JP6655554B2 - コイルばねの形状測定方法と形状測定装置 - Google Patents
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Description
また、コイルばねの中には、形状がたる型のばねがある。このようなたる型ばねでは、素線の端部が、隣り合う素線の径方向内側に位置している場合がある。この場合、特開2013−119088号公報の測定装置では、素線の端部を精度良く計測できないことがある。
図8に示すように粗測定処理では、まず、演算装置32は回転機構16及び調整装置(20,22,26〜30)を駆動して、レーザ変位計24の位置及びレーザ照射角度を調整しながら、レーザ変位計24によりコイルばねWの表面形状を測定する(ステップS30)。図2を参照して具体的に説明する。演算装置32は、まず、回転機構16を駆動して保持治具12,14及びコイルばねWを所定の回転角θ(保持治具12,14の回転軸周りの回転角θ)に位置決めする。また、演算装置32は、z方向位置調整機構28及びr方向位置調整機構30を駆動して、レーザ変位計24を初期位置に位置決めする。さらに、演算装置32は、レーザ変位計24から照射されるレーザ光が保持治具12,14の回転軸と直交する角度となるように照射角調整装置26を駆動する。これによって、レーザ変位計24は、初期状態にセットされる。レーザ変位計24が初期状態(図2のAに示す状態)とされると、レーザ変位計24は、保持治具12よりZ方向外側の位置(図2では下方の位置)に位置決めされてコイルばねWと対向せず、また、保持治具12,14の回転軸から所定の距離の位置にレーザ変位計24がセットされる。
図8の粗測定処理が終了すると、演算装置32は、図7のステップS14に進み、コイルばねWの全体の形状を保持治具12,14の回転軸に直交する方向から測定する胴中測定処理を実行する。胴中測定処理について図9を参照して説明する。
図9の胴中測定処理が終了すると、演算装置32は、図7のステップS16に進み、コイルばねWの上端座巻部の形状を測定する上端座巻部測定処理を実行する。上端座巻部測定処理について図10を参照して説明する。
図10の上端座巻部の測定処理が終了すると、演算装置32は、図7のステップS18に進み、コイルばねWの上端座巻部の端末を測定する端末測定処理を実行する(S18)。上端座巻部の端末測定処理について図11、15を参照して説明する。
図11の端末測定処理が終了すると、演算装置32は、図7のステップS20に進み、コイルばねWの下端座巻部の形状を測定する下端座巻部測定処理を実行する(S20)。下端座巻部測定処理は、上述したステップS16の上端座巻部測定処理と同様に行われる。これによって、コイルばねWの下端座巻部の形状データが追加される。
ステップS20の下端座巻部測定処理が終了すると、演算装置32は、コイルばねWの下端座巻部の端末を測定する端末測定処理を実行する(S22)。ステップS22の処理は、上述したステップS18の上端座巻部の端末測定処理と同様に行われる。これによって、コイルばねWの下端座巻部の端末部の形状データがばね形状データに追加される。
ステップS22の下端座巻部の端末測定処理が終了すると、演算装置32は、作成したコイルばねWの形状データを出力する形状データ出力処理を実行する(ステップS24)。具体的には、演算装置32は、作成した形状データを図示しないモニタに出力する。モニタには、作成された形状データに基づいてコイルばねWが表示される。したがって、オペレータは、モニタに表示されるコイルばねWから、コイルばねWの全体形状を把握することができる。
実施例1では、座巻部の素線の断面形状が非円形形状であることが予め分かっている場合の例を説明したが、コイルばねの中には、座巻部以外の部分の素線断面が非円形形状(例えば、卵型、四角形)のものもある(以下では、素線断面が非円形形状である素線の部位を、「特殊形状部位」とも称する)。本変形例では、そのようなコイルばねの表面形状測定方法について説明する。
