JP2010197317A - 容量式センサおよび角速度センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】物理量の変化に応じて静電容量が変化する物理量検出素子と、前記物理量検出素子に交流信号を印加する交流信号発生手段と、前記物理量検出素子に前記交流信号発生手段により充放電される電荷に応じた交流電圧を発生させる容量検出器と、前記容量検出器の発生させる交流電圧の振幅に応じたΔΣ変調信号列を発生させるΔΣ変調器とを構成することで達成される。
【選択図】 図1
Description
2 検出素子
3 容量検出器
4,10,11,15,16,18,19,23 スイッチ
5,12 コンデンサ
6,13 演算増幅器
7 可変電源
8 ΔΣ変調器
9 検出コンデンサ
14 比較器
17 基準コンデンサ
20 局部DA変換器
21 抵抗
22 増幅回路
24 帰還コンデンサ
Claims (13)
- 物理量の変化に応じて静電容量が変化する物理量検出素子と、
前記物理量検出素子に交流信号を印加する交流信号発生手段と、
前記交流信号発生手段により前記物理量検出素子の静電容量を充放電することで生じる充放電電荷に応じた交流電圧を発生させる容量検出器と、
前記容量検出器の発生させる交流電圧をΔΣ変調するΔΣ変調器とを有する容量式センサにおいて、
前記ΔΣ変調器が前記容量検出器の発生させる交流電圧の振幅に応じたΔΣ変調信号列を発生させることを特徴とする容量式センサ。 - 物理量の変化に応じて静電容量が変化する物理量検出素子と、
前記物理量検出素子に交流信号を印加する交流信号発生手段と、
前記交流信号発生手段により前記物理量検出素子の静電容量を充放電することで生じる充放電電荷に応じた交流電圧を発生させる容量検出器と、
前記容量検出器の発生させる交流電圧をΔΣ変調するΔΣ変調器とを有する容量式センサにおいて、
前記ΔΣ変調器が前記容量検出器の発生させる交流電圧で充放電される検出コンデンサと、前記検出コンデンサの充電あるいは放電電荷を積分する積分器と、前記積分器の出力電圧を比較する比較器と、前記比較器の値に応じて離散的な電圧を発生する局部DA変換器と、前記局部DA変換器の出力電圧に応じて充放電する基準コンデンサと、前記基準コンデンサの充電あるいは放電電荷を前記積分器に印加する手段とを有することを特徴とする容量式センサ。 - 請求項1または2のいずれかにおいて、
前記ΔΣ変調器の動作周波数と前記交流信号発生手段の発生する交流信号の周波数が等しいことを特徴とする容量式センサ。 - 請求項3に記載の容量式センサにおいて、
前記容量検出器が低周波を遮断することを特徴とする容量式センサ。 - 請求項4に記載の容量式センサにおいて、
前記容量検出器が前記物理量検出素子に印加する直流電圧を変化させる手段を有することを特徴とする容量式センサ。 - 請求項5に記載の容量式センサにおいて、
前記容量検出器の帰還回路にコンデンサを有する増幅器で構成されることを特徴とする容量式センサ。 - 請求項6に記載の容量式センサにおいて、
前記容量検出器の帰還回路に前記コンデンサを放電するスイッチを有することを特徴とする容量式センサ。 - 請求項7に記載の容量式センサにおいて、
前記容量検出器の出力を増幅する増幅手段を有し、前記増幅手段の帰還回路にコンデンサと前記コンデンサを放電するスイッチを有することを特徴とする容量式センサ。 - 請求項8において、
前記容量式センサが振動子を有し、
前記ΔΣ変調器が前記振動子の振動周波数に対してバンドパス特性を有することを特徴とする容量式センサ。 - 請求項9に記載の容量式センサにおいて、
前記容量検出器の発生させる交流電圧の周波数が前記振動子の振動周波数の整数倍であることを特徴とする容量式センサ。 - 請求項10に記載の容量式センサにおいて、
前記容量検出器の発生させる交流電圧の周波数が前記振動子の振動周波数の奇数倍であることを特徴とする容量式センサ。 - 請求項11に記載の容量式センサにおいて、
前記振動子を加振する加振信号を発生させる加振信号発生手段と、前記加振信号の高周波成分を除去する手段とを有することを特徴とする容量式センサ。 - 振動子と、
角速度による前記振動子の変位を静電容量として検出する角速度検出素子と、
前記物理量検出素子に交流信号を印加する交流信号発生手段と、
前記交流信号発生手段により前記物理量検出素子の静電容量を充放電することで生じる充放電電荷に応じた交流電圧を発生させる容量検出器と、
前記容量検出器の発生させる交流電圧をΔΣ変調するΔΣ変調器とを有する角速度センサにおいて、
前記ΔΣ変調器が前記容量検出器の発生させる交流電圧の振幅に応じたΔΣ変調信号列を発生させることを特徴とする角速度センサ。
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