JP6667081B2 - 超音波デバイスとこれを用いた超音波センサ - Google Patents

超音波デバイスとこれを用いた超音波センサ Download PDF

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Description

本開示は、超音波の送波または受波、あるいはその両方を行なう超音波デバイスとこれを用いた超音波センサに関する。
図15Aは、従来の超音波デバイス1の斜視図である。図15Bは、従来の超音波デバイス1の断面図である。図15Cは、従来の超音波デバイス1のケース2の上面図である。従来の超音波デバイス1は、有底筒状のケース2と、圧電素子3と、一対のリード線5と、充填材4とを有する。圧電素子3は、ケース2の内底面に設置されている。充填材4は、ケース2を封止する。一対のリード線5は、圧電素子3に電力を供給する。超音波デバイス1は、例えば、車両の後端に取り付けられて、車両後方の障害物(対象物)を検出する超音波センサとして用いられる。なお、この出願の先行技術文献情報としては、例えば、特許文献1が知られている。
特開2001−13239号公報
本開示の超音波デバイスは、有底筒状のケースと、圧電素子と、リード線と、充填材と、を備えている。
圧電素子は、ケースの内底面に設置されている。
リード線は、圧電素子に接続されている。
充填材は、ケースを封止している。
ケースは、第1の薄壁部と、第1の厚壁部と、第2の薄壁部と、第2の厚壁部とを有する。第1の薄壁部と第2の薄壁部とは、ケースの内壁面に沿って形成されている。第1の厚壁部は、ケースの内壁面からケースの内部空間に向かって突出した第1の突出部を有している。第2の厚壁部は、ケースの内壁面からケースの内部空間に向かって突出した第2の突出部を有している。
ケースの内底面に平行な断面において、第1の薄壁部と第2の薄壁部とは互いに対向しており、第1の厚壁部と第2の厚壁部とは互いに対向している。
第1の薄壁部から、ケースの中心点を通り、第2の薄壁部までの距離を開口長Bとする。
第1の突出部の第1の先端から、ケースの中心点を通り、第2の突出部の第2の先端までの距離を最小開口長Cとする。
ケースの内壁面(第1の厚壁部の外壁面)から、第1の突出部までの最短距離を最大壁厚Eとする。
第1の厚壁部と第1の薄壁部の境界線から、第1の厚壁部と第2の薄壁部の境界線までの最短距離を幅Gとする。
(E×G)/(B×C)は、0.25以上、0.6以下である。
また、本開示の超音波センサは、上記の超音波デバイスと、送波回路と、ハウジングケースと、を備えている。送波回路は、超音波デバイスを駆動し、超音波を発生させる。ハウジングケースは、超音波デバイスを保持する。
図1Aは、実施の形態における超音波デバイスの斜視図である。 図1Bは、実施の形態における超音波デバイスの断面図である。 図2Aは、実施の形態における超音波デバイスのケースの上面図である。 図2Bは、実施の形態における超音波デバイスのケースの側面図である。 図2Cは、実施の形態における超音波デバイスのケースの正面図である。 図2Dは、実施の形態における超音波デバイスのケースの斜視図である。 図3は、実施の形態における超音波デバイスのケースの横断面図である。 図4Aは、本実施の形態における超音波センサのブロック図である。 図4Bは、本実施の形態の他の超音波センサのブロック図である。 図4Cは、実施の形態における超音波センサを取り付けた車両の模式図である。 図5は、実施の形態における超音波デバイスの指向角特性を示す図である。 図6は、実施の形態における超音波デバイスの指向角特性を示す図である。 図7は、実施の形態における超音波デバイスの指向角特性を示す図である。 図8は、実施の形態における超音波デバイスの指向角特性を示す図である。 図9は、実施の形態における超音波デバイスの指向角特性を示す図である。 図10は、実施の形態における超音波デバイスの指向角特性を示す図である。 図11は、実施の形態における超音波デバイスの指向角特性を示す図である。 図12は、実施の形態における超音波デバイスの指向角特性を示す図である。 図13は、実施の形態における超音波デバイスの指向角特性を示す図である。 図14は、実施の形態における超音波デバイスの指向角特性を示す図である。 図15Aは、従来の超音波デバイスの斜視図である。 図15Bは、従来の超音波デバイスの断面図である。 図15Cは、従来の超音波デバイスのケースの上面図である。