具体的には、図19に示すように、断面が四角形形状のデータ群は、3つの線分S1〜S3を有する。図20に示すように、3つの線分S1〜S3のそれぞれは、ハフ変換を用いて検出される。具体的には、四角形断面のデータ群を直線のハフ変換を用いてρ−θ平面に投票すると、3つの線分S1〜S3はρ―θ平面では3つの点に写像される。ρ−θ平面上の3点を逆ハフ変換すると、3つの直線L1〜L3が算出される。線分S1〜S3は、直線L1〜L3に基づいて検出される。このとき、「3つの直線のうちの2直線がなす角度は約90度又は約0度のいずれかである」という条件をハフ変換の拘束条件としてρ―θ平面への投票を制限してもよい。また、ハフ変換にて検出された直線候補をこの条件を用いて絞り込むことでノイズ除去を行ってもよい。
次に、図21を参照して四角形断面の素線の中心座標の求め方について説明する。抽出された3つの直線のうち、直線L1は、例えば、上述の「最短距離を与える交点のペア」を含む直線として抽出できる。演算装置32は、この直線L1を「コイルばねの品番データベースに登録された素線断面の半径r1」分だけ直線L1の法線方向(回転軸側)に平行移動して、平行移動直線L4を算出する。次に、直線L1の両側に配置されている直線L2と直線L3との平均直線L5を算出し、この平均直線L5と、平行移動直線L4の交点を素線断面の中心座標P1として算出する。なお、変形例1の形状測定方法は、後述する実施例2及び実施例3の形状測定装置に適用することができる。
変形例1の代わりに、各々のレーザ照射角に対応づけられた測定データの「重複部分」に着目して直線近似を行い、四角形断面の素線の一辺を抽出してもよい。具体的には、まず、図22に示すように、レーザ照射方向A、Bの2方向からレーザ光を照射して、コイルばねWの四角形断面データを2回測定し、各測定データ群を合成した合成データ群を作成する。次に、2つのデータが重複する部分(2つのデータで距離が近い点)だけを抽出すると、図23に示すように、四角形断面の素線の1つの面だけが抽出され、重複部のデータはほぼ直線状に並ぶ。続いて、重複部のデータに対して直線近似を行うと、図24に示すように、四角形断面の素線の一辺として直線L6が抽出される。次いで、2つの測定データから重複部を取り除いたデータを作成し、直線L6の両側に位置する直線L7、直線L8を求める。両側の直線L7、直線L8は「直線L6との垂線」として最小2乗近似等を用いて算出できる(図25参照)。このようにして算出した直線L6〜L8を用いて、四角形断面の素線の板厚と中心座標を抽出してもよい。なお、変形例2の形状測定方法は、後述する実施例2及び実施例3の形状測定装置に適用することができる。
受光面148は、CMOS等の受光素子を有しており、コイルばねWからの反射光(すなわち、照射部146a,146bから照射され、コイルばねWの同一部位で反射されたパターン光)を受光する。照射部146a,146bから照射される光の光軸は、受光面148に直交する軸線に対して斜めに交差している。照射角調整装置26がパターン投影式センサ144をr−z平面内で回動させることで、受光面148と保持治具12,14の回転軸との位置関係を調整できる。すなわち、受光面148を回転軸に対して平行に配置させたり(図26参照)、非平行に配置させたりできる(図27参照)。したがって、受光面148は、コイルばねWからの反射光を、正面(軸線と直交する方向)から、また、斜め上方又は斜め下方(軸線と斜めに交差する方向)から受光できる。別言すれば、照射部146aがパターン光を斜め上方から照射すると共に照射部146bが斜め下方から照射する構成(図26参照)だけではなく、例えば、照射部146aがパターン光を上記の斜め上方よりもさらに斜め上方から照射すると共に照射部146bがパターン光を正面から照射する構成や、照射部146aがパターン光を正面から照射すると共に照射部146bがパターン光を上記の斜め下方よりもさらに斜め下方から照射する構成が可能となる。
プロセッサは、受光面148が受光した反射光を解析して、パターン光の照射部位におけるコイルばねWの3次元形状をリアルタイムで生成する。演算装置32は、駆動機構(16,18)と調整装置(20,22,26〜30)の作動状態と、パターン投影式センサ144から出力される測定結果とを関連付けて記憶し、記憶された情報からコイルばねWの形状を3次元で生成する。
図7のステップS12における粗測定処理では、演算装置32は、パターン投影式センサ144の受光面148が保持治具12,14の回転軸に対して平行となるように照射角調整装置26を駆動する。これにより、パターン投影式センサ144が初期状態にセットされる。すなわち、粗測定処理では、パターン投影式センサ144の照射部146a及び146bは、パターン光をコイルばねWに対して斜め上方及び斜め下方からそれぞれ照射する。演算装置32は、コイルばねWのコイル径を推定すると(図8のステップS36)、胴中測定の測定範囲を決定する(ステップS38)。本実施例では、胴中測定とは、パターン光をコイルばねWに斜め上方及び斜め下方から照射して、その反射光を保持治具12,14の回転軸に直交する方向から受光する処理のことを意味する。
