JP6650347B2 - Turbocharger and method of manufacturing the same - Google Patents

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Description

本開示は、ターボチャージャ及びその製造方法に関する。   The present disclosure relates to a turbocharger and a method for manufacturing the turbocharger.

ターボチャージャにおいて、エンジンの排ガス流路に設けたノズルベーンを用いて過給圧を調節することが知られている。   2. Description of the Related Art In a turbocharger, it is known to control a supercharging pressure by using a nozzle vane provided in an exhaust gas passage of an engine.

このようなターボチャージャでは、過給圧を調節するためにノズルベーンの開度が変更されるとき、ノズルベーンは排ガス流路を形成する壁面に対して摺動する。そこで、ノズルベーンを壁面に対して円滑に摺動させるため、ノズルベーンと壁面との間には通常クリアランスが設けられる。
この場合、エンジンからの排ガスが、ノズルベーンの翼面を迂回して、ノズルベーンと壁面との間の隙間を介してタービンに到達すると、該隙間から迂回した排ガスの持つエネルギーはタービンに伝達されず、また、タービン周辺の排ガスの流れが乱れるため、タービン効率が低下する場合がある。
このような観点から、ノズルベーンと壁面との間の隙間は狭いことが望ましい。 In such a turbocharger, when the opening degree of the nozzle vane is changed to adjust the supercharging pressure, the nozzle vane slides on the wall surface forming the exhaust gas flow path. In order to smoothly slide the nozzle vane against the wall surface, a clearance is usually provided between the nozzle vane and the wall surface.
In this case, when the exhaust gas from the engine bypasses the blade surface of the nozzle vane and reaches the turbine through the gap between the nozzle vane and the wall surface, the energy of the exhaust gas bypassed from the gap is not transmitted to the turbine, Further, since the flow of the exhaust gas around the turbine is disturbed, the turbine efficiency may decrease.
From such a viewpoint, it is desirable that the gap between the nozzle vane and the wall surface is narrow.

特許文献１には、ノズルベーンの両側のスライド面に、炭素超微粉体を含む炭素系乾性膜が形成されたターボチャージャが記載されている。該炭素系乾性膜は、ノズルベーンの両側のスライド面とタービンケーシングを形成するケース部材の内壁面との間の隙間を充填するように設けられている。これにより、ノズルベーンのケース部材の内壁面に対する摺動性を維持しつつ、ノズルベーンとケース部材との間のクリアランスを小さく維持するようになっている。   Patent Document 1 describes a turbocharger in which a carbon-based dry film containing ultrafine carbon powder is formed on slide surfaces on both sides of a nozzle vane. The carbon-based dry film is provided so as to fill a gap between the slide surfaces on both sides of the nozzle vane and the inner wall surface of the case member forming the turbine casing. Thereby, the clearance between the nozzle vane and the case member is kept small while maintaining the slidability of the nozzle vane against the inner wall surface of the case member.

特許第３８７６２１２号明細書Patent No. 3876212

ところで、ターボチャージャの運転中、ノズルベーンや、ノズルベーンが摺動する壁面を形成するタービンケーシングは熱に起因して変形するため、ノズルベーンと壁面との間のクリアランスを小さく設計することは難しい。
この点、特許文献１に記載のように、ノズルベーンと、ノズルベーンが摺動する相手側部材との間のクリアランスを埋めるようにノズルベーンの摺動面を潤滑性の被覆層を設けることで、ノズルベーンの摺動時に被覆層がすり減らされることにより、大きすぎない適度なクリアランスが形成されることが期待できる。
しかしながら、場合によっては、被覆層に含まれる潤滑材が相手側部材に凝着することがある。そうすると、ノズルベーンの摺動時に、例えば相手側部材に凝着した凝着物等によって被覆層が破壊されることによりノズルベーンと相手側部材との間の隙間が拡大し、小さなクリアランスが維持できなくなる場合がある。 By the way, during operation of the turbocharger, the nozzle vanes and the turbine casing forming the wall surface on which the nozzle vanes slide are deformed due to heat, so that it is difficult to design the clearance between the nozzle vanes and the wall surface to be small.
In this regard, as described in Patent Document 1, by providing a lubricating coating layer on the sliding surface of the nozzle vane so as to fill the clearance between the nozzle vane and a mating member on which the nozzle vane slides, By abrasion of the coating layer at the time of sliding, it can be expected that an appropriate clearance that is not too large is formed.
However, in some cases, the lubricant contained in the coating layer adheres to the mating member. Then, when the nozzle vane slides, for example, a gap between the nozzle vane and the counterpart member may be expanded due to the destruction of the coating layer due to, for example, an adhered substance adhered to the counterpart member, and a small clearance may not be maintained. is there.

上述の事情に鑑みて、本発明の少なくとも一実施形態は、ノズルベーンと、該ノズルベーンが摺動する相手側部材との間のクリアランスを小さく維持することが可能なターボチャージャ及びその製造方法を提供することを目的とする。   In view of the above circumstances, at least one embodiment of the present invention provides a turbocharger capable of maintaining a small clearance between a nozzle vane and a mating member on which the nozzle vane slides, and a method of manufacturing the turbocharger. The purpose is to:

（１）本発明の少なくとも一実施形態に係るターボチャージャは、
エンジンからの排ガスにより回転駆動されるように構成されたタービンと、
前記タービンに流入する前記排ガスの流路を形成するように互いに対向する一対の流路形成壁面と、
前記流路内に設けられ、前記流路の断面積を変えるように開度調節可能なノズルベーンと、
前記一対の流路形成壁面にそれぞれ対向する前記ノズルベーンの一対の摺動面のうち少なくとも一方を少なくとも部分的に被覆する第１被覆層と、
前記第１被覆層に対向するように設けられ、前記流路形成壁面の少なくとも一方を少なくとも部分的に被覆する第２被覆層と、
を備え、
前記第１被覆層又は前記第２被覆層の少なくとも一方は固体潤滑材を含むとともに、
前記第１被覆層又は前記第２被覆層の一方は第１物質を含み、前記第１被覆層又は前記第２被覆層の他方は前記第１物質よりも極性が小さい第２物質を含む。 (1) A turbocharger according to at least one embodiment of the present invention includes:
A turbine configured to be rotationally driven by exhaust gas from the engine;
A pair of flow path forming wall surfaces facing each other to form a flow path of the exhaust gas flowing into the turbine,
A nozzle vane that is provided in the flow path and that can be adjusted in opening to change the cross-sectional area of the flow path,
A first coating layer that at least partially covers at least one of a pair of sliding surfaces of the nozzle vane that respectively face the pair of flow path forming wall surfaces;
A second coating layer provided to face the first coating layer and at least partially covering at least one of the flow path forming wall surfaces;
With
At least one of the first coating layer or the second coating layer includes a solid lubricant,
One of the first coating layer or the second coating layer includes a first substance, and the other of the first coating layer or the second coating layer includes a second substance having a polarity lower than that of the first substance.

ターボチャージャの運転中、第１被覆層と第２被覆層とが互いに凝着して一体的な被覆層を形成すると、ノズルベーンが動いた際に被覆層内において不均一なせん断破壊が生じ、その後のノズルベーンの動きに伴って、せん断破壊によって分離された２つの被覆層同士が接触して摩耗が進行してしまう。
この点、上記（１）の構成では、互いに対向する第１被覆層と第２被覆層の一方は極性が比較的大きい第１物質を含み、他方は極性が比較的小さい第２物質を含む。このため、第１被覆層と第２被覆層とは親和性が低く、極性の差に起因して互いをはじくので、第１被覆層又は第２被覆層の一方に含まれる固体潤滑材が、第１被覆層又は第２被覆層の他方に凝着しにくくなる。よって、固体潤滑材の凝着後にノズルベーンが動いた際に固体潤滑材が不均一なせん断破壊を引き起こすリスクが低減され、ノズルベーンと、該ノズルベーンが摺動する流路形成壁面との間のクリアランスを小さく維持することができる。 During operation of the turbocharger, if the first coating layer and the second coating layer adhere to each other to form an integral coating layer, non-uniform shear failure occurs in the coating layer when the nozzle vane moves, With the movement of the nozzle vane, the two coating layers separated by the shear fracture come into contact with each other and wear progresses.
In this regard, in the above configuration (1), one of the first coating layer and the second coating layer facing each other includes a first substance having a relatively large polarity, and the other includes a second substance having a relatively small polarity. For this reason, the first coating layer and the second coating layer have low affinity and repel each other due to the difference in polarity. Therefore, the solid lubricant contained in one of the first coating layer and the second coating layer is It becomes difficult to adhere to the other of the first coating layer and the second coating layer. Therefore, when the nozzle vane moves after the solid lubricant is adhered, the risk that the solid lubricant causes uneven shear failure is reduced, and the clearance between the nozzle vane and the flow path forming wall on which the nozzle vane slides is reduced. Can be kept small.

（２）幾つかの実施形態では、上記（１）の構成において、
前記第１物質は、前記第２物質よりも溶解パラメータが２．５以上大きい。 (2) In some embodiments, in the configuration of the above (1),
The first substance has a solubility parameter greater than the second substance by 2.5 or more.

上記（２）の構成では、互いに対向する第１被覆層と第２被覆層を構成する第１物質と第２物質（又は第２物質と第１物質）とは、極性の指標である溶解パラメータの差が２．５よりも大きい。このため、第１物質と第２物質の極性の差により、第１被覆層又は第２被覆層の一方に含まれる固体潤滑材の、第１被覆層又は第２被覆層の他方への凝着を効果的に抑制して、固体潤滑材の凝着に起因する被覆層の破壊を効果的に抑制することができる。   In the configuration of the above (2), the first material and the second material (or the second material and the first material) constituting the first coating layer and the second coating layer facing each other have a solubility parameter as an index of polarity. Is greater than 2.5. Therefore, the solid lubricant contained in one of the first coating layer and the second coating layer adheres to the other of the first coating layer and the second coating layer due to a difference in polarity between the first substance and the second substance. And the destruction of the coating layer caused by the adhesion of the solid lubricant can be effectively suppressed.