超音波デバイスは、水平方向における超音波の送受信範囲を広くし、車両から遠くの障害物を検出するとともに、垂直方向の指向性を狭くし、地面や天井からの反射を検出しないことが望ましい。しかしながら、従来の超音波デバイス1は、超音波の出力を大きくして、車両後端から遠距離の障害物を検出しようとすると、垂直方向の検出範囲も大きくなってしまい、地面や天井からの反射を検出してしまう。上記の点を改善した、水平方向に広い指向性を有し、垂直方向に極めて狭い指向性を有する超音波デバイスが求められている。
そのような超音波デバイスでは、最大出力に対する半値(−6dB)における水平方向の指向角は63度以上にするのが好ましい。さらには、80度以上がより好ましい。
しかし、従来の構成では、水平方向の指向角を63度以上にした場合、最大出力に対する半値(−6dB)における垂直方向の指向角は35度以下にするのが困難であった。また、水平方向の指向角を80度以上にした場合、最大出力に対する半値(−6dB)における垂直方向の指向角は41度以下にするのが困難であった。
本開示は、水平方向に広い指向性を確保し、かつ、垂直方向は極めて狭い指向性を実現できる超音波デバイスおよび超音波センサを提供する。
図1Aは、実施の形態における超音波デバイス11の斜視図である。図1Bは、実施の形態における超音波デバイス11の断面図である。図1Aにおいて、破線は隠れて見えない部分を示す隠れ線である。
本開示の超音波デバイス11は、有底筒状のケース12と、圧電素子13と、リード線14と、充填材15と、を備えている。圧電素子13は、ケース12の内底面に設置されている。リード線14は、圧電素子13に接続されている。充填材15は、ケース12を封止している。ケース12は、第1の薄壁部21Aと、第1の厚壁部22Aと、を有する。第1の薄壁部21Aは、ケース12の内壁面に沿って形成されている。第1の厚壁部22Aは、ケース12の内壁面からケース12の内部空間に向かって突出した第1の突出部24Aを有している。
ケース12は、有底筒状の形状を有し、底部16と筒部17とを有する。ケース12は、例えばアルミニウムなどの金属などで形成されている。底部16は超音波を発信する振動面であり、内底面19と外底面20とを有する。筒部17は、対向した一対の薄壁部21と、対向した一対の厚壁部22とを有する。すなわち、図1Aにおいて、筒部17は、第1の薄壁部21Aと、第2の薄壁部21Bとを有する。第1の薄壁部21Aと、第2の薄壁部21Bは、ケース12の内壁面に沿って形成されている。さらに、筒部17は、第1の厚壁部22Aと、第2の厚壁部22Bとを有する。第1の厚壁部22Aは、ケース12の内壁面からケース12の内部空間に向かって突出した第1の突出部24Aを有する。第2の厚壁部22Bは、ケース12の内壁面からケース12の内部空間に向かって突出した第2の突出部24Bを有する。第1の薄壁部21Aと、第2の薄壁部21Bとを総称して薄壁部21とする。第1の厚壁部22Aと、第2の厚壁部22Bとを総称して厚壁部22とする。第1の突出部24Aと、第2の突出部24Bとを総称して突出部24とする。
薄壁部21は、壁厚が相対的に薄い部分であり、略円弧状で略一定の壁厚を有している。ここで、薄壁部21の厚さは、薄壁部21の平均の厚さに対して±10%以下の範囲である。
厚壁部22は、薄壁部21よりも厚く、ケース12の内側空間に向かって突出した突出部24を有し、突出部24の先端25からケース12の外周に向かって広がる扇形状を有する。
言いかえれば、ケース12の内底面に平行な断面において、第1の薄壁部21Aが形成されたケース12の内壁面(第1の薄壁部21Aの外壁面)を第1の円弧51とし、第1の厚壁部22Aが形成されたケース12の内壁面(第1の厚壁部22Aの外壁面)を第2の円弧52とした場合、第1の厚壁部22Aは、第1の突出部24Aの先端25Aと第2の円弧52の両端を結ぶ線分と、第2の円弧52と、で形成される扇形状である。ここで、第1の突出部24Aの先端25Aと、第2の突出部24Bの先端25Bとを総称して先端25とする。
圧電素子13は、ケース12の内底面19に固定された超音波振動の発信源であり、圧電体(図示せず)と、その両面に設けられた電極(図示せず)とを有する。
一対のリード線14は、導体で形成されている。圧電素子13の両面には電極(図示せず)が形成されている。リード線14の少なくとも一方は、圧電素子13の一方の電極に接続されている。一対のリード線14により、圧電素子13に電力が供給される。
充填材15は、例えば発泡シリコン樹脂などの樹脂材料などからなり、ケース12の内部において圧電素子13を封止する。
次にケース12の構造を図2A〜図2D、図3を用いて説明する。図2Aは、実施の形態における超音波デバイス11のケース12の上面図である。図2Bは、実施の形態における超音波デバイス11のケース12の側面図である。図2Cは、実施の形態における超音波デバイス11のケース12の正面図である。図2Dは、実施の形態における超音波デバイス11のケース12の斜視図である図3は、実施の形態における超音波デバイス11のケース12の横断面図である。図3は、ケース12を内底面19に平行な面で切断したときのケース12の筒部17の断面図にほぼ一致する。図2Aおよび図3に示すように、ケース12は中心点23を有する。また、図1A、図2A〜図2D、図3に示すように、超音波デバイス11において、X方向とY方向とZ方向とが規定される。
図2Aにおいて、ケース12の内底面19に対する圧電素子13が配置される箇所を矩形の破線で示す。ケース12の内底面19の中央と圧電素子13の中央がほぼ一致するように、圧電素子13が配置される。圧電素子13のX方向の長さは約6mmであり、Y方向の長さは約8mmである。
図3に示すように、ケース12の寸法を、筒部17の外径A、薄壁部21の開口長B、厚壁部22の最小開口長C、薄壁部21の壁厚D、厚壁部22の最大壁厚E、厚壁部22の最大開口長F、厚壁部22の幅Gで示す。また、中心点23に対する薄壁部21の中心角α、中心点23に対する厚壁部22の中心角β、厚壁部22の突出部24の先端半角θで示す。厚壁部22の突出部24は、先端25からケース12の外周に向かって広がる扇形状を有している。厚壁部22の突出部24の先端半角θは、厚壁部22の突出部24の先端25における先端角の1/2である。
ここで、薄壁部21の開口長Bとは、薄壁部21が向かい合う方向(Y方向)の開口長である。厚壁部22の最小開口長Cとは、厚壁部22が向かい合う方向(X方向)の最小開口長である。厚壁部22の最大開口長Fとは、厚壁部22が向かい合う方向(X方向)の最大開口長である。厚壁部22の最大壁厚Eとは、中心点23に向かう半径方向の厚壁部22の最大壁厚である。厚壁部22の幅Gとは、半径方向と垂直な方向の厚壁部22の幅である。
図4Aは、本実施の形態の超音波センサ26のブロック図である。図4Bは、本実施の形態の他の超音波センサ26のブロック図である。超音波センサ26は、超音波デバイス11と、送波回路71と、ハウジングケース73とを備えている。超音波デバイス11は、超音波変換器として用いられる。送波回路71は、超音波デバイス11を駆動し、超音波を発生させる。ハウジングケース73は、超音波デバイス11と送波回路71とを保持する。ここで、図4Bに示すように、ハウジングケース73は、超音波デバイス11だけを保持していてもよい。すなわち、ハウジングケース73は、少なくとも超音波デバイス11を保持する構成であればよい。
図4Cは、本実施の形態の超音波センサ26を取り付けた車両27の模式図である。超音波センサ26は、超音波を発信し、反射された超音波を受信することにより、車両27の周囲の障害物等の存在を検知したり、障害物までの距離を検出したりする。図1Aでは、超音波デバイス11のX方向とY方向を水平に、Z方向を垂直にして表示している。しかし、車両27に装備する際には、超音波デバイス11のY方向が上下方向(すなわち略垂直方向である)になり、X方向が左右方向(すなわち略水平方向である)になるように設置される。すなわち、超音波デバイス11のX方向とZ方向が地面に対して略水平になり、Y方向が略垂直になるように設置される。ここで、超音波を発信または受信する方向がZ方向である。このように超音波デバイス11の方向を設定し、超音波デバイス11の形状を規定することにより、垂直方向の狭指向性を確保しつつ、水平方向の指向性を制御できる。なお、Z方向は車両27の水平方向に対して若干の角度を設ける場合がある。また、Y方向も垂直方向に対して若干の角度を有する場合がある。さらに、超音波を発信または受信する方向を水平からわずかに上方または下方に傾ける場合もある。ここで、超音波デバイス11の指向性とは、超音波デバイス11が超音波の受信に用いられるときには超音波の受信感度の指向性であり、超音波デバイス11が超音波の発信に用いられるときには超音波の放射強度の指向性である。
(表1)に本実施の形態において検討した実施例1〜61について、ケース12の寸法と、指向性の特性値とその評価結果を示す。
Figure 0006667081

Figure 0006667081
(表1)に示す実施例1〜61において、筒部17の外径Aは14mmまたは16mmである。薄壁部21の開口長Bは13mmまたは15mmである。薄壁部21の壁厚Dは0.5mmである。厚壁部22の最小開口長Cは、6.5mm以上、11mm以下の範囲内であり、厚壁部22の最大壁厚Eは2.0mm以上、4.5mm以下の範囲内である。厚壁部22の突出部24の先端半角θは、30度以上、85度以下の範囲内である。中心点23に対する薄壁部21の中心角αは、74.8度以上、170.6度以下の範囲内であり、中心点23に対する厚壁部22の中心角βは、9.4度以上、105.2度以下の範囲内である。
(表1)には、ケース12の寸法と、超音波放射を行なった際の、最大出力に対する半値(−6dB)における、垂直方向の指向角と、水平方向の指向角とを示している。そして、指向角特性が非常に良好な実施例を「E(Excellent)」、指向角特性が良好な実施例を「G(Good)」とし、指向角特性が良好でない実施例を「NG(No Good)」としている。
ここで、垂直方向の指向角が41度以下で、かつ、水平方向の指向角が80度以上の場合を、非常に良好であるとしている。指向角は、最大出力に対する半値である−6dBの場合の値である。すなわち、指向角特性が非常に良好なのは実施例3、4、5、6、11、12、13、19、37である。
また、垂直方向の指向角が35度以下で、かつ、水平方向の指向角が63度以上の場合を、良好であるとしている。指向角は、最大出力に対する半値である−6dBの場合の値である。すなわち、指向角特性が良好なのは実施例34、35、36、41、42、43、49である。
図5〜図14は、実施の形態における超音波デバイス11の指向角特性を示す図である。図5〜図14において、横軸は突出部24の先端半角θであり、縦軸は最大出力に対する半値である−6dBの場合の指向角を示している。なお、図5から図14の各特性図において、突出部24の先端半角θが90度の場合も示している。これは、突出部24が存在しない従来の超音波デバイス1の特性を、比較例として示したものである。図5から図14の特性図において、指向角特性の良好な範囲を矢印で示している。
図5は、外径Aが14mm、最小開口長Cが6.5mmの場合を示している。図6は、外径Aが14mm、最小開口長Cが7.0mmの場合を示している。図7は、外径Aが14mm、最小開口長Cが8.0mmの場合を示している。図8は、外径Aが14mm、最小開口長Cが9.0mmの場合を示している。図9は、外径Aが14mm、最小開口長Cが10.0mmの場合を示している。
図10は、外径Aが16mm、最小開口長Cが7.0mmの場合を示している。図11は、外径Aが16mm、最小開口長Cが8.0mmの場合を示している。図12は、外径Aが16mm、最小開口長Cが9.0mmの場合を示している。図13は、外径Aが16mm、最小開口長Cが10.0mmの場合を示している。図14は、外径Aが16mm、最小開口長Cが11.0mmの場合を示している。
図5において、指向角特性が良好な範囲は、突出部24の先端半角θが、45度から85度の範囲である。図6において、指向角特性が良好な範囲は、突出部24の先端半角θが、55度から85度の範囲である。図7において、指向角特性が良好な範囲は、突出部24の先端半角θが、75度から85度の範囲である。図8、図9において、指向角特性の良好な範囲は存在しない。図10において、指向角特性の良好な範囲は、突出部24の先端半角θが、45度から85度の範囲である。図11において、指向角特性が良好な範囲は、突出部24の先端半角θが、55度から85度の範囲である。図12において、指向角特性が良好な範囲は、突出部24の先端半角θが、75度から85度の範囲である。図13、図14において、指向角特性の良好な範囲は存在しない。なお、上記において、良好な範囲とは、非常に良好な範囲も含んでいる。
(表1)より、良好な指向角特性は、開口長B(mm)と、最小開口長C(mm)と、最大壁厚E(mm)と、幅G(mm)との関係に依存することがわかった。具体的には、(E×G)/(B×C)の値が0.25以上、0.6以下であるときに良好な指向角特性が得られることが判明した。ここで、開口長Bは、薄壁部21が向かい合う方向(図3におけるY方向)の開口の長さである。最小開口長Cは、厚壁部22が向かい合う方向(図3におけるX方向)の開口の長さである。最大壁厚Eは、ケース12の半径方向(図3におけるX方向)における、厚壁部22の長さである。幅Gは、ケース12の半径方向と垂直な方向(図3におけるY方向)における、厚壁部22の長さである。
すなわち、本開示の超音波デバイス11は、有底筒状のケース12と、圧電素子13と、リード線14と、充填材15と、を備えている。
圧電素子13は、ケース12の内底面19に設置されている。
リード線14は、圧電素子13に接続されている。
充填材15は、ケース12を封止している。
ケース12は、第1の薄壁部21Aと、第1の厚壁部22Aと、第2の薄壁部21Bと、第2の厚壁部22Bとを有する。第1の薄壁部21Aと第2の薄壁部21Bとは、ケース12の内壁面に沿って形成されている。第1の厚壁部22Aは、ケース12の内壁面からケース12の内部空間に向かって突出した第1の突出部24Aを有している。第2の厚壁部22Bは、ケース12の内壁面からケース12の内部空間に向かって突出した第2の突出部24Bを有している。
ケース12の内底面19に平行な断面において、第1の薄壁部21Aと第2の薄壁部21Bとは互いに対向しており、第1の厚壁部22Aと第2の厚壁部22Bとは互いに対向している。
第1の薄壁部21Aから、ケース12の中心点23を通り、第2の薄壁部21Bまでの距離を開口長Bとする。
第1の突出部24Aの第1の先端から、ケース12の中心点23を通り、第2の突出部24Bの第2の先端までの距離を最小開口長Cとする。
ケース12の内壁面(第1の厚壁部22Aの外壁面)から、第1の突出部24Aまでの最短距離を最大壁厚Eとする。
第1の厚壁部22Aと第1の薄壁部21Aの境界線から、第1の厚壁部22Aと第2の薄壁部21Bの境界線までの最短距離を幅Gとする。
(E×G)/(B×C)は、0.25以上、0.6以下である。
また、超音波デバイス11は、扇形状の先端角の1/2が、45度以上、85度以下であるときに良好な指向角特性が得られる。また、超音波デバイス11は、対向する厚壁部22の突出部24の頂点(すなわち先端25である)を結ぶ開口長(すなわち厚壁部22が向かい合う方向の最小開口長Cである)が、ケース12の直径(すなわち筒部17の外径Aである)の40%以上、60%以下であるときに良好な指向角特性が得られる。
以上のように、本実施の形態の超音波デバイス11は、有底筒状のケース12の内底面19に圧電素子13を有している。そして、ケース12の筒部17は、ケース12の内底面19に平行な断面において、内壁面がケース12の中心点23を中心とする略円弧状の薄壁部21と、薄壁部21よりも壁厚が厚く内壁面がケースの内部空間に向かって突出した突出部24を有する厚壁部22とを有している。薄壁部21が向かい合う方向の開口長をB(mm)とする。厚壁部22が向かい合う方向の最小開口長をC(mm)とする。厚壁部22の半径方向の最大壁厚をE(mm)とする。半径方向と垂直な方向の厚壁部22の幅をG(mm)とする。このとき、(E×G)/(B×C)が0.25以上、0.6以下であるときに、超音波デバイス11は、良好な特性を有する。この構成により、超音波デバイス11は、従来の指向性のレベルを超えた指向性の設計が可能になる。その結果、X方向に広い指向性を確保しつつ、Y方向に極めて狭い指向性を実現できる。超音波デバイス11を、超音波変換器として備えた超音波センサ26を車両27に装備して障害物の検出用に使用することにより、路面からの反射や車庫などの天井からの反射による影響を低減するとともに、水平方向に広い指向性の検出が可能になる。例えば、車両後方の障害物を精度よく検出できる。
また、本実施の形態の超音波デバイス11は、有底筒状のケース12の内底面19に圧電素子13を有している。そして、ケース12の筒部17はケース12の内底面19に平行な断面において、壁厚が略一定の薄壁部21と、薄壁部21よりも壁厚が厚く内側面がケース12の内側空間に向かって突出した突出部24を有する厚壁部22とを有している。薄壁部21が向かい合う方向の開口長をB(mm)とする。厚壁部22が向かい合う方向の最小開口長をC(mm)とする。厚壁部22の半径方向の最大壁厚をE(mm)とする。半径方向と垂直な方向の厚壁部22の幅をG(mm)とする。このとき、(E×G)/(B×C)が0.25以上、0.6以下であるときに良好な特性を有する。この構成により、超音波デバイス11は、従来の指向性のレベルが向上し、X方向に広い指向性を確保しつつ、Y方向に極めて狭い指向性を実現できる。超音波デバイス11を、超音波変換器として備えた超音波センサ26を車両27に装備して障害物の検出用に使用することにより、路面からの反射や、車庫などの天井からの反射による影響を低減するとともに、水平方向に広い指向性の検出が可能になる。例えば、車両後方の障害物を精度よく検出できる。
さらに、ケース12の内底面19に平行な断面において、厚壁部22は、突出部24の先端25からケース12の外周に向かって広がる扇形状を有するのが好ましい。すなわち、第1の厚壁部22Aは、第1の突出部24Aの先端25Aと第2の円弧52の両端を結ぶ2本の線分と、第2の円弧52と、で形成される扇形状であるのが好ましい。そして、扇形状の先端25Aにおける先端角の1/2は、45度以上、85度以下であることが好ましい。この構成により、超音波デバイス11は、X方向に広い指向性を確保しつつ、Y方向に極めて狭い指向性を実現できる。
さらに、本実施の形態の超音波デバイス11は、対向する厚壁部22の突出部24の頂点を結ぶ最小開口長Cは、ケース12の外径A(筒部17の外径A)の40%以上、60%以下であることが好ましい。この構成により、超音波デバイス11は、X方向に広い指向性を確保しつつ、Y方向に極めて狭い指向性を実現できる。
さらに、本実施の形態の超音波デバイス11は、薄壁部21を上下方向に配置し、厚壁部22を左右方向に配置し、車両の障害物検出に用いることが好ましい。言い換えれば、ケース12の底部が対象物に向かうように設置され、第1の厚壁部22Aの第1の突出部24Aの先端25Aと、第2の厚壁部22Bの第2の突出部24Bの先端25Bとを結んだ線分が、水平方向に対応するように配置されるのが好ましい。この構成により、超音波デバイス11は、水平方向に広い指向性を確保しつつ垂直方向に極めて狭い指向性を実現できる。その結果、超音波デバイス11は、地面や天井による超音波の反射の影響を抑制しつつ、車両周囲の障害物を精度よく検出できる。
なお、本実施の形態では、薄壁部21の厚みを略一定としたが、略一定でなくても可能である。例えば、薄壁部21の厚みに傾斜を持たせてもよい。
