JP6635227B1 - 三次元形状造形物の製造方法 - Google Patents

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Abstract

ベースプレートと造形物との間の熱膨張係数の差を緩和し、造形物に欠陥が発生することを抑制する三次元形状造形物の製造方法及びその製造装置を得る。三次元形状造形物3の原料である第1粉末1及び第1粉末1と異なる組成を有する第2粉末2が混合された混合粉末4の層をベースプレート32上に形成する。ベースプレート32上の混合粉末4にビームを照射することにより、混合粉末4を焼結又は溶融して固化させて混合層5を形成する。そして、混合層5上に三次元形状造形物3の材料となる第1粉末1の層を形成し、混合層5上の第1粉末1にビームを照射することにより焼結又は溶融して固化された層を形成する工程を繰り返し行うことにより、混合層5上に三次元形状造形物3を形成する。三次元形状造形物3から混合層5を切除して三次元形状造形物3を製造する。

Description

本発明は、粉末材料にビームを照射して固化させた層が積層された三次元形状造形物の製造方法及びその製造装置に関する。
近年、三次元形状造形物(以下、単に造形物と記す)の新たな製造方法として、一般に粉末積層造形法又は光造形法と称される方法が注目されている。この方法では、金属やセラミックス等の粉末材料を薄く均一に敷き、選択的に電子ビームやレーザー等を照射することにより焼結又は溶融して固化させて固化層を形成する。そして当該固化層を繰り返し積層させることで造形物を製造している。この方法によれば、複雑な構造を有する造形物を短時間で製造することができる。一方、粉末材料と、粉末材料を載置するベースプレートとの熱膨張係数の差に起因して応力が負荷されることにより、造形物にクラック等の欠陥が発生しやすいという問題がある。これに対し、特許文献1では、金属基台上に供給された造形物の粉末粒子と金属基台の表層とをレーザーにより溶融して固化させて混合層を形成し、混合層上に造形物を形成することによって、金属基台と造形物との熱膨張係数の差を緩和している。
特開2017−109357号公報
しかしながら、造形物の粉末材料とベースプレートの表層とをレーザーにより溶融して固化させて混合層を形成する方法では、混合層中において造形物の粉末材料の成分とベースプレートの成分との拡散が十分に起こらず、ベースプレートと造形物との間の熱膨張係数の差により造形物に欠陥が発生するという課題があった。
本発明は、上述のような課題を解決するためになされたもので、ベースプレートと造形物との間の熱膨張係数の差を緩和し、造形物に欠陥が発生することを抑制する三次元形状造形物の製造方法を提供することを目的とする。また、三次元形状造形物の製造装置を提供することを目的とする。
本発明に係る三次元形状造形物の製造方法は、三次元形状造形物の原料である第1粉末を、ベースプレートを土台として積層する三次元形状造形物の製造方法であって、下記式(1)及び下記式(2)を満たすように、第1粉末と異なる組成を有し、ベースプレートと同一の組成を有する理論密度D2(g/cm)の第2粉末を、第2粉末が配置された第2粉末テーブル及び造形テーブルを上又は下方向に移動させて、ベースプレート上に均し板の水平方向の移動により第2粉末を移動させて厚さt2(μm)の第2粉末の層を形成し、理論密度D1(g/cm)の第1粉末を、第1粉末が配置された第1粉末テーブル及び造形テーブルを上又は下方向に移動させて、第2粉末の層上に均し板の水平方向への移動により第1粉末を移動させて厚さt1(μm)の第1粉末の層を形成し、第1粉末及び第2粉末が、それぞれ混合比率m1(wt%)及び混合比率m2(wt%)で混合された厚さtd(μm)の第1粉末及び第2粉末から構成される混合粉末の層を形成する混合粉末形成ステップと、
Figure 0006635227
Figure 0006635227
混合粉末にビームを照射することにより焼結又は溶融して固化させ、ベースプレートの熱膨張係数と三次元形状造形物の熱膨張係数との間の熱膨張係数を有する混合層を形成する混合層形成ステップと、形成された混合層中の第1粉末の混合比率よりも、新たに積層される次の層の第1粉末の混合比率が大きくなるように、第1粉末及び第2粉末の供給量を調整し、混合粉末形成ステップ及び混合層形成ステップを所定の回数繰り返して混合層を積層するステップと、積層された混合層上に、第1粉末の層を形成してビームを照射することにより焼結又は溶融して固化させる工程を繰り返し行い、三次元形状造形物を形成する造形物形成ステップと、三次元形状造形物から混合層を切除する混合層切除ステップとを備える。
本発明の三次元形状造形物の製造方法及びその製造装置によれば、ベースプレートと造形物との間に、造形物の原料である第1粉末及び第1粉末と異なる組成を有する第2粉末が混合され、焼結又は溶融され固化された混合層を形成することで、ベースプレートと造形物との熱膨張係数の差を緩和し、造形物に欠陥が発生することを抑制することができる。
本発明の実施の形態1に係る三次元形状造形物の製造方法に用いられる製造装置の概略構成を示す断面図である。 本発明の実施の形態1に係る三次元形状造形物の製造方法に用いられる製造装置の概略構成を示す断面図である。 本発明の実施の形態1に係る三次元形状造形物の製造方法の概要を説明するための模式図である。 本発明の実施の形態1に係る三次元形状造形物の製造方法の工程を示すフローチャートである。 本発明の実施の形態1に係る三次元形状造形物の製造方法の工程を示すフローチャートである。 本発明の実施の形態1に係る三次元形状造形物の製造方法に用いられる製造装置の概略構成を示す断面図である。 本発明の実施の形態1に係る三次元形状造形物の製造方法に用いられる製造装置の概略構成を示す断面図である。 本発明の実施の形態2に係る三次元形状造形物の製造方法に用いられる製造装置の概略構成を示す断面図である。 本発明の実施の形態3に係る三次元形状造形物の製造方法に用いられる製造装置の概略構成を示す断面図である。
以下、本発明の三次元形状造形物の製造方法の好適な実施の形態について図面を用いて説明する。本実施の形態に係る三次元形状造形物は、粉末積層造形法によって製造される。
実施の形態1.
図1、図2は、本発明を実施するための実施の形態1に係る三次元形状造形物の製造方法に用いられる製造装置の概略構成を示す断面図である。図1は、粉末層を形成する工程を説明するための図であり、図2は、ビームを照射する工程を説明するための図である。
図1、図2に示すように、製造装置100は、造形物3の原料である第1粉末1が貯蔵される第1粉末貯蔵部10と、第1粉末1と異なる組成を有する第2粉末2が載置される第2粉末載置部20、造形物3が形成される造形物形成部30と、これらの上方において水平方向に移動可能なように設けられた均し板40と、造形物形成部30の上方に設けられたビーム照射部50とを備える。第1粉末貯蔵部10、第2粉末載置部20及び造形物形成部30は、互いに壁61、62、63、64によって仕切られ、チャンバー60内に配置されている。また製造装置100は、チャンバー60の外に各部を制御する制御部70(図示せず)を有する。
第1粉末貯蔵部10には、上下方向に移動可能な第1粉末テーブル11が設けられている。第1粉末貯蔵部10の内部には、造形物3の原料である第1粉末1が収容されている。ここで、第1粉末貯蔵部10に収容される第1粉末1の量は、造形物3の大きさに応じて調整されればよく、造形物3の体積に対して過剰に収容されることが好ましい。
第2粉末載置部20は、第1粉末貯蔵部10と造形物形成部30との間に配置される。第2粉末載置部20は、上方に水平方向に移動可能な第2粉末供給部21が設けられている。第2粉末供給部21は、第1粉末1と異なる組成を有する第2粉末2が充填されており、量を調整して第2粉末載置部20上に第2粉末2を供給する。
造形物形成部30には、上下方向に移動可能な造形テーブル31が設けられている。造形テーブル31上には、造形物3の土台となるベースプレート32が設けられている。ベースプレート32は、ビーム照射部50から照射されるビームEの照射に対して耐熱性の高い材料で構成されると好ましく、例えばステンレス鋼、炭素鋼、銅、チタン、アルミニウム、セラミックス等から構成される。
均し板40は、第1粉末貯蔵部10、第2粉末載置部20及び造形物形成部30の上方に設けられる。均し板40は、図示しないモータにより水平方向に移動し、第1粉末貯蔵部10から造形物形成部30までの間を往復する。
製造装置100は、第1粉末貯蔵部10から第1粉末1及び第2粉末供給部21から第2粉末2の少なくともいずれかが供給された場合、造形物形成部30の造形テーブル31を所定の距離まで下降させ、均し板40を第1粉末貯蔵部10又は第2粉末載置部20から造形物形成部30に水平方向に移動させ、第1粉末1又は第2粉末2をベースプレート32上に移動させる。また製造装置100は、均し板40を用いてベースプレート32上の第1粉末1及び第2粉末2の少なくともいずれかの粉末の表面を均すことで、各粉末の層を形成する。ここで造形物形成部30及び均し板40を合わせて粉末層形成部41とする。
ビーム照射部50は、造形物形成部30の上方に設けられる。ビーム照射部50は、ベースプレート32上の任意の位置にビームEを照射する。ビーム照射部50が照射するビームEは、例えば電子ビーム、レーザービームである。ビームEが照射される位置は、ビームEが電子ビームである場合、電子レンズによる電磁気的なビーム偏向によって調整される。またビームEがレーザービームである場合、ガルバノミラーを機械的に制御し、レーザービームを反射させることにより走査される。
チャンバー60は、内部を真空、減圧状態下又は窒素ガス、アルゴンガス等の不活性ガスの雰囲気に調整可能なように設けられる。
制御部70は、上述した製造装置100を構成する各部の制御を行う。例えば、制御部70は、第1粉末貯蔵部10の第1粉末テーブル11及び造形物形成部30の造形テーブル31の昇降を制御する。また制御部70は、第2粉末供給部21が供給する第2粉末2の量を制御する。また制御部70は、ビーム照射部50が照射するビームEの照射強度や照射する位置を制御する。制御部70は、例えばCPU(Central Processing Unit)及びメモリを用いて構成される。
図3は、本発明を実施するための実施の形態1に係る三次元形状造形物の製造方法を説明するための模式図である。図3は、三次元形状造形物を製造する過程で得られる積層体を示す。図3に示すように、積層体6は、ベースプレート32上に、第1粉末1及び第2粉末2が混合された、少なくとも一層からなる混合層5と、第1粉末1のみからなる造形物3とが一体化されて形成される。
混合層5は、第1粉末1と第2粉末2とが混合された混合粉末4がビームEにより焼結又は溶融して固化され、ベースプレート32の熱膨張係数と造形物3の熱膨張係数との間の熱膨張係数を有するようにベースプレート32上に形成される。ここで、混合層5を形成する際、ベースプレート32と混合粉末4との間には、第2粉末2のみからなる層が焼結又は溶融して固化された層を設けてもよい。
混合粉末4は、造形物3を形成するための第1粉末1と、造形物3の形成には用いられない、第1粉末1と異なる組成を有する第2粉末2とが混合されて形成される。混合粉末4は、製造装置100内で第1粉末1と第2粉末2とが混合されてもよいし、製造装置100外で混合されていてもよい。
第1粉末1は、造形物3を形成するための原料であり、金属、合金、セラミックス等から選択される少なくとも1種類の材料が用いられる。第1粉末1は、例えば、鉄ニッケル合金(Fe−36Ni、Fe−32Ni−5Co)、チタン、タングステン等の低熱膨張の材料を用いることができる。造形物3は、第1粉末1のみを用いて形成される。
