理することに関する。
カラーセンターとして知られるダイヤモンド中の点欠陥は、量子科学および量子情報処理のための有望な物理的プラットフォームである。それらは、量子ネットワークと長距離量子通信を可能にする単一原子量子メモリの特に有望な候補である。原子のようなシステムとして、それらは優れたスピンコヒーレンスを示し、光で操作することができる。固体欠陥として、それらを高密度で一緒に配置し、スケーラブルなデバイス中に組み込むことができる。ダイヤモンドは非常に優れたホストである。それは、大きなバンドギャップがあり、サブppbの不純物濃度で合成でき、同位体的に精製して核スピンからの磁気ノイズを除去できる。(G. Balasubramanian et al., Ultralong spin coherence time in isotopically engineered diamond. Nat. Mater. 8, 383-387 (2009).)
本発明は、SiV-の魅力的な光学特性とNV-の長いスピンコヒーレンス時間とを組み合わせた物質の組成物、およびその組成物を作成するための手段に関する。
スピン不純物を含む量子および光学用途のための合成操作されたダイヤモンド材料およびそれを製造する方法が開示される。より具体的には、既知の色中心であるダイヤモンド中の中性シリコン空孔中心(SiV0)の新しい電荷状態を高効率で安定化するためのプロセスが開示されている。以前に設計または観察されたことのない高比率のSiV0を含むという点で、新しい材料も開示されている。
単一のサンプルにおいて広範囲の相対的な共欠陥濃度にアクセスすることを可能にする変調ドープダイヤモンド(層状サンプル)が作成された。このダイヤモンドは、高圧高温基板上でマイクロ波プラズマ強化化学蒸着によって成長し、成長全体を通じてホウ素とシリコンの両方の濃度が増加した。ホウ素前駆体を遮断して、サンプルの中央に200μmの低ホウ素([B]<35ppb)領域を作成した。この層状サンプルでは、バルクPLで946nmの発光が観測され、バルクXバンド(9.7GHz)ESRでKUL1センターも観測された。
成長中にホウ素(1×1017cm-3)およびシリコン(~1×1017cm-3)で別のダイヤモンドをドープし、続いて2000℃でアニールしたHPHTにより、SiV0濃度が4×1016cm-3になった。シリコン前駆体は、同位体的に90%の29Siで濃縮された。
[B]=1ppm、[N]<5ppbの高純度ダイヤモンド中に28Siを注入することにより、SiV0の均一な面積分布を有する均一なサンプルを作製した。具体的には、イオン注入前に、ホウ素が、成長プロセス中に1017cm-3の濃度でダイヤモンド中に導入された。5-10μmのダイヤモンドをエッチングして、研磨による表面下の損傷を取り除いた。ダイヤモンドの表面は、誘導結合プラズマ反応性イオンエッチャー(ICP-RIE, PlasmaTherm)を使用して、最初にAr/Cl2化学反応で次にO2作用であるストレインレリーフでエッチングされた。スピン間の双極子相互作用を回避しながらバルクスピン信号を最適化するために、注入量(深さ)はマルチ工程注入によって最大化された。市販されている最大注入エネルギーは400keV(Innovion)であった。これは、約450nmのSi注入深さに相当する。以下の表1で説明するように、合計7つの注入工程を使用して、この最大深度まで均一な分布を生成し、[28Si]=3.0×1011cm-2の全フルエンスと(7×1015cm-3)の体積密度となった。
Claims (15)
- 以下を含む物質の組成物であって:
ダイヤモンド格子中の炭素;
ダイヤモンド格子中の中性シリコン空孔中心(SiV0);
0.1ppm~3ppmの濃度のダイヤモンド格子中のアクセプタードーパント;
ここで、当該物質の組成物は、約946nmの中性シリコン空孔中心から生じる光ルミネセンス放出ピークを示し;そして
ここで、中性シリコン空孔中心のゼロフォノン線は、40K未満の温度で少なくとも1msの時間スケールにわたり、500MHz以下の半値全幅固有不均質ゼロフォノン線幅を持っている、前記の物質の組成物。 - 少なくとも1つの中性シリコン空孔中心が、前記物質の組成物の表面から1ミクロン以下である、請求項1に記載の物質の組成物。
- 1ppm以下の濃度でダイヤモンド格子中にシリコンの総濃度をさらに含み、28Siに対する中性シリコン空孔中心の比が少なくとも4:1である、請求項1に記載の組成物。
- 中性シリコン空孔中心が、バルク光ルミネセンス励起状態寿命限界によって決定される変換制限線幅の1~20倍の光学線幅を有する、請求項1に記載の組成物。
- 中性シリコン空孔中心が、20K未満の時に、20秒~500秒のスピン緩和時間を有するように構成されるか、中性シリコン空孔中心が、20K未満の時に、0.5ミリ秒から1秒の間の電子スピンコヒーレンス時間を有するように構成されるか、中性シリコン空孔中心の中に組み込まれたシリコン同位体が、29Siであるか、ダイヤモンド格子中の13Cのパーセンテージが、自然存在量以下に抑制されるか、または、それらの組み合わせである、請求項1に記載の組成物。
- 中性シリコン空孔中心のゼロフォノン線が、250MHz以下および100MHz以下からなる群のいずれかから選択される半値全幅固有不均質ゼロフォノン線幅を有する、請求項1に記載の組成物。
- 請求項1に記載の物質の組成物を製造する方法であって、
前記物質の組成物が、複数の中性シリコン空孔中心を含むダイヤモンドを含み、
0.1ppm~3ppmの濃度のアクセプタードーパントおよび1ppm以下のシリコンを含むダイヤモンドを提供すること;及び
当該ダイヤモンドを第一の温度でアニールすること、
を含む、前記の方法。 - 前記アクセプタードーパントがホウ素を含む、請求項7に記載の方法。
- ダイヤモンドが50ppb以下の中性非補償窒素を含む、請求項7に記載の方法。
- ダイヤモンド中にアクセプター原子、シリコン、またはその両方を注入またはドーピングすることをさらに含む、請求項7に記載の方法。
- 以下をさらに含む、請求項7に記載の方法:
第1の温度でアニーリングする前に、第2の温度でダイヤモンドをアニーリングすること、ここで、第1の温度は第2の温度より高い;及び
第1の温度でのアニーリングの後に、ダイヤモンドを第3の温度でアニーリングすること、ここで、第3の温度は第1の温度よりも高い。 - 前記第2の温度が350℃から450℃の間であり、前記第1の温度が600℃から900℃の間であり、前記第3の温度が1100℃以上である、請求項11に記載の方法。
- ダイヤモンドがマイクロ波プラズマ増強化学蒸着により合成される、請求項7に記載の方法。
- 合成中に、0.1ppm~2ppmのアクセプター原子濃度でダイヤモンドをドープすることをさらに含む、請求項7に記載の方法。
- 中性シリコン空孔中心を含む合成ダイヤモンド材料を製造する方法であって、
単結晶ダイヤモンド基板を提供すること;
炭素原料、アクセプタードーパント原料、およびシリコン原料を含むプロセス原料を提供すること;
合成ダイヤモンド材料が0.1ppm~3ppmの濃度のアクセプタードーパントおよび1ppm以下のシリコンを含むように、プロセス原料を利用してマイクロ波プラズマ増強化学蒸着により合成ダイヤモンド材料を成長させること、
を含む、前記の方法。
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008543718A (ja) | 2005-06-22 | 2008-12-04 | エレメント シックス リミテッド | ハイカラーのダイヤモンド層 |
JP2016505494A (ja) | 2012-12-13 | 2016-02-25 | エレメント シックス テクノロジーズ リミテッド | 量子光学的用途のための合成ダイヤモンド材料およびその作製方法 |
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Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20130175546A1 (en) * | 2012-01-06 | 2013-07-11 | Akhan Technologies, Inc. | Diamond Semiconductor System and Method |
US9486163B2 (en) * | 2014-02-21 | 2016-11-08 | Verily Life Sciences Llc | Silicon-vacancy-doped nanodiamonds for molecular and cellular imaging |
GB2540537A (en) * | 2015-07-03 | 2017-01-25 | Univ Oxford Innovation Ltd | Crystal defects |
CN109796223A (zh) * | 2019-01-23 | 2019-05-24 | 太原科技大学 | 金刚石中硅空位缺陷与gr1中性空位缺陷相互转化的方法 |
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JP2016505494A (ja) | 2012-12-13 | 2016-02-25 | エレメント シックス テクノロジーズ リミテッド | 量子光学的用途のための合成ダイヤモンド材料およびその作製方法 |
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