上記構成により、本開示の超音波デバイスおよび超音波センサは、水平方向に広い指向性を確保しつつ、垂直方向には極めて狭い指向性を有する。
本開示に係る超音波デバイスおよび超音波センサは、例えば車両などの近くに存在する物体を検出するための検出装置として有用である。
1 超音波デバイス
2 ケース
3 圧電素子
4 充填材
5 リード線
11 超音波デバイス
12 ケース
13 圧電素子
14 リード線
15 充填材
16 底部
17 筒部
19 内底面
20 外底面
21 薄壁部
21A 第1の薄壁部
21B 第2の薄壁部
22 厚壁部
22A 第1の厚壁部
22B 第2の厚壁部
23 中心点
24 突出部
24A 第1の突出部
24B 第2の突出部
25,25A,25B 先端
26 超音波センサ
27 車両
51 第1の円弧
52 第2の円弧
71 送波回路
73 ハウジングケース
A 外径
B 開口長
C 最小開口長
D 壁厚
E 最大壁厚
F 最大開口長
G 幅

Claims (7)

  1. 有底筒状のケースと、
    前記ケースの内底面に設置された圧電素子と、
    前記圧電素子に接続されたリード線と、
    前記ケースを封止する充填材と、
    を備え、
    前記ケースは、
    前記ケースの内壁面に沿って形成された第1の薄壁部と、
    前記ケースの内壁面から前記ケースの内部空間に向かって突出した第1の突出部を有する第1の厚壁部と、
    前記ケースの内壁面に沿って形成された第2の薄壁部と、
    前記ケースの内壁面から前記ケースの内部空間に向かって突出した第2の突出部を有する第2の厚壁部と、
    を有し、
    前記ケースの前記内底面に平行な断面において、
    前記第1の薄壁部と前記第2の薄壁部とは互いに対向しており、
    前記第1の厚壁部と前記第2の厚壁部とは互いに対向しており、
    前記第1の薄壁部から、前記ケースの中心点を通り、前記第2の薄壁部までの距離を開口長B、
    前記第1の突出部の第1の先端から、前記ケースの前記中心点を通り、前記第2の突出部の第2の先端までの距離を最小開口長C、
    前記ケースの内壁面から、前記第1の突出部までの最短距離を最大壁厚E、
    前記第1の厚壁部と前記第1の薄壁部の境界線から、前記第1の厚壁部と前記第2の薄壁部の境界線までの最短距離を幅G、
    とした場合、
    (E×G)/(B×C)が0.25以上、0.6以下である
    超音波デバイス。
  2. 前記第1の薄壁部の厚さは、略一定である
    請求項1に記載の超音波デバイス。
  3. 前記第1の薄壁部の厚さは、前記第1の薄壁部の平均の厚さに対して、±10%以下である
    請求項2に記載の超音波デバイス。
  4. 前記ケースの前記内底面に平行な断面において、
    前記第1の薄壁部が形成された前記ケースの前記内壁面を第1の円弧とし、
    前記第1の厚壁部が形成された前記ケースの前記内壁面を第2の円弧とした場合、
    前記第1の厚壁部は、前記第1の突出部の第1の先端と前記第2の円弧の両端を結ぶ線分と、前記第2の円弧と、で形成される扇形状であり、
    前記扇形状の前記第1の先端における先端角の1/2は、45度以上、85度以下である
    請求項1に記載の超音波デバイス。
  5. 前記最小開口長Cは、前記ケースの外径の40%以上、60%以下である
    請求項1に記載の超音波デバイス。
  6. 前記ケースの底部が対象物に向かうように設置され、
    前記第1の厚壁部の前記第1の突出部の第1の先端と、前記第2の厚壁部の前記第2の突出部の第2の先端とを結んだ線分が、水平方向に対応するように配置される
    請求項4記載の超音波デバイス。
  7. 請求項1に記載の超音波デバイスと、
    前記超音波デバイスを駆動し、超音波を発生させる送波回路と、
    前記超音波デバイスを保持するハウジングケースと、
    を備えた
    超音波センサ。
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