（３）幾つかの実施形態では、上記（１）又は（２）の構成において、
前記第１物質は、アセトニトリル、水、クロロホルム、アセトン及びメタノールからなる群から選ばれる少なくとも１種を含み、
前記第２物質は、ジオキサン、四塩化炭素、炭化水素、飽和脂肪酸、不飽和脂肪酸及びグリセリンからなる群から選ばれる少なくとも１種を含む。 (3) In some embodiments, in the configuration of the above (1) or (2),
The first substance includes at least one selected from the group consisting of acetonitrile, water, chloroform, acetone, and methanol,
The second substance includes at least one selected from the group consisting of dioxane, carbon tetrachloride, hydrocarbon, saturated fatty acid, unsaturated fatty acid, and glycerin.

上記（３）の構成によれば、極性が比較的大きい第１物質及び極性が比較的小さい第２物質として上述の物質を用いることにより、第１物質と第２物質との間で極性に差をもたらすことができる。これにより、第１被覆層又は第２被覆層の一方に含まれる固体潤滑材の、第１被覆層又は第２被覆層の他方への凝着を効果的に抑制して、固体潤滑材の凝着に起因する被覆層の破壊を効果的に抑制することができる。   According to the above configuration (3), by using the above-described substance as the first substance having a relatively large polarity and the second substance having a relatively small polarity, a difference in polarity between the first substance and the second substance is obtained. Can be brought. Thereby, adhesion of the solid lubricant contained in one of the first coating layer and the second coating layer to the other of the first coating layer and the second coating layer is effectively suppressed, and the solid lubricant is solidified. Destruction of the coating layer due to adhesion can be effectively suppressed.

（４）幾つかの実施形態では、上記（１）乃至（３）の何れかの構成において、前記固体潤滑材は、窒化ホウ素を含む。 (4) In some embodiments, in any one of the constitutions (1) to (3), the solid lubricant contains boron nitride.

上記（４）の構成によれば、比較的高温領域で良好な摺動特性を有する窒化ホウ素を固体潤滑材として用いることで、ターボチャージャの高温での運転時においても、ノズルベーンの流路形成壁面に対する摺動性を維持することができる。   According to the above configuration (4), by using boron nitride having good sliding characteristics in a relatively high temperature range as a solid lubricant, even when the turbocharger is operated at a high temperature, the flow path forming wall of the nozzle vane is formed. The slidability with respect to can be maintained.

（５）幾つかの実施形態では、上記（１）乃至（４）の何れかの構成において、前記第１被覆層又は前記第２被覆層の前記少なくとも一方の膜厚は、０．１μｍ以上５００μｍ以下である。 (5) In some embodiments, in any one of the above (1) to (4), the thickness of at least one of the first coating layer and the second coating layer is 0.1 μm or more and 500 μm or more. It is as follows.

上記（５）の構成によれば、固体潤滑材を含む第１被覆層又は第２被覆層の膜厚は０．１μｍ以上であるので、例えば、第１被覆層又は第２被覆層が形成されるノズルベーンの摺動面又は流路形成壁面の表面に凹凸があったとしても、良好な摺動性能を発揮することができる。
一方、上記（５）によれば、固体潤滑材を含む第１被覆層又は第２被覆層の膜厚は５００μｍ以下であるので、ターボチャージャの運転中における第１被覆層又は第２被覆層の剥離を抑制することができる。 According to the above configuration (5), since the thickness of the first coating layer or the second coating layer containing the solid lubricant is 0.1 μm or more, for example, the first coating layer or the second coating layer is formed. Even if there are irregularities on the sliding surface of the nozzle vane or the surface of the wall surface on which the flow path is formed, good sliding performance can be exhibited.
On the other hand, according to the above (5), since the thickness of the first coating layer or the second coating layer containing the solid lubricant is 500 μm or less, the thickness of the first coating layer or the second coating layer during operation of the turbocharger is reduced. Peeling can be suppressed.

（６）幾つかの実施形態では、上記（１）乃至（５）の何れかの構成において、前記ノズルベーンの一対の摺動面のうち前記少なくとも一方と、前記流路形成壁面の前記少なくとも一方との間のクリアランスは、１０μｍ以上１００μｍ以下である。 (6) In some embodiments, in any one of the above configurations (1) to (5), at least one of the pair of sliding surfaces of the nozzle vane and at least one of the flow path forming wall surfaces. Is 10 μm or more and 100 μm or less.

上記（６）の構成によれば、ノズルベーンの摺動面と、流路形成壁面との間のクリアランスは１０μｍ以上であるので、ノズルベーンの流路形成壁面に対する円滑な摺動が損なわれない。
一方、上記（６）の構成によれば、ノズルベーンの摺動面と、流路形成壁面との間のクリアランスは１００μｍ以下であるので、ノズルベーンの摺動面と流路形成壁面との間の隙間へのエンジンからの排ガスの流入を十分に抑制することができ、タービン効率の低下を抑制することができる。 According to the above configuration (6), since the clearance between the sliding surface of the nozzle vane and the wall surface on which the flow path is formed is 10 μm or more, smooth sliding of the nozzle vane on the wall surface on which the flow path is formed is not impaired.
On the other hand, according to the above configuration (6), the clearance between the sliding surface of the nozzle vane and the wall surface on which the flow path is formed is 100 μm or less. Exhaust gas from the engine can be sufficiently suppressed, and a decrease in turbine efficiency can be suppressed.

（７）幾つかの実施形態では、上記（１）乃至（６）の何れかの構成において、前記第１被覆層又は前記第２被覆層の前記少なくとも一方は、表面硬化処理された前記摺動面又は前記流路形成壁面上に設けられている。 (7) In some embodiments, in any one of the above (1) to (6), at least one of the first coating layer and the second coating layer is a surface-hardened slide. It is provided on a surface or the flow path forming wall surface.

上記（７）の構成によれば、固体潤滑材を含む第１被覆層又は第２被覆層が設けられるノズルベーンの摺動面又は流路形成壁面は、表面硬化処理により硬く変形しにくくなっている。よって、接触等により摺動面又は流路形成壁面に外力が加わった際のノズルベーンの摺動面又は流路形成壁面の変形を抑制することができ、摺動面又は流路形成壁面からの第１被覆層又は第２被覆層の剥離を抑制することができる。   According to the configuration (7), the sliding surface or the flow path forming wall surface of the nozzle vane on which the first coating layer or the second coating layer containing the solid lubricant is provided is hardened and hardly deformed by the surface hardening treatment. . Therefore, it is possible to suppress deformation of the sliding surface or the flow channel forming wall surface of the nozzle vane when an external force is applied to the sliding surface or the flow channel forming wall surface due to contact or the like. Peeling of the first coating layer or the second coating layer can be suppressed.

（８）幾つかの実施形態では、上記（１）乃至（７）の何れかの構成において、前記第１被覆層又は前記第２被覆層の前記少なくとも一方は、Ｓｎ、Ａｇ及びＰｂからなる群から選ばれる少なくとも１種をさらに含む。 (8) In some embodiments, in any one of the above configurations (1) to (7), at least one of the first coating layer and the second coating layer is a group consisting of Sn, Ag, and Pb. And at least one member selected from the group consisting of:

上記（８）の構成によれば、固体潤滑材を含む第１被覆層又は第２被覆層は、硬度が比較的小さいＳｎ、Ａｇ又はＰｂを含むので、比較的低温の温度領域において、ノズルベーンの流路形成壁面に対する摺動性を向上させることができる。   According to the configuration of (8), the first coating layer or the second coating layer containing the solid lubricant contains Sn, Ag, or Pb having relatively small hardness. The slidability with respect to the flow path forming wall surface can be improved.

（９）幾つかの実施形態では、上記（１）乃至（８）の何れかの構成において、前記第１被覆層又は前記第２被覆層の前記少なくとも一方は、Ｏ、Ｓ、Ｓｅ及びＴｅからなる群から選ばれる少なくとも１種をさらに含む。 (9) In some embodiments, in any one of the above (1) to (8), at least one of the first coating layer and the second coating layer is formed from O, S, Se, and Te. And at least one member selected from the group consisting of:

上記（９）の構成では、固体潤滑材を含む第１被覆層又は第２被覆層に含まれる上述した元素と、ノズルベーン又は流路形成壁面を構成する金属元素とが結合して、良好な摺動特性を有する化合物（例えば金属酸化物や金属硫化物）が生成される。よって、上記（９）の構成によれば、ノズルベーンの流路形成壁面に対する摺動性がより良好となる。   In the configuration (9), the above-described element contained in the first coating layer or the second coating layer containing the solid lubricant is combined with the metal element forming the nozzle vane or the wall surface on which the flow path is formed, so that good sliding is achieved. Compounds having dynamic characteristics (for example, metal oxides and metal sulfides) are produced. Therefore, according to the configuration of (9), the slidability of the nozzle vanes with respect to the flow path forming wall surface is further improved.

（１０）幾つかの実施形態では、上記（１）乃至（９）の何れかの構成において、前記第１被覆層又は前記第２被覆層の前記少なくとも一方は、フッ素をさらに含む。 (10) In some embodiments, in any one of the above (1) to (9), at least one of the first coating layer and the second coating layer further includes fluorine.

上記（１０）の構成では、固体潤滑材を含む第１被覆層又は第２被覆層はフッ素を含むので、フッ素とノズルベーン又は流路形成壁面を構成する金属元素とが結合して、とくに比較的高温の温度領域において摺動特性が良好なフッ化金属が生成される。よって、上記（１０）の構成によれば、ノズルベーンの流路形成壁面に対する摺動性がより良好となる。   In the above configuration (10), since the first coating layer or the second coating layer containing the solid lubricant contains fluorine, the fluorine is combined with the metal element forming the nozzle vane or the wall surface for forming the flow path, and in particular, relatively relatively. A metal fluoride having good sliding characteristics is generated in a high temperature range. Therefore, according to the above configuration (10), the slidability of the nozzle vanes with respect to the flow path forming wall surface is further improved.

（１１）幾つかの実施形態では、上記（１）乃至（１０）の何れかの構成において、前記第１被覆層又は前記第２被覆層の前記少なくとも一方は、Ｃｒ、Ｔａ、Ｂａ、Ｃａ及びＮｉからなる群から選ばれる少なくとも１種をさらに含む。 (11) In some embodiments, in any one of the above configurations (1) to (10), at least one of the first coating layer and the second coating layer includes Cr, Ta, Ba, Ca, and Cr. At least one member selected from the group consisting of Ni is further included.

上記（１１）の構成によれば、固体潤滑材を含む第１被覆層又は第２被覆層にＣｒ、Ｔａ、Ｂａ、Ｃａ又はＮｉが含まれている場合、これらの元素により、比較的高温化での摺動特性が良好な酸化物が生成することある。よって、上記（１１）の構成によれば、ノズルベーンの流路形成壁面に対する摺動性がより良好となる。   According to the configuration of (11), when Cr, Ta, Ba, Ca, or Ni is contained in the first coating layer or the second coating layer containing the solid lubricant, a relatively high temperature is caused by these elements. In some cases, an oxide having good sliding characteristics at the time of formation may be formed. Therefore, according to the above configuration (11), the slidability of the nozzle vanes with respect to the flow path forming wall surface is further improved.

（１２）本発明の少なくとも一実施形態に係るターボチャージャの製造方法は、
エンジンからの排ガスにより回転駆動されるように構成されたタービンと、
前記タービンに流入する前記排ガスの流路を形成するように互いに対向する一対の流路形成壁面と、
前記流路内に設けられ、前記流路の断面積を変えるように開度調節可能なノズルベーンと、
を備えるターボチャージャの製造方法であって、
前記一対の流路形成壁面にそれぞれ対向する前記ノズルベーンの一対の摺動面のうち少なくとも一方を少なくとも部分的に被覆する第１被覆層を形成する第１形成ステップと、
前記第１被覆層に対向するように設けられ、前記流路形成壁面の少なくとも一方を少なくとも部分的に被覆する第２被覆層を形成する第２形成ステップと、
を備え、
前記第１被覆層又は前記第２被覆層の少なくとも一方は固体潤滑材を含むとともに、
前記第１被覆層又は前記第２被覆層の一方は第１物質を含み、前記第１被覆層又は前記第２被覆層の他方は前記第１物質よりも極性が小さい第２物質を含む。 (12) A method for manufacturing a turbocharger according to at least one embodiment of the present invention includes:
A turbine configured to be rotationally driven by exhaust gas from the engine;
A pair of flow path forming wall surfaces facing each other to form a flow path of the exhaust gas flowing into the turbine,
A nozzle vane that is provided in the flow path and that can be adjusted in opening to change the cross-sectional area of the flow path,
A method for manufacturing a turbocharger comprising:
A first forming step of forming a first coating layer that at least partially covers at least one of a pair of sliding surfaces of the nozzle vane opposed to the pair of flow path forming wall surfaces,
A second forming step of forming a second coating layer provided so as to face the first coating layer and at least partially covering at least one of the flow path forming wall surfaces;
With
At least one of the first coating layer or the second coating layer includes a solid lubricant,
One of the first coating layer or the second coating layer includes a first substance, and the other of the first coating layer or the second coating layer includes a second substance having a polarity lower than that of the first substance.

上記（１２）の製造方法によれば、互いに対向する第１被覆層と第２被覆層の一方は極性が比較的大きい第１物質を含み、他方は極性が比較的小さい第２物質を含む。このため、第１被覆層と第２被覆層とは親和性が低く、極性の差に起因して互いをはじくので、第１被覆層又は第２被覆層の一方に含まれる固体潤滑材が、第１被覆層又は第２被覆層の他方に凝着しにくくなる。よって、固体潤滑材の凝着後にノズルベーンが動いた際に固体潤滑材が不均一なせん断破壊を引き起こすリスクが低減され、ノズルベーンと、該ノズルベーンが摺動する流路形成壁面との間のクリアランスを小さく維持することができる。   According to the manufacturing method of (12), one of the first coating layer and the second coating layer facing each other includes the first substance having a relatively large polarity, and the other includes the second substance having a relatively small polarity. For this reason, the first coating layer and the second coating layer have low affinity and repel each other due to the difference in polarity. Therefore, the solid lubricant contained in one of the first coating layer and the second coating layer is It becomes difficult to adhere to the other of the first coating layer and the second coating layer. Therefore, when the nozzle vane moves after the solid lubricant is adhered, the risk that the solid lubricant causes uneven shear failure is reduced, and the clearance between the nozzle vane and the flow path forming wall on which the nozzle vane slides is reduced. Can be kept small.

（１３）幾つかの実施形態では、上記（１２）の製造方法において、 前記第１物質又は前記第２物質の何れか一方と、前記固体潤滑材と、を含む被覆材を塗布することで、前記第１被覆層又は前記第２被覆層を形成する。 (13) In some embodiments, in the manufacturing method according to the above (12), a coating material containing either the first substance or the second substance and the solid lubricant is applied, The first coating layer or the second coating layer is formed.

上記（１３）の製造方法によれば、第１物質又は第２物質の何れか一方と、固体潤滑材と、を含む被覆材を塗布することにより、簡素な方法で、第１被覆層又は第２被覆層を形成することができる。   According to the manufacturing method of (13), the coating material containing either the first material or the second material and the solid lubricant is applied, so that the first coating layer or the first coating layer can be formed in a simple manner. Two coating layers can be formed.

（１４）幾つかの実施形態では、上記（１２）の製造方法において、前記第１物質又は前記第２物質の何れか一方と、前記固体潤滑材と、を含むメッキ液を用いてメッキ処理することにより、前記第１被覆層又は前記第２被覆層を形成する。 (14) In some embodiments, in the manufacturing method of the above (12), the plating treatment is performed using a plating solution containing either the first substance or the second substance and the solid lubricant. Thereby, the first coating layer or the second coating layer is formed.

上記（１４）の製造方法によれば、第１物質又は第２物質の何れか一方と、固体潤滑材と、を含むメッキ液を用いてメッキ処理することにより、簡素な方法で、第１被覆層又は第２被覆層を形成することができる。   According to the manufacturing method of (14), the first coating is performed by a simple method by performing plating using a plating solution containing either the first substance or the second substance and a solid lubricant. A layer or a second coating layer can be formed.

本発明の少なくとも一実施形態によれば、ノズルベーンと、該ノズルベーンが摺動する相手側部材（流路形成壁面）との間のクリアランスを小さく維持することが可能なターボチャージャ及びその製造方法が提供される。   According to at least one embodiment of the present invention, there is provided a turbocharger capable of maintaining a small clearance between a nozzle vane and a counterpart member (flow path forming wall surface) on which the nozzle vane slides, and a method of manufacturing the turbocharger. Is done.

一実施形態に係るターボチャージャの回転軸方向に沿った概略断面図である。FIG. 2 is a schematic cross-sectional view along a rotation axis direction of a turbocharger according to one embodiment. 一実施形態に係るターボチャージャのタービン部分の概略断面図である。1 is a schematic cross-sectional view of a turbine portion of a turbocharger according to one embodiment. 一実施形態に係る可変ノズル機構の構成を示す図である。FIG. 2 is a diagram illustrating a configuration of a variable nozzle mechanism according to one embodiment. 一実施形態に係るタービンの部分的な断面図である。1 is a partial cross-sectional view of a turbine according to one embodiment. 一実施形態に係るターボチャージャの運転中におけるノズルベーン及び流路形成壁面を示す図である。It is a figure showing a nozzle vane and a channel formation wall surface during operation of a turbocharger concerning one embodiment.

以下、添付図面を参照して本発明の幾つかの実施形態について説明する。ただし、実施形態として記載されている又は図面に示されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対的配置等は、本発明の範囲をこれに限定する趣旨ではなく、単なる説明例にすぎない。   Hereinafter, some embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. However, the dimensions, materials, shapes, relative arrangements, and the like of the components described in the embodiments or shown in the drawings are not intended to limit the scope of the present invention thereto, but are merely illustrative examples. Absent.

以下、幾つかの実施形態に係るターボチャージャについて説明する。
図１は、一実施形態に係るターボチャージャの回転軸方向に沿った概略断面図である。図２は、一実施形態に係るターボチャージャのタービン部分の概略断面図である。図３は、一実施形態に係る可変ノズル機構の構成を示す図である。 Hereinafter, a turbocharger according to some embodiments will be described.
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view along a rotation axis direction of a turbocharger according to one embodiment. FIG. 2 is a schematic sectional view of a turbine portion of the turbocharger according to one embodiment. FIG. 3 is a diagram illustrating a configuration of a variable nozzle mechanism according to one embodiment.

図１に示すように、ターボチャージャ１は、不図示のエンジンからの排ガスにより回転駆動されるように構成されたタービンロータ１２を含むタービン１３と、回転シャフト１５を介してタービンロータ１２と接続されたコンプレッサロータ（不図示）を含むコンプレッサ（不図示）と、を備える。コンプレッサロータは、タービンロータ１２の回転により同軸駆動されて、エンジンへの吸気を圧縮するように構成されている。また、回転シャフト１５は軸受２２によって回転可能に支持されている。   As shown in FIG. 1, the turbocharger 1 is connected to a turbine 13 including a turbine rotor 12 configured to be rotationally driven by exhaust gas from an engine (not shown), and the turbine rotor 12 via a rotating shaft 15. (Not shown) including a compressor rotor (not shown). The compressor rotor is configured to be driven coaxially by rotation of the turbine rotor 12 to compress intake air to the engine. The rotating shaft 15 is rotatably supported by a bearing 22.

タービンロータ１２、軸受２２、コンプレッサロータは、それぞれ、タービンハウジング１６、軸受ハウジング１８及びコンプレッサハウジング（不図示）に収容されており、タービンハウジング１６と軸受ハウジング１８、及び、軸受ハウジング１８とコンプレッサハウジングは、それぞれ、例えばボルトによって締結されている。   The turbine rotor 12, the bearing 22, and the compressor rotor are housed in a turbine housing 16, a bearing housing 18, and a compressor housing (not shown), respectively. The turbine housing 16, the bearing housing 18, and the bearing housing 18, the compressor housing are Are fastened by, for example, bolts.

タービンハウジング１６の外周側には、不図示の排気マニホールドと連通し、エンジンから排出された排ガスが流れるスクロール状の排ガス通路２０が形成されている。また、スクロール状の排ガス通路２０と、タービンロータ１２との間には、タービンロータ１２に作用する排ガスの流れを制御する可変ノズル機構１０が配置されている。   On the outer peripheral side of the turbine housing 16, a scroll-shaped exhaust gas passage 20 that communicates with an exhaust manifold (not shown) and through which exhaust gas discharged from the engine flows is formed. A variable nozzle mechanism 10 that controls the flow of exhaust gas acting on the turbine rotor 12 is disposed between the scroll-shaped exhaust gas passage 20 and the turbine rotor 12.

図１に示す例示的な実施形態において、可変ノズル機構１０は、ノズルベーン８と、ノズルベーン８が取り付けられるノズルマウント２と、ノズルマウント２に対向するように設けられたノズルプレート４と、ノズルマウント２とノズルプレート４との間に設けられるノズルサポート６と、を有する。   In the exemplary embodiment shown in FIG. 1, the variable nozzle mechanism 10 includes a nozzle vane 8, a nozzle mount 2 to which the nozzle vane 8 is attached, a nozzle plate 4 provided to face the nozzle mount 2, and a nozzle mount 2. And a nozzle support 6 provided between the nozzle support 4 and the nozzle plate 4.

図１に示すように、ノズルマウント２は、タービンハウジング１６とタービンハウジング１６と軸受ハウジング１８との間に挟まれた状態で、例えばボルトで締結されることによって、軸受ハウジング１８に固定されている。
また、図３に示すように、ノズルサポート６の一端は、ノズルマウント２の一面２ａに連結され、他端は、ノズルプレート４の一面４ａが連結されている。ノズルサポート６は、回転シャフト１５の周方向に沿って複数配置されている。ノズルプレート４は、ノズルサポート６によって、ノズルマウント２の一面２ａから離間して支持されている。
ノズルマウント２とノズルプレート４との間には、タービンロータ１２に流入する排ガスが流れる流路９が形成されている。すなわち、ノズルマウント２の一面２ａ及びノズルプレート４の一面４ａは、排ガスの流路９を形成するように互いに対向する一対の流路形成壁面を構成する。 As shown in FIG. 1, the nozzle mount 2 is fixed to the bearing housing 18 by being fastened with, for example, bolts while being sandwiched between the turbine housing 16 and the turbine housing 16 and the bearing housing 18. .
Further, as shown in FIG. 3, one end of the nozzle support 6 is connected to one surface 2a of the nozzle mount 2, and the other end is connected to one surface 4a of the nozzle plate 4. The plurality of nozzle supports 6 are arranged along the circumferential direction of the rotating shaft 15. The nozzle plate 4 is supported by the nozzle support 6 at a distance from the one surface 2a of the nozzle mount 2.
Between the nozzle mount 2 and the nozzle plate 4, a flow path 9 through which exhaust gas flowing into the turbine rotor 12 flows is formed. That is, the one surface 2a of the nozzle mount 2 and the one surface 4a of the nozzle plate 4 form a pair of flow path forming wall surfaces facing each other so as to form the flow path 9 of the exhaust gas.

図３に示すように、ノズルベーン８は、流路９内に設けられており、ノズル軸８ｃを介してレバープレート３の一端側に連結されている。また、レバープレート３の他端側は、ドライブリング５に連結されている。ドライブリング５は、円盤状に形成されており、ノズルマウント２の他面２ｂに回転可能に配置されている。
ドライブリング５は不図示のアクチュエータなどにより駆動されて回転可能になっている。ドライブリング５が回転すると、各レバープレート３が回転し、ノズル軸８ｃを介してノズルベーン８の開度（翼角）が変化するように構成されている。 As shown in FIG. 3, the nozzle vane 8 is provided in the flow path 9 and is connected to one end of the lever plate 3 via a nozzle shaft 8c. The other end of the lever plate 3 is connected to the drive ring 5. The drive ring 5 is formed in a disk shape, and is rotatably disposed on the other surface 2 b of the nozzle mount 2.
The drive ring 5 is rotatable by being driven by an actuator (not shown) or the like. When the drive ring 5 rotates, each lever plate 3 rotates, and the opening degree (blade angle) of the nozzle vane 8 changes via the nozzle shaft 8c.

このように構成される可変ノズル機構１０を備えたターボチャージャ１では、スクロール状の排ガス通路２０を流れた排ガスは、図１の矢印ｆで示したように、ノズルマウント２とノズルプレート４との間の流路９に流れ込み、ノズルベーン８によって流れ方向が制御されて、タービンハウジング１６の中心部へと流れる。そして、タービンロータ１２に作用した後に、排気出口２４から外部に排出される。   In the turbocharger 1 having the variable nozzle mechanism 10 configured as described above, the exhaust gas flowing through the scroll-shaped exhaust gas passage 20 is separated from the nozzle mount 2 and the nozzle plate 4 as shown by an arrow f in FIG. The gas flows into the flow passage 9 between the nozzles, and the flow direction is controlled by the nozzle vanes 8 to flow to the center of the turbine housing 16. Then, after acting on the turbine rotor 12, the gas is discharged from the exhaust outlet 24 to the outside.

図２において、二点鎖線で示されるノズルベーン８’は、実線で示されるノズルベーン８よりも開度が大きい状態である。すなわち、二点鎖線で示されるノズルベーン８’同士の間の距離Ｄ２は、実線で示されるノズルベーン８同士の間の距離Ｄ１よりも大きい。このため、排ガスの流路面積は、開度が小さい時に比べて、開度が大きい時の方が大きくなる。
このように、ノズルベーン８の開度を変化させることにより、排ガスの流路面積が変更されて排ガスのタービンロータへの流入速度が変化する。したがって、ノズルベーン８の開度を調節することにより、園児における過給圧を調節することができる。 In FIG. 2, the nozzle vanes 8 'indicated by the two-dot chain line are in a state in which the opening degree is larger than that of the nozzle vanes 8 indicated by the solid line. That is, the distance D 2 between the nozzle vane 8 'each other as indicated by a chain double-dashed line is greater than the distance D 1 of the between nozzle vanes 8 each other as shown by the solid line. For this reason, the flow path area of the exhaust gas is larger when the opening is large than when the opening is small.
As described above, by changing the opening degree of the nozzle vane 8, the flow path area of the exhaust gas is changed, and the flow speed of the exhaust gas into the turbine rotor is changed. Therefore, by adjusting the opening degree of the nozzle vanes 8, the supercharging pressure in the child can be adjusted.

図４は、一実施形態に係るタービンの部分的な断面図であり、ノズルベーンの周辺部を示す図である。図４に示すように、ノズルベーン８は、一対の流路形成壁面を構成するノズルプレート４の一面４ａ及びノズルマウント２の一面２ａにそれぞれ対向する摺動面８ａ，８ｂを有する。摺動面８ａ，８ｂは、それぞれ第１被覆層２６ａ，２６ｂで少なくとも部分的に被覆されているとともに、摺動面８ａ，８ｂにそれぞれ対向するノズルプレート４の一面４ａ及びノズルマウント２の一面２ａは、それぞれ第２被覆層２８ａ，２８ｂで少なくとも部分的に被覆されている。第１被覆層２６ａ，２６ｂは、それぞれ、固体潤滑材及び第１物質を含むとともに、第２被覆層２８ａ，２８ｂは、それぞれ、第１物質よりも極性が小さい第２物質を含む。   FIG. 4 is a partial cross-sectional view of the turbine according to the embodiment, and is a diagram illustrating a peripheral portion of a nozzle vane. As shown in FIG. 4, the nozzle vane 8 has sliding surfaces 8a and 8b facing one surface 4a of the nozzle plate 4 and one surface 2a of the nozzle mount 2, respectively, which constitute a pair of flow path forming wall surfaces. The sliding surfaces 8a and 8b are at least partially covered with the first coating layers 26a and 26b, respectively, and the one surface 4a of the nozzle plate 4 and the one surface 2a of the nozzle mount 2 that face the sliding surfaces 8a and 8b, respectively. Are at least partially covered by the second covering layers 28a and 28b, respectively. The first coating layers 26a and 26b each include a solid lubricant and a first substance, and the second coating layers 28a and 28b each include a second substance having a smaller polarity than the first substance.

このような構成を有するタービンによれば、ノズルベーン８と、該ノズルベーン８が摺動する流路形成壁面（ノズルマウント２の一面２ａ又はノズルプレート４の一面４ａ）との間のクリアランスｄａ，ｄｂ（図４参照）を小さく維持することができる。
このことについて、図５を参照して説明する。図５は、一実施形態に係るターボチャージャの運転中におけるノズルベーン及び流路形成壁面を示す図である。
なお、図５においては、図の簡略化のため、ノズルベーン８の一対の摺動面８ａ，８ｂのうち、ノズルプレート４側の摺動面８ａのみが被覆層で覆われているとともに、一対の流路形成壁面を構成する一面２ａ，４ａ，のうち、ノズルプレート４の一面４ａが被覆層で覆われている態様を示した。 According to a turbine having such a configuration, a clearance d a between the nozzle vanes 8, a flow path forming wall which the nozzle vane 8 slides (one side 4a of the one surface 2a or the nozzle plate 4 of the nozzle mount 2), d b (see FIG. 4) can be kept small.
This will be described with reference to FIG. FIG. 5 is a diagram illustrating the nozzle vanes and the flow path forming wall surface during operation of the turbocharger according to the embodiment.
In FIG. 5, for simplification of the drawing, of the pair of sliding surfaces 8 a and 8 b of the nozzle vane 8, only the sliding surface 8 a on the nozzle plate 4 side is covered with the coating layer. The aspect in which one surface 4a of the nozzle plate 4 is covered with the coating layer among the surfaces 2a and 4a constituting the flow path forming wall surface is shown.

ターボチャージャの運転中、ノズルベーン８の摺動面８ａを被覆する被覆層と、該摺動面８ａに対向するノズルプレート４の一面４ａとを被覆する被覆層とが、例えば、同一の第１物質を含む場合、２つの被覆層は、極性が同程度であるため、互いの親和性が高く、２つの被覆層のうち、一方の被覆層の一部が他方の被覆層に凝着して、一体的な被覆層を形成する場合がある。この場合、ノズルベーン８が動いた際に被覆層内において不均一なせん断破壊が生じ、その後のノズルベーン８の動きに伴って、せん断破壊によって分離された２つの被覆層同士が接触して摩耗が進行してしまい、２つの被覆層の間の隙間が拡大してしまうことがある。   During operation of the turbocharger, the coating layer covering the sliding surface 8a of the nozzle vane 8 and the coating layer covering the one surface 4a of the nozzle plate 4 facing the sliding surface 8a are, for example, the same first material. When the two coating layers have the same polarity, they have a high affinity for each other, and a part of one of the two coating layers adheres to the other coating layer. In some cases, an integral coating layer is formed. In this case, when the nozzle vane 8 moves, uneven shear failure occurs in the coating layer, and the subsequent movement of the nozzle vane 8 causes the two coating layers separated by the shear failure to come into contact with each other, leading to abrasion. As a result, the gap between the two coating layers may be enlarged.

この点、上述した実施形態では、互いに対向する第１被覆層２６ａ，２６ｂと第２被覆層２８ａ，２８ｂの一方（上述の実施形態の場合第１被覆層２６ａ，２６ｂ）は極性が比較的大きい第１物質を含み、他方（上述の実施形態の場合第２被覆層２８ａ，２８ｂ）は極性が比較的小さい第２物質を含む。このため、第１被覆層２６ａ，２６ｂと第２被覆層２８ａ，２８ｂとは親和性が低く、極性の差に起因して互いをはじくので、第１被覆層２６ａ，２６ｂに含まれる固体潤滑材が、第２被覆層２８ａ，２８ｂに凝着しにくくなる。   In this regard, in the above-described embodiment, one of the first coating layers 26a and 26b and the second coating layers 28a and 28b facing each other (the first coating layers 26a and 26b in the above-described embodiment) has a relatively large polarity. The other (the second covering layers 28a and 28b in the case of the above-described embodiment) includes the first substance, and the second substance having a relatively small polarity. Therefore, the first coating layers 26a, 26b and the second coating layers 28a, 28b have low affinity and repel each other due to the difference in polarity, so that the solid lubricant contained in the first coating layers 26a, 26b is However, it is difficult to adhere to the second coating layers 28a and 28b.

例えば、図５（Ａ）に示すように、ノズルベーン８の摺動面８ａに設けられた第１被覆層２６ａと、ノズルプレート４の一面４ａに設けられた第２被覆層２８ａとは、極性の差に起因して互いをはじくため、第１被覆層２６ａと第２被覆層２８ａとの界面は平坦なものとなる。したがって、図５（Ａ）に図示される状態からノズルベーン８の開度が変更されて、ノズルベーン８及びノズルプレート４が相対的に矢印の方向に移動して、図５（Ｂ）に図示される状態となる過程においても、第１被覆層２６ａと第２被覆層２８ａとの間の平坦な界面が維持されやすく、第１被覆層２６ａに含まれる固体潤滑材が、第２被覆層に凝着しにくい。   For example, as shown in FIG. 5A, the first coating layer 26a provided on the sliding surface 8a of the nozzle vane 8 and the second coating layer 28a provided on the one surface 4a of the nozzle plate 4 have polarities. Since the two layers repel each other due to the difference, the interface between the first coating layer 26a and the second coating layer 28a becomes flat. Therefore, the opening degree of the nozzle vane 8 is changed from the state illustrated in FIG. 5A, and the nozzle vane 8 and the nozzle plate 4 relatively move in the direction of the arrow, and are illustrated in FIG. 5B. In the process of forming a state, a flat interface between the first coating layer 26a and the second coating layer 28a is easily maintained, and the solid lubricant contained in the first coating layer 26a adheres to the second coating layer. Hard to do.

したがって、上述した実施形態では、固体潤滑材の凝着後にノズルベーン８が動いた際に固体潤滑材が不均一なせん断破壊を引き起こすリスクが低減され、ノズルベーン８と、該ノズルベーン８が摺動する流路形成壁面（ノズルマウント２の一面２ａ又はノズルプレート４の一面４ａ）との間のクリアランスを小さく維持することができる。   Therefore, in the embodiment described above, when the nozzle vane 8 moves after the solid lubricant is adhered, the risk of causing the non-uniform shear failure of the solid lubricant is reduced, and the nozzle vane 8 and the flow in which the nozzle vane 8 slides are reduced. The clearance between the road forming wall surface (one surface 2a of the nozzle mount 2 or one surface 4a of the nozzle plate 4) can be kept small.

なお、図４においては、ノズルベーン８の一対の摺動面８ａ，８ｂの両方が固体潤滑材及び比較的極性の大きい第１物質を含む第１被覆層２６ａ，２６ｂで被覆されているとともに、流路形成壁面を構成するノズルプレート４の一面４ａ及びノズルマウント２の一面２ａの両方が、比較的極性の小さい第２物質を含む第２被覆層２８ａ，２８ｂで被覆されている例を示したが、本発明はこの態様に限定されない。   In FIG. 4, both the pair of sliding surfaces 8a and 8b of the nozzle vane 8 are covered with the first coating layers 26a and 26b containing the solid lubricant and the first substance having a relatively large polarity. Although an example is shown in which both the one surface 4a of the nozzle plate 4 and the one surface 2a of the nozzle mount 2 forming the road forming wall surface are covered with the second coating layers 28a and 28b containing the second material having a relatively small polarity. However, the present invention is not limited to this embodiment.

例えば、一実施形態では、第１被覆層は、ノズルベーン８の一対の摺動面８ａ，８ｂのうち、片方のみ（例えば摺動面８ａのみ）に設けられていてもよい。この場合、ノズルプレート４の一面４ａ及びノズルマウント２の一面２ａのうち、第１被覆層が設けられた摺動面（例えば摺動面８ａ）に対向する一方（例えばノズルプレート４の一面４ａ）のみに、第２被覆層が設けられていてもよい。   For example, in one embodiment, the first coating layer may be provided on only one of the pair of sliding surfaces 8a and 8b of the nozzle vane 8 (for example, only the sliding surface 8a). In this case, of the one surface 4a of the nozzle plate 4 and the one surface 2a of the nozzle mount 2, one surface (for example, the one surface 4a of the nozzle plate 4) facing the sliding surface (for example, the sliding surface 8a) on which the first coating layer is provided. Only the second coating layer may be provided.

また、例えば一実施形態では、固体潤滑材は、ノズルベーン８の一対の摺動面８ａ又は８ｂに設けられる第１被覆層ではなく、ノズルプレート４の一面４ａ又はノズルマウント２の一面２ａに設けられる第２被覆層に含まれていてもよい。
また、例えば一実施形態では、第１被覆層が比較的極性の小さい第２物質を含むとともに、第２被覆層が比較的極性の大きい第１物質を含んでいてもよい。 Further, for example, in one embodiment, the solid lubricant is provided not on the first coating layer provided on the pair of sliding surfaces 8a or 8b of the nozzle vane 8, but on the one surface 4a of the nozzle plate 4 or the one surface 2a of the nozzle mount 2. It may be included in the second coating layer.
Further, for example, in one embodiment, the first coating layer may include a second substance having a relatively low polarity, and the second coating layer may include a first substance having a relatively high polarity.

なお、本発明は、図４に示す実施形態に限られるものではないが、以降においては、発明の容易な把握のため、図４に示す実施形態及び符号に基づいて説明する。   The present invention is not limited to the embodiment shown in FIG. 4, but will be described below based on the embodiment and reference numerals shown in FIG. 4 for easy understanding of the invention.

幾つかの実施形態では、比較的極性が大きい第１物質は、比較的極性が小さい第２物質よりも、溶解パラメータが２．５以上大きい。
溶解パラメータは、物質の極性の指標として用いられる。互いに対向する第１被覆層２６ａ，２６ｂと第２被覆層２８ａ，２８ｂを構成する第１物質と第２物質（又は第２物質と第１物質）との溶解パラメータの差が２．５以上大きければ、第１物質と第２物質の極性の差により、第１被覆層２６ａ，２６ｂに含まれる固体潤滑材の、第２被覆層２８ａ，２８ｂへの凝着を効果的に抑制して、固体潤滑材の凝着に起因する被覆層（第１被覆層２６ａ，２６ｂ又は第２被覆層２８ａ，２８ｂ）の破壊を効果的に抑制することができる。 In some embodiments, the relatively polar first material has a solubility parameter that is 2.5 or more greater than the relatively less polar second material.
The solubility parameter is used as an indicator of the polarity of the substance. The difference between the dissolution parameters of the first substance and the second substance (or the second substance and the first substance) constituting the first coating layers 26a, 26b and the second coating layers 28a, 28b facing each other is larger than 2.5. For example, the solid lubricant contained in the first coating layers 26a and 26b is effectively prevented from adhering to the second coating layers 28a and 28b due to the difference in polarity between the first substance and the second substance. Breakage of the coating layer (first coating layers 26a, 26b or second coating layers 28a, 28b) due to adhesion of the lubricant can be effectively suppressed.

