JP6647031B2 - 樹脂組成物、導電性銅ペースト、硬化物、半導体装置 - Google Patents
樹脂組成物、導電性銅ペースト、硬化物、半導体装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6647031B2 JP6647031B2 JP2015239984A JP2015239984A JP6647031B2 JP 6647031 B2 JP6647031 B2 JP 6647031B2 JP 2015239984 A JP2015239984 A JP 2015239984A JP 2015239984 A JP2015239984 A JP 2015239984A JP 6647031 B2 JP6647031 B2 JP 6647031B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mass
- parts
- resin composition
- cured product
- bismuth
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 title claims description 81
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 62
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 title claims description 30
- 239000010949 copper Substances 0.000 title claims description 30
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 16
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 claims description 34
- JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N bismuth atom Chemical compound [Bi] JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 34
- ZQPPMHVWECSIRJ-KTKRTIGZSA-N oleic acid Chemical compound CCCCCCCC\C=C/CCCCCCCC(O)=O ZQPPMHVWECSIRJ-KTKRTIGZSA-N 0.000 claims description 22
- POULHZVOKOAJMA-UHFFFAOYSA-N dodecanoic acid Chemical compound CCCCCCCCCCCC(O)=O POULHZVOKOAJMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 21
- ZQPPMHVWECSIRJ-UHFFFAOYSA-N Oleic acid Natural products CCCCCCCCC=CCCCCCCCC(O)=O ZQPPMHVWECSIRJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 20
- WRIDQFICGBMAFQ-UHFFFAOYSA-N (E)-8-Octadecenoic acid Natural products CCCCCCCCCC=CCCCCCCC(O)=O WRIDQFICGBMAFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 19
- LQJBNNIYVWPHFW-UHFFFAOYSA-N 20:1omega9c fatty acid Natural products CCCCCCCCCCC=CCCCCCCCC(O)=O LQJBNNIYVWPHFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 19
- QSBYPNXLFMSGKH-UHFFFAOYSA-N 9-Heptadecensaeure Natural products CCCCCCCC=CCCCCCCCC(O)=O QSBYPNXLFMSGKH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 19
- 239000005642 Oleic acid Substances 0.000 claims description 19
- GSEJCLTVZPLZKY-UHFFFAOYSA-N Triethanolamine Chemical compound OCCN(CCO)CCO GSEJCLTVZPLZKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 19
- QXJSBBXBKPUZAA-UHFFFAOYSA-N isooleic acid Natural products CCCCCCCC=CCCCCCCCCC(O)=O QXJSBBXBKPUZAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 19
- 239000005639 Lauric acid Substances 0.000 claims description 9
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 claims description 7
- 229910000416 bismuth oxide Inorganic materials 0.000 claims description 5
- TYIXMATWDRGMPF-UHFFFAOYSA-N dibismuth;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Bi+3].[Bi+3] TYIXMATWDRGMPF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- RXPAJWPEYBDXOG-UHFFFAOYSA-N hydron;methyl 4-methoxypyridine-2-carboxylate;chloride Chemical compound Cl.COC(=O)C1=CC(OC)=CC=N1 RXPAJWPEYBDXOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- OYHQOLUKZRVURQ-NTGFUMLPSA-N (9Z,12Z)-9,10,12,13-tetratritiooctadeca-9,12-dienoic acid Chemical compound C(CCCCCCC\C(=C(/C\C(=C(/CCCCC)\[3H])\[3H])\[3H])\[3H])(=O)O OYHQOLUKZRVURQ-NTGFUMLPSA-N 0.000 claims description 4
- 229920003987 resole Polymers 0.000 claims description 3
- KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 2-methoxy-6-methylphenol Chemical compound [CH]OC1=CC=CC([CH])=C1O KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229920001568 phenolic resin Polymers 0.000 claims 1
- 235000021313 oleic acid Nutrition 0.000 description 20
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 20
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 16
- 235000014113 dietary fatty acids Nutrition 0.000 description 16
- 229930195729 fatty acid Natural products 0.000 description 16
- 239000000194 fatty acid Substances 0.000 description 16
- 150000004665 fatty acids Chemical class 0.000 description 16
- OAYXUHPQHDHDDZ-UHFFFAOYSA-N 2-(2-butoxyethoxy)ethanol Chemical compound CCCCOCCOCCO OAYXUHPQHDHDDZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 13
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 13
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 12
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 11
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 11
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 10
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 10
- IPCSVZSSVZVIGE-UHFFFAOYSA-N hexadecanoic acid Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCC(O)=O IPCSVZSSVZVIGE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 7
- OYHQOLUKZRVURQ-HZJYTTRNSA-N Linoleic acid Chemical compound CCCCC\C=C/C\C=C/CCCCCCCC(O)=O OYHQOLUKZRVURQ-HZJYTTRNSA-N 0.000 description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 5
- 235000020778 linoleic acid Nutrition 0.000 description 5
- OYHQOLUKZRVURQ-IXWMQOLASA-N linoleic acid Natural products CCCCC\C=C/C\C=C\CCCCCCCC(O)=O OYHQOLUKZRVURQ-IXWMQOLASA-N 0.000 description 5
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 5
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000004898 kneading Methods 0.000 description 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- QIQXTHQIDYTFRH-UHFFFAOYSA-N octadecanoic acid Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCC(O)=O QIQXTHQIDYTFRH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- 235000021314 Palmitic acid Nutrition 0.000 description 3
- 235000021355 Stearic acid Nutrition 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- OQCDKBAXFALNLD-UHFFFAOYSA-N octadecanoic acid Natural products CCCCCCCC(C)CCCCCCCCC(O)=O OQCDKBAXFALNLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 3
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 3
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 3
- GVNVAWHJIKLAGL-UHFFFAOYSA-N 2-(cyclohexen-1-yl)cyclohexan-1-one Chemical compound O=C1CCCCC1C1=CCCCC1 GVNVAWHJIKLAGL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HZAXFHJVJLSVMW-UHFFFAOYSA-N 2-Aminoethan-1-ol Chemical compound NCCO HZAXFHJVJLSVMW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 101150065749 Churc1 gene Proteins 0.000 description 2
- 102100038239 Protein Churchill Human genes 0.000 description 2
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 235000020661 alpha-linolenic acid Nutrition 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000001622 bismuth compounds Chemical class 0.000 description 2
- PPNKDDZCLDMRHS-UHFFFAOYSA-N bismuth(III) nitrate Inorganic materials [Bi+3].[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O PPNKDDZCLDMRHS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000000484 butyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- ZBCBWPMODOFKDW-UHFFFAOYSA-N diethanolamine Chemical compound OCCNCCO ZBCBWPMODOFKDW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XXJWXESWEXIICW-UHFFFAOYSA-N diethylene glycol monoethyl ether Chemical compound CCOCCOCCO XXJWXESWEXIICW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001036 glow-discharge mass spectrometry Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- UODXCYZDMHPIJE-UHFFFAOYSA-N menthanol Chemical compound CC1CCC(C(C)(C)O)CC1 UODXCYZDMHPIJE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WQEPLUUGTLDZJY-UHFFFAOYSA-N n-Pentadecanoic acid Natural products CCCCCCCCCCCCCCC(O)=O WQEPLUUGTLDZJY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 239000008117 stearic acid Substances 0.000 description 2
- MSBGPEACXKBQSX-UHFFFAOYSA-N (4-fluorophenyl) carbonochloridate Chemical compound FC1=CC=C(OC(Cl)=O)C=C1 MSBGPEACXKBQSX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RNFJDJUURJAICM-UHFFFAOYSA-N 2,2,4,4,6,6-hexaphenoxy-1,3,5-triaza-2$l^{5},4$l^{5},6$l^{5}-triphosphacyclohexa-1,3,5-triene Chemical compound N=1P(OC=2C=CC=CC=2)(OC=2C=CC=CC=2)=NP(OC=2C=CC=CC=2)(OC=2C=CC=CC=2)=NP=1(OC=1C=CC=CC=1)OC1=CC=CC=C1 RNFJDJUURJAICM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VXQBJTKSVGFQOL-UHFFFAOYSA-N 2-(2-butoxyethoxy)ethyl acetate Chemical compound CCCCOCCOCCOC(C)=O VXQBJTKSVGFQOL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- POAOYUHQDCAZBD-UHFFFAOYSA-N 2-butoxyethanol Chemical compound CCCCOCCO POAOYUHQDCAZBD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NQBXSWAWVZHKBZ-UHFFFAOYSA-N 2-butoxyethyl acetate Chemical compound CCCCOCCOC(C)=O NQBXSWAWVZHKBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethanol Chemical compound CCOCCO ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SVONRAPFKPVNKG-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethyl acetate Chemical compound CCOCCOC(C)=O SVONRAPFKPVNKG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XRUKSARUAXTNEA-UHFFFAOYSA-N 4-amino-2-hydroxybenzoic acid Chemical compound NC1=CC=C(C(O)=O)C(O)=C1.NC1=CC=C(C(O)=O)C(O)=C1 XRUKSARUAXTNEA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WUBBRNOQWQTFEX-UHFFFAOYSA-N 4-aminosalicylic acid Chemical compound NC1=CC=C(C(O)=O)C(O)=C1 WUBBRNOQWQTFEX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OYHQOLUKZRVURQ-UHFFFAOYSA-N 9,12-Octadecadienoic Acid Chemical compound CCCCCC=CCC=CCCCCCCCC(O)=O OYHQOLUKZRVURQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JPVYNHNXODAKFH-UHFFFAOYSA-N Cu2+ Chemical compound [Cu+2] JPVYNHNXODAKFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000877 Melamine resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004640 Melamine resin Substances 0.000 description 1
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001807 Urea-formaldehyde Polymers 0.000 description 1
- DTOSIQBPPRVQHS-PDBXOOCHSA-N alpha-linolenic acid Chemical compound CC\C=C/C\C=C/C\C=C/CCCCCCCC(O)=O DTOSIQBPPRVQHS-PDBXOOCHSA-N 0.000 description 1
- WUOACPNHFRMFPN-UHFFFAOYSA-N alpha-terpineol Chemical compound CC1=CCC(C(C)(C)O)CC1 WUOACPNHFRMFPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229960004909 aminosalicylic acid Drugs 0.000 description 1
- 239000002518 antifoaming agent Substances 0.000 description 1
- 239000011324 bead Substances 0.000 description 1
- WMWLMWRWZQELOS-UHFFFAOYSA-N bismuth(III) oxide Inorganic materials O=[Bi]O[Bi]=O WMWLMWRWZQELOS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 1
- SECPZKHBENQXJG-UHFFFAOYSA-N cis-palmitoleic acid Natural products CCCCCCC=CCCCCCCCC(O)=O SECPZKHBENQXJG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 229910001431 copper ion Inorganic materials 0.000 description 1
- SQIFACVGCPWBQZ-UHFFFAOYSA-N delta-terpineol Natural products CC(C)(O)C1CCC(=C)CC1 SQIFACVGCPWBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N diethylene glycol Chemical compound OCCOCCO MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 239000003063 flame retardant Substances 0.000 description 1
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 1
- 238000013007 heat curing Methods 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 229960004488 linolenic acid Drugs 0.000 description 1
- KQQKGWQCNNTQJW-UHFFFAOYSA-N linolenic acid Natural products CC=CCCC=CCC=CCCCCCCCC(O)=O KQQKGWQCNNTQJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000005481 linolenic acid group Chemical group 0.000 description 1
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 125000000896 monocarboxylic acid group Chemical group 0.000 description 1
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 description 1
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 1
- 238000010298 pulverizing process Methods 0.000 description 1
- 238000004445 quantitative analysis Methods 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
- 229940116411 terpineol Drugs 0.000 description 1
- 229920006337 unsaturated polyester resin Polymers 0.000 description 1
- DTOSIQBPPRVQHS-UHFFFAOYSA-N α-Linolenic acid Chemical compound CCC=CCC=CCC=CCCCCCCCC(O)=O DTOSIQBPPRVQHS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
- Conductive Materials (AREA)
- Non-Insulated Conductors (AREA)
Description
本明細書の記載により、少なくとも、以下の事項が明らかとなる。
[樹脂組成物]
本実施形態の樹脂組成物は、(A)銅粉、(B)熱硬化性樹脂、(C)脂肪酸、(D)アミン、及び(E)ビスマス類を含有する。
(A)成分である銅粉は導電性材料である。銅粉を含む樹脂組成物の硬化物は導電性を有する。(A)成分としては、棒状、フレーク状、球状の銅粉を用いることができる。硬化後の樹脂組成物の比抵抗値を低く抑える観点からは、棒状、フレーク状が好ましい。(A)成分は、樹枝状銅粉(電解銅粉)を解砕して得られた棒状の銅粉がより好ましく、脂肪酸で表面処理を行った棒状の銅粉が更に好ましい。表面処理に用いる脂肪酸はオレイン酸が好ましい。(A)成分としては、たとえば、三井金属鉱業(株)製の電解銅粉を用いることができる。特に、10%粒子径:3.4μm、50%粒子径:8.1μm、90%粒子径:15.2μm、タップ密度:4.4 g/cm3の電解銅粉(ECY−4)がより好ましい。粒子径は、レーザー回折・散乱式粒子分布測定装置により測定された値である。タップ密度は、振盪比重測定機(タップマシン)で測定された値である。なお、(A)成分は、1種類の銅粉のみを用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。
(B)成分である熱硬化性樹脂は、樹脂組成物に接着性、及び硬化性を付与する。(B)成分は、エポキシ樹脂、メラミン樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、尿素樹脂、フェノール樹脂等を用いることができる。(B)成分は、熱硬化収縮性・密着性の観点からフェノール樹脂が好ましく、レゾール型フェノール樹脂がより好ましい。(B)成分は、たとえば、昭和電工(株)製のレゾール型フェノール樹脂(ショウノールCKM−918A)を用いることができる。(B)成分は、1種類の熱硬化性樹脂のみを用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。
(C)成分である脂肪酸は、銅粉表面の酸化物を除去し、銅粉と熱硬化性樹脂との濡れ性(熱硬化性樹脂に対する銅粉の親和性)、及び樹脂組成物の硬化物の導電性を向上させる。具体的に、(C)成分は、オレイン酸(CH3(CH2)7CH=CH(CH2)7COOH、シス−9−オクタデセン酸)、リノール酸(CH3(CH2)4CH=CHCH2CH=CH(CH2)7COOH、シス−9,シス−12−オクタデカジエン酸)、リノレン酸(CH3CH2CH=CHCH2CH=CHCH2CH=CH(CH2)7COOH、シス−9,シス−12,シス−15−オクタデカトリエン酸)、ステアリン酸(CH3(CH2)16COOH、オクタデカン酸)、パルミチン酸(CH3(CH2)14COOH、ヘキサデカン酸)、ラウリン酸(CH3(CH2)10COOH、ドデカン酸)を用いることができる。
(D)成分であるアミンは、銅粉から生じる銅イオンを固定化し、且つ常温における脂肪酸のカルボキシル基の作用を抑制する。(D)成分は、モノエタノールアミン(MEA、(CH2CH2OH)NH2)、ジエタノールアミン(DEA、(CH2CH2OH)2NH)、トリエタノールアミン(TEA、N(CH2CH2OH)3)を用いることができる。(D)成分は、1種類のアミンのみを用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。
(E)成分であるビスマス類は、樹脂組成物の硬化時に銅粉同士の融着をより進行させることにより、比抵抗値を低下させる。また、(E)成分であるビスマス類は、樹脂組成物の硬化時における銅の酸化を抑制することによりポットライフを向上させる。
本発明の樹脂組成物は、(A)銅粉、(B)熱硬化性樹脂、(C)脂肪酸、(D)アミン、及び(E)ビスマス類を混練することにより製造できる。樹脂組成物の製造方法は、上述の各成分が均一に混合した組成物を得ることができる方法であれば、特に限定されない。たとえば、上記の各成分は、同時に混練されてもよいし、別々に混練されてもよい。混練は、攪拌、溶融、混合、分散等の処理を含む。混練に用いる装置は、特に限定されるものではなく、撹拌、加熱装置を備えたライカイ機、3本ロールミル、ボールミル、プラネタリーミキサー、ビーズミル等を使用することができる。また、これら装置を適宜組み合わせて使用してもよい。更に、混練に際し、加熱処理を行ってもよい。
本実施形態において、樹脂組成物は、(F)成分として4−アミノサリチル酸(4−アミノ−2−ヒドロキシ安息香酸)を含有することができる。4−アミノサリチル酸は、銅粉の酸化を抑制する。また、(F)成分は、(C)成分及び(D)成分との相互作用により、硬化後の樹脂組成物の比抵抗値の低下、及びポットライフの長期化を更に促進する。
本実施形態に係る導電性銅ペーストは、上述の樹脂組成物を用いる。すなわち、本実施形態に係る導電性銅ペーストは、大気雰囲気下で硬化可能であって、硬化物の導電性が高く、且つポットライフが長い。導電性銅ペーストは、スクリーン印刷、ディスペンサー等で、電子部品の所望の位置(半導体基板の導電部、半導体素子の電極部等)に形成・塗布することができる。導電性銅ペーストは、以下に述べる半導体装置の他、パーソナルコンピュータや携帯端末(スマートフォン等)の内部に設けられる電子部品用の接着材等として用いることができる。
本実施形態に係る硬化物は、上述の樹脂組成物または導電性銅ペーストを硬化させることにより得られる。本実施形態に係る硬化物は、比抵抗値が低い(導電性が高い)。硬化物の元となる樹脂組成物及び導電性銅ペーストは、大気雰囲気下で硬化させることが可能である。また、硬化物の元となる樹脂組成物または導電性銅ペーストは、ポットライフが長い。従って、樹脂組成物等を大量に生産し、保存しておくことが可能となる。また、樹脂組成物等の硬化を遅らせるために2液系で保管、輸送等を行う必要もない。
本実施形態に係る半導体装置は、上述の樹脂組成物の硬化物を含む。半導体装置は、導電部を有する基板、及び電極部を有する半導体素子を有する。本実施形態に係る導電性銅ペーストを導電部及び電極部に塗布・硬化させることにより、導電部と電極部とを接合し、且つ電気的接続を取ることができる。
[比抵抗値及びポットライフ]
以下の実施例1〜10、参考例1及び比較例1〜4で得られた樹脂組成物について、比抵抗値及びポットライフを求めた。
・「ECY−4」(オレイン酸による表面処理が施された電解銅粉。三井金属鉱業株式会社製)
・「ポットミル加工フレーク」(特開平9−165606号公報に記載された方法により作製された液相還元球状銅粉をボールミルで粉砕したフレーク状の銅粉。ナミックス株式会社製)
・「オレイン酸」(和光純薬工業株式会社製)
・「リノール酸」(和光純薬工業株式会社製)
・「ラウリン酸」(和光純薬工業株式会社製)
・「ビスマス粉」(和光純薬工業株式会社製)
・「酸化ビスマス」(和光純薬工業株式会社製)
・「硝酸ビスマス」(和光純薬工業株式会社製)
「ECY−4」87.491質量部、「ショウノールCKM918A」12.5質量部、「オレイン酸」1.0質量部、「TEA」3.0質量部、「ビスマス粉」0.009質量部、及びブチルカルビトール12質量部を容器に入れ、手攪拌した後、三本ロールミルを用いて混練し、樹脂組成物aを作製した。
「ECY−4」87.412質量部、「ショウノールCKM918A」12.5質量部、「オレイン酸」1.0質量部、「TEA」3.0質量部、「ビスマス粉」0.088質量部、及びブチルカルビトール12質量部を容器に入れ、手攪拌した後、三本ロールミルを用いて混練し、樹脂組成物bを作製した。
「ECY−4」87.062質量部、「ショウノールCKM918A」12.5質量部、「オレイン酸」1.0質量部、「TEA」3.0質量部、「ビスマス粉」0.438質量部、及びブチルカルビトール12質量部を容器に入れ、手攪拌した後、三本ロールミルを用いて混練し、樹脂組成物cを作製した。
「ECY−4」84.875質量部、「ショウノールCKM918A」12.5質量部、「オレイン酸」1.0質量部、「TEA」3.0質量部、「ビスマス粉」2.625質量部、及びブチルカルビトール12質量部を容器に入れ、手攪拌した後、三本ロールミルを用いて混練し、樹脂組成物dを作製した。
「ECY−4」83.125質量部、「ショウノールCKM918A」12.5質量部、「オレイン酸」1.0質量部、「TEA」3.0質量部、「ビスマス粉」4.375質量部、及びブチルカルビトール12質量部を容器に入れ、手攪拌した後、三本ロールミルを用いて混練し、樹脂組成物eを作製した。
「ポットミル加工フレーク」87.062質量部、「ショウノールCKM918A」12.5質量部、「オレイン酸」1.0質量部、「TEA」3.0質量部、「ビスマス粉」0.438質量部、及びブチルカルビトール12質量部を容器に入れ、手攪拌した後、三本ロールミルを用いて混練し、樹脂組成物fを作製した。
「ECY−4」87.062質量部、「ショウノールCKM918A」12.5質量部、「オレイン酸」1.0質量部、「TEA」3.0質量部、「酸化ビスマス」0.438質量部、及びブチルカルビトール12質量部を容器に入れ、手攪拌した後、三本ロールミルを用いて混練し、樹脂組成物gを作製した。
「ECY−4」87.062質量部、「ショウノールCKM918A」12.5質量部、「オレイン酸」1.0質量部、「TEA」3.0質量部、「硝酸ビスマス」0.438質量部、及びブチルカルビトール12質量部を容器に入れ、手攪拌した後、三本ロールミルを用いて混練し、樹脂組成物hを作製した。
「ECY−4」87.062質量部、「ショウノールCKM918A」12.5質量部、「リノール酸」1.0質量部、「TEA」3.0質量部、「ビスマス粉」0.438質量部、及びブチルカルビトール12質量部を容器に入れ、手攪拌した後、三本ロールミルを用いて混練し、樹脂組成物iを作製した。
「ECY−4」87.062質量部、「ショウノールCKM918A」12.5質量部、「ラウリン酸」1.0質量部、「TEA」3.0質量部、「ビスマス粉」0.438質量部、及びブチルカルビトール12質量部を容器に入れ、手攪拌した後、三本ロールミルを用いて混練し、樹脂組成物jを作製した。
「ECY−4」87.5質量部、「ショウノールCKM918A」12.5質量部、「オレイン酸」1.0質量部、「TEA」3.0質量部、及びブチルカルビトール12質量部を容器に入れ、手攪拌した後、三本ロールミルを用いて混練し、樹脂組成物kを作製した。
「ショウノールCKM918A」12.5質量部、「オレイン酸」1.0質量部、「TEA」3.0質量部、「ビスマス粉」87.5質量部、及びブチルカルビトール12質量部を容器に入れ、手攪拌した後、三本ロールミルを用いて混練し、樹脂組成物lを作製した。
「ECY−4」87.062質量部、「ショウノールCKM918A」12.5質量部、「TEA」3.0質量部、「ビスマス粉」0.438質量部、及びブチルカルビトール12質量部を容器に入れ、手攪拌した後、三本ロールミルを用いて混練し、樹脂組成物mを作製した。
「ECY−4」87.062質量部、「ショウノールCKM918A」12.5質量部、「オレイン酸」1.0質量部、「ビスマス粉」0.438質量部、及びブチルカルビトール12質量部を容器に入れ、手攪拌した後、三本ロールミルを用いて混練し、樹脂組成物nを作製した。
「ECY−4」87.062質量部、「ショウノールCKM918A」12.5質量部、「ビスマス粉」0.438質量部、及びブチルカルビトール12質量部を容器に入れ、手攪拌した後、三本ロールミルを用いて混練し、樹脂組成物oを作製した。
樹脂組成物を作製した後、1時間以内に、ブルックフィールド型(B型)粘度計を用い、25℃、50rpmにおける樹脂組成物の初期粘度を測定した。その後、24時間毎に25℃、50rpmにおける樹脂組成物の粘度を測定した。そして、初期粘度の1.2倍(20%増加)以上になった時間を当該樹脂組成物のポットライフとした。
スクリーン印刷機を用い、アルミナ基板上に幅:1mm、長さ:71mmの樹脂組成物のパターンを印刷した。パターンを印刷したアルミナ基板に対し、大気雰囲気下の送風定温乾燥機で210℃、10分間の加熱処理を行って、硬化物を得た。得られた硬化物の膜厚は、表面粗さ形状測定機(株式会社東京精密製。型番:サーフコム1500SD−2)を用いて測定した。得られた硬化物の抵抗値は、デジタルマルチメーター(株式会社TFFケースレーインスツルメンツ製。型番:2001)を用いて測定した。測定結果から、各樹脂組成物の硬化物における比抵抗値(体積抵抗率)を算出した。
Claims (4)
- (A)銅粉、(B)レゾール型フェノール樹脂、(C)オレイン酸、リノール酸、ラウリン酸から選ばれる少なくとも一種類、(D)トリエタノールアミン、及び(E)ビスマス、酸化ビスマス、硝酸ビスマスから選ばれる少なくとも一種類を含有する樹脂組成物を用いた導電性銅ペースト。
- (E)成分は、(A)成分及び(E)成分の合計100質量部に対して、0.01質量部〜5質量部であることを特徴とする請求項1記載の導電性銅ペースト。
- 請求項1または2記載の導電性銅ペーストを硬化させたことを特徴とする硬化物。
- 請求項3記載の硬化物を用いたことを特徴とする半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015239984A JP6647031B2 (ja) | 2015-12-09 | 2015-12-09 | 樹脂組成物、導電性銅ペースト、硬化物、半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015239984A JP6647031B2 (ja) | 2015-12-09 | 2015-12-09 | 樹脂組成物、導電性銅ペースト、硬化物、半導体装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017105911A JP2017105911A (ja) | 2017-06-15 |
JP6647031B2 true JP6647031B2 (ja) | 2020-02-14 |
Family
ID=59059090
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015239984A Active JP6647031B2 (ja) | 2015-12-09 | 2015-12-09 | 樹脂組成物、導電性銅ペースト、硬化物、半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6647031B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017141330A (ja) * | 2016-02-08 | 2017-08-17 | ナミックス株式会社 | 樹脂組成物、導電性銅ペースト、導電性銅ペーストの硬化物、および半導体装置 |
JP6948111B2 (ja) * | 2016-02-09 | 2021-10-13 | ナミックス株式会社 | 樹脂組成物、導電性銅ペースト、および半導体装置 |
JP6908398B2 (ja) * | 2017-03-08 | 2021-07-28 | 株式会社Adeka | 樹脂組成物、硬化物を形成する方法および硬化物 |
KR102364364B1 (ko) * | 2017-11-24 | 2022-02-16 | 주식회사 엘지에너지솔루션 | 수도커패시터용 음극 활물질의 제조 방법 |
CN113707362A (zh) * | 2021-07-23 | 2021-11-26 | 厦门大学 | 一种高导电铜浆、制备方法、柔性高导电铜膜及其应用 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6422977A (en) * | 1987-07-17 | 1989-01-25 | Fujitsu Ltd | Paste composition |
JPH0662900B2 (ja) * | 1987-12-23 | 1994-08-17 | タツタ電線株式会社 | 導電塗料 |
JPH0753843B2 (ja) * | 1988-07-05 | 1995-06-07 | タツタ電線株式会社 | 半田付可能な導電塗料 |
JP2931982B2 (ja) * | 1989-05-31 | 1999-08-09 | タツタ電線株式会社 | 半田付可能な導電塗料 |
JPH1031912A (ja) * | 1996-07-17 | 1998-02-03 | Asahi Chem Ind Co Ltd | はんだ付け可能な導電性ペースト |
JPH10312712A (ja) * | 1997-05-14 | 1998-11-24 | Asahi Chem Ind Co Ltd | はんだ付け可能な導電性ペースト |
CN1326155C (zh) * | 2002-05-31 | 2007-07-11 | 大自达电线股份有限公司 | 导电糊、使用其的多层基板及其制造方法 |
JP4396126B2 (ja) * | 2003-04-16 | 2010-01-13 | 藤倉化成株式会社 | 導電性銅ペースト組成物 |
JP4396134B2 (ja) * | 2003-05-09 | 2010-01-13 | 藤倉化成株式会社 | 導電性銅ペースト組成物 |
US9365592B2 (en) * | 2012-10-12 | 2016-06-14 | Bando Chemical Industries, Ltd. | Bonding composition |
-
2015
- 2015-12-09 JP JP2015239984A patent/JP6647031B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017105911A (ja) | 2017-06-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6647031B2 (ja) | 樹脂組成物、導電性銅ペースト、硬化物、半導体装置 | |
US10347388B2 (en) | Conductive copper paste, conductive copper paste cured film, and semiconductor device | |
JP7081064B2 (ja) | 樹脂組成物、導電性銅ペースト、および半導体装置 | |
WO2017033911A1 (ja) | 低温焼結性に優れる金属ペースト及び該金属ペーストの製造方法 | |
JP7025529B2 (ja) | 導電性接着剤組成物 | |
JPWO2018181697A1 (ja) | 電極形成用樹脂組成物並びにチップ型電子部品及びその製造方法 | |
JP6948111B2 (ja) | 樹脂組成物、導電性銅ペースト、および半導体装置 | |
JP2006032165A (ja) | 導電性金属粒子とそれを用いた導電性樹脂組成物及び導電性接着剤 | |
TWI702256B (zh) | 樹脂組成物、銅膏、及半導體裝置 | |
JP6790976B2 (ja) | 導電性銅ペースト | |
JP2017141330A (ja) | 樹脂組成物、導電性銅ペースト、導電性銅ペーストの硬化物、および半導体装置 | |
JP7276052B2 (ja) | 導電性組成物 | |
JP6624620B1 (ja) | ペースト状銀粒子組成物、金属製部材接合体の製造方法および金属製部材接合体 | |
EP3872143A1 (en) | Conductive ink, use thereof, and method for producing electronic circuit using the same | |
CN111655815A (zh) | 导电性粘接剂组合物、导电性粘接剂固化产物以及电子设备 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180928 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190718 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190723 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190826 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200107 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200114 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6647031 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |