JP6616607B2 - 静電アクチュエータおよび静電アクチュエータの製造方法 - Google Patents
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Claims (5)
- 第1のパターンで接着剤が一方の面に塗布された複数の第1の電極板と、
前記第1のパターンと異なる第2のパターンで前記接着剤が一方の面に塗布された複数の第2の電極板とを備え、
前記第1の電極板と前記第2の電極板とは、前記接着剤が塗布された面を対向させずに交互に積層されており、
前記第1のパターンは、互いに等間隔に配置される所定の形状の第1の領域を複数有し、複数の前記第1の領域に前記接着剤が塗布され、
前記第2のパターンは、前記複数の第1の領域の各々に対応する位置に配置され前記第1の領域と異なる大きさの前記所定の形状の第2の領域を複数有し、複数の前記第2の領域を除いた領域に前記接着剤が塗布され、
前記第1の電極板と前記第2の電極板とは、前記各第1の領域の中心と前記各第2の領域の中心とが積層方向で互いに重なるように積層されており、
前記第1の領域と前記第2の領域との間には、前記第1の電極板と前記第2の電極板とが有する弾性により静電アクチュエータが伸縮する場合にヒンジ部として動作する、所定の幅を有する隙間がある
ことを特徴とする静電アクチュエータ。 - 請求項1に記載の静電アクチュエータにおいて、
前記複数の第1の領域の全面積と前記複数の第2の領域を除いた領域の面積とは互いに等しいことを特徴とする静電アクチュエータ。 - 請求項1または請求項2に記載の静電アクチュエータにおいて、
前記所定の形状は、円、楕円および角が丸められた多角形のいずれかであることを特徴とする静電アクチュエータ。 - 所定の厚みを有する誘電体に挟まれた複数の電極板を生成し、
前記複数の電極板のうち一部を第1の電極板として、一方の面に第1のパターンで接着剤を塗布し、
前記複数の電極板のうちの残りを第2の電極板として、一方の面に前記第1のパターンと異なる第2のパターンで接着剤を塗布し、
前記第1の電極板と前記第2の電極板とを前記接着剤が塗布された面を対向させずに交互に積層し、
前記第1のパターンは、互いに等間隔に配置される所定の形状の第1の領域を複数有し、複数の前記第1の領域に前記接着剤が塗布され、
前記第2のパターンは、前記複数の第1の領域の各々に対応する位置に配置され前記第1の領域と異なる大きさの前記所定の形状の第2の領域を複数有し、複数の前記第2の領域を除いた領域に前記接着剤が塗布され、
前記第1の電極板と前記第2の電極板とを前記各第1の領域の中心と前記各第2の領域の中心とが積層方向で互いに重なるように積層し、
前記第1の領域と前記第2の領域との間には、前記第1の電極板と前記第2の電極板とが有する弾性により静電アクチュエータが伸縮する場合にヒンジ部として動作する、所定の幅を有する隙間がある
ことを特徴とする静電アクチュエータの製造方法。 - 請求項4に記載の静電アクチュエータの製造方法において、
前記接着剤は、印刷処理により塗布されることを特徴とする静電アクチュエータの製造方法。
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