上述した固体潤滑材の被覆層への凝着を効果的に抑制可能な第１物質と第２物質との組み合わせは、様々であるが、例えば、第１物質は、アセトニトリル、水、クロロホルム、アセトン及びメタノールからなる群から選ばれる少なくとも１種を含む物質であるとともに、第２物質は、ジオキサン、四塩化炭素、炭化水素、飽和脂肪酸、不飽和脂肪酸及びグリセリンからなる群から選ばれる少なくとも１種を含む物質であってもよい。   There are various combinations of the first substance and the second substance that can effectively suppress the adhesion of the solid lubricant to the coating layer. For example, the first substance is acetonitrile, water, chloroform, acetone. And at least one selected from the group consisting of dioxane, carbon tetrachloride, hydrocarbons, saturated fatty acids, unsaturated fatty acids and glycerin, while the second substance is a substance containing at least one selected from the group consisting of May be included.

幾つかの実施形態では、第１被覆層２６ａ，２６ｂ（又は第２被覆層２８ａ，２８ｂ）に含まれる固体潤滑材は、窒化ホウ素を含む。
窒化ホウ素は、例えば、典型的に用いられる炭素を主成分とする固体潤滑材等に比べて、比較的高温領域で良好な摺動特性を有する。このような特性を有する窒化ホウ素を固体潤滑材として用いることで、ターボチャージャ１の高温での運転時においても、ノズルベーン８の流路形成壁面（すなわちノズルマウント２の一面２ａ又はノズルプレート４の一面４ａ）に対する摺動性を維持することができる。 In some embodiments, the solid lubricant included in the first coating layers 26a, 26b (or the second coating layers 28a, 28b) includes boron nitride.
Boron nitride has better sliding characteristics in a relatively high temperature range than, for example, typically used solid lubricants mainly containing carbon. By using boron nitride having such characteristics as a solid lubricant, even when the turbocharger 1 is operated at a high temperature, the flow path forming wall surface of the nozzle vane 8 (that is, one surface 2a of the nozzle mount 2 or one surface of the nozzle plate 4) The slidability with respect to 4a) can be maintained.

幾つかの実施形態では、固体潤滑材を含む第１被覆層２６ａ，２６ｂ（又は第２被覆層２８ａ，２８ｂであってもよい）の膜厚は、０．１μｍ以上５００μｍ以下である。
固体潤滑材を含む第１被覆層２６ａ，２６ｂ又は第２被覆層２８ａ，２８ｂの膜厚が０．１μｍ以上であれば、例えば、第１被覆層２６ａ，２６ｂ又は第２被覆層２８ａ，２８ｂが形成されるノズルベーン８の摺動面８ａ，８ｂ又は流路形成壁面（すなわちノズルマウント２の一面２ａ又はノズルプレート４の一面４ａ）の表面に凹凸があったとしても、良好な摺動性能を発揮することができる。
固体潤滑材を含む第１被覆層２６ａ，２６ｂ又は第２被覆層２８ａ，２８ｂの膜厚が５００μｍ以下でれあば、ターボチャージャ１の運転中における第１被覆層２６ａ，２６ｂ又は第２被覆層２８ａ，２８ｂの剥離を抑制することができる。 In some embodiments, the thickness of the first coating layers 26a and 26b (or the second coating layers 28a and 28b) including the solid lubricant is 0.1 μm or more and 500 μm or less.
If the thickness of the first coating layer 26a, 26b or the second coating layer 28a, 28b containing the solid lubricant is 0.1 μm or more, for example, the first coating layer 26a, 26b or the second coating layer 28a, 28b Even if there are irregularities on the sliding surfaces 8a, 8b of the nozzle vanes 8 to be formed or the surface of the flow path forming wall surface (that is, one surface 2a of the nozzle mount 2 or one surface 4a of the nozzle plate 4), good sliding performance is exhibited. can do.
If the thickness of the first coating layer 26a, 26b or the second coating layer 28a, 28b containing the solid lubricant is 500 μm or less, the first coating layer 26a, 26b or the second coating layer during the operation of the turbocharger 1. Separation of 28a and 28b can be suppressed.

幾つかの実施形態では、ノズルベーン８の一対の摺動面８ａ，８ｂのうち、第１被覆層２６ａ，２６ｂが形成された少なくとも一方（図４に示す実施形態では摺動面８ａ，８ｂの両方）と、流路形成壁面（すなわちノズルマウント２の一面２ａ又はノズルプレート４の一面４ａ）のとの間のクリアランスは、１０μｍ以上１００μｍ以下である。   In some embodiments, at least one of the pair of sliding surfaces 8a and 8b of the nozzle vane 8 on which the first coating layers 26a and 26b are formed (both the sliding surfaces 8a and 8b in the embodiment shown in FIG. 4). ) And the clearance between the flow path forming wall surface (that is, one surface 2a of the nozzle mount 2 or one surface 4a of the nozzle plate 4) is 10 μm or more and 100 μm or less.

上述のクリアランスが１０μｍ以上であれば、ノズルベーン８の流路形成壁面（ノズルマウント２の一面２ａ又はノズルプレート４の一面４ａ）に対する円滑な摺動が損なわれない。
一方、上述のクリアランスが１００μｍ以下であれば、ノズルベーン８の摺動面８ａ，８ｂと流路形成壁面（ノズルマウント２の一面２ａ又はノズルプレート４の一面４ａ）との間の隙間へのエンジンからの排ガスの流入を十分に抑制することができ、タービン効率の低下を抑制することができる。 If the clearance is 10 μm or more, smooth sliding of the nozzle vanes 8 on the flow path forming wall surface (one surface 2a of the nozzle mount 2 or one surface 4a of the nozzle plate 4) is not impaired.
On the other hand, if the above clearance is 100 μm or less, the engine enters the gap between the sliding surfaces 8a and 8b of the nozzle vane 8 and the wall surface on which the flow path is formed (one surface 2a of the nozzle mount 2 or one surface 4a of the nozzle plate 4). The exhaust gas inflow can be sufficiently suppressed, and a decrease in turbine efficiency can be suppressed.

幾つかの実施形態では、固体潤滑材を含む第１被覆層２６ａ，２６ｂ（又は第２被覆層２８ａ，２８ｂ）は、表面硬化処理された摺動面８ａ，８ｂ又は前記流路形成壁面（ノズルマウント２の一面２ａ又はノズルプレート４の一面４ａ）上に設けられている。   In some embodiments, the first coating layers 26a and 26b (or the second coating layers 28a and 28b) including the solid lubricant are provided on the sliding surfaces 8a and 8b that have been subjected to the surface hardening treatment or the flow path forming wall surface (nozzle). It is provided on one surface 2a of the mount 2 or one surface 4a) of the nozzle plate 4.

固体潤滑材を含む第１被覆層２６ａ，２６ｂ又は第２被覆層２８ａ，２８ｂが設けられるノズルベーン８の摺動面８ａ，８ｂ又は流路形成壁面（ノズルマウント２の一面２ａ又はノズルプレート４の一面４ａ）を表面硬化処理することにより、これらの表面は硬く変形しにくくなっている。よって、接触等により摺動面８ａ，８ｂ又は流路形成壁面（ノズルマウント２の一面２ａ又はノズルプレート４の一面４ａ）に外力が加わった際のノズルベーン８の摺動面８ａ，８ｂ又は流路形成壁面（ノズルマウント２の一面２ａ又はノズルプレート４の一面４ａ）の変形を抑制することができ、摺動面又は流路形成壁面からの第１被覆層２６ａ，２６ｂ又は第２被覆層２８ａ，２８ｂの剥離を抑制することができる。   The sliding surface 8a, 8b of the nozzle vane 8 on which the first coating layer 26a, 26b or the second coating layer 28a, 28b containing a solid lubricant is provided, or the flow path forming wall surface (one surface 2a of the nozzle mount 2 or one surface of the nozzle plate 4) By performing the surface hardening treatment on 4a), these surfaces are hard and hard to deform. Therefore, when an external force is applied to the sliding surfaces 8a, 8b or the wall surface (one surface 2a of the nozzle mount 2 or one surface 4a of the nozzle plate 4) due to contact or the like, the sliding surfaces 8a, 8b of the nozzle vanes 8 or the flow channel Deformation of the formation wall surface (one surface 2a of the nozzle mount 2 or one surface 4a of the nozzle plate 4) can be suppressed, and the first coating layers 26a, 26b or the second coating layers 28a, 28a, The peeling of 28b can be suppressed.

第１被覆層２６ａ，２６ｂ又は第２被覆層２８ａ，２８ｂが設けられるノズルベーン８の摺動面８ａ，８ｂ又は流路形成壁面（ノズルマウント２の一面２ａ又はノズルプレート４の一面４ａ）を表面硬化処理するための方法としては、例えば、焼入れ又は窒化が挙げられる。   Surface hardening of the sliding surfaces 8a, 8b of the nozzle vanes 8 or the flow path forming wall surfaces (one surface 2a of the nozzle mount 2 or one surface 4a of the nozzle plate 4) on which the first coating layers 26a, 26b or the second coating layers 28a, 28b are provided. Examples of the method for the treatment include quenching or nitriding.

固体潤滑材を含む上述の第１被覆層２６ａ，２６ｂ又は第２被覆層２８ａ，２８ｂには、種々の添加剤が含まれていてもよい。これにより、固体潤滑材を含む被覆層に様々な特性を付与することができる。   The first coating layers 26a and 26b or the second coating layers 28a and 28b containing the solid lubricant may contain various additives. Thereby, various characteristics can be given to the coating layer containing the solid lubricant.

幾つかの実施形態では、固体潤滑材を含む第１被覆層２６ａ，２６ｂ又は第２被覆層２８ａ，２８ｂは、Ｓｎ、Ａｇ及びＰｂからなる群から選ばれる少なくとも１種を含んでいてもよい。   In some embodiments, the first coating layers 26a, 26b or the second coating layers 28a, 28b including a solid lubricant may include at least one selected from the group consisting of Sn, Ag, and Pb.

