JP6653511B2 - Libs型物体選別装置 - Google Patents

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Description

本発明は、LIBS分析を用いて物体の選別を行うLIBS型物体選別装置に関し、特に、選別対象物をコンベヤで搬送しながらLIBS分析しこれに基づいて選別を行うLIBS型物体選別装置に関する。
LIBS(Laser Induced Breakdown Spectroscopy)とは、測定対象物に含有される元素の定性・定量分析法である。詳細には、パルスレーザー光を物体表面の微細なスポットに集光照射して原子をイオンと電子に瞬間的に分離、プラズマ状態とし、この励起状態にある原子の基底状態に戻るときに発せられる原子固有の波長の光を分光分析する。LIBS分析は、通常、測定対象物の表面を研磨等により平滑化した後、この研磨面にパルスレーザー光の焦点が正確に位置するように測定対象物を固定して測定される。
ところで、近年、LIBS分析を利用した物体の選別装置(LIBS型物体選別装置)の開発が進められている。これは、選別対象物をベルトコンベヤ(移動速度最大5m/s)で高速供給しながら、LIBS分析によって個々の選別対象物が含有する元素情報を非接触で検知しその種別を識別した上で、種別ごとに選別対象物を別々の容器に回収する固体選別装置である。コンベヤの後端には、電磁式パドルやエアジェットなどの選別機が設けられる。かかる装置は、廃車や廃家電の破砕選別処理施設で発生する鉄やアルミなどの金属スクラップ片を合金種類ごとに選別する手段として利用される。例えば、特許文献1では、このようなLIBS型物体選別装置が開示されている。
LIBS分析では、パルスレーザー光を照射スポット(直径0.1〜1mm程度)に十分に集光照射できないと、プラズマ発光せず分析できない。つまり、廃車や廃家電などの破砕処理で発生する不定形な金属スクラップ片のように、複雑な形状を有する選別対象物ではその位置や高さといった空間情報(三次元情報)を高精度に検知して、これに基づいてパルスレーザー光の最適な照射スポットの位置を決定する必要がある。そして、その位置に正確に撃ち損じなく集光照射する必要もある。また、LIBS型物体選別装置では、ベルトコンベヤでの選別対象物の移動を考慮する必要もある。
移動物体の三次元情報の検知手段としては、例えば、レーザー距離計(レーザーレンジファインダ)をコンベヤ上に鉛直下向きに配置して、対象物の表面までの光伝播時間を計測してその高さ方向の輪郭線(移動方向に平行な断面)を計測する方法が知られている。しかしながら、レーザー距離計の計測域を通過した物体のみを計測することになるため、コンベヤの進行方向に並んで複数の選別対象物を配置できず、単位時間当たりの処理個数が大きく制限される。
一方、移動物体の三次元情報の検知手段としては、「レーザー三次元計測法(光切断法)」も知られている。レーザー投光器(線状レーザー光源)を用いてコンベヤ上を移動する対象物を走査し、表面形状に対応して変化する反射光(輝線)の高さ方向の動きを一定間隔で撮像し、表面形状を三次元座標データとして取得するのである。これによれば対象物の中心点などの位置情報を計算できるとともに、走査範囲内で複数の物体の計測ができ、コンベヤの進行方向に並んで複数の選別対象物を配置しても計測をできて、単位時間当たりの処理個数に優れる。
特表2014−529679号公報
ここで、LIBS型物体選別装置では、レーザー光を選別対象物の1か所又は数か所のスポットに分散して照射してLIBS分析するものがある。これによれば、三次元ガルバノスキャナーの制御によってコンベヤ幅の全域に亘ってレーザー照射しLIBS分析できる。一方で、表面形状が複雑な破砕スクラップ片のような選別対象物では、平坦なスポットを選択してパルスレーザー光を照射しなければ、プラズマの発生確率やS/N比が低下してしまう。
本発明は、上記したような状況に鑑みてなされたものであって、選別対象物をコンベヤで搬送しながらLIBS分析しこれに基づいて選別を行うLIBS型物体選別装置を提供することを目的とする。
