JP6655139B2 - ジャイロスコープにおいてモードを整合させるための周波数整合検出方法 - Google Patents
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Description
v1(n)=x(n)Xh1(n)+d1(n)Xh0(n)
v2(n)=x(n)Xh1(n)+d2(n)Xh0(n)
同様に、w(n)は、(d(n)=d1(n)およびd(n)=d2(n)であるときにそれぞれ定義される)2つの成分w1(n)およびw2(n)を含む。ここで、w1(n)およびw2(n)は以下の式によって与えられる。
w1(n)=d1(n)Cv1(n)=d1(n)C[x(n)Xh1(n)+d1(n)Xh0(n)]=h0(n)+[d1(n)Cx(n)Xh1(n)]
w2(n)=d2(n)Cv2(n)=d2(n)C[x(n)Xh1(n)+d2(n)Xh0(n)]=h0(n)+[d2(n)Cx(n)Xh1(n)]
d2(n)=−d1(n)であるため、次いで
w2(n)=h0(n)−[d1(n)Cx(n)Xh1(n)]
w1(n)をw2(n)に加えると、以下の式をもたらし、
w1(n)+w2(n)=2h0(n)
これは、単にh0(n)に依存する。したがって、w1(n)+w2(n)の計算結果は、入力角回転率Ωと関連付けられた信号の帯域幅の影響を受けない。
102 共振器
104 センサ
112 駆動信号のスペクトル
114 感知信号のスペクトル
200 ジャイロスコープ
202 プルーフ質量体
204 センサ
210 固定フレーム
212 連結器
214 アンカー
220 固定電極
222 自由端ビーム
302 周波数不整合検出器
304 制御回路
400 システム
402 センサ
404 ノイズシェーパ
405 増幅器
406 ノイズ発生器
410 量子化器
414 デジタル−アナログ変換器
421 混合器
422 混合器
431 低域通過フィルタ
432 低域通過フィルタ
441 デシメータ
442 デシメータ
450 相関器
451 低域通過フィルタ
452 低域通過フィルタ
Claims (20)
- ジャイロスコープにおける周波数不整合を検出するための方法であって、本方法は、
駆動信号を前記ジャイロスコープに適用することと、
感知信号を前記ジャイロスコープから受信することと、
前記駆動信号と前記感知信号との間の周波数不整合を検出することと、を含み、前記検出は、
ノイズ信号を生成すること、
前記ノイズ信号を復調すること、
前記感知信号と前記ノイズ信号とから得られた応答信号を復調すること、
前記復調されたノイズ信号を前記復調された応答信号と相関させること、および
前記相関の結果を使用して前記周波数不整合を検出すること、を含む、方法。 - 前記ノイズ信号および前記応答信号を復調することが、前記駆動信号の周波数によって前記ノイズ信号および前記応答信号を復調することを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記ノイズ信号の前記生成が、疑似ランダムビット配列(PRBS)を生成することを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記PRBSが、第1のサブ配列および前記第1のサブ配列とは反対の第2のサブ配列を含む、請求項3に記載の方法。
- 前記応答信号が、前記感知信号をデルタシグマ変調器で変調させることによって得られる、請求項1に記載の方法。
- 前記相関の前記結果を使用して前記周波数不整合を検出することが、前記相関の前記結果を積分することによって位相応答を決定することを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記位相応答を使用して前記周波数不整合の大きさを決定することをさらに含む、請求項6に記載の方法。
- 前記位相応答に少なくとも部分的に基づいて前記駆動信号の周波数を調整することをさらに含む、請求項6に記載の方法。
- 前記駆動信号と前記感知信号との間の周波数不整合を検出することが、前記駆動信号および前記感知信号が実質的に等しい周波数で振動するかどうかを決定することを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記復調されたノイズ信号および前記復調された応答信号をデシメートすることをさらに含み、前記復調されたノイズ信号を前記復調された応答信号と相関させることが、前記デシメートされた復調されたノイズ信号を前記デシメートされた復調された応答信号と相関させることを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記デシメートされた復調されたノイズ信号を低域通過フィルタリングすることをさらに含む、請求項10に記載の方法。
- 微小電気機械(MEMS)装置であって、
ジャイロスコープと、
回路と、を備え、前記回路は、前記ジャイロスコープに連結され、
駆動信号を前記ジャイロスコープに適用し、
感知信号を前記ジャイロスコープから受信し、
前記駆動信号と前記感知信号との間の周波数不整合を、
ノイズ信号を生成すること、
前記ノイズ信号を復調すること、
前記感知信号と前記ノイズ信号とから得られた応答信号を復調すること、
前記復調されたノイズ信号を前記復調された応答信号と相関させること、および
前記相関の結果を使用して前記周波数不整合を検出することによって検出するように構成されている、微小電気機械(MEMS)装置。 - 前記回路が、前記ノイズ信号を生成するように構成された擬似ランダムビット配列(PRBS)発生器を備える、請求項12に記載のMEMS装置。
- 前記PRBS発生器が、第1のサブ配列および前記第1のサブ配列とは反対の第2のサブ配列を生成することによって前記ノイズ信号を生成するように構成されている、請求項13に記載のMEMS装置。
- 前記回路が、前記応答信号を前記感知信号から生成するように構成されたノイズシェーパを備える、請求項12に記載のMEMS装置。
- 前記回路が、前記応答信号をデシメートするための第1のデシメータと、前記ノイズ信号をデシメートするための第2のデシメータと、を備える、請求項12に記載のMEMS装置。
- 微小電気機械(MEMS)装置であって、
感知信号を生成するように構成されたジャイロスコープと、
前記ジャイロスコープに連結され、前記感知信号を受信するように構成された第1の入力、およびノイズ発生器の出力に連結された第2の入力を有する、ノイズシェーパと、
前記ノイズ発生器の前記出力に連結された第1の復調器と、
前記ノイズシェーパの出力に連結された第2の復調器と、
前記第1の復調器および前記第2の復調器に連結された相関器と、を備える、微小電気機械(MEMS)装置。 - 前記第1の復調器および前記相関器に連結された第1のデシメータと、前記第2の復調器および前記相関器に連結された第2のデシメータと、をさらに備える、請求項17に記載のMEMS装置。
- 前記第1の復調器および前記相関器に連結された第1の低域通過フィルタと、前記第2の復調器および前記相関器に連結された第2の低域通過フィルタと、をさらに備える、請求項17に記載のMEMS装置。
- 前記ノイズシェーパが、デルタシグマ変調器を備える、請求項17に記載のMEMS装置。
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