この場合、固体潤滑材を含む第１被覆層２６ａ，２６ｂ又は第２被覆層２８ａ，２８ｂは、硬度が比較的小さいＳｎ、Ａｇ又はＰｂを含むので、比較的低温の温度領域（例えば、２００℃〜５００℃程度）において、ノズルベーン８の流路形成壁面（ノズルマウント２の一面２ａ又はノズルプレート４の一面４ａ）に対する摺動性を向上させることができる。   In this case, since the first coating layers 26a, 26b or the second coating layers 28a, 28b containing the solid lubricant contain Sn, Ag, or Pb having relatively small hardness, a relatively low temperature range (for example, 200 ° C.). (About 500 ° C.), the slidability of the nozzle vanes 8 with respect to the flow path forming wall surface (one surface 2a of the nozzle mount 2 or one surface 4a of the nozzle plate 4) can be improved.

幾つかの実施形態では、固体潤滑材を含む第１被覆層２６ａ，２６ｂ又は第２被覆層２８ａ，２８ｂは、Ｏ、Ｓ、Ｓｅ及びＴｅからなる群から選ばれる少なくとも１種を含んでいてもよい。   In some embodiments, the first coating layer 26a, 26b or the second coating layer 28a, 28b containing a solid lubricant may include at least one selected from the group consisting of O, S, Se, and Te. Good.

この場合、固体潤滑材を含む第１被覆層２６ａ，２６ｂ又は第２被覆層２８ａ，２８ｂに含まれる上述した元素と、ノズルベーン８又は流路形成壁面（ノズルマウント２の一面２ａ又はノズルプレート４の一面４ａ）を構成する金属元素とが結合して、良好な摺動特性を有する化合物（例えば金属酸化物や金属硫化物）が生成される。よって、ノズルベーン８の流路形成壁面（ノズルマウント２の一面２ａ又はノズルプレート４の一面４ａ）に対する摺動性がより良好となる。   In this case, the above-described elements contained in the first coating layers 26a and 26b or the second coating layers 28a and 28b containing the solid lubricant are combined with the nozzle vanes 8 or the flow path forming wall surface (one surface 2a of the nozzle mount 2 or the nozzle plate 4). The metal element constituting the one surface 4a) is combined with the compound to generate a compound having good sliding properties (for example, a metal oxide or a metal sulfide). Therefore, the slidability of the nozzle vanes 8 with respect to the flow path forming wall surface (one surface 2a of the nozzle mount 2 or one surface 4a of the nozzle plate 4) is further improved.

幾つかの実施形態では、第１被覆層２６ａ，２６ｂ又は第２被覆層２８ａ，２８ｂは、フッ素を含んでいてもよい。   In some embodiments, the first coating layers 26a, 26b or the second coating layers 28a, 28b may include fluorine.

この場合、固体潤滑材を含む第１被覆層２６ａ，２６ｂ又は第２被覆層２８ａ，２８ｂはフッ素を含むので、フッ素とノズルベーン８又は流路形成壁面（ノズルマウント２の一面２ａ又はノズルプレート４の一面４ａ）を構成する金属元素とが結合して、とくに比較的高温の温度領域において摺動特性が良好なフッ化金属が生成される。よって、ノズルベーン８の流路形成壁面（ノズルマウント２の一面２ａ又はノズルプレート４の一面４ａ）に対する摺動性がより良好となる。   In this case, since the first coating layers 26a, 26b or the second coating layers 28a, 28b containing the solid lubricant contain fluorine, the fluorine and the nozzle vanes 8 or the flow path forming wall surface (one surface 2a of the nozzle mount 2 or the nozzle plate 4) The metal element constituting the one surface 4a) is bonded to produce a metal fluoride having good sliding characteristics, particularly in a relatively high temperature range. Accordingly, the slidability of the nozzle vanes 8 with respect to the flow path forming wall surface (one surface 2a of the nozzle mount 2 or one surface 4a of the nozzle plate 4) is further improved.

幾つかの実施形態では、第１被覆層２６ａ，２６ｂ又は第２被覆層２８ａ，２８ｂは、Ｃｒ、Ｔａ、Ｂａ、Ｃａ及びＮｉからなる群から選ばれる少なくとも１種を含んでいてもよい。   In some embodiments, the first coating layers 26a, 26b or the second coating layers 28a, 28b may include at least one selected from the group consisting of Cr, Ta, Ba, Ca, and Ni.

以上に説明した構成を有するターボチャージャ１の製造方法は、ノズルベーン８の一対の摺動面８ａ，８ｂのうち少なくとも一方を少なくとも部分的に被覆する第１被覆層２６ａ，２６ｂを形成する第１形成ステップと、流路形成壁面（ノズルマウント２の一面２ａ又はノズルプレート４の一面４ａ）の少なくとも一方を少なくとも部分的に被覆する第２被覆層２８ａ，２８ｂを第１被覆層２６ａ，２６ｂに対向するように形成する第２形成ステップと、を備える。   In the method of manufacturing the turbocharger 1 having the above-described configuration, the first formation in which the first coating layers 26a and 26b that at least partially cover at least one of the pair of sliding surfaces 8a and 8b of the nozzle vane 8 is performed. Step and the second coating layers 28a and 28b that at least partially cover at least one of the flow path forming wall surfaces (one surface 2a of the nozzle mount 2 or one surface 4a of the nozzle plate 4) face the first coating layers 26a and 26b. And a second forming step of forming as described above.

第１形成ステップ又は第２形成ステップにおいて固体潤滑材を含む被覆層を形成する場合には、第１物質又は第２物質の何れか一方と、固体潤滑材と、を含む被覆材を、ノズルベーン８の一対の摺動面８ａ，８ｂの少なくとも一方又は流路形成壁面（ノズルマウント２の一面２ａ又はノズルプレート４の一面４ａ）の少なくとも一方を少なくとも部分的に塗布することで、固体潤滑材を含む第１被覆層２６ａ，２６ｂ又は第２被覆層２８ａ，２８ｂを形成してもよい。   When forming a coating layer containing a solid lubricant in the first forming step or the second forming step, the coating material containing either the first substance or the second substance and the solid lubricant is supplied to the nozzle vane 8. At least one of the pair of sliding surfaces 8a and 8b or at least one of the flow path forming wall surfaces (one surface 2a of the nozzle mount 2 or one surface 4a of the nozzle plate 4) is at least partially applied to include a solid lubricant. The first coating layers 26a, 26b or the second coating layers 28a, 28b may be formed.

また、固体潤滑材を含む被覆材を塗布する方法として、被覆材で覆われた鋼球等を、被塗物であるノズルベーン８の摺動面８ａ，８ｂ又は流路形成壁面（ノズルマウント２の一面２ａ又はノズルプレート４の一面４ａ）に投射し、固体潤滑材を含む被覆材を転写することにより塗布する方法（インピンジメント法）を採用してもよい。   Further, as a method of applying a coating material containing a solid lubricant, a steel ball or the like covered with the coating material is coated with sliding surfaces 8a and 8b of a nozzle vane 8 which is an object to be coated or a flow path forming wall surface (of the nozzle mount 2). A method (impingement method) of projecting onto one surface 2a or one surface 4a) of the nozzle plate 4 and transferring and applying a coating material containing a solid lubricant may be adopted.

あるいは、第１形成ステップ又は第２形成ステップにおいて固体潤滑材を含む被覆層を形成する場合には、第１物質又は第２物質の何れか一方と、固体潤滑材と、を含むメッキ液を用いてノズルベーン８の一対の摺動面８ａ，８ｂの少なくとも一方又は流路形成壁面（ノズルマウント２の一面２ａ又はノズルプレート４の一面４ａ）の少なくとも一方をメッキ処理することで、固体潤滑材を含む第１被覆層２６ａ，２６ｂ又は第２被覆層２８ａ，２８ｂを形成してもよい。   Alternatively, when forming a coating layer containing a solid lubricant in the first forming step or the second forming step, a plating solution containing either the first substance or the second substance and the solid lubricant is used. At least one of the pair of sliding surfaces 8a and 8b of the nozzle vane 8 or at least one of the flow path forming wall surfaces (one surface 2a of the nozzle mount 2 or one surface 4a of the nozzle plate 4) is plated to include a solid lubricant. The first coating layers 26a, 26b or the second coating layers 28a, 28b may be formed.

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述した実施形態に限定されることはなく、上述した実施形態に変形を加えた形態や、これらの形態を適宜組み合わせた形態も含む。   As described above, the embodiments of the present invention have been described, but the present invention is not limited to the above-described embodiments, and includes a form in which the above-described embodiments are modified and a form in which these forms are appropriately combined.

本明細書において、「ある方向に」、「ある方向に沿って」、「平行」、「直交」、「中心」、「同心」或いは「同軸」等の相対的或いは絶対的な配置を表す表現は、厳密にそのような配置を表すのみならず、公差、若しくは、同じ機能が得られる程度の角度や距離をもって相対的に変位している状態も表すものとする。
例えば、「同一」、「等しい」及び「均質」等の物事が等しい状態であることを表す表現は、厳密に等しい状態を表すのみならず、公差、若しくは、同じ機能が得られる程度の差が存在している状態も表すものとする。
また、本明細書において、四角形状や円筒形状等の形状を表す表現は、幾何学的に厳密な意味での四角形状や円筒形状等の形状を表すのみならず、同じ効果が得られる範囲で、凹凸部や面取り部等を含む形状も表すものとする。
また、本明細書において、一の構成要素を「備える」、「含む」、又は、「有する」という表現は、他の構成要素の存在を除外する排他的な表現ではない。 In this specification, expressions representing relative or absolute arrangements such as "in a certain direction", "along a certain direction", "parallel", "orthogonal", "center", "concentric" or "coaxial". Represents not only such an arrangement strictly, but also represents a state of being relatively displaced with a tolerance or an angle or a distance at which the same function can be obtained.
For example, expressions such as "identical", "equal", and "homogeneous", which indicate that things are in the same state, not only represent exactly the same state, but also have a tolerance or a difference to the extent that the same function is obtained. An existing state shall also be represented.
Further, in the present specification, expressions representing shapes such as a square shape and a cylindrical shape not only represent shapes such as a square shape and a cylindrical shape in a strictly geometrical sense, but also to the extent that the same effect can be obtained. , And a shape including an uneven portion and a chamfered portion.
Further, in this specification, the expression “comprising”, “including”, or “having” one component is not an exclusive expression excluding the existence of another component.

１ ターボチャージャ
２ ノズルマウント
２ａ 一面
２ｂ 他面
３ レバープレート
４ ノズルプレート
４ａ 一面
５ ドライブリング
６ ノズルサポート
８ ノズルベーン
８ａ，８ｂ 摺動面
８ｃ ノズル軸
９ 流路
１０ 可変ノズル機構
１２ タービンロータ
１３ タービン
１５ 回転シャフト
１６ タービンハウジング
１８ 軸受ハウジング
２０ 排ガス通路
２２ 軸受
２４ 排気出口
２６ａ，２６ｂ 第１被覆層
２８ａ，２８ｂ 第２被覆層 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Turbocharger 2 Nozzle mount 2a One surface 2b Other surface 3 Lever plate 4 Nozzle plate 4a One surface 5 Drive ring 6 Nozzle support 8 Nozzle vanes 8a, 8b Sliding surface 8c Nozzle shaft 9 Flow path 10 Variable nozzle mechanism 12 Turbine rotor 13 Turbine 15 Rotation Shaft 16 Turbine housing 18 Bearing housing 20 Exhaust gas passage 22 Bearing 24 Exhaust outlet 26a, 26b First coating layer 28a, 28b Second coating layer

Claims (14)

エンジンからの排ガスにより回転駆動されるように構成されたタービンと、
前記タービンに流入する前記排ガスの流路を形成するように互いに対向する一対の流路形成壁面と、
前記流路内に設けられ、前記流路の断面積を変えるように開度調節可能なノズルベーンと、
前記一対の流路形成壁面にそれぞれ対向する前記ノズルベーンの一対の摺動面のうち少なくとも一方を少なくとも部分的に被覆する第１被覆層と、
前記第１被覆層に対向するように設けられ、前記流路形成壁面の少なくとも一方を少なくとも部分的に被覆する第２被覆層と、
を備え、
前記第１被覆層又は前記第２被覆層の少なくとも一方は固体潤滑材を含むとともに、
前記第１被覆層又は前記第２被覆層の一方は第１物質を含み、前記第１被覆層又は前記第２被覆層の他方は前記第１物質よりも極性が小さい第２物質を含む
ことを特徴とするターボチャージャ。 A turbine configured to be rotationally driven by exhaust gas from the engine;
A pair of flow path forming wall surfaces facing each other to form a flow path of the exhaust gas flowing into the turbine,
A nozzle vane that is provided in the flow path and that can be adjusted in opening to change the cross-sectional area of the flow path,
A first coating layer that at least partially covers at least one of a pair of sliding surfaces of the nozzle vane that respectively face the pair of flow path forming wall surfaces;
A second coating layer provided to face the first coating layer and at least partially covering at least one of the flow path forming wall surfaces;
With
At least one of the first coating layer or the second coating layer includes a solid lubricant,
One of the first coating layer or the second coating layer includes a first substance, and the other of the first coating layer or the second coating layer includes a second substance having a smaller polarity than the first substance. Features turbocharger. 前記第１物質は、前記第２物質よりも溶解パラメータが２．５以上大きいことを特徴とする請求項１に記載のターボチャージャ。   The turbocharger according to claim 1, wherein the first substance has a solubility parameter greater than that of the second substance by 2.5 or more. 前記第１物質は、アセトニトリル、水、クロロホルム、アセトン及びメタノールからなる群から選ばれる少なくとも１種を含み、
前記第２物質は、ジオキサン、四塩化炭素、炭化水素、飽和脂肪酸、不飽和脂肪酸及びグリセリンからなる群から選ばれる少なくとも１種を含む
ことを特徴とする請求項１又は２に記載のターボチャージャ。 The first substance includes at least one selected from the group consisting of acetonitrile, water, chloroform, acetone, and methanol,
The turbocharger according to claim 1, wherein the second substance includes at least one selected from the group consisting of dioxane, carbon tetrachloride, hydrocarbon, saturated fatty acid, unsaturated fatty acid, and glycerin. 前記固体潤滑材は、窒化ホウ素を含むことを特徴とする請求項１乃至３の何れか一項に記載のターボチャージャ。   The turbocharger according to any one of claims 1 to 3, wherein the solid lubricant includes boron nitride. 前記第１被覆層又は前記第２被覆層の前記少なくとも一方の膜厚は、０．１μｍ以上５００μｍ以下であることを特徴とする請求項１乃至４の何れか一項に記載のターボチャージャ。   5. The turbocharger according to claim 1, wherein a thickness of the at least one of the first coating layer and the second coating layer is 0.1 μm or more and 500 μm or less. 6. 前記ノズルベーンの一対の摺動面のうち前記少なくとも一方と、前記流路形成壁面の前記少なくとも一方との間のクリアランスは、１０μｍ以上１００μｍ以下であることを特徴とする請求項１乃至５の何れか一項に記載のターボチャージャ。   The clearance between at least one of the pair of sliding surfaces of the nozzle vane and the at least one of the flow path forming wall surfaces is not less than 10 μm and not more than 100 μm. The turbocharger according to claim 1. 前記第１被覆層又は前記第２被覆層の前記少なくとも一方は、表面硬化処理された前記摺動面又は前記流路形成壁面上に設けられていることを特徴とする請求項１乃至６の何れか一項に記載のターボチャージャ。   The at least one of the first coating layer and the second coating layer is provided on the surface-hardened sliding surface or the flow path forming wall surface. The turbocharger according to claim 1. 前記第１被覆層又は前記第２被覆層の前記少なくとも一方は、Ｓｎ、Ａｇ及びＰｂからなる群から選ばれる少なくとも１種をさらに含むことを特徴とする請求項１乃至７の何れか一項に記載のターボチャージャ。   The device according to any one of claims 1 to 7, wherein the at least one of the first coating layer and the second coating layer further includes at least one selected from the group consisting of Sn, Ag, and Pb. The turbocharger described. 前記第１被覆層又は前記第２被覆層の前記少なくとも一方は、Ｏ、Ｓ、Ｓｅ及びＴｅからなる群から選ばれる少なくとも１種をさらに含むことを特徴とする請求項１乃至８の何れか一項に記載のターボチャージャ。   9. The method according to claim 1, wherein the at least one of the first coating layer and the second coating layer further includes at least one selected from the group consisting of O, S, Se, and Te. The turbocharger according to the paragraph. 前記第１被覆層又は前記第２被覆層の前記少なくとも一方は、フッ素をさらに含むことを特徴とする請求項１乃至９の何れか一項に記載のターボチャージャ。   The turbocharger according to any one of claims 1 to 9, wherein the at least one of the first coating layer and the second coating layer further contains fluorine. 前記第１被覆層又は前記第２被覆層の前記少なくとも一方は、Ｃｒ、Ｔａ、Ｂａ、Ｃａ及びＮｉからなる群から選ばれる少なくとも１種をさらに含むことを特徴とする請求項１乃至１０の何れか一項に記載のターボチャージャ。   The at least one of the first coating layer and the second coating layer further includes at least one selected from the group consisting of Cr, Ta, Ba, Ca, and Ni. The turbocharger according to claim 1. エンジンからの排ガスにより回転駆動されるように構成されたタービンと、
前記タービンに流入する前記排ガスの流路を形成するように互いに対向する一対の流路形成壁面と、
前記流路内に設けられ、前記流路の断面積を変えるように開度調節可能なノズルベーンと、
を備えるターボチャージャの製造方法であって、
前記一対の流路形成壁面にそれぞれ対向する前記ノズルベーンの一対の摺動面のうち少なくとも一方を少なくとも部分的に被覆する第１被覆層を形成する第１形成ステップと、
前記第１被覆層に対向するように設けられ、前記流路形成壁面の少なくとも一方を少なくとも部分的に被覆する第２被覆層を形成する第２形成ステップと、
を備え、
前記第１被覆層又は前記第２被覆層の少なくとも一方は固体潤滑材を含むとともに、
前記第１被覆層又は前記第２被覆層の一方は第１物質を含み、前記第１被覆層又は前記第２被覆層の他方は前記第１物質よりも極性が小さい第２物質を含む
ことを特徴とするターボチャージャの製造方法。 A turbine configured to be rotationally driven by exhaust gas from the engine;
A pair of flow path forming wall surfaces facing each other to form a flow path of the exhaust gas flowing into the turbine,
A nozzle vane that is provided in the flow path and that can be adjusted in opening to change the cross-sectional area of the flow path,
A method for manufacturing a turbocharger comprising:
A first forming step of forming a first coating layer that at least partially covers at least one of a pair of sliding surfaces of the nozzle vane opposed to the pair of flow path forming wall surfaces,
A second forming step of forming a second coating layer provided so as to face the first coating layer and at least partially covering at least one of the flow path forming wall surfaces;
With
At least one of the first coating layer or the second coating layer includes a solid lubricant,
One of the first coating layer or the second coating layer includes a first substance, and the other of the first coating layer or the second coating layer includes a second substance having a smaller polarity than the first substance. Characteristic turbocharger manufacturing method. 前記第１物質又は前記第２物質の何れか一方と、前記固体潤滑材と、を含む被覆材を塗布することで、前記第１被覆層又は前記第２被覆層を形成することを特徴とする請求項１２に記載のターボチャージャの製造方法。   The first coating layer or the second coating layer is formed by applying a coating material containing either the first substance or the second substance and the solid lubricant. A method for manufacturing the turbocharger according to claim 12. 前記第１物質又は前記第２物質の何れか一方と、前記固体潤滑材と、を含むメッキ液を用いてメッキ処理することにより、前記第１被覆層又は前記第２被覆層を形成することを特徴とする請求項１２に記載のターボチャージャの製造方法。   Forming the first coating layer or the second coating layer by performing a plating process using a plating solution containing one of the first substance or the second substance and the solid lubricant; The method for manufacturing a turbocharger according to claim 12, wherein:
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