JP6635510B2 - 電界放出素子及び電界放出素子を備える装置 - Google Patents
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(1)本発明の電界放出素子は、先端が先鋭な電子放出端となっているエミッタと、前記エミッタの先端を露呈する開口を有する引き出し用ゲート電極と、前記エミッタの電子放出端を露出する開口周縁を有し、前記エミッタの側壁を被覆するエミッタ側壁被覆絶縁層とを備え、前記エミッタの先端と前記引き出し用ゲート電極との最短距離をD、前記エミッタと前記エミッタ側壁被覆絶縁層と真空の三つの境界線が重なる三重点と、電子放出端との距離をLtとした時に、Lt<D/2であることを特徴とする。
(2)前記(1)の電界放出素子において、前記エミッタ側壁被覆絶縁層の更に外側に、第2の絶縁層を有し、前記三重点と絶縁層の沿面の各部との直線距離をLoとしたときに、Lo>2Dを満たす沿面が存在することを特徴とすることがより好ましい。ここで、絶縁層の沿面とは、エミッタ側壁被覆絶縁層又は第2の絶縁層の絶縁層が真空に露出している表面をさす。
(3)前記1又は2の電界放出素子において、前記ゲート電極の前記エミッタに対向する面を被覆するゲート電極内壁被覆絶縁層を備え、エミッタ側壁被覆絶縁層又は第2の絶縁層と連続して絶縁層を構成していることを特徴とすることがより好ましい。
(4)前記(1)乃至(3)のいずれか1項記載の電界放出素子において、前記ゲート電極は、火山型又は平板型であることを特徴とすることがより好ましい。
(5)前記(1)乃至(4)のいずれか1項記載の電界放出素子を備える装置である。
エミッタは、先鋭な先端を有する突起状であり、円錐形状などである。
本実施の形態では、ゲート電極の形状が火山型である電界放出素子の場合について、図1乃至図5を参照して説明する。
本実施の形態の電界放出素子の変形例を、図3に示す。変形例では、第1の絶縁層21がエミッタ先端に向かって徐々に薄くなっていく構造である。該変形例の場合であっても、トリプルジャンクション5の位置はエミッタ先端近傍に有り、そこから放出された電子は、第1の絶縁層の沿面に沿う方向には加速されずに、図示しないアノードに向かって加速されるので、図2で説明したと同様の効果が得られる。
本実施の形態の電界放出素子の製造方法について、図4及び図5を参照して説明する。
図4は、変形例の素子の製造工程(a)〜(f)を説明する図である。
エミッタ電極12上に先鋭な円錐形状のエミッタ11を形成する。エミッタを形成する方法は、公知の方法を採用することができ、特に限定されない。例えば、シリコンをエッチングする方法でも良い。または、微細な穴を有する二層の有機塗布膜上に、真空蒸着などの粒子の直進性の高い成膜方法によりエミッタ材料を成膜することで、穴が徐々に塞がっていくことを利用し円錐形のエミッタを形成し、後に有機溶剤により有機塗布膜を溶解することで不要なエミッタ材料膜を除去する方法でもよい(特許文献4参照)。
次に、第1の絶縁層21を成膜する。成膜方法は、公知の方法を採用することができ、特に限定されない。構造物の上に成膜するので、コンフォーマルに成膜できる方法がより望ましい。例えば、化学気相合成法(CVD)やスパッタリングなどの方法がある。シリコンをターゲットとし、ArとN2をプラズマ源としたスパッタリングによりSiNを成膜する方法でもよい。第1の絶縁層21の膜厚は、基本的には任意に選ぶことが可能であるが、作製が容易になるようにするためには、第2の絶縁層の10%〜20%程度の厚さが良い。
次に、第2の絶縁層22を成膜する。成膜方法は、既に公知の方法を採用することができ、特に限定されない。例えば、TEOS(テトラエトキシシラン)ガスを使ったプラズマCVDによりSiO2を成膜することができる。
さらに、第3の絶縁層23を成膜する。第3の絶縁層23は、第1の絶縁層21と同様にスパッタリングでSiNを成膜することができる。
その後、ゲート電極31となる金属薄膜を成膜する。金属薄膜の金属の種類は既に公知の材料を採用することができ、特に限定されない。例えば、NbやMo等が、SF6等フッ素系のガスを用いたリアクティブイオンエッチング(RIE)により簡単にエッチングができ、なおかつ、後に使うことになる緩衝フッ化水素酸(BHF)によりエッチングされないので都合が良い。
次に、第1〜第3の絶縁層及びゲート電極を成膜した基板(エミッタ電極)に、フォトレジスト41を塗布する。塗布するフォトレジストの厚さは、エミッタ11の高さに相当するよりも厚い膜厚に設定する。膜厚の調整には、使用するフォトレジストの粘度を調整したり、回転塗布の場合においては回転数を調整するなどして、調整することができる。
次に、酸素プラズマなどによりフォトレジストをエッチングする。エッチング量は、ゲート電極の高さが所望の値になるように調整する。
次に、残ったフォトレジストをマスクにして、ゲート電極31をエッチングする。ゲート電極としてNbやMoを選んだ場合は、SF6ガスを用いたリアクティブイオンエッチング(RIE)によりエッチングすることができる。また、第3の絶縁層23の材質としてSiNを選んだ場合には、ゲート電極31をエッチンするためのSF6ガスによるRIEにより第3の絶縁層も同時にエッチングすることができる。SiN以外の材質を選んだ場合には、第3の絶縁層23をエッチングするための工程を行う。この際、ゲート電極31をエッチングしないような方法を用いる必要がある。
次に、緩衝フッ酸(BHF)により第2の絶縁層22をエッチングする。この時、第2の絶縁層22は、ゲート電極31の開口部分からエッチングされていくので、エミッタに沿う方向にエッチングが進んでいく。エミッタ先端を覆っている第2の絶縁層22がエッチングされれば、第1の絶縁層21がBHFに暴露されることになる。第1の絶縁層21としてSiN、第2の絶縁層としてSiO2を選ぶと、BHFによるエッチングレートの比は概ね1:10〜1:20程度であるので、第2の絶縁層22を後退させていく間に第1の絶縁層21のエミッタ先端部分がエッチングされてなくなり、エミッタを露出することができる。
第1の絶縁層21の材質として、BHFには全くエッチングされない材質、たとえばアルミナ等を選んでおく必要がある。該第1の絶縁層21の材質を用いて、図4の(a)〜(e)の工程を行う。
次に、(e)工程の後、BHFにより第2の絶縁層22をエッチングにより後退させるが、エミッタ先端部分の第1の絶縁層21のみが露出した時点で一旦エッチングを終了する。
次に、第1の絶縁層21のみがエッチングできるエッチング液などを用いて、第1の絶縁層21のエミッタ先端部分のみをエッチングにより除去する。
次に、再び第2の絶縁層22をエッチングするBHFの工程を行い、第2の絶縁層22を更に後退させる。
本実施の形態では、ゲート電極が平坦である電界放出素子の場合について、図6乃至図9を参照して説明する。本実施の形態における原理と効果は、第1の実施の形態で説明したと同様である。本実施の形態において、エミッタ側壁被覆絶縁層の縁により規定される三重点は、条件1を満たす。本実施の形態は、従来のゲート電極が平坦であるスピント型電界放出素子(図11参照)に対して、本発明の絶縁層構造を適用したものである。従来例は、図11に示すように、エミッタの側壁及びエミッタ電極が真空に対して露出している構造である。それに対して、本実施の形態では、エミッタの側壁及びエミッタ電極は第1の絶縁層21で覆われ、エミッタ先端の電子放出端のみが露出している。トリプルジャンクション5は電子放出端付近に形成される。このような絶縁層の配置にすることにより、トリプルジャンクション5から放出された電子は、絶縁層の沿面方向に加速されることなく、真空中に向かって加速されるので、沿面放電に至ることはない。
図7は、変形例1を示す模式図である。変形例1の電界放出素子の絶縁構造は、エミッタ11先端のみを露出させてエミッタ11の側壁及びエミッタ電極12を被覆する第1の絶縁層21が、エミッタ電極とゲート電極の間に設けられる第2の絶縁層22を被覆するとともに、さらに連続して、ゲート電極のエミッタ電極対向面及びエミッタ対向面を被覆する構造である。第1の絶縁層21により、エミッタ側壁とエミッタ電極とゲート電極内壁が、連続して被覆され絶縁され、隙間が生じない。
図8は、変形例2を示す模式図である。変形例2の電界放出素子の絶縁構造は、エミッタ11先端のみを露出させてエミッタ11の側壁及びエミッタ電極12を被覆する第1の絶縁層21と、ゲート電極のエミッタ及びエミッタ電極と対向する内壁面に設けられ第3の絶縁層23と、第1の絶縁層21と第3の絶縁層23との層間に挟み込まれている第2の絶縁層22とからなる構造である。該構造により、図6や図7と同様の効果が得られる。
図6や図7の電界放出素子は、図11に示した従来例のスピント型電界放出素子が完成したあとで、つまり、第2の絶縁層22が完成した状態で、第1の絶縁層21と第3の絶縁層23を所望の位置に成膜する方法により作製できる。例えば、CVD法など構造各部にコンフォーマルに製膜できるような方法等により、絶縁層を成膜できる。また、エミッタ11先端に成膜された第1の絶縁層21は、例えば、集束イオンビームを使い、アレイ状のエミッタの各先端の絶縁層のみエッチングすることにより先端のみ除去できる。
第1の実施の形態において説明した図4(a)の工程と同様に、エミッタ電極12上に先鋭な円錐形状のエミッタ11を形成する。
次に、第1の絶縁層21、第2の絶縁層22、第3の絶縁層23、およびゲート電極31を連続して成膜する。この時、絶縁層とゲート電極の合計の膜厚が、エミッタの高さよりも厚くなるように設計する。第1の絶縁層21と第2の絶縁層22と第3の絶縁層23とについては、後の工程で選択的にエッチングができる必要があることを考慮して、適切な材料と膜厚を選択する。例えば、第1の絶縁層21としてアルミナ、第2の絶縁層22としてシリコン酸化膜、第3の絶縁層23としてシリコン窒化膜を用いることができる。
次に、ケミカルメカニカルポリッシング(CMP)法により、エミッタ11上の凸になった部分を削り取る。この時、ゲート電極の上に緩衝材を堆積してもよい。
次に、図5(f)の工程と同様に、BHFにより第2の絶縁層22をエッチングにより後退させるが、エミッタ先端部分の第1の絶縁層21のみが露出した時点で一旦エッチングを終了する。
次に、図5(g)の工程と同様に、第1の絶縁層21のみがエッチングできるエッチング液などを用いて、第1の絶縁層21のエミッタ先端部分のみをエッチングにより除去する。
次に、図5(h)の工程と同様に、再び第2の絶縁層22をエッチングするBHFの工程を行い、第2の絶縁層22を更に後退させる。
以上の工程により、エミッタ先端のみ露出し、側壁は第1の絶縁層21で被覆された構造の変形例2の電界放出素子が得られる。
2 絶縁体
3 陽極(ゲート電極)
4 二次電子放出
5 三重点(トリプルジャンクション)
6 等電位線
11 エミッタ
12 エミッタ電極
21 第1の絶縁層
22 第2の絶縁層
23 第3の絶縁層
31 ゲート電極
41 フォトレジスト
P、Q、 トリプルジャンクションから放出された電子の加速される向きを表す矢印
D エミッタの先端と引き出し用ゲート電極との最短距離
Lt 三重点と電子放出端との距離
Lo 三重点と絶縁層の沿面の各部との直線距離
Claims (2)
- 先端が先鋭な電子放出端となっているエミッタと、
前記エミッタの先端を露呈する開口を有する、火山型の引き出し用ゲート電極と、
前記エミッタの電子放出端を露出する開口周縁を有し、前記エミッタの側壁を被覆するエミッタ側壁被覆絶縁層とを備え、
前記エミッタの先端と前記引き出し用ゲート電極との最短距離をD、前記エミッタと前記エミッタ側壁被覆絶縁層と真空の三つの境界線が重なる三重点と、電子放出端との距離をLtとした時に、
Lt<D/2
であり、
前記エミッタ側壁被覆絶縁層の更に外側に、前記エミッタ側壁被覆絶縁層よりも前記電子放出端から見て後退した第2の絶縁層を前記エミッタ側壁被覆絶縁層上に備え、
前記引き出し用ゲート電極の前記エミッタに対向する面を被覆するゲート電極内壁被覆絶縁層を備え、前記ゲート電極内壁被覆絶縁層と前記エミッタ側壁被覆絶縁層とはそれぞれ個別の膜であり、前記エミッタ側壁被覆絶縁層と前記ゲート電極内壁被覆絶縁層を接続するように前記第2の絶縁層が設けられ、
前記三重点と、前記エミッタ側壁被覆絶縁層及び前記第2の絶縁層の表面からなる沿面の各部との直線距離をLoとしたときに、Lo>2Dを満たす沿面が存在すること、
を特徴とする電界放出素子。 - 請求項1記載の電界放出素子を備える装置。
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