図7のステップS14における胴中測定処理では、パターン投影式センサ144とコイルばねWの間隔は、ステップS36で推定されたコイル径に基づいて制御される。パターン投影式センサ144の測定精度は、パターン投影式センサ144とコイルばねWとの距離によって変化するため、ステップS36で推定されるコイル径に基づいてパターン投影式センサ144のr方向の位置を調整することで、コイルばねWの形状を精度良く測定できる。このように、測定角度間隔が大きい粗測定処理を先に実施してコイル径を推定し、推定されたコイル径に基づいて、測定角度間隔が小さい胴中測定処理を実施することにより、コイルばねWの形状を効率的に、かつ、精度良く測定できる。
図7のステップS16における上端座巻部測定処理及びステップS20における下端座巻部測定処理では、演算装置32は、照射角調整装置26を駆動してパターン投影式センサ144の受光面148の傾きを調整しながら、コイルばねWの上端座巻部及び下端座巻部の表面形状をそれぞれ測定する。この処理では、受光面148が、コイルばねWからの反射光を正面から受光する測定と、斜め上方又は斜め下方から受光する測定が行われる。別言すれば、照射部146a及び照射部146bが、パターン光をコイルばねWに対して複数の方向から照射する測定が行われる。
レーザ変位計24が(z,r)の2次元データを取得するのに対し、パターン投影式センサ144は(θ,z,r)(又は(x,z,r))の3次元データを取得することができる。即ち、パターン投影式センサ144は、一回の照射で複数角度のデータを取得することができる(図28、図29参照)。このため、パターン投影式センサ144を用いることで測定角度間隔を大きくして回転ステージの駆動回数を低減させることができる。結果として測定時間をさらに短縮できる。
なお、パターン投影式センサ144に搭載されるパターン光投影装置としては、様々な種類がある。例えば、パターン光投影装置として、ラインレーザーの出力を変調しながら一次元の共振型スキャナで走査することにより格子状の光(以下、単に格子ということがある)を投影する「レーザ変調格子投影装置」を搭載したパターン投影光センサを用いてもよい。また、光源に複数のLEDを用いて、それらをスイッチングすることにより高速に格子の位相をシフトする「複数ラインLED格子投影装置」や「複数光路格子投影装置」を搭載したパターン投影光センサを用いてもよい。また、ビームスプリッタで2分割したビームを重ね合わせることで発生する干渉縞を投影する「干渉縞投影装置」を搭載したパターン投影光センサを用いてもよい。また、液晶プロジェクタにより縞パターンを投影する装置を搭載したパターン投影光センサを用いてもよい。
また、パターン投影・解析方法としては空間コード符号化法を用いてもよいし、位相シフト法を用いてもよいし、その2つを併用して高精度な解析を行ってもよい。また、縞パターンを画像解析する演算装置はパターン投影式センサに内蔵されていてもよいし、パターン投影式センサに接続されたコンピュータを演算装置として用いてもよい。また、パターン光として複数の波長の光を混合したものを投影し、それぞれの波長に対応した受光センサにより反射光を受光し、計測精度を高精度化することも考えられる。例えば、投影光として赤色光(R)、緑色光(G)、青色光(B)を適宜混合して作られた縞パターンを投影し、RGB素子を持つカラーCCDカメラで受光し、R素子で受光した画像、G素子で受光した画像、B素子で受講した画像を組み合わせて解析し、2次元距離解析精度を向上させることも考えられる。これらの投影方式・画像解析アルゴリズムを適宜組み合わせることで、レーザ変位計よりも高精度・高速測定できるパターン投影式センサを構成できる。
なお、本実施例ではパターン投影式センサの照射部146a,146bと受光面148とをZ軸方向に沿って配置したが、照射部146a,146bと受光面148との位置関係はこれに限られない。例えば、照射部146a,146bと受光面148とを水平(即ち、Z軸と略直交する平面上)に配置する構成としてもよい。