上記課題を解決するために、本発明による選別対象物をコンベヤで搬送しながらLIBS分析し選別を行うLIBS型物体選別装置は、前記コンベヤの進行方向をX、幅方向をY、高さ方向をZとしたときに、断面計測用YZ鉛直面での前記選別対象物の断面形状を所定時間毎に繰り返し計測し前記選別対象物の前記コンベヤ上で上面視される上面の空間座標群を前記選別対象物上の基準原点を基準として取得する三次元形状計測手段と、レーザー移動用YZ鉛直面内をY方向にレーザー光のビーム位置を移動させる幅方向移動手段、及び前記レーザー光のビーム焦点位置を前記レーザー移動用YZ鉛直面内でZ方向に移動させる高さ方向移動手段を含み、前記選別対象物に前記レーザー光を照射しながら化学組成分析を行うLIBS分析手段と、前記化学組成分析された前記選別対象物のZ方向の搬送路を切り替える搬送路切替手段と、をこの順に前記X方向に沿って設け、更に、前記空間座標から選択される分析点を含む分析用XZ鉛直面上にある前記上面の前記空間座標群を求め且つLIBS分析する分析区間を決定する演算手段と、前記幅方向移動手段に前記分析用XZ鉛直面に前記ビーム位置を移動させ、前記コンベヤの移動量から前記分析用XZ鉛直面に前記分析区間が到達したことを検出すると、前記移動量に対応させつつ、前記高さ方向移動手段に前記分析区間に沿った前記空間座標に前記ビーム焦点位置を移動させつつ前記選別対象物に前記レーザー光を照射させる制御手段と、を含むことを特徴とする。
かかる発明によれば、選別対象物をコンベヤで搬送しながらLIBS分析しこれに基づいて物体の選別を行うことができる。特に、比較的弱いレーザー光を高い周波数で繰り返し照射する方式のLIBS分析装置を用いた場合であっても、コンベヤ上を高速移動する物体に対して、ベルト幅方向全域での高精度(高S/N比)な選別を行うことが可能となる。
上記した発明において、前記三次元形状計測手段は、前記選別対象物の前記断面計測用YZ鉛直面の通過を検出してから前記空間座標群を取得するとともに、前記基準原点の前記レーザー移動用YZ鉛直面に到達するまでの前記コンベヤの基準移動量を求め、前記制御手段は、前記基準移動量に基づいて前記ビーム位置及び前記ビーム焦点位置の移動をさせるように構成してもよい。このとき、前記基準原点は、前記選別対象物の前記断面計測用YZ鉛直面に最初に到達した位置であることが好ましい。
また、前記選別対象物は前記Y方向で互いの一部を並置させる複数個からなり、前記演算手段は前記選別対象物の各々について前記Y方向で並置しないように前記分析区間を決定するように構成してもよい。このとき、前記三次元形状計測手段の前記X方向の上流には、前記選別対象物の搬送を検知する搬送検知手段を有し、前記搬送検知手段は前記三次元形状計測手段の動作を開始させるとともに、前記搬送検知手段は光電センサを含む構成とするのが好ましい。
かかる発明によれば、選別対象物がコンベヤ上に同時に複数搬送される場合であっても、選別対象物の正確な選別が可能となる。
上記した発明において、前記三次元形状計測手段は、前記選別対象物の前記断面計測用YZ鉛直面での断面形状線を映し出すレーザー投光器を備えた三次元画像カメラを含むように構成してもよい。このとき、前記空間座標群は、前記コンベヤ上で上面視される前記上面の画像のピクセルに対応するのが好ましい。
また、前記コンベヤは駆動モーターの回転量に対応してパルス信号を出力するインクリメンタルエンコーダーを有し、前記制御手段は前記パルス信号に対応したカウンタ数と前記画像の前記ピクセルとを対応させて前記分析区間に沿って前記レーザー光を照射させるとともに、前記幅方向移動手段及び前記高さ方向移動手段は、前記レーザー光の光学系のミラー角度とレンズ焦点距離を制御する構成としてもよい。
かかる発明によれば、選別対象物の検出位置(断面計測用YZ鉛直面)からの搬送距離を正確に把握できるとともに、LIBS分析手段が照射するレーザー光の焦点位置をより精緻に制御できるため、選別対象物のより確実な選別が可能となる。
本発明の代表的な1例によるLIBS型物体選別装置を示す斜視図である。 図1に示すLIBS型物体選別装置における信号経路を示す。 逐次モード制御に適用されるコンベヤ上の座標系を示す平面図である。 逐次モード制御に適用される処理動作を示すフローチャートである。 二値化されたワークの画像の1例を示す平面図である。 連続モード制御に適用されるコンベヤ上の座標系を示す平面図である。 連続モード制御に適用される処理動作を示すフローチャートである。 図1に示すLIBS型物体選別装置における信号出力の決定プロセスを示す要部拡大図である。 LIBS分析装置のレーザー照射軌跡を時系列生成するためのステートチャートである。 三次元計測で検知した1個の物体の2Dブロブ上の具体例を示す平面図である。 視野内に複数物体の2Dブロブが検知された場合の第1の具体例を示す平面図である。 視野内に複数物体の2Dブロブが検知された場合の第2の具体例を示す平面図である。 1個の物体に対するレーザー照射位置と各信号出力のチャートの具体例である。
以下に、本発明によるLIBS型物体選別装置の1つの実施例について、図1乃至図7を用いて説明する。
