JP6636297B2 - 硬質皮膜 - Google Patents
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(111)結晶面の格子間隔は鉄の格子間隔とほぼ一致した約2.5Åであり、(200)結晶面の格子間隔は約2.1Åである。鉄の格子間隔と異なる(200)結晶面の配向比が大きい方が、鉄に対する摩擦係数を小さくできると考えられる。(111)結晶面に対する(200)結晶面の配向比は、実施例において述べるX線回折法により求めることができる。
度をこのような範囲とすることにより、硬質被膜112の表面における滑り性をより向上させることができる。
−結晶構造−
被膜の結晶構造は、X線回折装置(リガク社製:RINT2500 VHF)を用いて測定した。X線入射角は2°とし、回折角(2θ)は20°〜120°の範囲でX線回折スペクトルを測定した。ターゲットには銅を用いた。TiCの(200)面のピーク強度h(200)、半価幅(200)、(111)面のピークの強度h(111)、半価幅(111)を求め、h(200)/h(111)の値を、(111)結晶面に対する(200)結晶面の配向比とした。
被膜の組成は、X線光電子分光(XPS)装置(日本電子製:JPS-9020)を用いて測定した。XPS測定の条件は、試料に対する検出角度を90度とし、X線源にはAlを用い、X線照射エネルギーを100Wとした。1回の測定時間は0.2msとし、1つの試料について32回測定を行った。炭素中を進む光電子の非弾性平均自由工程を考慮すると、表面から9nmまでの範囲について測定されると考えられる。さらに、光電子は表面から深くなるにつれて脱出しにくくなり、光電子の検出は表面から深くなるほど減衰する。従って、今回測定された情報の50%は表面からおよそ1.5nmまでの最表層の情報で占められていると考えられる。
被膜の硬度及び弾性率(ヤング率)は、ナノインデンテーション装置(Hysitron社製:TI-950 Triboindenter)により測定した。ダイヤモンドの圧子は稜線角が115°の三角錐のBerkovich型とし、ダイヤモンド圧子の押し込み加重を2600μNとして荷重−変位曲線を求め、得られた荷重−変位曲線から硬度及び弾性率を算出した。
被膜を形成したプレス用金型の摩擦係数及び破断加圧荷重は、ビード引き抜き試験により測定した。具体的に、図3に示すオス側金型311及びメス側金型312からなるプレス用金型310を準備した。図4に示すように、20×300×1.4mmの高張力鋼材SPFC980Y(100k級ハイテン)からなる鋼板315を、プレス用金型310に挟み込んだ。鋼板315を挟み込んだプレス用金型310を小型プレス機にセットし、10kNの押し付け荷重を加えた状態で、挟み込まれた鋼板315の一端を500mm/minの一定速度で引っ張った。各距離における引抜荷重F及び押付荷重Pを測定し、「摩擦係数μ=引抜荷重F/押付荷重P/2」の式より各距離における摩擦係数を算出し、引張距離が20mm〜100mmの間の摩擦係数の平均値を、各サンプルの摩擦係数とした。
まず、図3に示した形状及び寸法で、その表面がRa=0.05μm程度に鏡面仕上げされたSKD11からなるオス側金型母材及びメス側金型母材のセットを準備した。
D2/D1を2とした以外は、実施例1と同様にして被膜の形成を行った。得られた硬質被膜の組成比は、[Ti]が0.42、[C]が0.58であり、[C−Ti]が0.36、[sp3C−C]が0.014、[sp2C−C]が0.054、[sp3C−H]が0.046、[sp2C−H]が0.11であった。従って、[C]/[Ti]は1.4、[sp2C−C]/[sp3C−C]は3.9、[C−C]は0.068、[C−H]/[C−C]は2.3、[C−H]/[C−Ti]は0.43であった。硬度は43GPa、弾性率は356GPaであった。
D2/D1を6とした以外は、実施例1と同様にして被膜の形成を行った。得られた硬質被膜の組成比は、[Ti]が0.30、[C]が0.70であり、[C−Ti]が0.25、[sp3C−C]が0.21、[sp2C−C]が0.16、[sp3C−H]が0.018、[sp2C−H]が0.069であった。従って、[C]/[Ti]は2.3、[sp2C−C]/[sp3C−C]は0.76、[C−C]は0.37、[C−H]/[C−C]は0.24、[C−H]/[C−Ti]は0.35であった。硬度は28GPa、弾性率は269GPaであり、摩擦係数は0.41であり、破断加重は27kNであった。h(200)/h(111)は0.89であり、(200)面の半価幅は1.87、(111)面の半価幅は1.68であった。
D2/D1を12とした以外は、実施例1と同様にして被膜の形成を行った。得られた硬質被膜の組成比は、[Ti]が0.26、[C]が0.74であり、[C−Ti]が0.19、[sp3C−C]が0.24、[sp2C−C]が0.17、[sp3C−H]が0.027、[sp2C−H]が0.12であった。従って、[C]/[Ti]は2.8、[sp2C−C]/[sp3C−C]は0.71、[C−C]は0.41、[C−H]/[C−C]は0.36、[C−H]/[C−Ti]は0.77であった。硬度は22GPa、弾性率は226GPaであった。
ホロカソード(HCD)イオンプレーティング法により、硬質皮膜を形成した。具体的には、成膜装置のワークホルダの上に、オス側金型母材及びメス側金型母材を載置し、原料として純チタンを用いた。炉内を十分に真空引きした後、排気しつつアルゴン(Ar)ガスを一定流量で供給した上で、ワークとチャンバーの間で放電させることにより、アルゴンボンバードを行い、金型母材の表面をクリーニングした。
化学気相堆積(CVD)法により、硬質皮膜を形成した。具体的には、装置内を1000℃に加熱した後、常圧下にてTiCl4、H2ガスを導入した混合ガス雰囲気下でオス側金型母材及びメス側金型母材の表面へコーティングを施した。得られた硬質被膜の組成比は、[Ti]が0.41、[C]が0.59であり、[C−Ti]が0.40、[sp3C−C]が0.026、[sp2C−C]が0.055、[sp3C−H]が0.018、[sp2C−H]が0.091であった。従って、[C]/[Ti]は1.4、[sp2C−C]/[sp3C−C]は2.1、[C−C]は0.081、[C−H]/[C−C]は1.3、[C−H]/[C−Ti]は0.27であった。硬度は33GPa、弾性率は331GPaであり、摩擦係数は0.46であり、破断加重は22kNであった。h(200)/h(111)は0.06であり、(200)面の半価幅は0.53、(111)面の半価幅は0.41であった。
112 硬質被膜
113 中間層
113A 窒化物層
113B 炭窒化物層
310 プレス用金型
311 オス側金型
312 メス側金型
315 鋼板
Claims (5)
- 母材の表面に形成され、チタン原子に対する炭素原子のモル比[C]/[Ti]が1以上、2.0以下であり、sp3炭素−炭素結合した炭素原子に対するsp2炭素−炭素結合した炭素原子のモル比[sp2C−C]/[sp3C−C]が2.5以上であり、
(111)結晶面に対する(200)結晶面の配向比は、1以上、10以下である、硬質皮膜。 - 炭素同士が結合した炭素原子に対する水素と結合した炭素原子のモル比[C−H]/[C−C]は、2以上、6以下である、請求項1に記載の硬質皮膜。
- 炭素同士が結合した炭素原子の全組成に対するモル比[C−C]は、0.02以上、0.1以下である、請求項1又は2に記載の硬質皮膜。
- 請求項1〜3のいずれか1項に記載の硬質皮膜が設けられていることを特徴とする工具。
- 母材と、
前記母材の表面に形成された硬質被膜とを備え、
前記硬質被膜は、チタン原子に対する炭素原子のモル比[C]/[Ti]が1以上、2.0以下であり、sp3炭素−炭素結合した炭素原子に対するsp2炭素−炭素結合した炭素原子のモル比[sp2C−C]/[sp3C−C]が2.5以上であることを特徴とするプレス用金型。
Priority Applications (1)
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JP2015199243A JP6636297B2 (ja) | 2015-10-07 | 2015-10-07 | 硬質皮膜 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2015199243A JP6636297B2 (ja) | 2015-10-07 | 2015-10-07 | 硬質皮膜 |
Publications (2)
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JP2017071825A JP2017071825A (ja) | 2017-04-13 |
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JP2015199243A Active JP6636297B2 (ja) | 2015-10-07 | 2015-10-07 | 硬質皮膜 |
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2015
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