光源246から放射された白色光は、上記複数のレンズを通ることでレンズの色収差により複数の単色光に分解される。複数の単色光に分解された白色光は、コイルばねWの表面に照射される。白色光は、その光軸上に保持治具12,14の回転軸が位置する方向に照射される。光学センサ244をZ軸方向に移動させることで、コイルばねWの軸方向の全体に白色光が照射される。コイルばねWの表面で反射した反射光(図示省略)のうち、コイルばねWの表面で焦点が合った波長を有する単色光のみがコンフォーカルフィルタを通過し、焦点が合わなかった単色光はコンフォーカルフィルタで全て遮られる。コンフォーカルフィルタを通過した光は分光器で検出され、検出結果が演算装置32に出力される。演算装置32は、駆動機構(16,18)と調整装置(20,22,26〜30)の作動状態と、光学センサ244から出力される検出結果とを関連付けて記憶し、記憶された情報からコイルばねWの形状を生成する。
また、上記の実施例においては、座巻部以外の部分の素線の断面形状が円形であることを前提として、ステップS98において測定データ群を円形状にフィッティングしたが、座巻部以外の部分の素線の断面形状は円形に限られない。例えば、素線の断面形状として、楕円形、卵型、多角形などが挙げられる(例えば、素線断面が四角形のコイルばねは、断面が円形状の線材を圧延して、素線の一部の断面を四角形とし、巻き成形機により巻き成形することにより成形される)。このように、座巻部以外の部分の素線の断面形状が楕円形、卵型、多角形などの場合は、ステップS98において、それぞれ楕円形、卵型、多角形形状にフィッティング(近似)してもよい。また、それぞれの断面形状の部分形状でフィッティングを行ってもよい。例えば、四角形断面の一部に対して直線フィッティングを行ったり、卵型断面の一部に対して二次曲線でフィッティングしてもよい。
Claims (14)
- コイルばねの形状を測定する形状測定方法であり、
コイルばねの両端が予め設定された回転軸上に位置すると共に、コイルばねを前記回転軸周りに回転可能となるように配置する配置工程と、
配置されたコイルばねの表面形状を非接触式変位計で計測する計測工程と、を備え、
前記計測工程では、コイルばねの素線の少なくとも一部の表面形状を計測するときに、同一の計測部位に複数の異なる方向から光を照射して、当該計測部位の表面形状を計測し、
コイルばねは、素線断面が円形形状である部分を有しており、
前記計測工程では、当該円形形状である部分には、予め定められた第1方向のみから光を照射してコイルばねの表面形状を計測する、コイルばねの形状測定方法。 - コイルばねの形状を測定する形状測定方法であり、
コイルばねの両端が予め設定された回転軸上に位置すると共に、コイルばねを前記回転軸周りに回転可能となるように配置する配置工程と、
配置されたコイルばねの表面形状を非接触式変位計で計測する計測工程と、を備え、
前記計測工程では、コイルばねの素線の少なくとも一部の表面形状を計測するときに、同一の計測部位に複数の異なる方向から光を照射して、当該計測部位の表面形状を計測し、
前記計測工程では、コイルばねの両端部のうちの少なくとも一方に対してコイルばねに光を照射する方向の数は、コイルばねの前記両端部のうちの少なくとも一方以外の部分に対してコイルばねに光を照射する方向の数よりも多い、コイルばねの形状測定方法。 - コイルばねの形状を測定する形状測定方法であり、
コイルばねの両端が予め設定された回転軸上に位置すると共に、コイルばねを前記回転軸周りに回転可能となるように配置する配置工程と、
配置されたコイルばねの表面形状を非接触式変位計で計測する計測工程と、を備え、
前記計測工程では、コイルばねの素線の少なくとも一部の表面形状を計測するときに、同一の計測部位に複数の異なる方向から光を照射して、当該計測部位の表面形状を計測し、
前記計測工程では、コイルばねの少なくとも一部に対して、予め定められた第2方向から光を照射して表面形状を計測するステップと、
前記計測するステップで取得したコイルばねの表面形状を解析してコイルばねの素線断面が円形形状であるか非円形形状であるかを判定するステップと、
前記判定するステップでコイルばねの前記素線断面が非円形形状であると判定された場合に、コイルばねの前記少なくとも一部に対して前記複数の異なる方向から光を照射して、コイルばねの前記少なくとも一部の表面形状を計測するステップを少なくとも実行する、コイルばねの形状測定方法。 - コイルばねの形状を測定する形状測定方法であり、
コイルばねの両端が予め設定された回転軸上に位置すると共に、コイルばねを前記回転軸周りに回転可能となるように配置する配置工程と、
配置されたコイルばねの表面形状を非接触式変位計で計測する計測工程と、を備え、
前記計測工程では、コイルばねの素線の少なくとも一部の表面形状を計測するときに、同一の計測部位に複数の異なる方向から光を照射して、当該計測部位の表面形状を計測し、
前記計測工程では、コイルばねの少なくとも一部に対して、予め定められた第3方向から光を照射して表面形状を計測するステップと、
前記計測するステップで取得したコイルばねの表面形状を解析してコイルばねの端部を特定するステップと、
前記特定するステップで特定されたコイルばねの端部に対して、前記複数の異なる方向から光を照射してコイルばねの前記端部の表面形状を計測するステップを少なくとも実行する、コイルばねの形状測定方法。 - コイルばねの形状を測定する形状測定方法であり、
コイルばねの両端が予め設定された回転軸上に位置すると共に、コイルばねを前記回転軸周りに回転可能となるように配置する配置工程と、
配置されたコイルばねの表面形状を非接触式変位計で計測する計測工程と、を備え、
前記計測工程では、コイルばねの素線の少なくとも一部の表面形状を計測するときに、同一の計測部位に複数の異なる方向から光を照射して、当該計測部位の表面形状を計測し、
前記計測工程では、
コイルばねを前記回転軸回りに第1の角度間隔で順次回転させ、その複数の回転角のそれぞれについて、コイルばねの軸方向の全体に亘って前記回転軸と直交する方向から光を照射してコイルばねの表面形状を計測する第1測定ステップと、
コイルばねを前記回転軸回りに第1の角度間隔よりも小さい第2の回転角度で順次回転させ、その複数の回転角のそれぞれについて、前記第1測定ステップの計測結果に基づいて設定されたコイルばねの軸方向の第1設定範囲に、前記回転軸と直交する方向から光を照射してコイルばねの表面形状を計測する第2測定ステップと、
を少なくとも実行する、コイルばねの形状測定方法。 - 前記計測部位において、コイルばねの素線断面が非円形形状である場合、
前記複数の異なる方向から照射される光の光軸は同一平面上に位置しており、当該平面は前記回転軸と直交しない、請求項1〜5のいずれか一項に記載のコイルばねの形状測定方法。 - 前記複数の異なる方向は、照射される光の光軸が前記回転軸と直交する方向を含む、請求項1〜6のいずれか一項に記載のコイルばねの形状測定方法。
- 前記複数の異なる方向は、照射される光の光軸が前記回転軸と斜めに交差する方向を含む、請求項1〜7のいずれか一項に記載のコイルばねの形状測定方法。
- 校正用治具を前記回転軸上に配置して非接触式変位計で校正用治具の表面形状を計測する校正用治具計測工程と、
校正用治具計測工程で得られた計測結果から校正用データを作成する工程と、
作成した校正用データを用いて、計測工程で得られた計測結果を校正する校正工程と、をさらに備えることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載のコイルばねの形状測定方法。 - コイルばねの形状を測定する形状測定装置であり、
コイルばねの両端が予め設定された回転軸上に位置すると共に、コイルばねを前記回転軸周りに回転可能となるように保持する保持治具と、
保持治具に保持されたコイルばねの表面形状を計測可能な非接触式変位計と、
保持治具に保持されたコイルばねに対して非接触式変位計の位置及び光照射方向を調整する調整機構と、を備え、
調整機構は、前記複数の異なる方向からコイルばねに光が照射されるように非接触式変位計の光照射方向を調整可能であり、
コイルばねは、素線断面が円形形状である部分と非円形形状である部分を有しており、
前記調整機構は、素線断面が円形形状である部分には、予め定められた第1方向のみから光が照射されるように光照射方向を調整し、
素線断面が非円形形状である部分には、同一の計測部位に複数の異なる方向から光が照射されるように光照射方向を調整する、コイルばねの形状測定装置。 - コイルばねの形状を測定する形状測定装置であり、
コイルばねの両端が予め設定された回転軸上に位置すると共に、コイルばねを前記回転軸周りに回転可能となるように保持する保持治具と、
保持治具に保持されたコイルばねの表面形状を計測可能な非接触式変位計と、
保持治具に保持されたコイルばねに対して非接触式変位計の位置及び光照射方向を調整する調整機構と、を備え、
調整機構は、前記複数の異なる方向からコイルばねに光が照射されるように非接触式変位計の光照射方向を調整可能であり、
前記調整機構は、コイルばねの両端部のうちの少なくとも一方に対してコイルばねに光を照射する方向の数が、コイルばねの前記両端部のうちの少なくとも一方以外の部分に対してコイルばねに光を照射する方向の数よりも多くなるように光照射方向を調整する、コイルばねの形状測定装置。 - コイルばねの形状を測定する形状測定装置であり、
コイルばねの両端が予め設定された回転軸上に位置すると共に、コイルばねを前記回転軸周りに回転可能となるように保持する保持治具と、
保持治具に保持されたコイルばねの表面形状を計測可能な非接触式変位計と、
保持治具に保持されたコイルばねに対して非接触式変位計の位置及び光照射方向を調整する調整機構と、
前記非接触式変位計及び前記調整機構を制御して、前記保持治具に保持されたコイルばねの表面形状を計測する計測工程を実行する演算装置と、を備え、
調整機構は、前記複数の異なる方向からコイルばねに光が照射されるように非接触式変位計の光照射方向を調整可能であり、
前記計測工程では、
コイルばねの少なくとも一部に対して、予め定められた第2方向から光を照射して表面形状を計測するステップと、
前記計測するステップで取得したコイルばねの表面形状を解析してコイルばねの素線断面が円形形状であるか非円形形状であるかを判定するステップと、
前記判定するステップでコイルばねの前記素線断面が非円形形状であると判定された場合に、コイルばねの前記少なくとも一部に対して前記複数の異なる方向から光を照射して、コイルばねの前記少なくとも一部の表面形状を計測するステップを少なくとも実行する、コイルばねの形状測定装置。 - コイルばねの形状を測定する形状測定装置であり、
コイルばねの両端が予め設定された回転軸上に位置すると共に、コイルばねを前記回転軸周りに回転可能となるように保持する保持治具と、
保持治具に保持されたコイルばねの表面形状を計測可能な非接触式変位計と、
保持治具に保持されたコイルばねに対して非接触式変位計の位置及び光照射方向を調整する調整機構と、
前記非接触式変位計及び前記調整機構を制御して、前記保持治具に保持されたコイルばねの表面形状を計測する計測工程を実行する演算装置と、を備え、
調整機構は、前記複数の異なる方向からコイルばねに光が照射されるように非接触式変位計の光照射方向を調整可能であり、
前記計測工程では、
コイルばねの少なくとも一部に対して、予め定められた第3方向から光を照射して表面形状を計測するステップと、
前記計測するステップで取得したコイルばねの表面形状を解析してコイルばねの端部を特定するステップと、
前記特定するステップで特定されたコイルばねの端部に対して、前記複数の異なる方向から光を照射してコイルばねの前記端部の表面形状を計測するステップを少なくとも実行する、コイルばねの形状測定装置。 - コイルばねの形状を測定する形状測定装置であり、
コイルばねの両端が予め設定された回転軸上に位置すると共に、コイルばねを前記回転軸周りに回転可能となるように保持する保持治具と、
保持治具に保持されたコイルばねの表面形状を計測可能な非接触式変位計と、
保持治具に保持されたコイルばねに対して非接触式変位計の位置及び光照射方向を調整する調整機構と、
前記非接触式変位計及び前記調整機構を制御して、前記保持治具に保持されたコイルばねの表面形状を計測する計測工程を実行する演算装置と、を備え、
調整機構は、前記複数の異なる方向からコイルばねに光が照射されるように非接触式変位計の光照射方向を調整可能であり、
前記計測工程では、
コイルばねを前記回転軸回りに第1の角度間隔で順次回転させ、その複数の回転角のそれぞれについて、コイルばねの軸方向の全体に亘って前記回転軸と直交する方向から光を照射してコイルばねの表面形状を計測する第1測定ステップと、
コイルばねを前記回転軸回りに第1の角度間隔よりも小さい第2の回転角度で順次回転させ、その複数の回転角のそれぞれについて、前記第1測定ステップの計測結果に基づいて設定されたコイルばねの軸方向の第1設定範囲に、前記回転軸と直交する方向から光を照射してコイルばねの表面形状を計測する第2測定ステップと、
を少なくとも実行する、コイルばねの形状測定装置。
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