図1に示すように、LIBS型物体選別装置10は、選別対象である物体Wを搬送するコンベヤ11と、コンベヤ11を横切って配置された光電センサ12と、コンベヤ11上を照射するレーザー投光器13と、コンベヤ11上を搬送される物体Wを撮像する三次元画像カメラ14と、三次元画像カメラ14の後流に配置され、レーザー照射機構を有するLIBS分析装置15と、このLIBS分析装置15の後流に配置されて搬送路を切り替えるパドル(切替機構)16と、三次元画像カメラ14で撮像された画像データに基づいてLIBS分析装置15のレーザー照射機構の照射タイミング及びレーザーの焦点距離を制御する制御装置17と、を備える。なお、コンベヤ11は、コンベヤ駆動モーター11aと当該コンベヤ駆動モーター11aと同軸で回転するインクリメンタルエンコーダー11bとを備える。
物体Wが光電センサ12の位置に達すると、三次元画像カメラ14が起動して、レーザー投光器13が投影する投影線(コンベヤ11の搬送方向に垂直な方向に形成される線)L1を物体が通過する時のレーザーの反射光を光切断法の原理に従って一定の時間間隔ごとに記録する。ここで、投影線を形成するレーザーの経路面を「断面計測用YZ鉛直面」と定義する。当該YZ鉛直面を通過した際に記録されたデータは三次元画像として制御装置17に伝送され、専用プログラムが物体Wの位置や表面形状を解析して、レーザー光の焦点位置を制御する電圧信号を生成し、LIBS分析装置15に伝送する。
また、物体WがLIBS分析装置15のレーザー照射位置L2に到達するとLIBS分析装置15が物体W表面にレーザーを照射してプラズマを発生させ、プラズマの発光波長のスペクトルを分析する。その結果に基づいて、コンベヤ11の下流側に設けられたパドル16を動作させ物体の落下位置を変えることで選別する。
図2には、LIBS型物体選別装置10における信号経路を示した。制御装置17は、例えばパーソナルコンピュータであって、本体部17a及びモニター17bと、本体部17aに内蔵されたカウンタボード17c、D/Aコンバータボード17d、カメラ入力ボード17eと、を備えている。
LIBS分析装置15は、筐体15aの内部に、レーザー光源15bとその制御回路15c、ミラーや集光レンズを含む光学系15dとその制御回路15e等を内蔵しており、制御装置17からの指令信号に基づいて、ミラー角度を変化させてコンベヤ11上でのベルト幅方向(Y方向)のレーザー集光位置を制御し、集光レンズの位置を変化させてコンベヤ11上での高さ方向(Z方向)の集光位置を制御する。また、LIBS分析装置15は、物体Wにレーザーを照射したことにより生じるプラズマを感知してそのスペクトルデータを取得する手段(図示せず)を備えるとともに、取得したスペクトルデータを制御装置17に伝送可能に接続されている。
光電センサ12は、物体Wが通過した時に三次元画像カメラ14が撮影開始するためのトリガ信号を出力する。インクメンタルエンコーダー11bは、固有の回転角おきに1パルスずつパルス信号を出力する。このパルス信号は、三次元画像カメラ14、カウンタボード17c、D/Aコンバータボード17d、LIBS分析装置15内のレーザー制御回路15cに送信され、カウント値が1ずつ増加される。このとき、三次元画像カメラ14内のカウンタと、制御装置17内のカウンタと、レーザー制御回路15cのカウンタはそれぞれ初期値が異なるので、これらのカウント値が一致することはない。
三次元画像カメラ14は、1つのカウンタCcを有し、インクリメンタルエンコーダー11bからのパルス信号を受信するとともに、撮影した三次元画像をカメラ入力ボード17eへ出力する。カウンタボード17cは、2つのカウンタCn1及びCn2を有し、インクリメンタルエンコーダー11bからのパルス信号を受信するとともに、レーザー出力許可信号をLIBS分析装置15内のレーザー制御回路15cへ出力する。D/Aコンバータボード17dは、1つのカウンタCn3を有し、インクリメンタルエンコーダー11bからのパルス信号を受信するとともに、Y方向及びZ方向の集光位置を制御する信号をLIBS分析装置15内のミラー/集光レンズ制御回路15eへ出力する。
LIBS型物体選別装置10は、光電センサ12を使用しない場合でも、三次元画像カメラ14を常時動作させて、撮影視野内に物体Wを発見した時にのみLIBS分析装置15に信号出力する動作も可能である(以下、光電センサ12を使用する場合を「逐次モード制御」、光電センサ12を使用しない場合を「連続モード制御」と称する)。
逐次モード制御を適用することにより、三次元画像カメラ14の撮影開始待ち機能を利用でき、測定プログラムの簡素化が図れる。一方、連続モード制御を適用することにより、光電センサ12を省略できるとともに、高密度搬送時の処理の追従性が向上する。
図3に示すように、LIBS型物体選別装置10では、コンベヤ11上の物体Wの位置を把握するために、逐次モードではコンベヤ11の進行方向にX、幅方向にYを取った座標系を用いる。ここで、グレーで示す領域が三次元画像カメラ14の撮影領域であり、Y方向の座標値は三次元画像カメラ14により求め、X方向の座標値と物体Wの長さはコンベヤ11の移動量により求める。また、コンベヤ11の移動量を求めるにはインクリメンタルエンコーダー11bを用いる。
以下、LIBS型物体選別装置10の制御装置17が実施する逐次モード制御における処理フローを、図4を用いて説明する。
制御装置17は、逐次モード制御の開示時に、まず三次元画像カメラ14及び制御装置17に内蔵された各種ボードのデータの初期化を行う(ステップS101)。その後、コンベヤ11を駆動し、物体が光電センサ部を通過したかどうかを判別する(ステップS102)。ステップS102で物体が光電センサ部を通過したと判別すると、三次元画像カメラ14が撮影を開始し、1視野分の撮影が終了すると、制御装置17内のカメラ入力ボードに三次元画像が転送される(ステップS103)。このとき、制御装置17は、画像転送終了直後のカウンタボードのカウント値Cn1を取得して記憶しておく(ステップS104)。
続いて、制御装置17は、あらかじめ取得してある三次元画像データを用いて、ステップS103で撮像した画像のレンズ中心部と周囲間の高さの歪み(収差)を補正する(ステップS105)。次に、制御装置17は、コンベヤ面の高さ(底面)を除去して3Dブロブ(ボクセル集合体)を取り出した後、この3Dブロブを二次元の二値化画像に再構成する(ステップS106)。このとき、ボクセルが存在する画素は1、存在しないものは0と置き換える。この二値化画像に対して、任意の回数オープニング・クロージングを繰り返して撮影素子固有のノイズを除去する。
続いて、制御装置17は、ラベリング処理により画像内の2Dブロブ(画素(ピクセル)集合体)の個数と位置を抽出する(ステップS107)。このとき、ユーザが入力する任意の面積(ピクセル数)未満の2Dブロブをノイズとして排除する。2Dブロブが残らなかった場合、逐次モードでは撮影待機(ステップS102)からやり直す。
続いて、制御装置17は、ステップS107で抽出した物体位置に基づいて、LIBS分析装置15におけるレーザー照射位置を計算する(ステップS108)。このときの計算動作について、以下に図3及び図5を用いて説明する。
図5は、ステップS106で得られた二次元画像の例を示している。ここに、図中の矢印は物体の搬送方向TDを示し、Cc[0]は物体が光電センサを横切った瞬間の三次元画像カメラ14内のカウント値、Cc[max]は三次元画像カメラ14が所定のカウント数(512や256など任意に設定)を経て撮影を終了した瞬間の三次元画像カメラ14内のカウント値、Cc[ot]は物体の先頭部が投影線に達した瞬間の三次元画像カメラ14内のカウント値をそれぞれ示している。三次元画像カメラ14の撮影視野(グレーの領域)においてX方向の画素数はカウント数に一致する(1画素=1カウント)ことから、上述の処理を経て視野内で残った2Dブロブ上部(先頭部)のX方向座標を視野内の最上部の画素0から最下部の画素maxの間で求めotとすると、Cc[max]とotの差がCc[ot]と一致する。
図3に示すように、三次元画像カメラ14の内部カウント数Cc[max]、Cc[ot]、及び光電センサからLIBS分析装置15内のレーザー照射位置L2までの距離に相当するカウント数Tを用いて、レーザー照射位置L2に対応するカウンタボードのカウント値Csを次式(1)で算出する。
ここで、Cn1は三次元画像カメラ14が撮影を終了した直後のカウンタボードのカウント値を意味する。
続いて、上記したカウント値Csを次式(2)によってさらに修正し、レーザー照射開始位置に対応するカウンタボードのカウント値Tsを決定する。
ここで、Orは、LIBS分析装置15内のミラー回転時の静定時間に相当するカウント数、Ostは物体の先頭からからレーザー照射可能位置までの距離に相当するカウント数、 Obsはレーザー照射開始までの空走距離に相当するカウント数(任意設定)をそれぞれ意味する。
そして、算出されたカウント値Tsから、LIBS分析装置15におけるレーザー照射終了位置に対応するカウンタボードのカウント値Teを次式(3)によって決定する。
ここで、Omはレーザー照射距離に相当するカウント数(任意設定)を意味する。
さらに、1個の物体の測定終了位置に対応するカウンタボードのカウント値Ceを次式(4)によって決定する。
ここで、OeはLIBS分析装置15内部での処理時間に相当するカウント数を意味する。
図4に示すフローチャートの動作に戻ると、続いて、制御装置17は、ステップS108で算出されたレーザー照射開始位置のカウント値Tsとレーザー照射停止位置のカウント値Teに対応するベルト位置の間に存在する物体の高さデータを抽出し、当該物体高さに対応するLIBS分析装置15のレンズの焦点距離を決定する(ステップS109)。このとき、2Dブロブ像に外接する長方形の中心線(図5の1点鎖線参照)に沿ってLIBS分析用レーザーが照射されるように、この中心線上かつTs<X<Teの範囲にある高さデータZを抽出して、これに比例するアナログ電圧値に変換する。
続いて、制御装置17は、物体の2Dブロブ像に外接する長方形の中心線の位置データYを抽出してLIBS分析装置15の光学系に含まれるミラーの角度データを設定し、これに比例するアナログ電圧値に変換する(ステップS110)。その後、ステップS108で算出されたレーザー照射開始位置のカウント値Tsとレーザー照射停止位置のカウント値Teを比較値としてカウンタボードに記憶する。また、カウント値Tsを比較値としてD/Aコンバータボードに記憶する(ステップS111)。
三次元画像カメラ14によって三次元画像計測がなされた後、物体は、LIBS分析用レーザー照射位置に向かってコンベヤ11上を搬送され、カウンタボード内のカウンタCn1とCn2のカウント値、D/Aコンバータボード内のカウンタCn3は次第に上昇する。これを受けて制御装置17は、上記のカウンタCn1、Cn2及びCn3が、それぞれ比較値と一致したかどうかを判別する(ステップS112)。
制御装置17は、Cn1がTsに一致した瞬間にレーザー照射を開始する信号を、Cn2がTeに一致した瞬間にレーザー照射を停止するデジタル電圧信号を出力する(ステップS113)。また、Cn3がTsに一致した瞬間に、レンズ焦点距離を調節するZアナログ電圧とミラー角度を調節するYアナログ電圧の出力を開始する。
続いて、LIBS分析装置15は、制御装置17から発せられた上記の3種の電圧信号に従ってレーザー光の焦点位置を調節してスペクトルデータを取得し、制御装置17に伝送する。これを受けた制御装置17は、スペクトルデータの分光分析を行う(ステップS114)。その後、制御装置17は、ステップS114での分析結果に基づいて、パドルに対して駆動信号を出力し、パドルを上下させることにより物体の落下位置を変えることで、物体の選別を行う(ステップS115)。
次に、上記したLIBS型物体選別装置10の変形例として、制御装置17が実施する連続モード制御を、図6及び図7を用いて説明する。
LIBS型物体選別装置10において、連続モードでは図6の座標系を用いる。ここで、図3の逐次モードの場合と同様に、グレーで示す領域が三次元画像カメラ14の撮影領域であり、Y方向の座標値は三次元画像カメラ14により求め、X方向の座標値と物体Wの長さはコンベヤ11の移動量により求める。また、コンベヤ11の移動量を求めるにはインクリメンタルエンコーダー11bを用いる。
以下、LIBS型物体選別装置10の制御装置17が実施する連続モード制御における処理フローを、図7を用いて説明する。
制御装置17は、逐次モード制御の場合と同様に、まず三次元画像カメラ14及び制御装置17に内蔵された各種ボードのデータの初期化を行う(ステップS201)。その後、三次元画像カメラ14が撮影を開始し、1視野分の撮影が終了すると、制御装置17内のカメラ入力ボードに三次元画像が転送される(ステップS202)。このとき、制御装置17は、画像転送終了直後のカウンタボードのカウント値Cn1を取得して記憶しておく(ステップS203)。
続いて、制御装置17は、あらかじめ取得してある三次元画像データを用いて、ステップS202で撮像した画像のレンズ中心部と周囲間の高さの歪み(収差)を補正する(ステップS204)。次に、制御装置17は、コンベヤ面の高さ(底面)を除去して3Dブロブ(ボクセル集合体)を取り出した後、この3Dブロブを二次元の二値化画像に再構成する(ステップS205)。このとき、ボクセルが存在する画素は1、存在しないものは0と置き換える。この二値化画像に対して、任意の回数オープニング・クロージングを繰り返して撮影素子固有のノイズを除去する。
続いて、制御装置17は、ラベリング処理により画像内の2Dブロブ(画素(ピクセル)集合体)の個数と位置を抽出する(ステップS206)。次に、制御装置17は、ステップS206で抽出された2Dブロブの個数とユーザが入力する任意の面積を意味するピクセル数とを比較する(ステップS207)。抽出された2Dブロブの個数が設定されたピクセル数未満と判別された場合、抽出された2Dブロブはノイズとして排除され、ステップS202に戻って三次元画像カメラ14による撮影からやり直す。
続いて、制御装置17は、ステップS206で抽出した物体位置に基づいて、LIBS分析装置15におけるレーザー照射位置を計算する(ステップS208)。このときの計算動作は、逐次モード制御において図5で説明したものと基本的には同様である。
連続モード制御では、図6に示すように、三次元画像カメラ14の内部カウント数Cc[max]、Cc[ot]、及び光電センサからLIBS分析装置15内のレーザー照射位置L2までの距離に相当するカウント数T’を用いて、レーザー照射位置L2に対応するカウンタボードのカウント値Csを次式(1)’で算出する。
ここで、Cn1、Cc[max]、Cc[ot]については逐次モードと同様の値を用いる。また、T’は図6において、三次元画像カメラ14が撮影を開始した位置L1からLIBS分析装置15内のレーザー照射位置L2までの距離に相当するカウント数を意味する。
続いて、逐次モード制御の場合と同様に、上記したカウント値Csから式(2)によってレーザー照射開始位置に対応するカウンタボードのカウント値Tsを決定し、算出されたカウント値Tsから、LIBS分析装置15におけるレーザー照射終了位置に対応するカウンタボードのカウント値Teを式(3)によって決定し、さらに、1個の物体の測定終了位置に対応するカウンタボードのカウント値Ceを式(4)によって決定する。
図7に示すフローチャートの動作に戻ると、続いて、制御装置17は、ステップS208で算出されたレーザー照射開始位置のカウント値Tsとレーザー照射停止位置のカウント値Teに対応するベルト位置の間に存在する物体の高さデータを抽出し、当該物体高さに対応するLIBS分析装置15のレンズの焦点距離を決定する(ステップS209)。
続いて、制御装置17は、逐次モード制御の場合と同様に、LIBS分析装置15の光学系に含まれるミラーの角度データを設定してこれに比例するアナログ電圧値に変換し(ステップS210)、ステップS208で算出されたレーザー照射開始位置のカウント値Tsとレーザー照射停止位置のカウント値Teを比較値としてカウンタボードに記憶するとともに、カウント値Tsを比較値としてD/Aコンバータボードに記憶する(ステップS211)。
三次元画像カメラ14によって三次元画像計測がなされた後、物体は、LIBS分析用レーザー照射位置に向かってコンベヤ11上を搬送され、カウンタボード内のカウンタCn1とCn2のカウント値、D/Aコンバータボード内のカウンタCn3は次第に上昇する。これを受けて制御装置17は、上記のカウンタCn1、Cn2及びCn3が、それぞれ比較値と一致したかどうかを判別する(ステップS212)。
続いて、制御装置17は、Cn1がTsに一致した瞬間にレーザー照射を開始する信号を、Cn2がTeに一致した瞬間にレーザー照射を停止するデジタル電圧信号を出力する(ステップS213)。また、Cn3がTsに一致した瞬間に、レンズ焦点距離を調節するZアナログ電圧とミラー角度を調節するYアナログ電圧の出力を開始する。
そして、逐次モード制御の場合と同様に、LIBS分析装置15は、制御装置17から発せられた上記の3種の電圧信号に従ってレーザー光の焦点位置を調節してスペクトルデータを取得し、制御装置17に伝送する。これを受けた制御装置17は、スペクトルデータの分光分析を行う(ステップS214)。その後、制御装置17は、ステップS214での分析結果に基づいて、パドルに対して駆動信号を出力し、パドルを上下させることにより物体の落下位置を変えることで、物体の選別を行う(ステップS215)。
以上述べてきたように、上記したLIBS型物体選別装置10によれば、コンベヤ11上を搬送される物体の画像を三次元画像カメラ14で撮像し、その画像データに基づいて、三次元画像カメラ14の後流に配置されたLIBS分析装置15から照射されるレーザーの焦点距離を調整するため、比較的弱いレーザー光を高い周波数で繰り返し照射する方式のLIBS分析装置15を用いた場合であっても、コンベヤ11上を高速移動する物体に対して、ベルト幅方向全域での高精度(高S/N比)な選別を行うことが可能となる。
以下、上記したLIBS型物体選別装置10を用いた選別動作のより具体的な実施例について、図8乃至図13を用いて説明する。
本実施例では、視野内に複数個の2Dブロブが検出される場合に対応するため、複数の設定値を一時的に記憶するためにFIFO(First In First Out)配列変数を用いる。LIBS分析装置15におけるレーザー照射開始と終了位置に対応するカウント値Ts、Te、及びミラー角度とレンズ焦点距離を制御するための数列をFIFO配列変数に入力する。ミラー角度は撮影視野内で物体に対するレーザー照射位置Yの軌跡の時系列を、レンズ焦点距離は2Dブロブに外接する長方形の中心線上かつTs<X<Teの範囲にある物体の高さデータZを、それぞれD/AコンバータボードのD/Aコンバータ出力電圧範囲に換算したこれらの数列をFIFO配列変数に入力する。
図8に、本実施例による装置における信号出力の決定プロセスを示す。カウンタボード17c及びD/Aコンバータボード17dの両方が出力完了状態である場合、FIFO配列変数からデータを読込み、カウンタボード17cの比較器にTs、Te、D/Aコンバータボード17dの比較器にTs、ミラー角度とレンズ焦点距離に対応する数列をD/Aコンバータに入力する。
一方、カウンタボード17c及びD/Aコンバータボード17dの両方が出力完了状態でない場合は、完了するまで待つ。このとき、カウンタボード17c内でCn1とTsを比較器で比較して、一致したらR−Sフィリップフロップ回路をセット状態にし、Cn2とTeを比較器で比較して、一致したらR−Sフィリップフロップ回路をリセット状態にする。また、R−Sフィリップフロップ回路がTs−Te間に相当するレーザー出力許可信号を出力する。同様に、D/Aコンバータボード17d内でCn3とTsを比較器で比較して、一致したらインクリメンタルエンコーダー11bから出力されるパルス信号に同期して、ミラー角度とレンズ焦点距離を制御する電圧信号をD/Aコンバータから出力する。電圧信号の出力が完了したら、後述するタイムアウト検出変数の書込時刻を消去する。
また、LIBS型物体選別装置10では、一度に多数の物体を処理する際、プログラムの処理能力の限界によりD/Aコンバータから電圧信号が正常に出力されない場合があるため、タイムアウト検出機能を付加することもできる。具体的には、FIFO配列変数に設定値を書込むと同時に、現在時刻もタイムアウト検出変数に書込時刻として保存する。タイムアウトは、タイムアウト検出用変数に書込時刻保存直後から1秒おきに現在時刻と書込時刻を比較し、差が任意秒数を超えた場合に発生する。タイムアウトが発生したら、現在のFIFO配列変数とタイムアウト検出変数の書込時刻の消去とカウンタボード、 D/Aコンバータボードの初期化を行う。
図9に、LIBS分析装置15のレーザー照射軌跡を時系列生成するためのステートチャートを示す。ここで、図中に示された変数Or、Ost、Obs、Om、Oeは、式(2)乃至式(4)の各項に対応するカウント数(移動距離)を意味する。また、図10には、三次元計測で検知した1個の物体の2Dブロブ上に定義した上記変数の具体例を示す。なお、図中の点線は、2Dブロブ像に外接する長方形の中心線を意味する。
ここでは、視野内の2Dブロブが1個または複数の場合でOmの長さの設定法が異なる。視野内の2Dブロブが1個の場合は、物体の後部の縁までレーザーを照射するOm、Teが自動的に選択される。一方、視野内の2dブロブが複数の場合は、物体内の任意位置についてOm’、Te’を設定する。このように、複数物体の2Dブロブが検知された場合の先頭以降のレーザー照射開始の判断基準を図11と図12に示す。
なお、視野内の2Dブロブが1個の物体の場合はこの判断を行わない。先行する物体W1の測定終了点CeAと2個目の物体W2の測定開始点CsBの関係で、CsB>CeA(CsBがCeAより後方に位置する)場合は、図11に示すように、CeAの測定終了後にCsBも測定する。一方、CsB<CeA(CsBがCeAより前方に位置する)場合は、図12に示すように、CeAの測定終了後にCsBは測定しない。
図9のステートチャートに示すように、まずレーザー照射開始の判断を行った後にLIBS測定を行う場合は、ミラー角度回転時の静定時間(Or)分だけ移動する。ミラー回転後には、ミラーの慣性モーメントによりハンチングが起こる可能性があるため、数画素分の静定時間を設ける。この位置の画素の高さが所定の閾値以下の場合は、高さが閾値以上になる前縁まで移動し続ける(Ost)。
続いて、物体の前縁から任意のカウント数(Obs)分だけ移動してレーザーを照射開始することにより、物体の縁からのレーザー光の乱反射の影響を低減することができる。このとき、視野内で1個の物体を認識した時は、レーザー照射開始位置から物体の後縁(Om)まで移動し、複数の物体を認識した時は、レーザー照射開始位置から任意の距離 (Om’)移動する。また、LIBS内部処理時間分移動(Oe)は、LIBSと測定プログラムが1個の物体を測定後、次の物体の測定のための準備時間に対応する。
図13は、1個の物体に対するレーザー照射位置と各信号出力のチャートの例を示す。図13には、2Dブロブ上におけるレーザー照射位置、D/Aコンバータボードが出力するアナログ信号(レンズ焦点制御電圧、ミラー角度制御電圧)、カウンタボードが出力するデジタル信号(レーザー許可電圧)、エンコーダーパルス出力の関係が示されている。
図13において、カウント数はCc[ot]からOeまでの時間(移動距離)を示している。この具体例では、レンズ焦点制御電圧は、−8Vがコンベヤ面の高さで−5Vが物体の最大高さ、ミラー角度制御電圧は、視野中心が0V、視野左端が−8Vで視野右端が+8V、レーザー照射許可電圧は、照射禁止が0Vで照射が+5Vとして制御している。また、エンコーダーパルス出力は、コンベヤ11のベルトが0.5mm進むと1パルス出力されるので、レーザー照射距離は16パルス、すなわち8.0mmに相当する。一方、レンズ焦点制御電圧は、レーザー照射許可電圧に連動して出力する。ミラー角度制御電圧は、Cc[ot]の検出点で出力開始し、レーザー照射許可電圧が0Vになると出力が0Vとなる。
図13に示すようなレーザー出力許可信号とミラー角度とレンズ焦点距離を制御する電圧信号をLIBS分析装置15が受信し、レーザー照射位置に到達した物体にレーザーをライン状に照射してスペクトルを検知して元素成分を測定する。LIBS分析装置15はインクリメンタルエンコーダー11bが出力するパルス信号に同期して分析用レーザーを照射する。
以上、本発明によるLIBS型物体選別装置の実施例及びこれに基づく変形例を説明したが、本発明は必ずしもこれらに限定されるものではなく、当業者であれば、本発明の主旨又は特許請求の範囲を逸脱することなく、様々な代替実施例又は改変例を見出すことができるであろう。
10 LIBS型物体選別装置
11 コンベヤ
11a コンベヤモーター
11b インクリメンタルエンコーダー
12 光電センサ
13 レーザー投光器
14 三次元画像カメラ
15 LIBS分析装置
16 パドル
17 制御装置
17c カウンタボード
17d D/Aコンバータボード
17e カメラ入力ボード

Claims (10)

  1. 選別対象物をコンベヤで搬送しながらLIBS分析し選別を行うLIBS型物体選別装置であって、
    前記コンベヤの進行方向をX、幅方向をY、高さ方向をZとすると、
    断面計測用YZ鉛直面での前記選別対象物の断面形状を所定時間毎に繰り返し計測し前記選別対象物の前記コンベヤ上で上面視される上面の空間座標群を前記選別対象物上の基準原点を基準として取得する三次元形状計測手段と、
    レーザー移動用YZ鉛直面内をY方向にレーザー光のビーム位置を移動させる幅方向移動手段、及び前記レーザー光のビーム焦点位置を前記レーザー移動用YZ鉛直面内でZ方向に移動させる高さ方向移動手段を含み、前記選別対象物に前記レーザー光を照射しながら化学組成分析を行うLIBS分析手段と、
    前記化学組成分析された前記選別対象物のZ方向の搬送路を切り替える搬送路切替手段と、をこの順に前記X方向に沿って設け、更に、
    前記空間座標から選択される分析点を含む分析用XZ鉛直面上にある前記上面の前記空間座標群を求め且つLIBS分析する分析区間を決定する演算手段と、
    前記幅方向移動手段に前記分析用XZ鉛直面に前記ビーム位置を移動させ、前記コンベヤの移動量から前記分析用XZ鉛直面に前記分析区間が到達したことを検出すると、前記移動量に対応させつつ、前記高さ方向移動手段に前記分析区間に沿った前記空間座標に前記ビーム焦点位置を移動させ前記選別対象物に前記レーザー光を照射させる制御手段と、を含むことを特徴とするLIBS型物体選別装置。
  2. 前記三次元形状計測手段は、前記選別対象物の前記断面計測用YZ鉛直面の通過を検出してから前記空間座標群を取得するとともに、前記基準原点の前記レーザー移動用YZ鉛直面に到達するまでの前記コンベヤの基準移動量を求め、
    前記制御手段は、前記基準移動量に基づいて前記ビーム位置及び前記ビーム焦点位置の移動をさせることを特徴とする請求項1記載のLIBS型物体選別装置。
  3. 前記基準原点は、前記選別対象物の前記断面計測用YZ鉛直面に最初に到達した位置であることを特徴とする請求項2記載のLIBS型物体選別装置。
  4. 前記三次元形状計測手段は、前記選別対象物の前記断面計測用YZ鉛直面での断面形状線を映し出すレーザー投光器を備えた三次元画像カメラを含むことを特徴とする請求項1乃至3のうちの1つに記載のLIBS型物体選別装置。
  5. 前記空間座標群は、前記コンベヤ上で上面視される前記上面の画像のピクセルに対応することを特徴とする請求項4記載のLIBS型物体選別装置。
  6. 前記コンベヤは駆動モーターの回転量に対応してパルス信号を出力するインクリメンタルエンコーダーを有し、前記制御手段は前記パルス信号に対応したカウンタ数と前記画像の前記ピクセルとを対応させて前記分析区間に沿って前記レーザー光を照射させることを特徴とする請求項記載のLIBS型物体選別装置。
  7. 前記幅方向移動手段及び前記高さ方向移動手段は、前記レーザー光の光学系のミラー角度とレンズ焦点距離を制御することを特徴とする請求項6記載のLIBS型物体選別装置。
  8. 前記選別対象物は前記Y方向で互いの一部を並置させる複数個からなり、前記演算手段は前記選別対象物の各々について前記Y方向で並置しないように前記分析区間を決定することを特徴とする請求項3記載のLIBS型物体選別装置。
  9. 前記三次元形状計測手段の前記X方向の上流には、前記選別対象物の搬送を検知する搬送検知手段を有し、前記搬送検知手段は前記三次元形状計測手段の動作を開始させることを特徴とする請求項8記載のLIBS型物体選別装置。
  10. 前記搬送検知手段は光電センサを含むことを特徴とする請求項9記載のLIBS型物体選別装置。
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