JP6629063B2 - 測定装置 - Google Patents
測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6629063B2 JP6629063B2 JP2015243581A JP2015243581A JP6629063B2 JP 6629063 B2 JP6629063 B2 JP 6629063B2 JP 2015243581 A JP2015243581 A JP 2015243581A JP 2015243581 A JP2015243581 A JP 2015243581A JP 6629063 B2 JP6629063 B2 JP 6629063B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- electrode
- measurement
- internal liquid
- casing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 124
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 81
- 230000010365 information processing Effects 0.000 claims description 18
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 14
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 3
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims 2
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 131
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 43
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 16
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 11
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 11
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 7
- 230000004044 response Effects 0.000 description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 6
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 5
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 4
- 230000006870 function Effects 0.000 description 4
- -1 polypropylene Polymers 0.000 description 4
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 4
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 4
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 4
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 4
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 3
- 239000002033 PVDF binder Substances 0.000 description 2
- 229920001774 Perfluoroether Polymers 0.000 description 2
- 229910021607 Silver chloride Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 230000005672 electromagnetic field Effects 0.000 description 2
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- HKZLPVFGJNLROG-UHFFFAOYSA-M silver monochloride Chemical compound [Cl-].[Ag+] HKZLPVFGJNLROG-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000033116 oxidation-reduction process Effects 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
Description
前記取り付け構造が、前記所定位置において、前記サンプル供給口とサンプル導入口とを接続するものであることを特徴とする。
まず、サンプリング制御部がサンプリングポンプ131に指令を出して、測定液を本流路からサンプリングし、前記取り付け構造9によって液密に接続された前記サンプル供給口931A及びサンプル導入口931Bを経由してガラス電極21の管体213及び比較電極22の第1内部流路4にサンプルを充満させた後、ポンプ131を停止してサンプルの流れを止める。この状態で、サンプルのpHを測定する。測定終了後は、サンプリング流路12の接続先を、図示しないバルブを操作するなどして洗浄液タンク(これも図示しない)に切り替え、内部のサンプルを前記サンプル排出口933B及びサンプル受入口933Aを経由してパージする。この一連の動作を所定タイミングで繰り返し行って、測定液のpHを逐次測定する。
サンプル供給ユニット・・・1
ボディ・・・11
電極ユニット・・・2
ケーシング・・・23
比較電極・・・22
情報処理機構・・・3
取り付け構造・・・9
係止部材・・・91
雄ねじ・・・911
雌ねじ・・・912
サンプル供給口・・・931A
サンプル導入口・・・931B
内部液供給口・・・932A
内部液導入口・・・932B
サンプル排出口・・・933B
サンプル受入口・・・933A
出力端子・・・T1
入力端子・・・T2
Claims (7)
- サンプルの特性値を測定電極により電気化学的に測定する測定装置であって、
前記サンプルを供給するサンプル供給口を具備したサンプル供給ユニットと、
前記サンプル供給ユニットから供給されたサンプルを導入するサンプル導入口と前記測定電極とを具備する電極ユニットと、
前記サンプル供給ユニットに対して前記電極ユニットを取り外し可能に所定位置に付ける取り付け構造とを具備し、
前記取り付け構造が、前記所定位置において、前記サンプル供給口とサンプル導入口とを接続するものであり、
前記電極ユニットが前記測定電極を収容するケーシングを具備し、
前記取り付け構造が、前記所定位置において前記サンプル供給ユニットのボディと前記ケーシングとを電気的に接続するものであることを特徴とする測定装置。 - 前記電極ユニットが前記測定電極を収容するケーシングを具備したものであり、
前記取り付け構造が、前記ケーシングの一面に形成された所定の取り付け面を、前記サンプル供給ユニットのボディに形成された所定の取り付け面に取り付けるものであることを特徴とする請求項1記載の測定装置。 - 前記取り付け構造が、前記サンプル供給ユニットに対して前記電極ユニットを取り付ける係止部材を具備し、
前記係止部材が前記サンプル供給口とサンプル導入口の近傍に配置されたものであることを特徴とする請求項1又は2記載の測定装置。 - 前記電極ユニットが比較電極と、前記比較電極内に内部液を導入する内部液導入口をさらに具備したものであり、
前記サンプル供給ユニットが、前記内部液を補充する内部液補充機構と、前記内部液を供給する内部液供給口とをさらに具備したものであり、
前記取り付け構造が、前記所定位置において、前記内部液供給口と内部液導入口とを接続するものであることを特徴とする請求項1、2又は3記載の測定装置。 - 前記電極ユニットがサンプルを排出するサンプル排出口をさらに具備したものであり、
前記サンプル供給ユニットが、前記電極ユニットから排出されたサンプルを受け入れるサンプル受入口をさらに具備したものであり、
前記取り付け構造が、前記所定位置において前記排出口と受入口とを接続するものであることを特徴とする請求項1、2、3又は4記載の測定装置。 - 前記係止部材が、前記ボディから突出して、ケーシングに形成された貫通孔を貫通する貫通部材と、前記貫通部材と対になって前記ケーシングを固定する固定部材とを具備したものであることを特徴とする請求項3記載の測定装置。
- 前記測定電極からの測定信号を出力する出力端子を具備し、該測定信号の値に基づいて前記測定値を算出する情報処理機構をさらに具備し、
前記取り付け構造が、前記所定位置において、前記出力端子と前記情報処理機構に設けられた入力端子とを接続するものであることを特徴とする請求項1、2、3、4、5又は6記載の測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015243581A JP6629063B2 (ja) | 2015-12-14 | 2015-12-14 | 測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015243581A JP6629063B2 (ja) | 2015-12-14 | 2015-12-14 | 測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017110947A JP2017110947A (ja) | 2017-06-22 |
JP6629063B2 true JP6629063B2 (ja) | 2020-01-15 |
Family
ID=59080179
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015243581A Active JP6629063B2 (ja) | 2015-12-14 | 2015-12-14 | 測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6629063B2 (ja) |
-
2015
- 2015-12-14 JP JP2015243581A patent/JP6629063B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017110947A (ja) | 2017-06-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20190277792A1 (en) | Electrochemical sensor and method of using same | |
CN106908494B (zh) | 测定装置、校准液或内部液体的补充方法 | |
JP6629063B2 (ja) | 測定装置 | |
US10352889B2 (en) | Measuring electrode and measuring system for chemical liquid | |
US10503182B2 (en) | Apparatus and method for metals free reduction and control of resistivity of deionized water | |
US10914707B2 (en) | Reference electrode | |
US20200183433A1 (en) | Additive delivery system with sensors | |
JP6216689B2 (ja) | 比較電極 | |
JP6279389B2 (ja) | 測定システム | |
JP2008175729A (ja) | 試料計測システム | |
JP4203432B2 (ja) | 薬液濃度測定装置 | |
TW201142276A (en) | Measurement device with resonator | |
CN107024519B (zh) | 参比电极 | |
JP6219223B2 (ja) | 比較電極 | |
JP6210927B2 (ja) | 電極装置 | |
US20160137534A1 (en) | Apparatus and method to reduce and control resistivity of deionized water | |
JP2015206633A (ja) | 半導体プロセス用薬液測定電極及び測定システム | |
JP2017044655A (ja) | 低濃度bhf溶液の濃度測定装置及び測定方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20181116 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190808 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190917 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20191113 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20191128 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20191204 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6629063 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |