JP6616607B2 - 静電アクチュエータおよび静電アクチュエータの製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、静電アクチュエータおよび静電アクチュエータの製造方法に関する。

静電アクチュエータは、軽量でありながら大きな駆動力を得ることができるため、磁力を利用したモータ等に代わる動力源として期待されている。例えば、静電アクチュエータには、多数の電極が積層され、積層された電極間に印加される電圧に応じて、静電アクチュエータが伸縮する。

また、複数の電極テープを互いに交差させて平織りして生成した電極板を積層することで、大きな極板面積を有し、従来と比べて容易に製造できる静電アクチュエータの技術が提案されている（例えば、特許文献１参照）。

特開２０１３−２４３８０５号公報

従来の静電アクチュエータでは、平織りする電極テープの数を増やすことで極板面積を大きくすることができる。しかしながら、電極テープの数の増加に従い、平織りして電極板を生成するのに時間がかかるという問題がある。また、電極テープを平織りするにあたり、電極テープを折り曲げる等するため、静電アクチュエータの小型化が困難となる虞がある。

本発明は、大きな極板面積を有する場合でも、従来と比べて容易に生成できる静電アクチュエータおよび静電アクチュエータの製造方法を提供することを目的とする。

本発明を例示する静電アクチュエータの一態様は、第１のパターンで接着剤が一方の面に塗布された複数の第１の電極板と、第１のパターンと異なる第２のパターンで接着剤が一方の面に塗布された複数の第２の電極板とを備え、第１の電極板と第２の電極板とは、接着剤が塗布された面を対向させずに交互に積層されており、第１のパターンは、互いに等間隔に配置される所定の形状の第１の領域を複数有し、複数の第１の領域に接着剤が塗布され、第２のパターンは、複数の第１の領域の各々に対応する位置に配置され第１の領域と異なる大きさの所定の形状の第２の領域を複数有し、複数の第２の領域を除いた領域に接着剤が塗布され、第１の電極板と第２の電極板とは、各第１の領域の中心と各第２の領域の中心とが積層方向で互いに重なるように積層されており、第１の領域と第２の領域との間には、第１の電極板と第２の電極板とが有する弾性により静電アクチュエータが伸縮する場合にヒンジ部として動作する、所定の幅を有する隙間がある。

本発明を例示する静電アクチュエータの製造方法の一態様は、所定の厚みを有する誘電体に挟まれた複数の電極板を生成し、複数の電極板のうち一部を第１の電極板として、一方の面に第１のパターンで接着剤を塗布し、複数の電極板のうちの残りを第２の電極板として、一方の面に第１のパターンと異なる第２のパターンで接着剤を塗布し、第１の電極板と第２の電極板とを接着剤が塗布された面を対向させずに交互に積層し、第１のパターンは、互いに等間隔に配置される所定の形状の第１の領域を複数有し、複数の第１の領域に接着剤が塗布され、第２のパターンは、複数の第１の領域の各々に対応する位置に配置され第１の領域と異なる大きさの所定の形状の第２の領域を複数有し、複数の第２の領域を除いた領域に接着剤が塗布され、第１の電極板と第２の電極板とを各第１の領域の中心と各第２の領域の中心とが積層方向で互いに重なるように積層し、第１の領域と第２の領域との間には、第１の電極板と第２の電極板とが有する弾性により静電アクチュエータが伸縮する場合にヒンジ部として動作する、所定の幅を有する隙間がある。

本発明は、大きな極板面積を有する場合でも、従来と比べて容易に生成できる。

静電アクチュエータの一実施形態を示す図である。 図１に示した電極フィルムに接着剤が塗布されるパターンの一例を示す図である。 図１に示した線分におけるＸＺ平面の静電アクチュエータの断面の一例を示す図である。 電極フィルムが三角形および円形の場合に接着剤が塗布される領域の一例を示す図である。 図１に示した静電アクチュエータの製造方法の一例を示す図である。 静電アクチュエータの別の実施形態を示す図である。 図６に示した線分におけるＸＺ平面の静電アクチュエータの断面の一例を示す図である。 図６に示した静電アクチュエータの製造方法の一例を示す図である。 図８に示した製造方法の続きを示す図である。

以下、図面を用いて実施形態について説明する。

図１は、静電アクチュエータの一実施形態を示す。

図１に示した静電アクチュエータ１００は、網掛けで示した接着剤がそれぞれ塗布された電極フィルム１０と電極フィルム２０とが、図１に示したＺ軸方向に交互に積層され、アクリル板等の２つの端部材３０で挟まれた積層型静電アクチュエータである。

電極フィルム１０、２０は、例えば、銅等の金属膜をＰＥＴ（Polyethylene Terephthalate）フィルム等の誘電体膜で挟んだ電極板である。電極フィルム１０、２０の厚さは、例えば、８マイクロメートル等である。そして、電極フィルム１０、２０のＺ軸上方の面の各々には、例えば、互いに異なるパターンでシリル化ウレタン等の接着剤が塗布される。

図２は、図１に示した電極フィルム１０、２０に接着剤が塗布されるパターンの一例を示す。図２（ａ）は、電極フィルム１０に接着剤が塗布される領域を示し、図２（ｂ）は、電極フィルム２０に接着剤が塗布される領域を示す。

図２（ａ）に示すように、電極フィルム１０には、例えば、中心間の距離が距離ｄの等間隔で配置され互いに同形状を有する４つの円形の領域４０の各々に、接着剤が塗布される。一方、電極フィルム２０には、図２（ｂ）に示すように、例えば、各領域４０に対応するように、中心間の距離が距離ｄの等間隔で配置され互いに同形状を有する４つの円形の領域５０を除いた領域５５に、接着剤が塗布される。電極フィルム１０における円形の領域４０と、電極フィルム２０における円形の領域５０は、電極フィルム１０と電極フィルム２０とを重ねたときにＺ軸方向からみて同心状になるように配置される。

電極フィルム１０での円形の領域４０の直径はＤ１であり、電極フィルム２０での円形の領域５０の直径はＤ２である。なお、領域５０の直径Ｄ２は、図２に示すように領域４０の直径Ｄ１より２ΔＤ大きい。すなわち、電極フィルム１０および電極フィルム２０を重ねたときに、領域４０と領域５０との間には、幅ΔＤの隙間がある。例えば、領域４０の直径Ｄ１が１−２ミリメートルの場合、隙間の幅ΔＤは、１００マイクロメートルに設定される。幅ΔＤの隙間は、電極フィルム１０、２０が有する弾性により、静電アクチュエータ１００が伸縮する場合にヒンジ部として動作する。そして、領域４０の電極フィルム１０と領域５０の電極フィルム２０との間の距離は、２ΔＤ以内に制限でき、領域４０の電極フィルム１０と領域５０の電極フィルム２０との間で生じる静電力は、所定値より大きく維持できる。

なお、領域４０の直径Ｄ１、領域５０の直径Ｄ２および隙間の幅ΔＤの大きさは、静電アクチュエータ１００に要求される伸縮動作に応じて適宜決定されてもよい。例えば、接着剤が塗布される領域４０の全面積と、接着剤が塗布される領域５５の面積とが、互いに等しくなるように、領域４０の直径Ｄ１、領域５０の直径Ｄ２および隙間の幅ΔＤの大きさを決めてもよい。

また、領域４０、５０の形状は、楕円、あるいは角が丸められた三角形や四角形等でもよい。領域４０、５０が、円形、楕円あるいは角が丸められた形状を有することで、静電アクチュエータ１００が伸縮動作に伴う電極フィルム１０、２０に生じる歪みを抑制できる（すなわち、応力を分散させることができる）。これにより、応力を分散させるために、切れ込みや穴等を電極フィルム１０、２０に設ける手間を省くことができる。