第2粉末2は、第1粉末1と異なる組成を有する粉末である。ここで異なる組成とは、第2粉末2を構成する材料の成分若しくは材料の成分比が異なる、又は材料の成分が同じであっても熱膨張係数や熱伝導率等の物質的性質が異なる組成をいう。第2粉末2は、例えば、ステンレス鋼、炭素鋼、銅、チタン、アルミニウム、セラミックス等から選択される少なくとも1種類の材料が用いられる。第2粉末2は、第1粉末1と混合され混合粉末4を形成するために用いられ、造形物3を形成する際には用いられない。
例えば、第1粉末1の熱膨張係数がベースプレート32の熱膨張係数よりも小さい場合、第2粉末2は、熱膨張係数がベースプレート32の熱膨張係数と同じ又はそれより小さく、第1粉末1の熱膨張係数より大きい材料から構成される。また例えば、第1粉末1の熱膨張係数がベースプレート32の熱膨張係数よりも大きい場合、第2粉末2は、熱膨張係数がベースプレート32の熱膨張係数と同じ又はそれより大きく、第1粉末1の熱膨張係数より小さい材料から構成される。
第2粉末2は、ベースプレート32と同一の組成を有するとさらに好ましい。ここで同一の組成とは、第2粉末2を構成する材料の成分及び材料の成分比が、本願の効果を奏する程度に同一であればよい。第2粉末2が、ベースプレート32と同一の組成を有することにより、第1粉末1と第2粉末2とを混合させた場合に、ベースプレート32と造形物3との中間の熱膨張係数を有する混合層5を容易に得ることができる。
このように、ベースプレート32と造形物3との間に、造形物3の原料である第1粉末1及び第1粉末1と異なる組成を有する第2粉末2が混合された混合層5を形成することで、ベースプレート32と造形物3との熱膨張係数の差を緩和し、造形物3に欠陥が発生することを抑制することができる。
ここで混合層5は、複数積層されることが好ましい。このとき、ベースプレート32側の下層の混合層5から造形物3側の上層の混合層5にかけて、混合層5中の第1粉末1の混合比率が増加するように形成される。以下では、ベースプレート32側の最下層の混合層5を一層目とし、一層目をC1、二層目をC2・・・n層目をCnとする。
n層の混合層5が積層される場合、一層目とn層目の間の任意のx層目の混合層Cxにおける第1粉末1の混合比率は、{x/(n+1)}×100(wt%)であることが好ましい。例えば9層の混合層5が積層される場合、各混合層5中の第1粉末1の混合比率は一層目から10、20、30・・・(wt%)と増加し、最上段の9層目の混合層C9では、第1粉末1の混合比率が90%で構成される。
このように、ベースプレート32と造形物3との間に、下層の混合層5から上層の混合層5にかけて第1粉末1の混合比率が増加するように各混合層5を形成することで、ベースプレート32と造形物3との間の熱膨張係数の変化を緩やかにすることができ、造形物3に欠陥が発生することをさらに抑制できる。
次に、製造装置100を用いた三次元形状造形物3の製造方法を説明する。図4、図5は、本発明を実施するための実施の形態1に係る三次元形状造形物の製造方法の工程の一例を示すフローチャートである。以下に説明する製造装置100の各部の動作は、制御部70が各部を制御することにより行われる。
図4、図5に示すように、三次元形状造形物3の製造方法は、ベースプレート32上に第1粉末1と第2粉末2とが混合された混合粉末4の層を形成する混合粉末形成ステップ(ST1)と、混合粉末4にビームEを照射することにより焼結又は溶融して固化させ、ベースプレート32と造形物3との間の熱膨張係数を有する混合層5を形成する混合層形成ステップ(ST2)と、混合層5上に、第1粉末1のみの層を形成してビームEを照射することにより第1粉末1を焼結又は溶融して固化させる工程を繰り返し、造形物3を形成する造形物形成ステップ(ST3)と、造形物3から混合層5を切除する混合層切除ステップ(ST4)を備える。
(ST1)〜(ST3)の各工程は、第1粉末1及び第2粉末2の酸化又は窒化を防ぐため、製造装置100のチャンバー60内で、真空、減圧状態下又は窒素ガス、アルゴンガス等の不活性ガス中で行われる。また混合粉末4を形成する工程(ST1)の前に、ベースプレート32は、図示しないヒータ等の加熱手段又はビーム照射部50より照射されるビームEにより加熱されることが好ましい。これにより、第1粉末1及び第2粉末2が舞い上がりスモークが発生することを抑制できる。
まず、ベースプレート32上に第1粉末1と第2粉末2とが混合された混合粉末4の層を形成する(ST1)。第1粉末貯蔵部10は、第1粉末テーブル11を所定の距離まで上昇させる(ST11)。そして均し板40により、第1粉末1を第1粉末貯蔵部10から第2粉末載置部20に移動させる。(ST12)。
第2粉末供給部21は、第2粉末2を第2粉末載置部20に供給する(ST13)。第2粉末供給部21は、水平方向に移動しながら第2粉末2を供給することにより、第2粉末載置部20全体に第2粉末2を載置する。第2粉末供給部21は、所定の混合比率を満たすように、第2粉末載置部20に移動された第1粉末1の量に応じて供給量が調整される。
造形物形成部30は、造形テーブル31をtd下降させる(ST14)。そして均し板40により、第1粉末1及び第2粉末2を、第2粉末載置部20から造形物形成部30まで移動させ、第1粉末1及び第2粉末2の表面を均して層を形成する(ST15)。これにより、ベースプレート32上に第1粉末1と第2粉末2とが混合された混合粉末4の層が形成される。
次に、ビーム照射部50からビームEを照射させ、ベースプレート32上の混合粉末4の所定の位置に走査し、焼結又は溶融して固化させる(ST2)。これにより、第1粉末1と第2粉末2とが所定の混合比率で混合され、ベースプレート32と造形物3との間の熱膨張係数を有する混合層5が形成される。
そして、(ST1)及び(ST2)を所定の回数繰り返すことにより、混合層5を複数積層する。このとき、混合粉末形成ステップ(ST1)において、新たに形成される混合粉末4中の第1粉末1の混合比率が、直前の層における第1粉末1の混合比率よりも大きくなるように、第1粉末1及び第2粉末2の供給量が調整される。繰り返しによって新たに積層される層は、既に形成された下層と一体化される。
次に、複数積層された混合層5上に第1粉末1のみの層を形成し、ビームEを照射して焼結又は溶融して固化させる工程を繰り返すことにより造形物3を形成する(ST3)。図6、図7は、本発明を実施するための実施の形態1に係る三次元形状造形物の製造方法に用いられる製造装置の概略構成を示す断面図である。図6は、混合層上に第1粉末を形成する工程を説明するための図であり、図7は、混合層上の第1粉末にビームを照射する工程を説明するための図である。
造形物形成部30は、造形テーブル31を下方に距離ts移動させるとともに、第1粉末貯蔵部10の第1粉末テーブル11を上方に移動させる(ST31)。そして均し板40を第1粉末貯蔵部10から造形物形成部30まで水平方向に移動させ、複数積層された混合層5上に厚さtsの第1粉末1の層を形成する(ST32)。ここで、ベースプレート32上に形成される第1粉末1の厚さtsは、第1粉末1の平均粒径以上である。第1粉末1は、例えば、混合層5との間に何も挟まず直接形成される。
ビーム照射部50からビームEを照射させ、第1粉末1の所定の位置に走査し、焼結又は溶融して固化させた層を形成する(ST33)。ここで、ビームEの走査経路は、予め三次元CADデータから作成する。例えば、三次元CADデータを所定のピッチでスライスした各断面の輪郭形状データを用いてビームEの走査経路を決定する。例えば、第1粉末1の層の厚さtsを50μmとした場合、ピッチは50μmである。
そして、(ST31)から(ST33)を繰り返して所定の厚さになるまで積層することにより、混合層5上に造形物3が形成される。積層回数は、(造形物3の最大高さ)/(第1粉末1の層の厚さts)から求められる。ここで、造形物形成部30において、溶融されずに残った第1粉末1は回収されて次の造形物3を製造する際に再利用することができる。
このように、混合層5上に形成された造形物3は、混合層5及びベースプレート32と一体化し、周囲が余分な第1粉末1及び第2粉末2が連結して一固まりとなった集合体で覆われている。そのため、周囲の集合体を除去し、その後造形物3から混合層5及びベースプレート32を切除する(ST4)。混合層5の切除は、製造装置100内に設けられた加工機により行われてもよいし、製造装置100の外部で適当な工具を用いて行われてもよい。これにより、造形物3を作製することができる。
上述のとおり、本実施の形態に係る三次元形状造形物の製造方法は、ベースプレート32上に造形物3の原料である第1粉末1と、第1粉末1と異なる組成を有する第2粉末2とが混合された混合粉末4の層を形成する混合粉末形成ステップと、混合粉末4が焼結又は溶融され固化され、ベースプレート32と造形物3との間の熱膨張係数を有する混合層5を形成する混合層形成ステップと、混合層5上に第1粉末1の層を形成し、焼結又は溶融して固化させた層を積層することで造形物3を形成する造形物形成ステップと、造形物3から混合層5を切除する混合層切除ステップとを備える構成とした。
また、本実施の形態に製造装置100は、造形物3の原料である第1粉末1及び第1粉末1と異なる組成を有する第2粉末2の少なくともいずれかの層を形成する粉末層形成部41と、第1粉末1及び第2粉末2の少なくともいずれかの層を焼結又は溶融して固化させるビーム照射部50とを備え、粉末層形成部41がベースプレート32上に第1粉末1と第2粉末2とが混合された混合粉末4の層を形成し、ビーム照射部50が混合粉末4にビームEを照射させて焼結又は溶融して固化させて混合層5を形成し、混合層5上に造形物3を形成する制御を行う制御部70とを備える構成とした。
この構成により、ベースプレート32と造形物3との間に、造形物3の原料からなる第1粉末1及び第1粉末1と異なる組成を有する第2粉末2が混合された混合層5を形成し、造形物3とベースプレート32との熱膨張係数の差を緩和することができ、造形物3に欠陥が発生することを抑制することができる。
ここで、第1粉末1及び第2粉末2の平均粒径は、30μm以上100μm以下であることが好ましい。第1粉末1及び第2粉末2の粒径を100μm以下とすることで、粉末層内の充填密度を高くすることができ、照射されるビームEのエネルギー吸収率を向上させることができる。また第1粉末1の粒径を小さくすることで、造形物3の造形を高精度に行えるとともに、表面粗さを小さくすることができる。
また、第1粉末1及び第2粉末2の平均粒径を30μm以上とすることで、第1粉末1及び第2粉末2が凝集し、充填密度が小さくなることを抑制できる。これにより、凝集した粉末が均し板40に引き摺られ、粉末層にスジや割れ等の欠陥が発生することを抑制することができ、薄く均一に粉末層を形成できる。また、均し板40を用いて第1粉末1及び第2粉末2を均して粉末層を形成する際に、粉末粒子が舞い上がりスモークが発生することを抑制できる、これにより、スモークによりビームEが減退することなく、十分に粉末層を溶融することができる。
第1粉末1及び第2粉末2をそれぞれ構成する粉末粒子の形状は、球状、楕円体状、多面体状等であり、球状であるとより好ましい。球状であることにより、流動性が高くなり、粉末の充填密度を増して薄く均一な粉末層を得ることができる。ここで球状とは、種々の方向で測定した場合の最大長さと最小長さとの比を示すアスペクト比が1.0〜2.0の範囲にある形状である。
第1粉末1及び第2粉末2は、当該技術分野において公知の方法を用いて作製することができる。例えば、ガスアトマイズ法、水アトマイズ法、プラズマアトマイズ法等のアトマイズ法を用いてもよい。アトマイズ法を用いることにより、均一且つ球状の流動性に優れた粉末を容易に得ることができる。
実施の形態2.
