JP6652012B2 - ワーク把持装置 - Google Patents
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Description
この形態のワーク把持装置によれば、付勢部ホルダーの収容部が付勢部材を覆っている。また、把持部でワークを把持することにより可動部材を付勢ホルダー側に接近させて、付勢部材ホルダーと可動部材との間のすき間を狭めることができる。これにより、プラズマCVD装置内の高温状態の気体に付勢部材が直接的に晒される度合いを抑制することができる。この結果、高温状態の気体の熱が直接的に付勢部材へ伝わって付勢部材に熱による破損が発生することを抑制することができ、ワーク把持装置の把持力の低下を抑制することができる。
20…成膜室
21…連通孔
22…ゲートバルブ
30…真空予備室
31…導入蓋
40…搬送装置
42…弁体
50…ワーク把持装置
60…ワーク導入装置
62…吸着面
64…上面
66…溝部
410…シリンダー
510…基部
520…固定板
522…固定側把持部
530…可動板
532…回動軸
534…面(可動側把持面)
536…面
540…バネホルダー
542…収容部
543…開口部
544…底面
550…コイルバネ
552…端部
554…端部
CP…把持部
Dc…間隔
Dn…間隔
WP…ワーク
x,y,z…方向
Claims (1)
- プラズマCVD装置においてワークの成膜中に前記ワークを把持するワーク把持装置であって、
基部と、
前記基部にその上端部が固定された固定部材と、
前記固定部材と対向するように配置され、前記基部にその上端部が取り付けられて前記上端部を中心として回動し、前記固定部材との間で前記ワークを把持する可動部材と、
前記可動部材を前記固定部材側に付勢する付勢部材と、
前記基部に固定され、前記付勢部材の一端を支持する付勢部材ホルダーと、
を備え、
前記付勢部材ホルダーは、前記付勢部材を前記固定部材の方向に突出させる開口部と、前記開口部を除く前記付勢部材の周囲を覆うように前記付勢部材を収容する収容部と、を有している、ワーク把持装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2016158522A JP6652012B2 (ja) | 2016-08-12 | 2016-08-12 | ワーク把持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2016158522A JP6652012B2 (ja) | 2016-08-12 | 2016-08-12 | ワーク把持装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2018024068A JP2018024068A (ja) | 2018-02-15 |
JP6652012B2 true JP6652012B2 (ja) | 2020-02-19 |
Family
ID=61195345
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2016158522A Active JP6652012B2 (ja) | 2016-08-12 | 2016-08-12 | ワーク把持装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP6652012B2 (ja) |
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KR102334200B1 (ko) * | 2020-06-03 | 2021-12-02 | 한국고요써모시스템(주) | 열처리 장치의 기판 반송 유닛 |
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- 2016-08-12 JP JP2016158522A patent/JP6652012B2/ja active Active
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JP2018024068A (ja) | 2018-02-15 |
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