JP6620442B2 - ピンホール検査装置 - Google Patents

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Description

本発明は、容器に外面側から光を照射して容器の内部に漏れ出た光を検査することで、容器のピンホールの有無を検査するピンホール検査装置に関し、特に、缶体のピンホールの有無を検査するピンホール検査装置に関する。
従来、容器に外面側から光を照射して容器の内部に漏れ出た光を検査することで、容器のピンホールの有無を検査するピンホール検査装置として、容器を保持して回転するターレットと、ターレットに対向して固定状態で配置された光検出器と、容器に外面側から光を照射する光源とを備えるピンホール検査装置が知られている(例えば特許文献1を参照)。
この特許文献1に記載のピンホール検査装置では、光検出器側に対向するターレットの対向面に摺動リング板を設けるとともに、ターレット側に対向する光検出器の対向面に封緘リング板を設けることにより、前記対向面間から光検出器側に外光が漏れ入ることを阻止している。
特開2003−75360号公報
特許文献1に記載のピンホール検査装置では、ピンホール検査中は、高速回転する摺動リング板に封緘リング板を押圧状態とするため、通常は封緘リング板と摺動リング板の摺動面から外乱光が光検出器に到達することはない。しかしながら、ピンホール検査中は封緘リング板と摺動リング板とが高速で摺動接触するため、種々の要素、例えば何らかの外力が加わる、または封緘リング板および摺動リング板の表面状態等に起因して、両部材の間に瞬間的に間隙を生じて、前記間隙からの外乱光が光検出器に到達し、良品を不良品として誤検出してしまう恐れがあった。
また、このようなピンホール検査装置では、ピンホール検査時における遮光性を確保するために、パッド等によって容器を光検出器側に向けて押すことで、容器を摺動リング板に密着させることが一般に行われる。しかしながら、パッド等によって容器を摺動リング板側に良好に押すためには、パッドの押し込み量をシムによって調整する作業が必要となり、この調整作業に多大な作業負担を要するという問題があった。
また、近年、検査速度を向上するために、ターレットの回転速度が高速化しており、ターレットの回転速度の高速化に伴い、振動や熱が増大するという問題が発生しており、また、当該振動および熱が光検出器に対して悪い影響を与えることが知られている。
また、円滑な容器搬送のために設けられる複数のターレット、高速回転に対応するため駆動手段、カム、シャフトなど多数の大型部材が必要となって装置が大型化する傾向にあり、容器製造ラインにおける、検査装置の配置自由度を制限するという問題がある。
さらに、従来の容器ピンホール検査方法として、複数の製罐装置(ボディメーカ)から搬送される大量の容器を一カ所に集約して検査する集約検査方法が一般的に採用されているところ、前記検査方法では、前記装置の手前位置での容器搬送トラブルが発生しやすいという問題がある。
そこで、本発明は、これらの問題点を解決するものであり、作業負担を低減しつつ、検査精度を向上するピンホール検査装置を提供することを目的とするものである。
本発明の一態様は、容器に外面側から光を照射する光源と、前記容器の内部に漏れ出た光を検出する光検出器とを備える容器のピンホール検査装置であって、前記容器をX方向に沿って搬送する搬送手段と、前記搬送手段からZ方向に離間して配置され、前記光検出器を支持する支持フレームと、前記支持フレームに対して前記X方向および前記Z方向に往復移動可能に設けられ、透孔が形成されたXZテーブルと、前記XZテーブルおよび前記光検出器の間に暗視野を形成する周壁部材と、前記XZテーブルをX方向に往復移動させるX方向駆動手段と、前記XZテーブルをZ方向に往復移動させるZ方向駆動手段と、を備えることにより、前記課題を解決するものである。
本発明の他の態様は、容器に外面側から光を照射する光源と、前記容器の内部に漏れ出た光を検出する光検出器とを備える容器のピンホール検査装置であって、前記容器をX方向に沿って搬送する搬送手段と、前記搬送手段からZ方向に離間して配置され、前記光検出器を支持する支持フレームと、前記支持フレームに対して前記X方向および前記Z方向に往復移動可能に設けられ、透孔が形成されたXZテーブルと、前記XZテーブルおよび前記光検出器の間に暗視野を形成する周壁部材と、前記X方向および前記Z方向に往復移動可能に前記XZテーブルを支持する支持機構と、を備え、前記支持機構は、中継部材と、前記XZテーブルおよび前記中継部材をX方向またはZ方向の一方に沿って相対的に移動可能に連結する第1連結部と、前記中継部材および前記支持フレームをX方向またはZ方向の他方に沿って相対的に移動可能に連結する第2連結部とを備えることにより、前記課題を解決するものである。
本発明の他の態様は、容器に外面側から光を照射する光源と、前記容器の内部に漏れ出た光を検出する光検出器とを備える容器のピンホール検査装置であって、前記容器をX方向に沿って搬送する搬送手段と、前記搬送手段からZ方向に離間して配置され、前記光検出器を支持する支持フレームと、前記支持フレームに対して前記X方向および前記Z方向に往復移動可能に設けられ、透孔が形成されたXZテーブルと、前記XZテーブルおよび前記光検出器の間に暗視野を形成する周壁部材と、を備え、前記搬送手段は、前記容器を真空吸着によって保持するバキュームコンベアとして構成されていることにより、前記課題を解決するものである。
本発明の他の態様は、容器に外面側から光を照射する光源と、前記容器の内部に漏れ出た光を検出する光検出器とを備える容器のピンホール検査装置であって、前記容器をX方向に沿って搬送する搬送手段と、前記搬送手段からZ方向に離間して配置され、前記光検出器を支持する支持フレームと、前記支持フレームに対して前記X方向および前記Z方向に往復移動可能に設けられ、透孔が形成されたXZテーブルと、前記XZテーブルおよび前記光検出器の間に暗視野を形成する周壁部材と、を備え、前記周壁部材は、伸縮自在に形成されていることにより、前記課題を解決するものである。
本請求項1、9〜11に係る発明によれば、容器に外面側から光を照射する光源と、容器の内部に漏れ出た光を検出する光検出器とを備える容器のピンホール検査装置であって、容器をX方向に沿って搬送する搬送手段と、搬送手段からZ方向に離間して配置され、光検出器を支持する支持フレームと、支持フレームに対してX方向およびZ方向に往復移動可能に設けられ、透孔が形成されたXZテーブルと、XZテーブルおよび光検出器の間に暗視野を形成する周壁部材とを備えている。これにより、X方向およびZ方向へのXZテーブルの移動を調整し、XZテーブルによる容器の押し込み量を調整することで、容器の遮光性を良好に確保することが可能であるため、ピンホール検査の検査精度を容易に向上することができる。また、搬送手段によってX方向に搬送される容器に対してXZテーブルを接触させる際に、搬送手段による容器の搬送速度と同じ速度でXテーブルをX方向に移動させることで、XZテーブルと容器とを摺動接触させることなく、所定区間(所定時間)に亘ってXZテーブルが容器に接触した状態を維持することが可能であるため、ピンホール検査を安定して行うことができる。
また、従来装置では、摺動リング板及び封緘リング板によって行っていた外乱光の遮蔽機能を、XZテーブルを容器開口部に接触させることで行うことにより、検査時に起因した振動および熱の発生、当該振動および熱に起因した光検出器への悪影響を回避することが可能であり、検査精度を向上させることができる。
本請求項2に係る発明によれば、搬送手段が、直線方向としてのX方向に沿って容器を搬送するように構成されていることにより、容器形状の成形を行う製罐装置毎に配置され、容器を直線方向に沿って搬送する個々の搬送ラインに、ピンホール検査装置を容易に組み込むことが可能であるため、複数の製罐装置から搬送される大量の容器を一カ所に集約して検査する集約検査方法を採用した場合とは異なり、ピンホール検査装置の手前位置で容器搬送トラブルが生じることを回避でき、また、一部のピンホール検査装置に不具合が発生した場合においても、他の製罐装置を停止させる必要がなく、生産性を向上することができる。
また、搬送手段としてターレットを採用した場合に生じる、高速回転に対応するための装置構造の大型化等の諸問題を回避することが可能であるため、検査精度を向上できるとともに、ピンホール検査装置の小型化および配置自由度の向上を実現することができる。
本請求項に係る発明によれば、XZテーブルをX、Z方向に移動させる構造として、XZテーブルをX方向に往復移動させるX方向駆動手段と、XZテーブルをZ方向に往復移動させるZ方向駆動手段とを個別に設けることにより、各駆動手段としてサーボモータ等の周知の機構を利用することが可能であるため、装置コストを低減することができる。
本請求項3、9に係る発明によれば、X方向およびZ方向に往復移動可能にXZテーブルを支持する支持機構が、中継部材と、XZテーブルおよび中継部材をX方向またはZ方向の一方に沿って相対的に移動可能に連結する第1連結部と、中継部材および支持フレームをX方向またはZ方向の他方に沿って相対的に移動可能に連結する第2連結部とを備えていることにより、XZテーブルをX方向およびZ方向に正確かつ安定して移動させることが可能であるため、検査精度を向上することができる。
本請求項に係る発明によれば、XZテーブルの接触面が、搬送手段の搬送面に対して平行に配置されることにより、搬送手段によって搬送される容器の姿勢に変化を生じさせることなく、搬送途中の容器に対してXZテーブルの接触面を接触させることが可能であるため、容器の搬送速度を落とすことなく、ピンホール検査を行うことができる。
本請求項に係る発明によれば、搬送手段が、容器の開口部を鉛直下方に向けた状態で、容器を保持するように構成されていることにより、搬送手段によって容器の底部側を保持し、搬送手段による安定した容器の保持を実現することができる。
本請求項6、10に係る発明によれば、搬送手段が、容器を真空吸着によって保持するバキュームコンベアとして構成されていることにより、ピンホール検査装置の上流側に設置される上流側コンベアから搬送手段への容器受け渡しを円滑に行うことが可能であるため、容器の搬送速度を落とすことなく、ピンホール検査を行うことができる。
本請求項7、11に係る発明によれば、周壁部材が伸縮自在に形成されていることにより、XZテーブルをX方向およびZ方向に大きく移動させた場合であっても、XZテーブルおよび光検出器の間の遮光性を良好に維持することができる。
本請求項に係る発明によれば、X方向が水平方向であり、Z方向が鉛直方向であることにより、水平方向に容器を搬送する既存の搬送ラインに、容器の搬送方向を変化させることなく、ピンホール検査装置を組み込むことができる。
本発明の一実施形態に係るピンホール検査装置を示す全体図。 図1のA部分を拡大して示す平面図。 図1のA部分を側面側から見て示す断面図。 ピンホール検査装置の動作例を模式的に示す説明図。
以下に、本発明の一実施形態に係るピンホール検査装置10について、図面に基づいて
説明する。
なお、以下では、検査対象である容器Cが、筒状の胴部C1および底部C2を有した缶体であるものとして説明する。また、以下では、X、Y、Z方向が、互いに直交する直線方向であり、X、Y方向が水平方向、Z方向が鉛直方向であるものとして説明する。
まず、ピンホール検査装置10は、容器Cに外面側から光を照射し、容器Cの内部に漏れ出た光を検査することで、孔や亀裂等の容器Cのピンホールの有無を検査するものである。ピンホール検査装置10は、容器形状の成形を行う製罐装置(ボディメーカ、図示しない)毎に設置された各搬送ライン上に配置され、具体的には、図1に示すように、X方向に沿って容器Cを搬送する上流側コンベアL1および下流側コンベアL2の間に配置される。
ピンホール検査装置10は、図1に示すように、容器Cの外面に光を照射する光源20と、容器Cの内部に漏れ出た光を検出する光検出器30と、X方向に沿って容器Cを搬送する搬送手段40と、Z方向において搬送手段40から離間して配置され、光検出器30を支持する支持フレーム50と、X方向およびZ方向に往復移動可能に設けられたXZテーブル60と、XZテーブル60を移動可能に支持する支持機構70と、XZテーブル60をX方向に往復移動させるX方向駆動手段74と、XZテーブル60をZ方向に往復移動させるZ方向駆動手段75と、XZテーブル60および光検出器30の間に暗視野を形成する伸縮自在な周壁部材80と、上記各部を支持する装置フレーム90とを備えている。
以下に、ピンホール検査装置10の各構成要素について、図1〜図3に基づいて説明する。
光源20は、図1に示すように、搬送手段40によって搬送される容器Cが通過する領域のY方向両側に対向配置され、容器Cの外面に光を照射するものである。
なお、光源20の具体的態様については、容器Cの外面に対して光を照射可能なものであれば、LEDを用いたもの等、如何なるものでもよい。
光検出器30は、支持フレーム50に固定状態で支持され、容器Cの内部に漏れ出た光を高感度に検出する光電子増倍管(フォトマル)として構成されている。
搬送手段40は、光検出器30の上方において、真空吸着によって容器Cを保持してX方向に沿って搬送するバキュームコンベアとして構成されている。搬送手段40は、図4に示すように、一対のプーリ41と、一対のプーリ41に掛け回された吸着搬送ベルト42とを有しており、吸着搬送ベルト42の下面は、容器Cの底部C2を吸着保持して、容器Cの開口部C3を下方に向けた状態で、容器CをX方向に沿って搬送する搬送面43として機能する。また、プーリ41は、インダクションモータ(図示しない)によって駆動され、エンコーダ(図示)によってその回転量・回転角度・回転位置を計測されている。また、吸着搬送ベルト42は、光を透過させる透明または半透明に形成され、これにより、光源20からの光を容器Cの底部にも照射することができる。なお、具体的には、容器Cの底部C2を吸着保持する吸着搬送ベルト42の下面側に透明または半透明な層を形成してもよく、また、吸着搬送ベルト42の全体を透明または半透明に形成してもよい。
また、搬送手段40の具体的態様については、上述したバキュームコンベアに限定されず、容器Cを保持しX方向に沿って搬送可能なものであれば如何なるものでもよく、例えば、容器Cを磁力によって吸着し保持するものであってもよい。
XZテーブル60は、図4に示すように、光検出器30の上方に配置され、搬送手段40による容器Cの搬送途中に、容器Cの開口部C3側の縁部に下方から接触し、容器Cの開口部C3を塞ぐことで、容器Cの遮光性を確保するものである。XZテーブル60は、図3に示すように、容器Cに接触する接触面64を有した第1部分61と、第1部分61の下方に配置された第2部分62と、第1部分61および第2部分62を連結する筒状部63とから構成されている。XZテーブル60には、Z方向に貫通し、容器Cの内部に漏れ出た光を光検出器30のレンズに導くための透孔65が形成されている。XZテーブル60の接触面64は、搬送手段40の搬送面43に対して平行となるように設置されており、また、接触面64を含むXZテーブル60の一部分は、柔らかく弾性のある材料からから形成されている。
支持機構70は、XZテーブル60をX方向およびZ方向に移動可能に支持するものであり、図3に示すように、中継部材71と、XZテーブル60および中継部材71をX方向に沿って相対的に移動可能に連結する第1連結部72と、中継部材71および支持フレーム50をZ方向に沿って相対的に移動可能に連結する第2連結部73とを有している。
第1連結部72は、中継部材71に固定されX方向に沿って延びるX方向レール72aと、XZテーブル60に固定されX方向レール72aに対して摺動可能なX方向スライダ72bとから構成されている。また、第2連結部73は、支持フレーム50に固定されZ方向に沿って延びるZ方向レール73aと、中継部材71に固定されZ方向レール73aに対して摺動可能なZ方向スライダ73bとから構成されている。
なお、本実施形態では、XZテーブル60および中継部材71をX方向に沿って相対的に移動可能に連結し、中継部材71および支持フレーム50をZ方向に沿って相対的に移動可能に連結したが、反対に、XZテーブル60および中継部材71をZ方向に沿って相対的に移動可能に連結し、中継部材71および支持フレーム50をX方向に沿って相対的に移動可能に連結してもよい。
X方向駆動手段74およびZ方向駆動手段75は、サーボモータから構成され、X方向駆動手段74は、XZテーブル60に連結されてXZテーブル60をX方向に移動させ、また、Z方向駆動手段75は、中継部材71に連結されて中継部材71をZ方向に移動させることで、XZテーブル60をZ方向に移動させる。このように、X方向駆動手段74およびZ方向駆動手段75を、X、Z方向における移動量を数値入力によって制御可能なサーボモータ等から構成することにより、X、Z方向における移動量を容易に微調整することができる。
なお、X方向駆動手段74およびZ方向駆動手段75の具体的態様は、XZテーブル60をX方向およびZ方向に駆動可能なものであれば、リニアアクチュエータ等、如何なるものでもよい。
周壁部材80は、合成ゴム等の伸縮性および遮光性を備えた材料から筒状に形成され、その一端がXZテーブル60の第2部分62に固定されるとともに、その他端が光検出器30に固定されている。
また、ピンホール検査装置10には、上記の構成要素以外にも、各部を制御するコンピュータ等から成る制御部(図示しない)や、上流側コンベアL1上における容器Cの有無を検知する容器有無センサ91や、容器Cのピンホールを検出した場合に容器Cをリジェクトするためのリジェクト機構92や、リジェクトミスを検知するリジェクトミスセンサ93や、搬送手段40のZ方向における位置(高さ)を調節するエアシリンダー等からなる位置調節手段94等が設けられている。位置調節手段94を設けることにより、搬送手段40の高さ位置を調節し、様々な高さの容器Cに対応することができる。
なお、本実施形態では、ピンホール検査装置10のサイズ(すなわち、搬送手段40のサイズ)は、X方向:約1000mm、Y方向:約1000mmである。しかしながら、サイズ設計については、実施態様に応じて任意に設定すればよい。
次に、本実施形態のピンホール検査装置10によるピンホール検査方法について、以下に説明する。
まず、図1に示すように、上流側コンベアL1によってX方向に沿って搬送されてきた容器Cを搬送手段40によって真空吸着することで、吸着搬送ベルト42の搬送面43に容器Cの底部C2を貼り付け、上流側コンベアL1から搬送手段40への容器Cの受け渡しを行う。
次に、吸着搬送ベルト42によって容器CをX方向に搬送し、容器Cが光源20間の検査領域に移動した際に、XZテーブル60をX方向の前方およびZ方向の上方に移動させることで、XZテーブル60の接触面64を容器Cの開口部C3側の縁部に接触させる。ここで、X方向の前後方向とは、搬送方向の上流側を後方、下流側を前方として説明する。
次に、XZテーブル60の接触面64を容器Cの開口部C3側の縁部に接触させた状態で、吸着搬送ベルト42による容器Cの搬送速度と同じ速度でXZテーブル60をX方向の前方に移動させつつ、光検出器30のシャッターを開くことで、光検出器30によって容器Cのピンホールの有無を検査する。
このように、吸着搬送ベルト42による容器Cの搬送速度と同じ速度でXZテーブル60をX方向に移動させることで、所定区間(所定時間)に亘ってXZテーブル60の接触面64が容器Cの開口部C3側の縁部に接触した状態を維持でき、光検出器30によるピンホール検査を安定して行うことができる。また、光検出器30に電気制御可能なシャッターを設け、ピンホール検査を行う時のみにシャッターを開くように構成することにより、光検出器30の光検出感度が低下することを防止している。
なお、応答速度および耐久性の観点から、前記シャッターとしては液晶シャッターが好ましく、さらに遮光性が必要な場合は、入射光の入射角度を制限する光入射角制限フィルタ等の遮光フィルタをシャッターの上方側(容器C側)に配置することが好ましい。
次に、XZテーブル60をZ方向の下方およびX方向の前方に移動させ、その後、X方向の後方に移動させる。そして、上記と同様に、XZテーブル60をZ方向の上方およびX方向の前方に移動させることで、後続する容器CにXZテーブル60を接触させ、後続する容器Cのピンホール検査を行う。
なお、本実施形態では、上流側コンベアL1、下流側コンベアL2、搬送手段40による容器Cの搬送速度は、全て等速の30m/分で設定し、また、X方向における容器Cの寸法は52mmであり、また、X方向における容器C間の間隔は平均48mmで設定したが、各部の具体的な速度や間隔等は、容器Cのサイズ等の実施態様に応じて任意に決定すればよい。
以上、本発明の実施形態を詳述したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明を逸脱することなく種々の設計変更を行なうことが可能である。
例えば、上述した実施形態では、容器が筒状の胴部および底部を有するものとして説明したが、検査対象である容器の具体的形状はこれに限定されず、例えば、底部を有さず筒状の胴部のみから成るものであってもよく、この場合、搬送手段側で容器の開口部の一方を塞ぐ部材を設ければよい。
また、上述した実施形態では、容器が缶体であるものとして説明したが、容器の具体的態様については、遮光性を有するものであれば如何なるものでもよく、例えば、紙コップ、アルミ箔容器、ボトル等であってもよい。
また、上述した実施形態では、X、Y方向が水平方向であり、Z方向が鉛直方向であるものとして説明した。しかしながら、各方向の具体的態様はこれに限定されず、X方向やY方向が鉛直方向であり、Z方向が水平方向であってもよく、また、X、Y、Z方向が、水平方向や鉛直方向に対して斜めに延びる方向であってもよい。
また、上述した実施形態では、容器搬送方向であるX方向が直線方向であるものとして説明したが、X方向が周方向であってもよく、この場合、容器を搬送する搬送手段を、周方向に沿って容器を搬送するタレットから構成することが考えられる。
また、上述した実施形態では、光検出器が搬送手段の下方に配置されているものとして説明したが、反対に、光検出器を搬送手段の上方に配置してもよい。
10 ・・・ ピンホール検査装置
20 ・・・ 光源
30 ・・・ 光検出器
40 ・・・ 搬送手段
41 ・・・ プーリ
42 ・・・ 吸着搬送ベルト
43 ・・・ 搬送面
50 ・・・ 支持フレーム
60 ・・・ XZテーブル
61 ・・・ 第1部分
62 ・・・ 第2部分
63 ・・・ 筒状部
64 ・・・ 接触面
65 ・・・ 透孔
70 ・・・ 支持機構
71 ・・・ 中継部材
72 ・・・ 第1連結部
72a ・・・ X方向レール
72b ・・・ X方向スライダ
73 ・・・ 第2連結部
73a ・・・ Z方向レール
73b ・・・ Z方向スライダ
74 ・・・ X方向駆動手段
75 ・・・ Z方向駆動手段
80 ・・・ 周壁部材
90 ・・・ 装置フレーム
91 ・・・ 容器有無センサ
92 ・・・ リジェクト機構
93 ・・・ リジェクトミスセンサ
94 ・・・ 位置調節手段
C ・・・ 容器
C1 ・・・ 胴部
C2 ・・・ 底部
C3 ・・・ 開口部
L1 ・・・ 上流側コンベア
L2 ・・・ 下流側コンベア

Claims (11)

  1. 容器に外面側から光を照射する光源と、前記容器の内部に漏れ出た光を検出する光検出器とを備える容器のピンホール検査装置であって、
    前記容器をX方向に沿って搬送する搬送手段と、
    前記搬送手段からZ方向に離間して配置され、前記光検出器を支持する支持フレームと、
    前記支持フレームに対して前記X方向および前記Z方向に往復移動可能に設けられ、透孔が形成されたXZテーブルと、
    前記XZテーブルおよび前記光検出器の間に暗視野を形成する周壁部材と、
    前記XZテーブルをX方向に往復移動させるX方向駆動手段と、
    前記XZテーブルをZ方向に往復移動させるZ方向駆動手段と、
    を備えることを特徴とするピンホール検査装置。
  2. 前記X方向は、直線方向であることを特徴とする請求項1に記載のピンホール検査装置。
  3. 前記X方向および前記Z方向に往復移動可能に前記XZテーブルを支持する支持機構を備え、
    前記支持機構は、中継部材と、前記XZテーブルおよび前記中継部材をX方向またはZ方向の一方に沿って相対的に移動可能に連結する第1連結部と、前記中継部材および前記支持フレームをX方向またはZ方向の他方に沿って相対的に移動可能に連結する第2連結部とを備えることを特徴とする請求項1または2に記載のピンホール検査装置。
  4. 前記搬送手段は、前記容器を保持してX方向に搬送する搬送面を有し、
    前記XZテーブルは、前記容器に接触する接触面を有し、
    前記XZテーブルの前記接触面は、前記搬送手段の前記搬送面に対して平行に配置されることを特徴とする請求項1乃至のいずれか1項に記載のピンホール検査装置。
  5. 前記搬送手段は、前記容器の開口部を鉛直下方に向けた状態で、前記容器を保持するように構成されていることを特徴とする請求項1乃至のいずれか1項に記載のピンホール検査装置。
  6. 前記搬送手段は、前記容器を真空吸着によって保持するバキュームコンベアとして構成されていることを特徴とする請求項1乃至のいずれか1項に記載のピンホール検査装置。
  7. 前記周壁部材は、伸縮自在に形成されていることを特徴とする請求項1乃至のいずれか1項に記載のピンホール検査装置。
  8. 前記X方向は、水平方向であり、
    前記Z方向は、鉛直方向であることを特徴とする請求項1乃至のいずれか1項に記載のピンホール検査装置。
  9. 容器に外面側から光を照射する光源と、前記容器の内部に漏れ出た光を検出する光検出器とを備える容器のピンホール検査装置であって、
    前記容器をX方向に沿って搬送する搬送手段と、
    前記搬送手段からZ方向に離間して配置され、前記光検出器を支持する支持フレームと、
    前記支持フレームに対して前記X方向および前記Z方向に往復移動可能に設けられ、透孔が形成されたXZテーブルと、
    前記XZテーブルおよび前記光検出器の間に暗視野を形成する周壁部材と、
    前記X方向および前記Z方向に往復移動可能に前記XZテーブルを支持する支持機構と、
    を備え、
    前記支持機構は、中継部材と、前記XZテーブルおよび前記中継部材をX方向またはZ方向の一方に沿って相対的に移動可能に連結する第1連結部と、前記中継部材および前記支持フレームをX方向またはZ方向の他方に沿って相対的に移動可能に連結する第2連結部とを備えることを特徴とするピンホール検査装置。
  10. 容器に外面側から光を照射する光源と、前記容器の内部に漏れ出た光を検出する光検出器とを備える容器のピンホール検査装置であって、
    前記容器をX方向に沿って搬送する搬送手段と、
    前記搬送手段からZ方向に離間して配置され、前記光検出器を支持する支持フレームと、
    前記支持フレームに対して前記X方向および前記Z方向に往復移動可能に設けられ、透孔が形成されたXZテーブルと、
    前記XZテーブルおよび前記光検出器の間に暗視野を形成する周壁部材と、
    を備え、
    前記搬送手段は、前記容器を真空吸着によって保持するバキュームコンベアとして構成されていることを特徴とするピンホール検査装置。
  11. 容器に外面側から光を照射する光源と、前記容器の内部に漏れ出た光を検出する光検出器とを備える容器のピンホール検査装置であって、
    前記容器をX方向に沿って搬送する搬送手段と、
    前記搬送手段からZ方向に離間して配置され、前記光検出器を支持する支持フレームと、
    前記支持フレームに対して前記X方向および前記Z方向に往復移動可能に設けられ、透孔が形成されたXZテーブルと、
    前記XZテーブルおよび前記光検出器の間に暗視野を形成する周壁部材と、
    を備え、
    前記周壁部材は、伸縮自在に形成されていることを特徴とするピンホール検査装置。
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