図３は、図１に示した線分Ａ１−Ａ２におけるＸＺ平面の静電アクチュエータ１００の断面の一例を示す。静電アクチュエータ１００は、図２（ａ）に示したパターンで接着剤が塗布された電極フィルム１０と、図２（ｂ）に示したパターンで接着剤が塗布された電極フィルム２０とが、Ｚ軸方向に積層される。そして、幅ΔＤの隙間がヒンジ部として動作することで、静電アクチュエータ１００は、領域４０、５０および幅ΔＤの隙間により皿バネ構造の複数の空間Ｓａを有する。また、静電アクチュエータ１００は、幅ΔＤの隙間をヒンジ部とする複数の空間Ｓｂも有する。なお、空間Ｓａは、Ｚ軸方向からみて領域４０に対応する位置に形成され、空間Ｓｂは、Ｚ軸方向からみて領域５５に対応する位置に形成される。また、空間Ｓａおよび空間Ｓｂは、ＸＺ平面において千鳥状に配列される。

例えば、電極フィルム１０、２０に互いに異なる極性の電圧が印加された場合、空間Ｓａ、Ｓｂにおける電極フィルム１０、２０間の静電力は互いに引き合う（すなわち、空間Ｓａ、ＳｂがＺ軸方向に縮む）。一方、電極フィルム１０、２０に互いに同じ極性の電圧が印加された場合、空間Ｓａ、Ｓｂにおける電極フィルム１０、２０間の静電力は互いに反発する（すなわち、空間Ｓａ、ＳｂがＺ軸方向に伸びる）。これにより、静電アクチュエータ１００は伸縮する。

なお、電極フィルム１０、２０および端部材３０は、三角形あるいは円形等の形状を有してもよい。また、電極フィルム１０、２０および端部材３０に、４つ以外の複数の領域４０あるいは複数の領域５０を有する領域５５に、接着剤が塗布されてもよい。

図４は、電極フィルム１０、２０が三角形および円形の場合に接着剤が塗布される領域の一例を示す。図４（ａ）は、電極フィルム１０が三角形の場合に接着剤が塗布される領域４０が配置されるパターンを示す。例えば、直径Ｄ１の円形の領域４０は、互いに距離ｄの等間隔でピラミッド型に配置される。図４（ｂ）は、電極フィルム２０が三角形の場合に接着剤が塗布される領域５５のパターンを示す。例えば、電極フィルム２０において、図４（ａ）に示した各領域４０に対応する位置（すなわち、互いに距離ｄの等間隔で配置された位置）に接着剤が塗布されない直径Ｄ２の円形の領域５０が配置され、電極フィルム２０において円形の領域５０以外の領域が、接着剤の塗布される領域５５となる。

図４（ｃ）は、電極フィルム１０が円形の場合に接着剤が塗布される領域４０が配置されるパターンを示す。例えば、直径Ｄ１の円形の領域４０は、互いに距離ｄの等間隔で六角形の形状に配置される。図４（ｄ）は、電極フィルム２０が円形の場合に接着剤が塗布される領域５５のパターンを示す。例えば、電極フィルム２０において、図４（ｃ）に示した各領域４０に対応する位置（すなわち、互いに距離ｄの等間隔で配置された位置）に接着剤が塗布されない直径Ｄ２の円形の領域５０が配置され、電極フィルム２０において円形の領域５０以外の領域が、接着剤の塗布される領域５５となる。

なお、領域４０、５０は、距離ｄの等間隔に配置されなくてもよい。例えば、領域４０、５０が偏って配置されることで、偏りに応じた方向に伸縮する静電アクチュエータ１００を生成できる。

図５は、図１に示した静電アクチュエータ１００の製造方法の一例を示す。例えば、電極フィルム１０、２０を生成するために、銅薄膜をＰＥＴフィルムで挟んだ電極シートが生成される（図５（ａ））。図５（ａ）に示した電極シートは、例えば、図中の破線に沿って４つの板状に切断される（図５（ｂ））。そして、図５（ｂ）に示した板状に切断された各々の電極シート（すなわち電極フィルム１０、２０）には、エッチング処理が施され、切断面に露出している銅薄膜が除去される（図５（ｃ））。図５（ｃ）に示したエッチングされた電極シートは、切断面がＰＥＴフィルムで接合され、電極フィルム１０、２０として生成される（図５（ｄ））。

なお、図５では、電極フィルム１０、２０は、正方形に形成されたが、例えば、Ｙ軸方向よりＸ軸方向に長い長方形に形成されてもよい。この場合、積層した時に電極フィルム１０の一部がＸ軸の正の方向にはみ出るように、電極フィルム１０の一方の面に領域４０のパターンで接着剤を塗布する。一方、積層した時に電極フィルム２０の一部がＸ軸の負の方向にはみ出るように、電極フィルム２０の一方の面に領域５５のパターンで接着剤を塗布する。積層した後、例えば、Ｘ軸の正の方向にはみ出た電極フィルム１０の部分に穴を開けて導電性の塗料等を流し込み、各電極フィルム１０は、互いに同じ極性の電圧が印加されるように接続されてもよい。また、Ｘ軸の負の方向にはみ出た電極フィルム２０の部分に穴を開けて導電性の塗料等を流し込み、各電極フィルム２０は、互いに電極フィルム１０と異なる極性の電圧が印加されるように接続されてもよい。

そして、電極フィルム１０、２０の各々の一方の面に、例えば、図２に示したパターンで接着剤が塗布される。例えば、凸版印刷、オフセット印刷あるいは孔版印刷等の印刷処理を用いて、電極フィルム１０の領域４０および電極フィルム２０の領域５５の各々に、接着剤が塗布される。あるいは、インクジェットプリンタ等を用いて、電極フィルム１０の領域４０および電極フィルム２０の領域５５の各々に、接着剤が塗布されてもよい。これにより、電極フィルム１０、２０の面積が増えた場合でも、領域４０、５５等の所定のパターンの領域に、従来と比べて精度良く接着剤を塗布することが可能となる。そして、静電アクチュエータ１００ごとの伸縮動作の個体差を抑制することができる。

なお、電極フィルム１０、２０の各々の一方の面に、領域４０、５５のパターンで接着剤を予め塗布してから積層したが、これに限定されない。例えば、Ｚ軸方向に積層して固定した電極フィルム１０（または電極フィルム２０）のＺ軸の正側の面に、領域４０（または領域５５）のパターンで接着剤を塗布し、次の電極フィルム２０（または電極フィルム１０）を乗せて貼り合わせてもよい。すなわち、直前に積層した電極フィルム１０が動かないようにして領域４０に接着剤を塗布することで、電極フィルム１０、２０間の精度良い位置決めが不要となる。

そして、図２に示したパターンで接着剤が塗布された電極フィルム１０、２０を、交互に積層することで、図１に示した静電アクチュエータ１００が生成される。

以上、図１から図５に示した実施形態では、静電アクチュエータ１００は、所定のパターンで配置された領域４０あるいは領域５５に接着剤が塗布された電極フィルム１０、２０を、交互に積層して生成される。そして、印刷処理により、接着剤が電極フィルム１０、２０の各々に所定のパターンで塗布されるため、静電アクチュエータ１００は、電極フィルム１０、２０の面積が増えた場合でも、従来と比べて容易に生成できる。

また、電極フィルム１０の領域４０、電極フィルム２０の領域５０および幅ΔＤの隙間で皿バネ構造が形成される。これにより、静電アクチュエータ１００は、電極フィルム１０、２０間の距離を所定の範囲（すなわち、２ΔＤ）内に維持でき、空間Ｓａ、Ｓｂにおける電極フィルム１０、２０間の静電力を所定値以上に維持できる。

また、印刷処理を用いることで、電極フィルム１０、２０の各々に接着剤を、従来と比べて精度良く塗布することが可能となる。これにより、静電アクチュエータ１００は、各層における電極フィルム１０、２０間の伸縮動作を均一にでき、静電アクチュエータ１００ごとの個体差を抑制できる。

図６は、静電アクチュエータの別の実施形態を示す。図１で説明した要素と同一または同様の要素については、同一または同様の符号を付し、これ等については、詳細な説明を省略する。

図６に示した静電アクチュエータ１００Ａでは、網掛けで示した接着剤がそれぞれ塗布された電極フィルム１０ａ、２０ａが、互いに交差してつづら折りされることで、Ｚ軸方向に積層される。積層された電極フィルム１０ａ、２０ａは、アクリル板等の２つの端部材３０で挟まれる。

電極フィルム１０ａ、２０ａは、例えば、銅等の金属膜をＰＥＴフィルム等の誘電体膜で挟んだ帯状の電極である。電極フィルム１０ａ、２０ａの厚さは、例えば、８マイクロメートル等である。電極フィルム１０ａには、例えば、つづら折りされた場合にＺ軸上方となる面に、図２（ａ）に示したパターンでシリル化ウレタン等の接着剤が塗布される。電極フィルム２０ａには、つづら折りされた場合にＺ軸上方となる面に、図２（ｂ）に示したパターンで接着剤が塗布される。各電極フィルム１０ａ、２０ａにおける接着剤の塗布については、図９で説明する。

そして、電極フィルム１０ａと電極フィルム２０ａとが互いに交差してつづら折りされることで、静電アクチュエータ１００Ａにおける各層の電極がＺ軸方向に積層されるとともに、折返部６０が生成される。このため、静電アクチュエータ１００Ａにおいて、同じパターンで接着剤が塗布された各層の電極（すなわち、同じ極性の電圧が印加される各層の電極）は、折返部６０を介して互いに接続され、静電アクチュエータ１００Ａの配線が容易となる。

図７は、図６に示した線分Ｂ１−Ｂ２におけるＸＺ平面の静電アクチュエータ１００Ａの断面の一例を示す。静電アクチュエータ１００Ａは、図１に示した静電アクチュエータ１００と同様に、図２に示した幅ΔＤの隙間がヒンジ部として動作し、電極フィルム１０ａの領域４０、電極フィルム２０ａの領域５０および幅ΔＤの隙間による皿バネ構造の複数の空間Ｓａを有する。また、静電アクチュエータ１００Ａは、幅ΔＤの隙間をヒンジ部とする複数の空間Ｓｂも有する。なお、ＸＺ平面での空間Ｓａおよび空間Ｓｂの位置関係は、図３の例と同様である。

例えば、電極フィルム１０ａ、２０ａに互いに異なる極性の電圧が印加された場合、空間Ｓａ、Ｓｂにおける電極フィルム１０ａ、２０ａ間の静電力は互いに引き合う（すなわち、空間Ｓａ、ＳｂがＺ軸方向に縮む）。一方、電極フィルム１０ａ、２０ａに互いに同じ極性の電圧が印加された場合、空間Ｓａ、Ｓｂにおける電極フィルム１０ａ、２０ａ間の静電力は互いに反発する（すなわち、空間Ｓａ、ＳｂがＺ軸方向に伸びる）。これにより、静電アクチュエータ１００Ａは伸縮する。

また、静電アクチュエータ１００Ａは、皿バネ構造の複数の空間Ｓａを有するため、電極フィルム１０ａ、２０ａ間の距離を所定の範囲（すなわち、２ΔＤ）内に維持でき、空間Ｓａ、Ｓｂにおける電極フィルム１０ａ、２０ａ間の静電力を所定値以上に維持できる。さらに、折返部６０も、幅ΔＤの隙間とともにヒンジ部として動作させてもよい。

図８、９は、静電アクチュエータ１００Ａの製造方法の一例を示す。例えば、電極フィルム１０ａ、２０ａを生成するために、図５（ａ）に示した電極フィルム１０、２０と同様に、銅薄膜をＰＥＴフィルムで挟んだ電極シートが生成される（図８（ａ））。図８（ａ）に示した電極シートは、例えば、図中の破線に沿って帯状に切断される（図８（ｂ））。そして、図８（ｂ）に示した帯状に切断された電極シート（すなわち電極フィルム１０ａ、２０ａ）には、エッチング処理が施され、切断面に露出している銅薄膜が除去される（図８（ｃ））。図８（ｃ）に示したエッチングされた電極シートは、切断面がＰＥＴフィルムで接合され、電極フィルム１０ａ、２０ａとして生成される。

そして、図８（ｄ）に示した生成された電極フィルム１０ａ、２０ａの各々には、例えば、図２に示したパターンで接着剤が塗布される。すなわち、図９（ａ）に示すように、つづら折りされた場合に接着剤が塗布された面が同じ向きとなるよう、電極フィルム１０ａの両面（図中の上面および下面）には、図２（ａ）に示したパターンの領域４０に接着剤が塗布される。このとき、電極フィルム１０ａの上面および下面には、それぞれ所定間隔おきに領域４０のパターンでそれぞれ接着剤が塗布され、電極フィルム１０ａの上面と下面とでは接着剤の塗布される箇所が交互にずれている。また、電極フィルム２０ａには、図９（ｂ）に示すように、図２（ｂ）に示したパターンの領域５５に接着剤が塗布される。このとき、電極フィルム２０ａの上面および下面には、それぞれ所定間隔おきに領域５５のパターンでそれぞれ接着剤が塗布され、電極フィルム２０ａの上面と下面とでは接着剤の塗布される箇所が交互にずれている。

なお、図９に示すように、電極フィルム１０ａ、２０ａが幅Ｌの場合、電極フィルム１０ａ、２０ａが延在する方向（図中の左右方向）の図２に示したパターンの長さもＬと設定する。また、隣接するパターン間の間隔（すなわち、折返部６０の長さ）は、長さＳとする。電極フィルム１０ａ、２０ａの或る面において、接着剤が塗布される領域同士の間隔は２Ｓ＋Ｌとなる。また、電極フィルム１０ａ、２０ａの一面と他面とで接着剤が塗布される領域の間隔はＳとなる。また、折返部６０における電極フィルム１０ａ、２０ａの幅は、幅Ｌより細くてもよい。

また、電極フィルム１０ａ、２０ａへの接着剤の塗布は、例えば、凸版印刷、オフセット印刷あるいは孔版印刷等の印刷処理を用いて行われる。あるいは、電極フィルム１０ａ、２０ａへの接着剤の塗布は、インクジェットプリンタ等を用いて行われてもよい。これにより、電極フィルム１０ａ、２０ａの面積が増えた場合でも、領域４０、５５等の所定のパターンの領域に、従来と比べて精度良く接着剤を塗布することが可能となる。そして、静電アクチュエータ１００Ａごとの伸縮動作の個体差を抑制することができる。

そして、図９に示した電極フィルム１０ａ、２０ａが、互いに交差して配置され、つづら折りされることで、図６に示した静電アクチュエータ１００Ａが生成される。

以上、図６から図９に示した実施形態では、静電アクチュエータ１００Ａは、所定のパターンで配置された領域４０あるいは領域５５に接着剤が塗布された電極フィルム１０ａ、２０ａを、互いに交差させてつづら折りに積層することで生成される。そして、印刷処理により、接着剤が電極フィルム１０ａ、２０ａの各々に所定のパターンで塗布されるため、静電アクチュエータ１００Ａは、電極フィルム１０ａ、２０ａの面積が増えた場合でも、従来と比べて容易に生成できる。

また、電極フィルム１０ａの領域４０、電極フィルム２０ａの領域５０および幅ΔＤの隙間で皿バネ構造が形成される。これにより、静電アクチュエータ１００Ａは、電極フィルム１０ａ、２０ａ間の距離を所定の範囲（すなわち、２ΔＤ）内に維持でき、空間Ｓａ、Ｓｂにおける電極フィルム１０ａ、２０ａ間の静電力を所定値以上に維持できる。

また、印刷処理を用いることで、電極フィルム１０ａ、２０ａの各々に接着剤を、従来と比べて精度良く塗布することが可能となる。これにより、静電アクチュエータ１００Ａは、各層における電極フィルム１０、２０間の伸縮動作を均一にでき、静電アクチュエータ１００Ａごとの個体差を抑制できる。

また、静電アクチュエータ１００Ａが、電極フィルム１０ａと電極フィルム２０ａとを互いに交差してつづら折りして生成されることで、折返部６０が生成される。これにより、静電アクチュエータ１００Ａのうち同じ極性の電圧が印加される各層の電極は、折返部６０を介して互いに接続され、静電アクチュエータ１００Ａの配線が容易となる。

以上の詳細な説明により、実施形態の特徴点および利点は明らかになるであろう。これは、特許請求の範囲が、その精神および権利範囲を逸脱しない範囲で前述のような実施形態の特徴点および利点にまで及ぶことを意図する。また、当該技術分野において通常の知識を有する者であれば、あらゆる改良および変更に容易に想到できるはずであり、発明性を有する実施形態の範囲を前述したものに限定する意図はなく、実施形態に開示された範囲に含まれる適当な改良物および均等物によることも可能である。

以上に説明した基本構成を備えた静電アクチュエータは、小型で動作範囲が大きく、しかも、大きな作用力を実現することができるので、家庭用電化製品の可動部分を動かすアクチュエータをはじめとして、ロボットの関節等を動かすアクチュエータとして利用することが可能である。

また、上述したように構成された静電アクチュエータを圧力センサとして利用することも可能である。

１０，１０ａ，２０，２０ａ…電極フィルム；３０…端部材；４０，５０，５５…領域；６０…折返部；１００，１００Ａ…静電アクチュエータ

Claims (5)

1. 第１のパターンで接着剤が一方の面に塗布された複数の第１の電極板と、
   前記第１のパターンと異なる第２のパターンで前記接着剤が一方の面に塗布された複数の第２の電極板とを備え、
   前記第１の電極板と前記第２の電極板とは、前記接着剤が塗布された面を対向させずに交互に積層されており、
   前記第１のパターンは、互いに等間隔に配置される所定の形状の第１の領域を複数有し、複数の前記第１の領域に前記接着剤が塗布され、
   前記第２のパターンは、前記複数の第１の領域の各々に対応する位置に配置され前記第１の領域と異なる大きさの前記所定の形状の第２の領域を複数有し、複数の前記第２の領域を除いた領域に前記接着剤が塗布され、
   前記第１の電極板と前記第２の電極板とは、前記各第１の領域の中心と前記各第２の領域の中心とが積層方向で互いに重なるように積層されており、
   前記第１の領域と前記第２の領域との間には、前記第１の電極板と前記第２の電極板とが有する弾性により静電アクチュエータが伸縮する場合にヒンジ部として動作する、所定の幅を有する隙間がある
   ことを特徴とする静電アクチュエータ。
2. 請求項１に記載の静電アクチュエータにおいて、
   前記複数の第１の領域の全面積と前記複数の第２の領域を除いた領域の面積とは互いに等しいことを特徴とする静電アクチュエータ。
3. 請求項１または請求項２に記載の静電アクチュエータにおいて、
   前記所定の形状は、円、楕円および角が丸められた多角形のいずれかであることを特徴とする静電アクチュエータ。
4. 所定の厚みを有する誘電体に挟まれた複数の電極板を生成し、
   前記複数の電極板のうち一部を第１の電極板として、一方の面に第１のパターンで接着剤を塗布し、
   前記複数の電極板のうちの残りを第２の電極板として、一方の面に前記第１のパターンと異なる第２のパターンで接着剤を塗布し、
   前記第１の電極板と前記第２の電極板とを前記接着剤が塗布された面を対向させずに交互に積層し、
   前記第１のパターンは、互いに等間隔に配置される所定の形状の第１の領域を複数有し、複数の前記第１の領域に前記接着剤が塗布され、
   前記第２のパターンは、前記複数の第１の領域の各々に対応する位置に配置され前記第１の領域と異なる大きさの前記所定の形状の第２の領域を複数有し、複数の前記第２の領域を除いた領域に前記接着剤が塗布され、
   前記第１の電極板と前記第２の電極板とを前記各第１の領域の中心と前記各第２の領域の中心とが積層方向で互いに重なるように積層し、
   前記第１の領域と前記第２の領域との間には、前記第１の電極板と前記第２の電極板とが有する弾性により静電アクチュエータが伸縮する場合にヒンジ部として動作する、所定の幅を有する隙間がある
   ことを特徴とする静電アクチュエータの製造方法。
5. 請求項４に記載の静電アクチュエータの製造方法において、
   前記接着剤は、印刷処理により塗布されることを特徴とする静電アクチュエータの製造方法。

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