図8は、本発明を実施するための実施の形態2に係る三次元形状造形物の製造方法に用いられる製造装置の概略構成を示す断面図である。以下では、実施の形態1と同様である点の説明を省略し、異なる点を中心に説明する。本実施の形態に係る三次元形状造形物3の製造方法では、造形物形成部30を挟んで両側に第1粉末貯蔵部10と第2粉末貯蔵部22が設けられた製造装置110を用いた。
第2粉末貯蔵部22は、上下方向に移動可能な第2粉末テーブル23が設けられている。第2粉末貯蔵部22の内部に第2粉末2が収容されている。
混合粉末形成ステップ(ST1)において、第1粉末1と、第2粉末2との混合比率がm1(wt%):m2(wt%)となる厚さtdの混合粉末4の層をベースプレート32上に形成するとする。このとき、混合粉末4中の第1粉末1の層の厚さt1及び第2粉末2の層の厚さt2は、式(1)、式(2)より求められる。
Figure 0006635227
・・・式(1)
Figure 0006635227
・・・式(2)
ただし、D1は第1粉末1の理論密度(g/cm)、D2は第2粉末2の理論密度(g/cm)、m1は第1粉末1の混合比率(wt%)、m2は第2粉末2の混合比率(wt%)、tdは混合粉末4の厚さ(μm)である。
造形物形成部30は、造形テーブル31を下方に距離t2移動させるとともに、第2粉末貯蔵部22の第2粉末テーブル23を上方に移動させる(ST11)。そして均し板40を第2粉末貯蔵部22から造形物形成部30まで水平方向に移動させ、ベースプレート32上に厚さt2の第2粉末2の層を形成する(ST12)。
造形物形成部30は、造形テーブル31を下方に距離t1移動させるとともに、第1粉末貯蔵部10の第1粉末テーブル11を上方に移動させる(ST13)。そして均し板40を第1粉末貯蔵部10から造形物形成部30まで水平方向に移動させ、ベースプレート32上の第2粉末2上に厚さt1の第1粉末1の層を形成する(ST14)。これにより、ベースプレート32上に厚さtdの第1粉末1と第2粉末2とが混合された混合粉末4の層が形成される。
次に、ビーム照射部50からビームEを照射させ、ベースプレート32上の第1粉末1及び第2粉末2の任意の位置に走査し、焼結又は溶融して固化させる(ST2)。これにより、混合比率がm1(wt%):m2(wt%)となる混合層5を形成できる。
そして、形成された混合層5中の第1粉末1の混合比率よりも、新たに積層される次の層の第1粉末1の混合比率が大きくなるように、第1粉末1及び第2粉末2の供給量を調整し、(ST1)及び(ST2)を所定の回数繰り返して積層する。
次に、複数積層された混合層5上に第1粉末1のみの層を形成し、ビームEを照射して溶融して固化させる工程を複数繰り返すことにより混合層5上に造形物3を形成する(ST3)。次に、造形物3から混合層5を切除し(ST4)、造形物3を作製する。
上述のとおり、ベースプレート32と造形物3との間に、第1粉末1と第2粉末2とが混合された混合粉末4が溶融され固化された混合層5を形成することにより、ベースプレート32と造形物3との熱膨張係数の差を緩和することができる。さらに、本実施の形態では、造形物形成部30を挟んで両側に第1粉末貯蔵部10と第2粉末貯蔵部22を設けた製造装置110を用いることにより、造形テーブル31を昇降させる距離を制御するという簡単な工程により、所定の混合比率で第1粉末1と第2粉末2とが混合された混合粉末4を形成することができる。
実施の形態3.
図9は、本発明を実施するための実施の形態3に係る三次元形状造形物の製造方法に用いられる製造装置の概略構成を示す断面図である。以下では、実施の形態1と同様である点の説明を省略し、異なる点を中心に説明する。本実施の形態に係る三次元形状造形物の製造方法では、第1粉末貯蔵部10の上部に第1粉末1及び第2粉末2が予め混合された混合粉末4が収容された製造装置120を用いた。
図9に示すように、第1粉末貯蔵部10の第1粉末1が収容された箇所の上部には、第1粉末1と第2粉末2が製造装置120の外部で予め混合された混合粉末4が収容されている。混合粉末4は、複数の層から形成され、下層から上層へ向かうにつれ、第2粉末2の混合比率が増加するように形成される。
混合粉末形成ステップ(ST1)において、第1粉末貯蔵部10の第1粉末テーブル11を、混合粉末4の一層の厚さに相当する距離tb上方に移動させるとともに、造形物形成部30は、造形テーブル31を下方に移動させる(ST11)。均し板40を第1粉末貯蔵部10から造形物形成部30まで水平方向に移動させ、ベースプレート32上に混合粉末4の層を形成する(ST12)。
次に、ビーム照射部50からビームEを照射させ、ベースプレート32上の第1粉末1及び第2粉末2の任意の位置に走査し、焼結又は溶融して固化させる(ST2)。(ST1)及び(ST2)を所定の回数繰り返して混合層5を積層する。
次に、複数積層された混合層5上に第1粉末1のみの層を形成し、ビームEを照射して溶融して固化させる工程を複数繰り返すことにより造形物3を形成する(ST3)。次に、造形物3から混合層5を切除し(ST4)、造形物3を作製する。
上述のとおり、ベースプレート32と造形物3との間に第1粉末1と第2粉末2とが混合された混合粉末4が溶融され固化された混合層5を形成することにより、ベースプレート32と造形物3との熱膨張係数の差を緩和することができる。さらに、本実施の形態では、第1粉末貯蔵部10の上部に第1粉末1と第2粉末2とが予め混合された混合粉末4が収容された製造装置120を用いることにより、製造装置120内で、第1粉末1及び第2粉末2が混合されることにより生じるスモークや粉塵爆発が発生する恐れを低減することができる。
以下、実施例により本発明の詳細を説明するが、これによって本発明が限定されるものではない。
第1粉末1として、平均粒径70μmの一般にスーパーインバーと呼ばれる鉄ニッケル合金の粉末を用いた。第1粉末1は、31.0以上33.0以下wt%のNi、4.5以上5.5wt%以下のCo、0.15以上0.65以下wt%のMn、0.01wt%以下のSi、0.05wt%のC、0.01wt%のS、0.5wt%のMn、0残部がFe及び不可避不純物からなる組成を有する。
第2粉末2として、平均粒径70μmのSUS304の粉末を用いた。第2粉末2は、18.0以上20.0以下のCrwt%、8.0以上10.5以下のNiwt%、3.5wt%のCu、0.2wt%のNb、0.02wt%のC、0.5wt%のSi、0.5wt%のMn、0.01wt%以下のP、0.01wt%のSを含み、残部がFe及び不可避不純物からなる組成を有する。
ここで、第1粉末1及び第2粉末2の平均粒径は、レーザー回折式粒度分布測定装置を用いて測定した粒度分布から得られる平均粒径を用いた。
図1、図2に示す製造装置100を用いて造形物3の造形を行った。ベースプレート32は、第2粉末2と同一の組成を有するSUS304を用いた。ビーム照射部50として、電子ビームEが照射可能な電子銃を用いた。また、第1粉末貯蔵部10、第2粉末載置部20、造形物形成部30及び均し板40をチャンバー60内に設けた。
まず、第1粉末貯蔵部10及び第2粉末供給部21に、それぞれ第1粉末1及び第2粉末2を充填し、チャンバー60内を真空引きした。電子銃により電子ビームEをベースプレート32に照射し、ベースプレート32の温度を約800℃〜850℃に加熱保持した。
次に、第1粉末貯蔵部10の第1粉末テーブル11を所定の距離まで上昇させ、均し板40により、第1粉末1を第1粉末貯蔵部10から第2粉末載置部20に移動させた。第2粉末供給部21より、所定の量の第2粉末2を第2粉末載置部20に供給した。
次に、造形テーブル31を下方に70μm移動させた後、均し板40を移動させ、第1粉末1及び第2粉末2を、第2粉末載置部20から造形物形成部30まで移動し、均し板40で均すことによりベースプレート32上に70μmの厚さで混合粉末4の層を形成した。
次に、造形物形成部30の上方に設けられた電子銃から所定の位置に電子ビームEを照射することにより、ベースプレート32上の混合粉末4を溶融して固化させた混合層5を形成した。このとき、電子ビームの電流は4A、スキャン速度50mm、スキャンピッチ20μmとした。この動作を繰り返し、9層の混合層5を積層した。各混合層5の第1粉末1の混合比率は、一層目から10、20、30・・90(wt%)とした。
次に、造形テーブル31を下方に70μm移動させた後、第1粉末テーブル11を上方に移動し、均し板40より第1粉末貯蔵部10から造形物形成部30まで水平方向に移動させた。均し板40で均すことにより、ベースプレート32上に複数積層された混合層5の上に、70μmの厚さで第1粉末1の層を形成した。
電子銃から電子ビームEを照射し、予め入力された造形物のスライスデータに沿って、第1粉末1に電子ビームEを走査し、溶融して固化させた層を形成した。
次に、溶融して固化させた層の上に、上記と同様の条件で、第1粉末1の層を形成し、所定の位置に電子ビームEを照射することを繰り返し、混合層5上に造形物3を形成した。その後、チャンバー60内に不活性ガスを注入し冷却を行った。このとき、造形物3への熱応力を緩和するために、100℃/hrで徐々に冷却した。十分に冷却した後、造形テーブル31を上昇させ、造形物3と一体化された混合層5、ベースプレート32及び造形物3の周囲に付着した第1粉末1及び第2粉末2の集合体を取り出した。そして、造形物3から集合体を除去し、混合層5及びベースプレート32を切除することによって、造形物3を作製した。
上述のとおり、本発明に係る三次元形状造形物3の製造方法によれば、第1粉末1及び第1粉末1と異なる組成を有する第2粉末2が混合された混合層5を形成することで、ベースプレート32と造形物3との熱膨張係数の差を緩和することができる。これにより、鉄ニッケル合金等の低熱膨張の材料からなる造形物3を製造する場合でも、ベースプレート32の材質によらず、造形物3に欠陥が発生することを抑制できる。
実施の形態4.
本発明を実施するための実施の形態4に係る三次元形状造形物の製造方法について説明する。以下では、実施の形態1と同様である点の説明を省略し、異なる点を中心に説明する。本実施の形態では、混合粉末4の各層ごとに焼結又は溶融固化に必要なエネルギー密度に応じてビームEを照射する。
三次元形状造形物3の製造方法は、ベースプレート32上に第1粉末1と第2粉末2とが混合された混合粉末4の層を形成する混合粉末形成ステップ(ST1)と、混合粉末4にビームEを照射することにより焼結又は溶融して固化させ、ベースプレート32と造形物3との間の熱膨張係数を有する混合層5を形成する混合層形成ステップ(ST2と、混合層5上に、第1粉末1のみの層を形成してビームEを照射することにより第1粉末1を焼結又は溶融して固化させる工程を繰り返し、造形物3を形成する造形物形成ステップ(ST3)と、造形物3から混合層5を切除する混合層切除ステップ(ST4)を備える。ここで、造形物3の製造に用いられる製造装置は、図1、図8、図9に示す製造装置100、110、120のいずれであってもよい。
混合層5は複数積層され、下層の混合層5から上層の混合層5にかけて第2粉末2に対して第1粉末1の混合比率が増加するように形成される。例えば、積層される混合層5の総数をn層とした場合、一層目とn層目の間の任意のx層目の混合層Cxにおける第1粉末1の混合比率は、{x/(n+1)}×100(wt%)である。
ビーム照射部50は、造形物形成部30の上方に設けられ、所定の位置にビームEを照射することにより、ベースプレート32上の混合粉末4を焼結又は溶融して固化させ、混合層5を形成する。また、混合層5上に積層された第1粉末1を焼結又は溶融して固化させ、造形物3を形成する。
ここで、ビームEの出力P(W)、走査速度v(mm/s)、走査ピッチs(mm)、積層厚みt(mm)としたとき、ビーム照射部50が各粉末層に照射するビームEのエネルギー密度Ek(J/mm)は、Ek=P/vstで定義される。各粉末を焼結又は溶融して固化させるのに必要なエネルギー密度Ekは、各粉末の組成に応じて異なる。本実施の形態では、混合層形成ステップ(ST2)において、混合粉末4の各層ごとに焼結又は溶融固化に必要なエネルギー密度Ekに応じてビームEを照射する、
例えば、第1粉末1の焼結又は溶融固化に必要なエネルギー密度をEa、第2粉末2の焼結又は溶融固化に必要なエネルギー密度をEbとした場合、ビーム照射部50は、積層される混合粉末4の下層から上層にかけて、第2粉末2の焼結又は溶融固化に必要なエネルギー密度Ebから、第1粉末1の焼結又は溶融固化に必要なエネルギー密度Eaに近づくようにビームEを照射する。すなわち、エネルギー密度がEa<Ebである場合、ビーム照射部50は、下層から上層にかけて照射するビームEのエネルギー密度Ekを徐々に減少させ、Ea>Ebである場合、下層から上層にかけて照射するビームEのエネルギー密度Ekを徐々に増加させる。
例えば、積層される混合層5の総数をn層、ベースプレート32側の最下層の混合層5を一層目とした場合、x層目(1≦x≦n)の混合粉末4の層に照射されるビームEのエネルギー密度Exは、式(3)を満たすことが好ましい。
Figure 0006635227
・・・式(3)
式(3)を満たすことで、第1粉末1の比率が下層から上層にかけて徐々に増加する混合層5を形成する場合において、混合粉末4の各層ごとに焼結又は溶融固化に必要なエネルギー密度Ekに応じてビームEを照射することができる。ここで、厳密に式(3)と同値でなくともよく、効果を奏する範囲で同じであればよい。
上述のとおり、本発明に係る三次元形状造形物3の製造方法によれば、第1粉末1及び第1粉末1と異なる組成を有する第2粉末2が混合された混合層5を形成することで、ベースプレート32と造形物3との熱膨張係数の差を緩和することができる。これにより、鉄ニッケル合金等の低熱膨張の材料からなる造形物3を製造する場合でも、ベースプレート32の材質によらず、造形物3に欠陥が発生することを抑制できる。さらに本実施の形態では、混合層形成ステップにおいて、混合粉末4の各層ごとに焼結又は溶融固化に必要なエネルギー密度に応じてビームを照射することで、混合層5へのエネルギー過剰による過溶融や、エネルギー不足による混合層5の焼結不足に陥ることなく、健全な混合層5が形成できる。
なお、本発明はその要旨を逸脱しない範囲で、実施の形態1から4に開示されている複数の構成要素の適宜組み合わせてもよい。
1 第1粉末、2 第2粉末、3 造形物、4 混合粉末、5 混合層、6 積層体、10 第1粉末貯蔵部、11 第1粉末テーブル、20 第2粉末載置部、21 第2粉末供給部、22 第2粉末貯蔵部、23 第2粉末テーブル、30 造形物形成部、31 造形テーブル、32 ベースプレート、40 均し板、41 粉末層形成部、50 ビーム照射部、60 チャンバー、70 制御部、100,110,120 製造装置。

Claims (2)

  1. 三次元形状造形物の原料である第1粉末を、ベースプレートを土台として積層する三次元形状造形物の製造方法であって、
    下記式(1)及び下記式(2)を満たすように、前記第1粉末と異なる組成を有し、前記ベースプレートと同一の組成を有する理論密度D2(g/cm)の第2粉末を、前記第2粉末が配置された第2粉末テーブル及び造形テーブルを上又は下方向に移動させて、前記ベースプレート上に均し板の水平方向の移動により前記第2粉末を移動させて厚さt2(μm)の第2粉末の層を形成し、
    理論密度D1(g/cm)の前記第1粉末を、前記第1粉末が配置された第1粉末テーブル及び前記造形テーブルを上又は下方向に移動させて、前記第2粉末の層上に前記均し板の水平方向への移動により前記第1粉末を移動させて厚さt1(μm)の第1粉末の層を形成し、
    前記第1粉末及び前記第2粉末が、それぞれ混合比率m1(wt%)及び混合比率m2(wt%)で混合された厚さtd(μm)の前記第1粉末及び前記第2粉末から構成される混合粉末の層を形成する混合粉末形成ステップと、
    Figure 0006635227
    Figure 0006635227
    前記混合粉末にビームを照射することにより焼結又は溶融して固化させ、前記ベースプレートの熱膨張係数と前記三次元形状造形物の熱膨張係数との間の熱膨張係数を有する混合層を形成する混合層形成ステップと、
    形成された前記混合層中の前記第1粉末の混合比率よりも、新たに積層される次の層の前記第1粉末の混合比率が大きくなるように、前記第1粉末及び前記第2粉末の供給量を調整し、前記混合粉末形成ステップ及び前記混合層形成ステップを所定の回数繰り返して前記混合層を積層するステップと、
    積層された前記混合層上に、前記第1粉末の層を形成してビームを照射することにより焼結又は溶融して固化させる工程を繰り返し行い、前記三次元形状造形物を形成する造形物形成ステップと、
    前記三次元形状造形物から前記混合層を切除する混合層切除ステップと
    を備えることを特徴とする三次元形状造形物の製造方法。
  2. 前記第1粉末は、鉄ニッケル合金、チタン、タングステン、セラミックスの少なくともいずれかで構成されることを特徴とする請求項1に記載の三次元形状造形物の製造方法。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116504742A (zh) * 2023-06-21 2023-07-28 青岛泰睿思微电子有限公司 半导体封装用框架及其制作方法、以及封装方法

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020195405A1 (ja) * 2019-03-26 2020-10-01 日本鋳造株式会社 低温安定性に優れる低熱膨張合金およびその製造方法
KR102345951B1 (ko) 2019-03-26 2021-12-30 니폰추조 가부시키가이샤 저온 안정성이 우수한 저열팽창 합금 및 그의 제조 방법
JP7261728B2 (ja) * 2019-11-28 2023-04-20 日本鋳造株式会社 低熱膨張合金およびその製造方法
EP4074434A4 (en) * 2019-12-13 2022-12-21 Mitsubishi Electric Corporation ALLOY, WIRE AND ALLOY POWDER

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010255033A (ja) * 2009-04-23 2010-11-11 Nippon Light Metal Co Ltd 金属基複合材
WO2016143137A1 (ja) * 2015-03-12 2016-09-15 株式会社ニコン 三次元造形物製造装置および構造物の製造方法
JP2016204720A (ja) * 2015-04-27 2016-12-08 株式会社ソディック 積層造形装置
JP2017019111A (ja) * 2015-07-07 2017-01-26 日本電気株式会社 積層造形装置及び積層造形方法
JP2017082293A (ja) * 2015-10-29 2017-05-18 セイコーエプソン株式会社 三次元構造物の製造方法、その製造装置及びその制御プログラム
WO2017104705A1 (ja) * 2015-12-15 2017-06-22 国立大学法人大阪大学 金属間化合物を含有する構造物の製造方法
WO2017163405A1 (ja) * 2016-03-25 2017-09-28 技術研究組合次世代3D積層造形技術総合開発機構 3次元積層造形装置、3次元積層造形装置の制御方法および3次元積層造形装置の制御プログラム
WO2017203717A1 (ja) * 2016-05-27 2017-11-30 地方独立行政法人大阪府立産業技術総合研究所 積層造形用の金属粉末、積層造形物の製造方法及び積層造形物

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010255033A (ja) * 2009-04-23 2010-11-11 Nippon Light Metal Co Ltd 金属基複合材
WO2016143137A1 (ja) * 2015-03-12 2016-09-15 株式会社ニコン 三次元造形物製造装置および構造物の製造方法
JP2016204720A (ja) * 2015-04-27 2016-12-08 株式会社ソディック 積層造形装置
JP2017019111A (ja) * 2015-07-07 2017-01-26 日本電気株式会社 積層造形装置及び積層造形方法
JP2017082293A (ja) * 2015-10-29 2017-05-18 セイコーエプソン株式会社 三次元構造物の製造方法、その製造装置及びその制御プログラム
WO2017104705A1 (ja) * 2015-12-15 2017-06-22 国立大学法人大阪大学 金属間化合物を含有する構造物の製造方法
WO2017163405A1 (ja) * 2016-03-25 2017-09-28 技術研究組合次世代3D積層造形技術総合開発機構 3次元積層造形装置、3次元積層造形装置の制御方法および3次元積層造形装置の制御プログラム
WO2017203717A1 (ja) * 2016-05-27 2017-11-30 地方独立行政法人大阪府立産業技術総合研究所 積層造形用の金属粉末、積層造形物の製造方法及び積層造形物

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116504742A (zh) * 2023-06-21 2023-07-28 青岛泰睿思微电子有限公司 半导体封装用框架及其制作方法、以及封装方法
CN116504742B (zh) * 2023-06-21 2023-12-08 青岛泰睿思微电子有限公司 半导体封装用框架及其制作方法、以及封装方法

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